JP7190065B2 - 発光装置、光源ユニット、光源装置、および光ファイバレーザ - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態の発光装置1Aを示す側面図であり、図2は、発光装置1Aを示す平面図である。
図1,2に示されるように、発光装置1Aは、発光モジュール10と、第一光学素子41Aと、第二光学素子42Aと、第三光学素子43Aと、を備えている。
発光素子32から出射されたレーザ光Lは、第一光学素子41A、第二光学素子42A、および第三光学素子43Aをこの順に経由し、少なくともZ方向およびY方向でコリメートされる。第一光学素子41A、第二光学素子42A、および第三光学素子43Aは、いずれもケース20外に設けられている。
図3は、第2実施形態の発光装置1Bを示す側面図であり、図4は、発光装置1Bを示す平面図である。
図5は、第3実施形態の発光装置1Cを示す側面図であり、図6は、発光装置1Cを示す平面図である。
[光源ユニットの構成]
図7は、複数の第3実施形態の発光装置1Cを備えた第4実施形態の光源ユニット100A(100)の平面図であり、図8は、図7のVIII-VIII断面図である。なお、図8において、光フィルタ102、ミラー103、および集光レンズ104,105は、側面図として示されている。
図11は、第5実施形態の光源ユニット100B(100)の一部の平面図であって、第一光学素子41Cの取付構造を示す図である。また、図12は、第一光学素子41Cおよびポスト101c、すなわち第一光学素子41Cの取付構造を、X方向に見た背面図である。図11,12に示される第一光学素子41Cの取付構造を除き、光源ユニット100Bは、第4実施形態の光源ユニット100Aと同様の構成を備えている。
図13は、第6実施形態の第一光学素子41Cおよびポスト101c、すなわち第一光学素子41Cの取付構造を、X方向に見た背面図である。図13に示される第一光学素子41Cの取付構造を除き、光源ユニット100C(100)は、第4実施形態の光源ユニット100Aと同様の構成を備えている。
図14は、第7実施形態の光源ユニット100D(100)の概略構成図であって、光源ユニット100Dの内部をZ方向の反対方向に見た平面図である。
図16は、第8実施形態の光源ユニット100E(100)に含まれる遮蔽部101d2の側面図(一部断面図)である。図15に示される遮蔽部101d1に替えて図16に示される遮蔽部101d2が設けられている点を除き、光源ユニット100Eは、第7実施形態の光源ユニット100Dと同様の構成を備えている。
図17は、第9実施形態の光源ユニット100F(100)に含まれるサブユニット100a1(100a)の平面図である。図14に示されるサブユニット100aに替えて、図17に示されるサブユニット100aが設けられている点を除き、光源ユニット100Fは、第7実施形態の光源ユニット100Dと同様の構成を備えている。なお、図17には、アレイA1のサブユニット100a1が示されているが、アレイA2のサブユニット100a2も、図17と同様の構成、すなわち、図17の構成と鏡像関係にある構成を有している。
図19は、第10実施形態の光源ユニット100G(100)に含まれるサブユニット100aの平面図である。図14に示されるサブユニット100aに替えて、図19に示されるサブユニット100aが設けられている点を除き、光源ユニット100Gは、第7実施形態の光源ユニット100Dと同様の構成を備えている。なお、図19には、アレイA1のサブユニット100a1が示されているが、アレイA2のサブユニット100a2も、図17と同様の構成、すなわち、図19の構成と鏡像関係にある構成を有している。
[光源装置、光ファイバレーザの構成]
図20は、上記第4~第10実施形態のいずれかの光源ユニット100が実装された第11実施形態の光源装置110の構成図である。光源装置110は、励起光源として、複数の光源ユニット100を備えている。複数の光源ユニット100から出射された光(レーザ光)は、光ファイバ107を介して光結合部としてのコンバイナ90に伝搬される。光ファイバ107の出力端は、複数入力1出力のコンバイナ90の複数の入力ポートにそれぞれ結合されている。なお、光源装置110は、複数の光源ユニット100を有するものに限定されるものではなく、少なくとも1つの光源ユニット100を有していればよい。
図21は、図20の光源装置110が実装された光ファイバレーザ200の構成図である。光ファイバレーザ200は、図20に示された光源装置110およびコンバイナ90と、希土類添加光ファイバ130と、出力側光ファイバ140と、を備える。希土類添加光ファイバ130の入力端及び出力端には、それぞれ高反射FBR120,121(fiber brag grating)が設けられている。
10…発光モジュール(突出部)
11…窓部材
20…ケース
21…壁部材
21a…ベース
21b…開口部
21c…頂面
21d…側面
21e…前面
21f…角部
22…窓部材
30…発光ユニット
31…サブマウント
31a…頂面
32…発光素子
41A,41C…第一光学素子
41a…入射面
41b…出射面
41d…張出部
41d1…端面
42A…第二光学素子
42a…入射面
42b…出射面
43A,43B…第三光学素子
43a…入射面
43b…出射面
50…接合部
90…コンバイナ
100,100A~100G…光源ユニット
100a…サブユニット
100a1…サブユニット(第一サブユニット)
100a2…サブユニット(第二サブユニット)
101…ベース
101a…底面
101b…表面
101c…ポスト(突出部)
101d1,101d2,101d3…遮蔽部
101da…反射面(吸収面)
102…光フィルタ
103…ミラー
104,105…集光レンズ
106…ハウジングベース
106a…ファイバ支持部
107…光ファイバ
107a…入力部
108…光合成部
108a…コンバイナ
108b…ミラー
108c…1/2波長板
109…冷媒通路
109a…入口
109b…出口
110…光源装置
120,121…高反射FBR
130…希土類添加光ファイバ
140…出力側光ファイバ
200…光ファイバレーザ
Ax…中心軸
A1,A2…アレイ
C…冷媒
L…レーザ光
Lv…レーザ光
Ll…漏れ光
Pcy…集束点
Pcz…集束点
Vc1,Vc2,Vc3…仮想中心面
Wz,Wz1,Wz2…ビーム幅
Wyc…(コリメートされた)ビーム幅
Wzc…(コリメートされた)ビーム幅
X…方向
X1…方向(第一方向)
X2…方向(第一方向の反対方向)
Y…方向
Z…方向
Claims (20)
- 速軸と遅軸とを有しレーザ光を出射する発光素子と、
前記発光素子を収容し、前記発光素子から出射されたレーザ光を通す窓が設けられたケースと、
当該ケース外に設けられ、一つの前記発光素子からのレーザ光のみが入射する入射面と出射面とを有した一つの光学素子として構成され、前記窓を通り進むにつれて速軸方向でのビーム幅が拡がるレーザ光が前記入射面に入射し、前記出射面から進むにつれて前記速軸方向でのビーム幅が狭まるレーザ光を出射する第一光学素子と、
前記第一光学素子を経由したレーザ光を、前記速軸方向でのビーム幅が前記第一光学素子の入射面における前記速軸方向でのビーム幅よりも狭い状態で、前記速軸方向でコリメートし、前記第一光学素子による前記速軸方向でのレーザ光の集束点よりも当該第一光学素子の近くに位置された、第二光学素子と、
前記第一光学素子を経由し進むにつれて遅軸方向でのビーム幅が拡がるレーザ光を前記遅軸方向でコリメートする第三光学素子と、を備えた、発光装置。 - 前記第一光学素子は、少なくとも前記速軸方向において凸レンズであり、
前記第二光学素子は、少なくとも前記速軸方向において凹レンズである、請求項1に記載の発光装置。 - 前記第一光学素子は、レーザ光の速軸方向と交差した仮想中心面に対する面対称形状を有したレンズである、請求項1または2に記載の発光装置。
- 前記第一光学素子は、レーザ光の光軸に沿う中心軸に対する軸対称形状を有したレンズである、請求項1~3のうちいずれか一つに記載の発光装置。
- 前記第三光学素子は、前記第一光学素子と前記第二光学素子との間に位置された、請求項4に記載の発光装置。
- レーザ光の光軸方向に略沿う表面を有したベースを備え、
前記第一光学素子および前記第二光学素子は、前記表面上に位置し、
前記第一光学素子および前記第二光学素子のうち少なくとも一方は、前記表面から突出した突出部に、接合部を介して固定された、請求項1~5のうちいずれか一つに記載の発光装置。 - 前記第一光学素子および前記第二光学素子のうち少なくとも一方は、前記突出部に、複数箇所でそれぞれ前記接合部を介して固定された、請求項6に記載の発光装置。
- 前記接合部は、前記光軸に沿う方向において、前記第一光学素子および前記第二光学素子のうち少なくとも一方と、前記突出部との間に介在した、請求項6または7に記載の発光装置。
- 前記接合部は、前記光軸と交差する方向において、前記第一光学素子および前記第二光学素子のうち少なくとも一方と、前記突出部との間に介在した、請求項6~8のうちいずれか一つに記載の発光装置。
- 前記突出部は、前記発光素子である、請求項6~9のうちいずれか一つに記載の発光装置。
- 前記接合部に向かう前記レーザ光の漏れ光を遮る遮蔽部を備えた、請求項6~10のうちいずれか一つに記載の発光装置。
- 前記遮蔽部は、前記漏れ光を当該漏れ光の入射方向の反対方向から外れた方向に反射する反射部を有した、請求項11に記載の発光装置。
- 前記遮蔽部は、前記漏れ光のエネルギを吸収する吸収部を有した、請求項11または12に記載の発光装置。
- 前記第一光学素子は、前記発光素子に固定された、請求項1~13のうちいずれか一つに記載の発光装置。
- 前記ケースは気密封止されている、請求項1~14のうちいずれか一つに記載の発光装置。
- 請求項1~15のうちいずれか一つに記載の発光装置と、
前記発光装置から出射された光を一つの光ファイバの入力部へ導く光学部品と、
を備えた、光源ユニット。 - 前記光源ユニットは、
第一方向に向けてレーザ光を出射する前記発光素子と、当該発光素子からのレーザ光を前記第一方向に向けて透過する前記第一光学素子および前記第二光学素子と、を含む第一サブユニットと、
前記第一サブユニットから前記第一方向に離れて位置し、前記第一方向の反対方向に向けてレーザ光を出射する前記発光素子と、当該発光素子からのレーザ光を前記第一方向の反対方向に向けて透過する前記第一光学素子および前記第二光学素子と、を含む第二サブユニットと、
前記第一サブユニットからの前記レーザ光の漏れ光および前記第二サブユニットからの前記レーザ光の漏れ光のうち少なくとも一方の漏れ光を遮蔽する遮蔽部と、
を備えた、
請求項16に記載の光源ユニット。 - 前記遮蔽部は、前記第一サブユニットと前記第二サブユニットとの間に位置した、請求項17に記載の光源ユニット。
- 請求項16~18のうちいずれか一つに記載の光源ユニットを備えた、光源装置。
- 請求項19に記載の光源装置と、
前記光源装置から出射されたレーザ光を増幅する光増幅ファイバと、
を備えた、光ファイバレーザ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001516473A (ja) | 1998-01-09 | 2001-09-25 | イェーノプティク アクチエンゲゼルシャフト | 一方が他方の上に配置される1つ以上のハイパワーダイオードレーザーの光ビームのバランスをとるための光学配置構成 |
JP2003294991A (ja) | 2002-03-29 | 2003-10-15 | Ngk Insulators Ltd | 光学部品 |
JP2004006641A (ja) | 2002-01-28 | 2004-01-08 | Fujifilm Electronic Imaging Ltd | レーザダイオードコリメータシステム |
JP2007199657A (ja) | 2005-12-28 | 2007-08-09 | Kyocera Corp | 光配線モジュール |
JP2010186735A (ja) | 2008-09-19 | 2010-08-26 | Komatsu Ltd | 極端紫外光源装置、極端紫外光源装置用レーザ光源装置及び極端紫外光源装置用レーザ光源の調整方法 |
JP2012508453A (ja) | 2008-11-04 | 2012-04-05 | マサチューセッツ インスティテュート オブ テクノロジー | 2次元レーザ素子の外部キャビティ1次元多波長ビーム結合 |
US20170235057A1 (en) | 2016-02-16 | 2017-08-17 | Nlight, Inc. | Passively aligned single element telescope for improved package brightness |
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---|---|---|---|---|
JP2001516473A (ja) | 1998-01-09 | 2001-09-25 | イェーノプティク アクチエンゲゼルシャフト | 一方が他方の上に配置される1つ以上のハイパワーダイオードレーザーの光ビームのバランスをとるための光学配置構成 |
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JP2003294991A (ja) | 2002-03-29 | 2003-10-15 | Ngk Insulators Ltd | 光学部品 |
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