JP7233005B2 - 光電変換素子、およびその製造方法 - Google Patents
光電変換素子、およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7233005B2 JP7233005B2 JP2019007677A JP2019007677A JP7233005B2 JP 7233005 B2 JP7233005 B2 JP 7233005B2 JP 2019007677 A JP2019007677 A JP 2019007677A JP 2019007677 A JP2019007677 A JP 2019007677A JP 7233005 B2 JP7233005 B2 JP 7233005B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- photoelectric conversion
- film
- electrode
- layer
- mask layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims description 283
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 42
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 114
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 83
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 66
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 64
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 36
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 22
- 239000011368 organic material Substances 0.000 claims description 22
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 192
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 91
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 36
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 21
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 20
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 14
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 13
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 13
- -1 aromatic amine compounds Chemical class 0.000 description 11
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 11
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 10
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 10
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 10
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 9
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 9
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 238000004770 highest occupied molecular orbital Methods 0.000 description 6
- 238000004768 lowest unoccupied molecular orbital Methods 0.000 description 6
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 5
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical compound C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 4
- GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N fluoranthene Chemical compound C1=CC(C2=CC=CC=C22)=C3C2=CC=CC3=C1 GVEPBJHOBDJJJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 4
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N Pyrrolidine Chemical compound C1CCNC1 RWRDLPDLKQPQOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 3
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 3
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 3
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 3
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- XSCHRSMBECNVNS-UHFFFAOYSA-N quinoxaline Chemical compound N1=CC=NC2=CC=CC=C21 XSCHRSMBECNVNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KUJYDIFFRDAYDH-UHFFFAOYSA-N 2-thiophen-2-yl-5-[5-[5-(5-thiophen-2-ylthiophen-2-yl)thiophen-2-yl]thiophen-2-yl]thiophene Chemical compound C1=CSC(C=2SC(=CC=2)C=2SC(=CC=2)C=2SC(=CC=2)C=2SC(=CC=2)C=2SC=CC=2)=C1 KUJYDIFFRDAYDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDCGOANMDULRCW-UHFFFAOYSA-N 7H-purine Chemical compound N1=CNC2=NC=NC2=C1 KDCGOANMDULRCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 9H-carbazole Chemical compound C1=CC=C2C3=CC=CC=C3NC2=C1 UJOBWOGCFQCDNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N Copper oxide Chemical compound [Cu]=O QPLDLSVMHZLSFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005751 Copper oxide Substances 0.000 description 2
- PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N Phenazine Natural products C1=CC=CC2=NC3=CC=CC=C3N=C21 PCNDJXKNXGMECE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KYQCOXFCLRTKLS-UHFFFAOYSA-N Pyrazine Chemical compound C1=CN=CC=N1 KYQCOXFCLRTKLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N Quinoline Chemical compound N1=CC=CC2=CC=CC=C21 SMWDFEZZVXVKRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N acridine Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3N=C21 DZBUGLKDJFMEHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001454 anthracenes Chemical class 0.000 description 2
- 150000001601 aromatic carbocyclic compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 2
- IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N benzothiazole Chemical compound C1=CC=C2SC=NC2=C1 IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 229910000431 copper oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 2
- 229910003472 fullerene Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000007646 gravure printing Methods 0.000 description 2
- AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L hydroxy(oxo)manganese;manganese Chemical compound [Mn].O[Mn]=O.O[Mn]=O AMWRITDGCCNYAT-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N isoquinoline Chemical compound C1=NC=CC2=CC=CC=C21 AWJUIBRHMBBTKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 2
- IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(n-naphthalen-1-ylanilino)phenyl]phenyl]-n-phenylnaphthalen-1-amine Chemical group C1=CC=CC=C1N(C=1C2=CC=CC=C2C=CC=1)C1=CC=C(C=2C=CC(=CC=2)N(C=2C=CC=CC=2)C=2C3=CC=CC=C3C=CC=2)C=C1 IBHBKWKFFTZAHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002790 naphthalenes Chemical class 0.000 description 2
- 229910000484 niobium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N niobium(5+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Nb+5].[Nb+5] URLJKFSTXLNXLG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007645 offset printing Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002987 phenanthrenes Chemical class 0.000 description 2
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical class N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CLYVDMAATCIVBF-UHFFFAOYSA-N pigment red 224 Chemical compound C=12C3=CC=C(C(OC4=O)=O)C2=C4C=CC=1C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C4=CC=C3C1=C42 CLYVDMAATCIVBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000412 polyarylene Chemical class 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000003219 pyrazolines Chemical class 0.000 description 2
- 150000003220 pyrenes Chemical class 0.000 description 2
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- PMJMHCXAGMRGBZ-UHFFFAOYSA-N subphthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(=N3)N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C3=N1 PMJMHCXAGMRGBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 2
- QGKMIGUHVLGJBR-UHFFFAOYSA-M (4z)-1-(3-methylbutyl)-4-[[1-(3-methylbutyl)quinolin-1-ium-4-yl]methylidene]quinoline;iodide Chemical class [I-].C12=CC=CC=C2N(CCC(C)C)C=CC1=CC1=CC=[N+](CCC(C)C)C2=CC=CC=C12 QGKMIGUHVLGJBR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- UWRZIZXBOLBCON-VOTSOKGWSA-N (e)-2-phenylethenamine Chemical class N\C=C\C1=CC=CC=C1 UWRZIZXBOLBCON-VOTSOKGWSA-N 0.000 description 1
- POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M (z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound C\C([O-])=C\C(C)=O POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M 0.000 description 1
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 1,3-benzoxazole Chemical compound C1=CC=C2OC=NC2=C1 BCMCBBGGLRIHSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 1H-benzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC=NC2=C1 HYZJCKYKOHLVJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BAXOFTOLAUCFNW-UHFFFAOYSA-N 1H-indazole Chemical compound C1=CC=C2C=NNC2=C1 BAXOFTOLAUCFNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XWIYUCRMWCHYJR-UHFFFAOYSA-N 1h-pyrrolo[3,2-b]pyridine Chemical compound C1=CC=C2NC=CC2=N1 XWIYUCRMWCHYJR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEPOHXYIFQMVHW-XOZOLZJESA-N 2,3-dihydroxybutanedioic acid (2S,3S)-3,4-dimethyl-2-phenylmorpholine Chemical compound OC(C(O)C(O)=O)C(O)=O.C[C@H]1[C@@H](OCCN1C)c1ccccc1 VEPOHXYIFQMVHW-XOZOLZJESA-N 0.000 description 1
- CBHTTYDJRXOHHL-UHFFFAOYSA-N 2h-triazolo[4,5-c]pyridazine Chemical compound N1=NC=CC2=C1N=NN2 CBHTTYDJRXOHHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GAMYYCRTACQSBR-UHFFFAOYSA-N 4-azabenzimidazole Chemical compound C1=CC=C2NC=NC2=N1 GAMYYCRTACQSBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LCGTWRLJTMHIQZ-UHFFFAOYSA-N 5H-dibenzo[b,f]azepine Chemical compound C1=CC2=CC=CC=C2NC2=CC=CC=C21 LCGTWRLJTMHIQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000000660 7-membered heterocyclic compounds Chemical class 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUIQMZJEGPQKFD-UHFFFAOYSA-N Methyl butyrate Chemical compound CCCC(=O)OC UUIQMZJEGPQKFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N Oxazole Chemical compound C1=COC=N1 ZCQWOFVYLHDMMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N Pyrazole Chemical compound C=1C=NNC=1 WTKZEGDFNFYCGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N Pyrimidine Chemical compound C1=CN=CN=C1 CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N Tetrahydroanthracene Natural products C1=CC=C2C=C(CCCC3)C3=CC2=C1 XBDYBAVJXHJMNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N Thiazole Chemical compound C1=CSC=N1 FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N Trioxochromium Chemical compound O=[Cr](=O)=O WGLPBDUCMAPZCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N [1,10]phenanthroline Chemical compound C1=CN=C2C3=NC=CC=C3C=CC2=C1 DGEZNRSVGBDHLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PRSXMVQXAKTVLS-UHFFFAOYSA-N [Cu]=O.[In] Chemical compound [Cu]=O.[In] PRSXMVQXAKTVLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PBAJOOJQFFMVGM-UHFFFAOYSA-N [Cu]=O.[Sr] Chemical compound [Cu]=O.[Sr] PBAJOOJQFFMVGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AUSOIVYSFXBTNO-UHFFFAOYSA-N [O--].[O--].[Ag+].[In+3] Chemical compound [O--].[O--].[Ag+].[In+3] AUSOIVYSFXBTNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000002730 additional effect Effects 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000007611 bar coating method Methods 0.000 description 1
- HFACYLZERDEVSX-UHFFFAOYSA-N benzidine Chemical class C1=CC(N)=CC=C1C1=CC=C(N)C=C1 HFACYLZERDEVSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N benzotriazole Chemical compound C1=CC=C2N[N][N]C2=C1 QRUDEWIWKLJBPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 1
- BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Chemical compound [O-2].[Ca+2] BRPQOXSCLDDYGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N calcium oxide Inorganic materials [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- 150000001716 carbazoles Chemical class 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 229910000423 chromium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PSJHTNRVTMXYER-UHFFFAOYSA-N chromium;copper;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Cr].[Cu] PSJHTNRVTMXYER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WCZVZNOTHYJIEI-UHFFFAOYSA-N cinnoline Chemical compound N1=NC=CC2=CC=CC=C21 WCZVZNOTHYJIEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000428 cobalt oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N cobalt(ii) oxide Chemical compound [Co]=O IVMYJDGYRUAWML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- RAABOESOVLLHRU-UHFFFAOYSA-N diazene Chemical class N=N RAABOESOVLLHRU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007607 die coating method Methods 0.000 description 1
- HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N dioxoiridium Chemical compound O=[Ir]=O HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N endo-cyclopentadiene Natural products C1C=CC=C1 ZSWFCLXCOIISFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 150000002220 fluorenes Chemical class 0.000 description 1
- 150000008376 fluorenones Chemical class 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007756 gravure coating Methods 0.000 description 1
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 238000004050 hot filament vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 150000007857 hydrazones Chemical class 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002475 indoles Chemical class 0.000 description 1
- 229940079865 intestinal antiinfectives imidazole derivative Drugs 0.000 description 1
- 229910000457 iridium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- DZVCFNFOPIZQKX-LTHRDKTGSA-M merocyanine Chemical class [Na+].O=C1N(CCCC)C(=O)N(CCCC)C(=O)C1=C\C=C\C=C/1N(CCCS([O-])(=O)=O)C2=CC=CC=C2O\1 DZVCFNFOPIZQKX-LTHRDKTGSA-M 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000476 molybdenum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000480 nickel oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 1
- 229910000510 noble metal Inorganic materials 0.000 description 1
- QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N nonaoxidotritungsten Chemical compound O=[W]1(=O)O[W](=O)(=O)O[W](=O)(=O)O1 QGLKJKCYBOYXKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N o-biphenylenemethane Natural products C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N oxadiazole Chemical compound C1=CON=N1 WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007978 oxazole derivatives Chemical class 0.000 description 1
- PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N oxomolybdenum Chemical compound [Mo]=O PQQKPALAQIIWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N oxonickel Chemical compound [Ni]=O GNRSAWUEBMWBQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 1
- JZRYQZJSTWVBBD-UHFFFAOYSA-N pentaporphyrin i Chemical class N1C(C=C2NC(=CC3=NC(=C4)C=C3)C=C2)=CC=C1C=C1C=CC4=N1 JZRYQZJSTWVBBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 150000004986 phenylenediamines Chemical class 0.000 description 1
- LFSXCDWNBUNEEM-UHFFFAOYSA-N phthalazine Chemical compound C1=NN=CC2=CC=CC=C21 LFSXCDWNBUNEEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000301 poly(3-hexylthiophene-2,5-diyl) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000548 poly(silane) polymer Chemical class 0.000 description 1
- 229920000768 polyamine Chemical class 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 1
- CPNGPNLZQNNVQM-UHFFFAOYSA-N pteridine Chemical compound N1=CN=CC2=NC=CN=C21 CPNGPNLZQNNVQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003217 pyrazoles Chemical class 0.000 description 1
- PBMFSQRYOILNGV-UHFFFAOYSA-N pyridazine Chemical compound C1=CC=NN=C1 PBMFSQRYOILNGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003233 pyrroles Chemical class 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- JWVCLYRUEFBMGU-UHFFFAOYSA-N quinazoline Chemical compound N1=CN=CC2=CC=CC=C21 JWVCLYRUEFBMGU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N stilbene Chemical class C=1C=CC=CC=1C=CC1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 description 1
- 229940042055 systemic antimycotics triazole derivative Drugs 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- IFLREYGFSNHWGE-UHFFFAOYSA-N tetracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC4=CC=CC=C4C=C3C=C21 IFLREYGFSNHWGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003518 tetracenes Chemical class 0.000 description 1
- 150000003536 tetrazoles Chemical class 0.000 description 1
- QKTRRACPJVYJNU-UHFFFAOYSA-N thiadiazolo[5,4-b]pyridine Chemical compound C1=CN=C2SN=NC2=C1 QKTRRACPJVYJNU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003577 thiophenes Chemical class 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 125000005259 triarylamine group Chemical class 0.000 description 1
- YWBFPKPWMSWWEA-UHFFFAOYSA-O triazolopyrimidine Chemical compound BrC1=CC=CC(C=2N=C3N=CN[N+]3=C(NCC=3C=CN=CC=3)C=2)=C1 YWBFPKPWMSWWEA-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 150000004961 triphenylmethanes Chemical class 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001930 tungsten oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009736 wetting Methods 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K30/00—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
- H10K30/20—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation comprising organic-organic junctions, e.g. donor-acceptor junctions
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K30/00—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
- H10K30/30—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation comprising bulk heterojunctions, e.g. interpenetrating networks of donor and acceptor material domains
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K30/00—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
- H10K30/30—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation comprising bulk heterojunctions, e.g. interpenetrating networks of donor and acceptor material domains
- H10K30/353—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation comprising bulk heterojunctions, e.g. interpenetrating networks of donor and acceptor material domains comprising blocking layers, e.g. exciton blocking layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K30/00—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
- H10K30/80—Constructional details
- H10K30/81—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K30/00—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
- H10K30/80—Constructional details
- H10K30/81—Electrodes
- H10K30/82—Transparent electrodes, e.g. indium tin oxide [ITO] electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K39/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic radiation-sensitive element covered by group H10K30/00
- H10K39/30—Devices controlled by radiation
- H10K39/32—Organic image sensors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
- H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
- H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
- H10K71/164—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering using vacuum deposition
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/20—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning
- H10K71/231—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning by etching of existing layers
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/60—Forming conductive regions or layers, e.g. electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K30/00—Organic devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation
- H10K30/50—Photovoltaic [PV] devices
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Description
本開示の項目1に係る光電変換素子の製造方法は、
主面を有する半導体基板と、前記主面の上方に位置する第1電極と、前記主面の上方に位置し、1次元または2次元に配列された複数の第2電極と、前記複数の第2電極を少なくとも覆う光電変換膜と、を含む基体を準備する工程と、
前記光電変換膜のうち、平面視において前記複数の第2電極と重なる部分を覆う被覆部を含み、かつ導電性を有するマスク層を、前記光電変換膜上に形成する工程と、
前記基体および前記マスク層をエッチャントに浸漬することにより前記光電変換膜の一部を除去する工程と、
を含む。
項目1に記載の光電変換素子の製造方法において、
前記マスク層を形成する工程は、有機材料を用いて前記マスク層を形成する工程を含み、
前記光電変換膜の一部を除去する工程における前記マスク層のエッチングレートは、前記光電変換膜の一部を除去する工程における前記光電変換膜のエッチングレートよりも低くてもよい。
項目2に記載の光電変換素子の製造方法において、
前記有機材料は、光電変換材料であってもよい。
項目1に記載の光電変換素子の製造方法において、
前記マスク層を形成する工程は、酸化物半導体材料を用いて前記マスク層を形成する工程を含んでいてもよい。
項目2から4のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法は、
前記光電変換膜の一部を除去する工程の後に、前記被覆部を覆い、かつ前記被覆部を前記第1電極に電気的に接続する透光性の第3電極を形成する工程をさらに含んでいてもよい。
項目1に記載の光電変換素子の製造方法において、
前記マスク層を形成する工程は、透明導電性材料を用いて前記マスク層を形成する工程を含んでいてもよい。
項目6に記載の光電変換素子の製造方法は、
前記光電変換膜の一部を除去する工程の後に、前記被覆部を前記第1電極に電気的に接続する第3電極を形成する工程をさらに含んでいてもよい。
項目1から7のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法において、
前記半導体基板は、前記複数の第2電極に電気的に接続された読み出し回路を含んでいてもよい。
項目1から8のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法において、
前記基体を準備する工程は、
前記主面の上方に前記複数の第2電極を形成する工程と、
前記複数の第2電極を形成する工程の後に、前記主面の上方に前記光電変換膜を形成する工程と、
を含んでいてもよい。
本開示の項目10に係る光電変換素子は、
主面を有する半導体基板と、
前記主面の上方に位置する第1電極と、
前記主面の上方に位置し、1次元または2次元に配列された複数の第2電極と、
前記複数の第2電極を少なくとも覆う光電変換膜と、
前記光電変換膜のうち、平面視において前記複数の第2電極と重なる部分を覆う被覆部を含む導電層と、を備える。
項目10に記載の光電変換素子において、
前記断面において、前記光電変換膜はテーパー形状の側面を有していてもよい。
項目10に記載の光電変換素子において、
前記導電層は、有機材料により構成されていてもよい。
項目12に記載の光電変換素子において、
前記有機材料は、光電変換材料であってもよい。
項目10に記載の光電変換素子において、
前記導電層は、酸化物半導体材料により構成されていてもよい。
項目12から14のいずれかに記載の光電変換素子は、
前記被覆部を覆い、かつ前記被覆部を前記第1電極に電気的に接続する透光性の第3電極をさらに備えていてもよい。
項目10に記載の光電変換素子において、
前記導電層は、透明導電性材料により構成されていてもよい。
項目16に記載の光電変換素子は、
前記被覆部を前記第1電極に電気的に接続する第3電極をさらに備えていてもよい。
項目10から17のいずれかに記載の光電変換素子において、
前記半導体基板は、前記複数の第2電極に電気的に接続された読み出し回路を含んでいてもよい。
図6は、本開示の例示的な実施形態による光電変換素子の製造方法の概要を示すフローチャートである。図6に例示された光電変換素子の製造方法は、概略的には、半導体基板、複数の電極および光電変換膜を含む基体を準備する工程(図6の工程S1)と、光電変換膜の一部を覆う導電性のマスク層を光電変換膜上に形成する工程(図6の工程S2)と、基体およびマスク層をエッチャントに浸漬することにより、光電変換膜のうちマスク層に覆われていない部分を除去する工程(図6の工程S3)とを含む。
まず、主面を有する半導体基板と、主面の上方に位置する複数の電極と、複数の電極を少なくとも覆う光電変換膜と、を含む基体を準備する。基体は、購入によって準備されてもよいし、以下に説明するように、半導体基板の一方の主面側に複数の電極および光電変換膜を順次に形成することによって準備されてもよい。
次に、光電変換膜130r上にマスク層を形成する。後述するように、本開示の実施形態では、ウェットエッチングによって光電変換膜130rの一部を除去することにより、光電変換膜130rをその一部に含む光電変換構造130Aを形成する。マスク層は、光電変換膜130rのうち撮像領域500に位置する部分を保護するエッチマスクとして機能する。
次に、基体200およびマスク層をエッチャントに浸漬することにより、光電変換膜の一部を除去する。例えば、図11に示すような、正孔ブロッキング膜16から形成されたマスク層16Cを有する基体200Aをエッチャント300に浸漬する。上述したように、ここでは、エッチャント300に対するマスク層16Cのエッチングレートは、光電変換膜130qのエッチングレートと比較して小さい。そのため、エッチャント300への浸漬により、図14に模式的に示すように、光電変換膜130qのうち、マスク層16Cで覆われていない部分を選択的に除去して、被覆部560に応じた形状の光電変換構造130Aを形成することができる。被覆部560のうちウェットエッチングの工程の完了後に残る部分、および、光電変換膜130qのうちウェットエッチングの工程の完了後に残る部分は、それぞれ、図1に示す有機層134および光電変換層132に相当する。この例では、被覆部560のうちウェットエッチングの工程の完了後に残る部分を正孔ブロッキング層として機能させ得る。
ここでは、まず、図11に示す基体200Aをエッチャント300に浸漬することによって光電変換構造130Aを形成した場合について次の工程を説明する。ウェットエッチングによって光電変換膜130qおよびマスク層16Cの被覆部560とから光電変換構造130Aを得た後、図16Aに示すように、被覆部560として利用した部分を覆う、透光性の第3電極としての対向電極140を形成する。対向電極140は、少なくとも第1電極110の位置まで延び、第1電極110の上面110aをも覆う。対向電極140の形成により、正孔ブロッキング膜16と、第1電極110とが対向電極140を介して電気的に接続される。
次に、本開示の一態様に係る光電変換素子の他の製造方法を説明する。上述の例と同様に、まず、主面を有する半導体基板と、主面の上方に位置する複数の電極と、複数の電極を少なくとも覆う光電変換膜と、を含む基体を準備する。例えば、半導体基板190を準備し、半導体基板190の主面190a側に複数の第2電極120と、第1電極110とを形成する。さらに、層間絶縁層160を形成する。これにより、図7に示す構造を得る。
次に、図19に示すように、p型半導体膜13p、混合膜13xおよびn型半導体膜13nの積層構造のうち、平面視において、複数の第2電極120と重なる部分を少なくとも覆うマスク層16Dを形成する。マスク層16Dとして、ここでは、酸化物半導体層を形成する。酸化物半導体層のうち、撮像領域500となるべき領域上に位置する部分が被覆部560として機能する。後述するように、エッチングの工程の完了後、酸化物半導体層のうち被覆部560に相当する部分を正孔ブロッキング層として機能させ得る。
次に、基体210およびマスク層16Dをエッチャント300に浸漬することにより、光電変換膜130sの一部を除去する。マスク層16Dは、エッチャント300に不溶である。エッチャント300への浸漬により、図20に模式的に示すように、光電変換膜130sのうち、マスク層16Dで覆われていない部分を選択的に除去して、被覆部560に応じた形状の光電変換構造130Bを形成することができる。被覆部560のうちウェットエッチングの工程の完了後に残る部分、および、光電変換膜130sのうちウェットエッチングの工程の完了後に残る部分は、それぞれ、図5に示す酸化物半導体層136および光電変換層132に相当する。この例では、被覆部560のうちウェットエッチングの工程の完了後に残る部分を正孔ブロッキング層16sとして機能させ得る。
次に、図16Aを参照して説明した例と同様に、被覆部560を覆う、透光性の第3電極としての対向電極140を形成する。以上の工程により、図5に示す光電変換素子100Bが得られる。この例のように、正孔ブロッキング層16sとしての酸化物半導体材料の層をエッチマスクとして利用してもよい。なお、図13を参照して説明した例と同様に、マスク層16Dの被覆部560上に透明導電層140mを形成し、マスク層16Dおよび透明導電層140mをエッチマスクとして利用して光電変換膜130sのエッチングを実行してもよい。
以下の手順により、参考例1および比較例1のサンプルを作製した。まず、150nmの厚さのITO膜を下部電極として一方の主面上に有する、厚さが0.7mmのガラス基板を準備した。次に、上述の第2電極120に相当する電極としての下部電極上に、下記の構造式に示す(OC2H5)8Sn(OSi(C6H13)3)2Ncと、PCBM(フロンティアカーボン株式会社社製)との混合溶液から塗布法により混合膜を形成した。成膜に用いた混合溶液中、(OC2H5)8Sn(OSi(C6H13)3)2NcおよびPCBMの重量比は、1:9であり、30mg/mlのクロロホルム溶液を用いた。なお、下記構造式中、Etは、C2H5を表し、Hexは、C6H13を表す。このときに得られた混合膜の厚さは、およそ250nmであった。
まず、比較例1のサンプルと同様にして、図21に示す構成と同様の構成を有する積層体を準備した。次に、比較例1のときと同様にして、上部電極と下部電極との間に生じる電流密度を窒素雰囲気下で測定し、暗電流の大きさとして1.0×10-4(mA/cm2)の測定値を得た。このときに得られた暗電流の値を比較例2のサンプルに関する測定値とした。
比較例1、2のサンプルと同様にして、図21に示す構成と同様の構成を有する積層体を準備した。次に、比較例1、2のときと同様にして、上部電極と下部電極との間に生じる電流密度を窒素雰囲気下で測定し、暗電流の大きさとして3.5×10-3(mA/cm2)の測定値を得た。このときに得られた暗電流の値を比較例3のサンプルに関する測定値とした。
比較例1から3のサンプルと同様にして、図21に示す構成と同様の構成を有する積層体を準備した。次に、比較例1、2および3のときと同様にして、上部電極と下部電極との間に生じる電流密度を窒素雰囲気下で測定し、暗電流の大きさとして4.2×10-5(mA/cm2)の測定値を得た。このときに得られた暗電流の値を比較例4のサンプルに関する測定値とした。
14 電子ブロッキング膜
14s 電子ブロッキング層
16 正孔ブロッキング膜
16s 正孔ブロッキング層
16C、16D、140C、146C マスク層
16m、134 有機層
100A、100B 光電変換素子
110 第1電極
120 第2電極
130A、130B 光電変換構造
130q、130r、130s 光電変換膜
132 光電変換層
136 酸化物半導体層
140 対向電極
140m 透明導電層
150 保護層
160 層間絶縁層
190 半導体基板
191、192、193、194、195 不純物領域
200、200A、200B、200C、210 基体
300 エッチャント
540 光電変換部
550 読み出し回路
560 被覆部
Claims (9)
- 主面を有する半導体基板と、前記主面の上方に位置する第1電極と、前記主面の上方に位置し、1次元または2次元に配列された複数の第2電極と、前記複数の第2電極を少なくとも覆う光電変換膜と、を含む基体を準備する工程と、
前記光電変換膜のうち、平面視において前記複数の第2電極と重なる部分を覆う被覆部を含み、かつ導電性を有するマスク層を、前記光電変換膜上に形成する工程と、
前記基体および前記マスク層をエッチャントに浸漬することにより前記光電変換膜の一部を除去する工程と、
前記光電変換膜の一部を除去する工程の後に、前記被覆部を前記第1電極に電気的に接続する第3電極を形成する工程と、
を含み、
前記光電変換膜は、第1有機材料を含んでいる、
光電変換素子の製造方法。 - 前記マスク層を形成する工程は、第2有機材料を用いて前記マスク層を形成する工程を含み、
前記光電変換膜の一部を除去する工程における前記マスク層のエッチングレートは、前記光電変換膜の一部を除去する工程における前記光電変換膜のエッチングレートよりも低い、
請求項1に記載の光電変換素子の製造方法。 - 前記第2有機材料は、光電変換材料である、
請求項2に記載の光電変換素子の製造方法。 - 前記マスク層を形成する工程は、酸化物半導体材料を用いて前記マスク層を形成する工程を含む、
請求項1に記載の光電変換素子の製造方法。 - 前記光電変換膜の一部を除去する工程の後に、前記被覆部を覆う透光性の第3電極を形成する工程をさらに含む、
請求項2から4のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。 - 前記マスク層を形成する工程は、透明導電性材料を用いて前記マスク層を形成する工程を含む、
請求項1に記載の光電変換素子の製造方法。 - 前記光電変換膜の一部を除去する工程の後に、前記被覆部を前記第1電極に電気的に接続する第3電極を形成する工程をさらに含む、
請求項6に記載の光電変換素子の製造方法。 - 前記半導体基板は、前記複数の第2電極に電気的に接続された読み出し回路を含む、
請求項1から7のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。 - 前記基体を準備する工程は、
前記主面の上方に前記複数の第2電極を形成する工程と、
前記複数の第2電極を形成する工程の後に、前記主面の上方に前記光電変換膜を形成する工程と、
を含む、
請求項1から8のいずれかに記載の光電変換素子の製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018031899 | 2018-02-26 | ||
JP2018031899 | 2018-02-26 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019149542A JP2019149542A (ja) | 2019-09-05 |
JP7233005B2 true JP7233005B2 (ja) | 2023-03-06 |
Family
ID=67686132
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019007677A Active JP7233005B2 (ja) | 2018-02-26 | 2019-01-21 | 光電変換素子、およびその製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11031568B2 (ja) |
JP (1) | JP7233005B2 (ja) |
CN (1) | CN110197875A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI783805B (zh) * | 2021-12-01 | 2022-11-11 | 天光材料科技股份有限公司 | 光電半導體之結構 |
WO2023176245A1 (ja) * | 2022-03-17 | 2023-09-21 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 撮像素子、撮像装置及び撮像素子の製造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011071481A (ja) | 2009-08-28 | 2011-04-07 | Fujifilm Corp | 固体撮像装置,固体撮像装置の製造方法,デジタルスチルカメラ,デジタルビデオカメラ,携帯電話,内視鏡 |
JP2011077184A (ja) | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Fujifilm Corp | 検出素子 |
WO2014007132A1 (ja) | 2012-07-05 | 2014-01-09 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子機器 |
JP2014060315A (ja) | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Fujifilm Corp | 有機固体撮像素子およびその製造方法 |
JP2014127545A (ja) | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Sony Corp | 固体撮像素子およびこれを備えた固体撮像装置 |
JP2016039328A (ja) | 2014-08-08 | 2016-03-22 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、撮像システム、及び光電変換装置の製造方法 |
JP2016076567A (ja) | 2014-10-06 | 2016-05-12 | ソニー株式会社 | 撮像装置、製造装置、製造方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03225967A (ja) * | 1990-01-31 | 1991-10-04 | Taiyo Yuden Co Ltd | 薄膜素子の製造方法 |
JP2003234460A (ja) | 2002-02-12 | 2003-08-22 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | 積層型光導電膜および固体撮像装置 |
JP4729275B2 (ja) | 2004-07-16 | 2011-07-20 | 富士フイルム株式会社 | 有機材料層のパターニング方法およびこれを用いた電子デバイス |
JP2010098249A (ja) | 2008-10-20 | 2010-04-30 | Fujifilm Corp | 光電変換素子,光電変換素子の製造方法及び撮像素子 |
CN102576805A (zh) | 2009-10-30 | 2012-07-11 | 住友化学株式会社 | 有机光电转换元件及其制造方法 |
JP2011228648A (ja) | 2010-03-31 | 2011-11-10 | Fujifilm Corp | 撮像素子 |
JP2015012239A (ja) | 2013-07-01 | 2015-01-19 | ソニー株式会社 | 撮像素子および電子機器 |
JP6138639B2 (ja) | 2013-09-12 | 2017-05-31 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子および製造方法、並びに電子機器 |
CN106575187B (zh) * | 2014-08-04 | 2019-12-13 | Lg伊诺特有限公司 | 触摸窗 |
JP6307771B2 (ja) | 2014-12-26 | 2018-04-11 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 撮像装置 |
CN105742303B (zh) | 2014-12-26 | 2020-08-25 | 松下知识产权经营株式会社 | 摄像装置 |
JP6027633B2 (ja) * | 2015-01-13 | 2016-11-16 | 日本写真印刷株式会社 | タッチ入力センサの製造方法及び感光性導電フィルム |
KR102277379B1 (ko) * | 2015-02-25 | 2021-07-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 터치 패널 및 그 제조 방법 |
-
2019
- 2019-01-07 CN CN201910011990.1A patent/CN110197875A/zh active Pending
- 2019-01-21 JP JP2019007677A patent/JP7233005B2/ja active Active
- 2019-02-12 US US16/274,154 patent/US11031568B2/en active Active
-
2021
- 2021-05-06 US US17/313,563 patent/US11711932B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011071481A (ja) | 2009-08-28 | 2011-04-07 | Fujifilm Corp | 固体撮像装置,固体撮像装置の製造方法,デジタルスチルカメラ,デジタルビデオカメラ,携帯電話,内視鏡 |
JP2011077184A (ja) | 2009-09-29 | 2011-04-14 | Fujifilm Corp | 検出素子 |
WO2014007132A1 (ja) | 2012-07-05 | 2014-01-09 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子機器 |
JP2014060315A (ja) | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Fujifilm Corp | 有機固体撮像素子およびその製造方法 |
JP2014127545A (ja) | 2012-12-26 | 2014-07-07 | Sony Corp | 固体撮像素子およびこれを備えた固体撮像装置 |
JP2016039328A (ja) | 2014-08-08 | 2016-03-22 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置、撮像システム、及び光電変換装置の製造方法 |
JP2016076567A (ja) | 2014-10-06 | 2016-05-12 | ソニー株式会社 | 撮像装置、製造装置、製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11711932B2 (en) | 2023-07-25 |
US20190267560A1 (en) | 2019-08-29 |
CN110197875A (zh) | 2019-09-03 |
US20210265583A1 (en) | 2021-08-26 |
JP2019149542A (ja) | 2019-09-05 |
US11031568B2 (en) | 2021-06-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4802286B2 (ja) | 光電変換素子及び撮像素子 | |
JP5087304B2 (ja) | 固体撮像素子の製造方法 | |
US10861904B2 (en) | Imaging device including a photoelectric converter and a voltage application circuit | |
JP5288640B2 (ja) | 撮像素子及びその製造方法 | |
JP2016225456A (ja) | 撮像装置および光電変換膜の製造方法 | |
WO2018110050A1 (ja) | 光電変換素子、撮像素子、積層型撮像素子及び固体撮像装置 | |
WO2020162095A1 (ja) | 光電変換素子および撮像装置 | |
US11711932B2 (en) | Photoelectric conversion element including first electrode, second electrodes, photoelectric conversion film, and conductive layer and method for manufacturing the same | |
JP7190715B2 (ja) | 撮像装置 | |
JP2018125495A (ja) | 光電変換素子および撮像装置 | |
US20210273019A1 (en) | Imaging device, method for manufacturing imaging device, and imaging apparatus | |
JP5876265B2 (ja) | 有機撮像素子 | |
US11723224B2 (en) | Imaging apparatus | |
US20230045956A1 (en) | Photoelectric conversion element and imaging apparatus | |
US20210273020A1 (en) | Imaging device, method for manufacturing imaging device, and imaging apparatus | |
US20230354626A1 (en) | Imaging device | |
WO2023074230A1 (ja) | 撮像装置 | |
WO2021033518A1 (ja) | 光センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210825 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221101 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221208 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230110 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230207 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7233005 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |