JP7190962B2 - 露光装置および露光方法 - Google Patents
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Description
フォーカス誤差電圧=(VA+VB)-(VC+VD) ・・・式(1)
図1は、本発明の第1の実施形態に係る露光装置10の構成例を示す図である。本実施形態に係る露光装置10は、原盤1にレーザー光を照射してパターンを露光形成するものである。図1において、図7と同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
ERR信号=(VA+VB)-(VC+VD) ・・・式(2)
SUM信号=VA+VB+VC+VD ・・・式(3)
図4は、本発明の第2の実施形態に係る露光装置10Aの構成例を示す図である。図4において、図1と同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
図5は、本発明の第3の実施形態に係る露光装置10Bの構成例を示す図である。図5において、図1と同様の構成には同じ符号を付し、説明を省略する。
図6は、本発明の第4の実施形態に係る露光装置10Cの構成例を示す図である。図6において、図4,5と同様の構成については同じ符号を付し、説明を省略する。
まず、レーザー光の照射によりパターンを露光形成するための原盤として、ガラス製で円筒状の原盤を用意した。原盤の半径は140mmであり、長さは500mmであった。また、原盤の厚みばらつきは、500μmであった。また、円筒状の原盤の表面形状誤差は40μmp-pであった。
本実施例では、図1を参照して説明した露光装置10を用いて、用意した原盤にパターンを露光形成した。露光の際のスピンドルモーター11の回転速度は900rpmとした。また、円筒状の原盤の軸方向に沿ったオプティカルピックアップのスライド速度は3μm/sec.とした。また、レーザー光源としては、波長405nmのレーザー光を出射するレーザーダイオードを用いた。また、VCMアクチュエーターの感度は4mm/Aであり、変位のストロークは±400μmであった。
本実施例では、図4を参照して説明した露光装置10Aを用いて、実施例1と同じ条件で、用意した原盤にパターンを露光形成した。
本実施例では、図5を参照して説明した露光装置10Bを用いて、実施例1と同じ条件で、用意した原盤にパターンを露光形成した。
本実施例では、図6を参照して説明した露光装置10Cを用いて、実施例1と同じ条件で、用意した原盤にパターンを露光形成した。
本比較例では、図7を参照して説明した露光装置10を用いて、実施例1と同じ条件で、用意した原盤にパターンを露光形成した。
本比較例では、補助ステージの位置の制御を行わずに、フォーカスオフセットを用いたフォーカス制御のみを行い、用意した原盤にパターンを露光形成した。
11 スピンドルモーター
12 オプティカルピックアップ
121 レーザー光源
122 コリメータレンズ
123 偏光ビームスプリッタ
124 対物レンズ124
125 アクチュエーター
126 シリンドリカルレンズ
13 光センサー
14 誤差演算部
15,15B 減算器
16 制御演算部
17 増幅部
18 光学ヘッド
19,21 補助ステージ
22 電流検出部
23 LPF
24 減算器
25,25A 補助ステージ制御部
31 加算器
Claims (8)
- 載置された原盤にレーザー光を照射してパターンを露光形成する露光装置であって、
前記レーザー光を出射し、前記レーザー光のフォーカスを調整可能な光源装置と、
前記光源装置から出射されるレーザー光のフォーカスを制御する制御演算部と、
前記光源装置が載置され、前記原盤に向かう方向に位置を調整可能な補助ステージと、
前記補助ステージの位置を制御する補助ステージ制御部と、を備え、
前記光源装置は、
前記レーザー光を前記原盤に出射する対物レンズと、
駆動電流に応じて前記対物レンズを変位させるアクチュエーターとを備え、
前記制御演算部は、前記駆動電流を制御し、
前記補助ステージ制御部は、前記アクチュエーターの駆動電流に応じて、前記補助ステージの位置を制御する、露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記レーザー光のフォーカス誤差に応じた出力を行う誤差演算部と、
前記レーザー光が前記原盤の表面上で合焦している状態での前記誤差演算部からの出力に相当する目標値と、前記原盤の表面粗さ、前記原盤の傾きおよび前記原盤の偏心の少なくとも1つに応じた、前記原盤の表面と前記光源装置との相対的な位置関係を示す総合表面形状データに基づき生成された補正信号に基づくオフセット値とを加算する加算器と、をさらに備え、
前記制御演算部は、前記加算器による加算値と前記誤差演算部の出力との差分に基づき、前記アクチュエーターの駆動電流を制御する、露光装置。 - 載置された原盤にレーザー光を照射してパターンを露光形成する露光装置であって、
前記レーザー光を出射し、前記レーザー光のフォーカスを調整可能な光源装置と、
前記光源装置から出射されるレーザー光のフォーカスを調整する制御演算部と、
前記光源装置が載置され、前記原盤に向かう方向に位置を調整可能な補助ステージと、
前記補助ステージの位置を制御する補助ステージ制御部と、を備え、
前記補助ステージ制御部は、予め測定された、前記原盤の表面粗さ、前記原盤の傾きおよび前記原盤の偏心の少なくとも1つに応じた、前記原盤の表面と前記光源装置との相対的な位置関係を示す総合表面形状データに基づき、前記補助ステージの位置を制御する、露光装置。 - 請求項3に記載の露光装置において、
前記レーザー光のフォーカス誤差に応じた出力を行う誤差演算部と、
前記レーザー光が前記原盤の表面上で合焦している状態での前記誤差演算部からの出力に相当する目標値と、前記総合表面形状データに基づき生成された補正信号に基づくオフセット値とを加算する加算器と、をさらに備え、
前記制御演算部は、前記加算器による加算値と前記誤差演算部の出力との差分に基づき、前記レーザー光のフォーカスを制御する、露光装置。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記原盤は、円筒状または円柱状の原盤である、露光装置。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記原盤は、平板状の原盤である、露光装置。 - レーザー光を出射し、前記レーザー光のフォーカスを調整可能な光源装置を備え、載置された原盤に前記レーザー光を照射してパターンを露光形成する露光装置による露光方法であって、
前記露光装置は、前記光源装置が載置され、前記原盤に向かう方向に位置を調整可能な補助ステージを備え、
前記光源装置は、
前記レーザー光を前記原盤に出射する対物レンズと、
駆動電流に応じて前記対物レンズを変位させるアクチュエーターとを備え、
前記アクチュエーターの駆動電流に応じて、前記補助ステージの位置を制御する、露光方法。 - レーザー光を出射し、前記レーザー光のフォーカスを調整可能な光源装置を備え、載置された原盤に前記レーザー光を照射してパターンを露光形成する露光装置による露光方法であって、
前記露光装置は、前記光源装置が載置され、前記原盤に向かう方向に位置を調整可能な補助ステージを備え、
予め測定された、前記原盤の表面粗さ、前記原盤の傾きおよび前記原盤の偏心の少なくとも1つに応じた、前記原盤の表面と前記光源装置との相対的な位置関係を示す総合表面形状データに基づき、前記補助ステージの位置を制御する、露光方法。
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