JP7204436B2 - 欠陥除去方法及びSiCエピタキシャルウェハの製造方法 - Google Patents
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Description
例えば、特許文献1には、N系ガスとCl系ガスとを同時に用いること固体生成物が発生の原因となることを見出し多が記載されている。その上で、特許文献1に記載のSiCエピタキシャルウェハの製造方法は、N系ガスとCl系ガスとを分離して導入し、かつ、混合する際には、固体生成物の沸点または昇華温度以上の温度で混合する。したがって、特許文献1に記載のSiCエピタキシャルウェハの製造方法は、固体生成物に伴う欠陥の発生を抑制することが記載されている。
すなわち、本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を提供する。
第1の実施形態にかかる欠陥除去方法は、SiCエピタキシャルウェハのヒュージダウンフォールを識別する識別工程と、識別工程で識別したヒュージダウンフォールを除去する、除去工程と、を有する。
識別工程は、SiCエピタキシャルウェハに存在する欠陥の中からヒュージダウンフォールを抽出する工程である。すなわち、欠陥識別工程は第1工程と、第2工程と、を有する。
第1工程は、SiCエピタキシャルウェハに存在する三角形の欠陥を特定する工程である。SiCエピタキシャルウェハは、SiC基板の一面にエピタキシャル膜が成膜されたものである。SiCエピタキシャルウェハ中には、種々の欠陥が存在する。例えば、基底面転位、貫通刃状転位、積層欠陥、ダウンフォール等が存在する。三角形の欠陥は、SiCエピタキシャルウェハを平面視した際に三角形に見える欠陥である。
SICAは、光学系による表面検査と、PL検査とを1台で行うことができる。SICAは、観察するSiCエピタキシャルウェハに対して、紫外線を垂直に入射する。SICAは、SiCエピタキシャルウェハ表面からの散乱光の強度、および反射光の強度と反射位置を計測することができる装置である。SICAでは、被測定体のコントラストを強調することができる。
欠陥の中には、光学表面検査による観測は難しいが、PL検査では容易に観測することができるものも存在する。
三角形の欠陥は、Hg-CV法に悪影響を与えない。これに対して、後述するヒュージダウンフォールはHg-CV法に悪影響を与える。
第2工程は、コントラスト比決定工程と、ヒュージダウンフォール検出工程と、を有する。すなわち、以下の手段を行う。
コントラスト比決定工程は、三角形の欠陥の3辺のそれぞれの基準面に対する第1コントラスト比、第2コントラスト比、及び第3コントラスト比を求める工程である。
コントラスト比決定工程は、例えば、SICAを用いて行う。
ヒュージダウンフォール検出工程は、第1コントラスト比X、第2コントラスト比Y、及び第3コントラスト比Zと比較して、基準面に対するコントラスト比が大きい又は小さい特定部分をヒュージダウンフォールとして検出する。
除去工程は、識別工程で識別したヒュージダウンフォールを除去する工程である。識別工程でヒュージダウンフォールの座標位置が特定されている。除去工程は、当該位置において以下の除去方法を行い、ヒュージダウンフォールを除去する。
ヒュージダウンフォールを除去する方法としては、例えば、以下の方法が挙げられる。
また、プローブを用いてヒュージダウンフォールの除去を行った際に、プローブの一部がSiCエピタキシャルウェハに残存してしまう場合がある。そのため、プローブは、後工程での洗浄で容易に除去できる材料を用いることが好ましい。本実施形態において、後工程とは、SiCエピタキシャルウェハ成長後の洗浄工程やSiCエピタキシャルウェハに半導体素子等を作成する工程の洗浄工程のことをいう。
例えば、SiCエピタキシャルウェハを固定し、識別工程でヒュージダウンフォールが存在すると識別された箇所にレーザー又は電子ビームを照射する。
ガス及び液体の同時噴射は、例えば、2流体式ノズル等を用いて行われる。
電気分解を行う場合は、SiCエピタキシャルウェハ及び対向電極を電解液に浸す。
放電または電気分解を行う条件は、上記の例に限定されず、ヒュージダウンフォールを除去することができる方法で適宜変更することができる。
第2実施形態にかかるSiCエピタキシャルウェハの製造方法は、SiCウェハにエピタキシャル膜を成膜する工程と、欠陥除去方法によりエピタキシャル膜が製膜されたSiCウェハからヒュージダウンフォールを除去する工程と、を有する。
識別工程により、SiCエピタキシャルウェハに存在するヒュージダウンフォールを識別し、識別工程で識別したヒュージダウンフォールに対して、プローブを押し付けることでヒュージダウンフォールを除去した。本実施例では、プローブは石英からなるプローブを用いた。本実施例では、表面検査装置として、SICAを用いて、SiCエピタキシャルウェハの表面の高さを測定した。
本実施例では、除去工程を行った箇所と除去工程を行っていない箇所とでは、高さが24μm異なった。
11 三角形の欠陥
12 基準面
13 ヒュージダウンフォール
A、B、C 頂点
Claims (7)
- SiCエピタキシャルウェハのヒュージダウンフォールを識別する、識別工程と、前記識別工程で識別したヒュージダウンフォールを除去する、除去工程と、を有し、
前記識別工程は、SiCエピタキシャルウェハ表面の三角形の欠陥を特定する、第1工程と、前記三角形の欠陥のうち、ヒュージダウンフォールを有する欠陥を抽出する、第2工程と、を有し、
前記第2工程は、
微分干渉顕微鏡を用いて、前記三角形の欠陥の3辺のそれぞれの基準面に対する第1コントラスト比、第2コントラスト比、及び第3コントラスト比を求める、コントラスト比決定工程と、
前記第1コントラスト比、前記第2コントラスト比、及び前記第3コントラスト比と比較して、前記基準面に対するコントラスト比が大きい又は小さい特定部分をヒュージダウンフォールとして検出する、ヒュージダウンフォール検出工程と、を有し、
前記特定部分は、
コントラスト比が、前記第1コントラスト比、前記第2コントラスト比、及び前記第3コントラスト比のうちの1より大きな値を示すいずれのコントラスト比よりも5%以上大きい、又は、前記第1コントラスト比、前記第2コントラスト比、及び前記第3コントラスト比のうちの1より小さい値を示すいずれのコントラスト比よりも5%以上小さい場合に、ヒュージダウンフォールとして検出する、欠陥除去方法。 - 前記除去工程は、モース硬度が5以上のプローブを、ヒュージダウンフォールに押し付ける、請求項1に記載の欠陥除去方法。
- 前記除去工程は、レーザー又はビームをヒュージダウンフォールに照射する、請求項1に記載の欠陥除去方法。
- 前記除去工程は、ヒュージダウンフォールにガス及び液体及び/または固体を同時に噴射する、請求項1に記載の欠陥除去方法。
- 前記除去工程は、前記ヒュージダウンフォール付近に対向電極を設置し、放電または電気分解を行う、請求項1に記載の欠陥除去方法。
- 前記除去工程は、ヒュージダウンフォールをウェットエッチングする、請求項1に記載の欠陥除去方法。
- SiCウェハ上にエピタキシャル膜を成膜する工程と、
請求項1から6のいずれかに記載の欠陥除去方法を行う工程と、を有する、SiCエピタキシャルウェハの製造方法。
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US20240145229A1 (en) * | 2021-03-12 | 2024-05-02 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Silicon carbide substrate and method of manufacturing silicon carbide substrate |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011211035A (ja) | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Lasertec Corp | 検査装置並びに欠陥分類方法及び欠陥検出方法 |
JP2018041942A (ja) | 2016-08-31 | 2018-03-15 | 昭和電工株式会社 | SiCエピタキシャルウェハ及びその製造方法、並びに、欠陥識別方法 |
JP2018039714A (ja) | 2016-08-31 | 2018-03-15 | 昭和電工株式会社 | SiCエピタキシャルウェハ及びその製造方法、並びに、ラージピット欠陥検出方法、欠陥識別方法 |
JP2018098394A (ja) | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 昭和電工株式会社 | 半導体ウェハの評価方法 |
-
2018
- 2018-11-16 JP JP2018215724A patent/JP7204436B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011211035A (ja) | 2010-03-30 | 2011-10-20 | Lasertec Corp | 検査装置並びに欠陥分類方法及び欠陥検出方法 |
JP2018041942A (ja) | 2016-08-31 | 2018-03-15 | 昭和電工株式会社 | SiCエピタキシャルウェハ及びその製造方法、並びに、欠陥識別方法 |
JP2018039714A (ja) | 2016-08-31 | 2018-03-15 | 昭和電工株式会社 | SiCエピタキシャルウェハ及びその製造方法、並びに、ラージピット欠陥検出方法、欠陥識別方法 |
JP2018098394A (ja) | 2016-12-14 | 2018-06-21 | 昭和電工株式会社 | 半導体ウェハの評価方法 |
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