JP7235890B2 - センサ素子 - Google Patents
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Description
10≦(S2/S1)×100≦80・・・(1)
図1から図5を参照し、センサ素子100について説明する。なお、以下の説明では、センサ構造が作り込まれている素子本体50と素子本体50を覆っている多孔質保護層30の関係についてのみ説明し、センサ構造の説明については省略する。
10≦(S2/S1)×100≦80・・・(1)
図6を参照し、センサ素子100aについて説明する。センサ素子100aは、センサ素子100の変形例であり、多孔質保護層30aの構造が、センサ素子100の多孔質保護層30と異なる。センサ素子100aについて、センサ素子100と実質的に同一の構成については、センサ素子100を同じ参照番号を付すことにより説明を省略することがある。
図7を参照し、センサ素子100bについて説明する。センサ素子100bは、センサ素子100の変形例であり、多孔質保護層30bの構造が、センサ素子100の多孔質保護層30と異なる。センサ素子100bについて、センサ素子100と実質的に同一の構成については、センサ素子100を同じ参照番号を付すことにより説明を省略することがある。
図8を参照し、センサ素子100cについて説明する。センサ素子100cは、センサ素子100の変形例であり、多孔質保護層30cが3層構造である点が、センサ素子100の多孔質保護層30と異なる。センサ素子100cについて、センサ素子100と実質的に同一の構成については、センサ素子100を同じ参照番号を付すことにより説明を省略することがある。
Claims (6)
- 素子本体と、素子本体の表面を覆っている多孔質保護層を有するセンサ素子であり、
多孔質保護層は、センサ素子の表面に露出する第1層と、素子本体と第1層の間に設けられている第2層と、を備えており、
第1層は、セラミックス粒子と、アスペクト比5以上100以下のセラミックスを含んでいるとともに、一部が素子本体に接しており、
第2層の気孔率が95体積%以上であるセンサ素子。 - 第1層の気孔率が5体積%以上50体積%以下である請求項1に記載のセンサ素子。
- 多孔質保護層が素子本体を覆っている範囲において、素子本体の表面積をS1とし、素子本体と第1層の接触面積をS2としたときに、下記式(1)を満足する請求項1または2に記載のセンサ素子。
10≦(S2/S1)×100≦80・・・(1) - 第1層における前記セラミックスの体積率が、セラミックス粒子と前記セラミックスの合計の体積に対して、20体積%以上80体積%以下である請求項1から3のいずれか一項に記載のセンサ素子。
- 前記セラミックスの最長径が5μm以上200μm以下である請求項1から4のいずれか一項に記載のセンサ素子。
- 前記セラミックスの最短径が0.01μm以上20μm以下である請求項1から5のいずれか一項に記載のセンサ素子。
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