JP7233225B2 - ウェーハの割段方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態1に係るウェーハの割段方法を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係るウェーハの割段方法の割段対象のウェーハの一例を示す斜視図である。図2は、図1中のII-II線に沿う断面図である。図3は、図1中のIII部を拡大して示す斜視図である。図4は、図1に示すウェーハの第1のウェーハと第2のウェーハとを回路層同士を対向させた状態を示す斜視図である。図5は、図4に示された第1のウェーハと第2のウェーハとが接合された状態の断面図である。図6は、図5に示された第2のウェーハが薄化された状態の断面図である。図7は、実施形態1に係るウェーハの割段方法の流れを示すフローチャートである。
図8は、図7に示されたウェーハの割段方法の仮想線設定ステップにおいて設定される仮想線を示す斜視図である。仮想線設定ステップST1は、止まり穴10を含む断面でウェーハ1を割段する位置である仮想線100を設定するステップである。
図9は、図7に示されたウェーハの割段方法の止まり穴側改質層形成ステップを一部模式的な断面で示す側面図である。図10は、図7に示されたウェーハの割段方法の止まり穴側改質層形成ステップ中のウェーハの要部を拡大して示す断面図である。
図11は、図7に示されたウェーハの割段方法の裏面側改質層形成ステップを一部模式的な断面で示す側面図である。図12は、図7に示されたウェーハの割段方法の裏面側改質層形成ステップ中のウェーハの要部を拡大して示す断面図である。裏面側改質層形成ステップST22は、ウェーハ1の裏面13側の止まり穴10が形成されていない範囲に、改質層200(以下、裏面側改質層201と記す)を形成するステップである。ウェーハ1の裏面13側の止まり穴10が形成されていない範囲は、止まり穴10の底部11と裏面13との間である。
図13は、図7に示されたウェーハの割段方法の割段ステップにおいて、ウェーハを割段装置に保持した状態を模式的に示す断面図である。図14は、図7に示されたウェーハの割段方法の割段ステップにおいて割段されたウェーハの断面の一部を拡大して示す図である。割段ステップST3は、ウェーハ1に対して外力を付与し、改質層201,202を破断基点にしてウェーハ1を仮想線100に沿って割段するステップである。
2-1 第1のウェーハ
2-2 第2のウェーハ
4 回路層
10 止まり穴
11 底部
12 表面
13 裏面
14 厚さ
15 深さ
24 レーザー光線
24-1 集光点
100 仮想線
200 改質層
201 裏面側改質層
202 止まり穴側改質層
ST1 仮想線設定ステップ
ST2 改質層形成ステップ
ST3 割段ステップ
ST21 止まり穴側改質層形成ステップ
ST22 裏面側改質層形成ステップ
Claims (1)
- TSV電極用の底部を有する止まり穴が表面に開口して形成されたウェーハを割段し、該止まり穴を含む該ウェーハの断面を得るウェーハの割段方法であって、
該止まり穴を含む断面で該ウェーハを割段する位置である仮想線を設定する仮想線設定ステップと、
該ウェーハに対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を該ウェーハの内部に位置付け、該仮想線に沿って該レーザー光線を該ウェーハに照射し、該ウェーハの内部に該仮想線に沿った改質層を形成する改質層形成ステップと、
該ウェーハに対して外力を付与し、該改質層を破断基点にして該ウェーハを該仮想線に沿って割段する割段ステップと、を備え、
該改質層形成ステップでは、
該止まり穴形成時に設定された該止まり穴の深さの範囲に、該改質層を形成する止まり穴側改質層形成ステップと、
該ウェーハの裏面側の該止まり穴が形成されていない範囲に、該改質層を形成する裏面側改質層形成ステップと、を備え、
止まり穴側改質層と裏面側改質層を含む面で該ウェーハが割段されるとともに、
該ウェーハは、第1のウェーハと、厚さが15μm以下の第2のウェーハとが間に回路層を挟んで積層された積層ウェーハであり、該第1のウェーハ側に開口した該止まり穴の深さは該回路層を貫通する深さに形成され、
該止まり穴側改質層形成ステップでは、該レーザー光線の該集光点を該回路層に位置付けて照射し該回路層から伸展するクラックによって改質層を形成するウェーハの割段方法。
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Citations (3)
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JP2006114627A (ja) | 2004-10-13 | 2006-04-27 | Hamamatsu Photonics Kk | レーザ加工方法 |
JP2008153420A (ja) | 2006-12-18 | 2008-07-03 | Seiko Epson Corp | 基材の分割方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、半導体装置の製造方法、基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法 |
JP2013113668A (ja) | 2011-11-28 | 2013-06-10 | Asahi Sunac Corp | 基板の凹部の検査方法および基板のレジスト膜の検査方法 |
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2019
- 2019-01-10 JP JP2019002897A patent/JP7233225B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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JP2008153420A (ja) | 2006-12-18 | 2008-07-03 | Seiko Epson Corp | 基材の分割方法、液滴吐出ヘッドの製造方法、半導体装置の製造方法、基板の製造方法、及び電気光学装置の製造方法 |
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