JP7186071B2 - レーザ発振器及びレーザ加工機 - Google Patents
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Description
第1実施形態において、前記カプラは、前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換するコリメートレンズと、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が平面、射出面が凹状の円錐面である凹アキシコン面となっている平凹アキシコンレンズと、前記平凹アキシコンレンズより射出されたレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が凸状の円錐面である凸アキシコン面、射出面が平面となっている平凸アキシコンレンズと、前記平凸アキシコンレンズより射出されたレーザビームを集束させて、前記プロセスファイバのコアに入射させる集束レンズとを有する。
第1実施形態において、前記平凹アキシコンレンズの前記射出面と前記平凸アキシコンレンズの前記入射面とが向かい合い、前記平凹アキシコンレンズの前記射出面と前記平凸アキシコンレンズの前記入射面とは傾斜角度が互いに同じ円錐面であり、前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとのうちの少なくとも一方は光軸方向に移動自在であり、前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの間隔が調整可能に構成されている。
第1実施形態において、前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの間隔が所定の距離である前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとが離隔した状態で、前記平凹アキシコンレンズは、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームを発散光に変換し、前記平凸アキシコンレンズは、前記平凹アキシコンレンズより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換し、前記集束レンズは、前記平凸アキシコンレンズより射出された平行光のレーザビームを集束させて、リング状のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記コアに結像した状態で入射させる。
第1実施形態において、前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとを近接させた状態で、前記平凹アキシコンレンズ及び前記平凸アキシコンレンズは、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームをそのまま透過させ、前記集束レンズは、前記平凸アキシコンレンズより射出された平行光のレーザビームを集束させて、ガウシアン型のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記コアに結像した状態で入射させる。
本発明の第2実施形態は、レーザビームを発振するレーザ発振部と、前記レーザ発振部より射出されたレーザビームを伝送するフィーディングファイバと、前記フィーディングファイバより射出されたガウシアン型のビームプロファイルを有する発散光のレーザビームが入射されるカプラと、前記カプラより射出されたレーザビームが入射される、少なくともインナコア及びアウタコアを有するマルチクラッドファイバよりなるプロセスファイバとを備えるレーザ発振器を提供する。
第2実施形態において、前記カプラは、前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームが入射される、光軸方向に移動自在のコリメートレンズと、前記コリメートレンズより射出されたレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が平面、射出面が凹状の円錐面である凹アキシコン面となっている平凹アキシコンレンズと、前記平凹アキシコンレンズより射出されたレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が凸状の円錐面である凸アキシコン面、射出面が平面となっている平凸アキシコンレンズと、前記平凸アキシコンレンズより射出されたレーザビームを集束させて前記プロセスファイバに入射させる、光軸方向に移動自在の集束レンズとを有する。
第2実施形態において、前記平凹アキシコンレンズの前記射出面と前記平凸アキシコンレンズの前記入射面とが向かい合い、前記平凹アキシコンレンズの前記射出面と前記平凸アキシコンレンズの前記入射面とは傾斜角度が互いに同じ円錐面であり、前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとのうちの少なくとも一方は光軸方向に移動自在であり、前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの間隔が調整可能に構成されている。
第2実施形態において、前記コリメートレンズが、前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換する第1の位置に位置し、前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの間隔が所定の距離である前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとが離隔した状態で、前記平凹アキシコンレンズは、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームを発散光に変換し、前記平凸アキシコンレンズは、前記平凹アキシコンレンズより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換する。
第2実施形態において、前記集束レンズは、第2の位置に位置して、前記平凸アキシコンレンズより射出された平行光のレーザビームを集束させて、リング状のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記インナコアに結像した状態で入射させる。
第2実施形態において、前記コリメートレンズが前記第1の位置よりも前記フィーディングファイバ側の第3の位置に位置し、前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの間隔が前記所定の距離である前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとが離隔した状態で、前記平凹アキシコンレンズは、前記コリメートレンズより射出された発散光のレーザビームを発散光のレーザビームとして射出し、前記平凸アキシコンレンズは、前記平凹アキシコンレンズより射出された発散光のレーザビームを発散光のレーザビームとして射出する。
第2実施形態において、前記集束レンズは、前記第2の位置よりも前記フィーディングファイバ側の第4の位置に位置して、前記平凸アキシコンレンズより射出された発散光のレーザビームを集束させて、リング状のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記アウタコアに結像した状態で入射させる。
第2実施形態において、前記コリメートレンズが前記第1の位置に位置し、前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとを近接させた状態で、前記平凹アキシコンレンズ及び前記平凸アキシコンレンズは、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームをそのまま透過させる。
第2実施形態において、前記集束レンズは、前記第2の位置に位置して、前記平凸アキシコンレンズより射出された平行光のレーザビームを集束させて、ガウシアン型のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記インナコアに結像した状態で入射させる。
本発明の第3実施形態は、レーザビームを発振するレーザ発振部と、前記レーザ発振部より射出されたレーザビームを伝送するフィーディングファイバと、前記フィーディングファイバより射出されたガウシアン型のビームプロファイルを有する発散光のレーザビームが入射されるカプラと、前記カプラより射出されたレーザビームが入射されるプロセスファイバとを備えるレーザ発振器を提供する。
第3実施形態において、前記カプラは、前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換するコリメートレンズと、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が平面、射出面が凹状の円錐面である凹アキシコン面となっている平凹アキシコンレンズと、前記平凹アキシコンレンズより射出されたレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が凸状の円錐面である凸アキシコン面、射出面が凸面となっている両凸アキシコンレンズとを有する。
第3実施形態において、前記平凹アキシコンレンズの前記射出面と前記両凸アキシコンレンズの前記入射面とが向かい合い、前記平凹アキシコンレンズの前記射出面と前記両凸アキシコンレンズの前記入射面とは傾斜角度が互いに同じ円錐面であり、前記両凸アキシコンレンズは、前記平凹アキシコンレンズより射出されたレーザビームを集束させて、前記プロセスファイバのコアに結像した状態で入射させる集束レンズの機能を含み、前記平凹アキシコンレンズと前記両凸アキシコンレンズとの間隔が調整可能に構成されている。
第3実施形態において、前記平凹アキシコンレンズと前記両凸アキシコンレンズとの間隔が所定の距離である前記平凹アキシコンレンズと前記両凸アキシコンレンズとが離隔した状態で、前記平凹アキシコンレンズは、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームを発散光に変換し、前記両凸アキシコンレンズは、前記平凹アキシコンレンズより射出された発散光のレーザビームを集束させることにより、リング状のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記コアに結像した状態で入射させる。
第3実施形態において、前記平凹アキシコンレンズと前記両凸アキシコンレンズとを近接させた状態で、前記平凹アキシコンレンズの前記入射面と前記射出面及び前記両凸アキシコンレンズの前記入射面は、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームをそのまま透過させ、前記両凸アキシコンレンズは、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームを集束させることにより、ガウシアン型のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記コアに結像した状態で入射させる。
本発明の第4実施形態は、レーザビームを発振するレーザ発振部と、前記レーザ発振部より射出されたレーザビームを伝送するフィーディングファイバと、前記フィーディングファイバより射出されたガウシアン型のビームプロファイルを有する発散光のレーザビームが入射されるカプラと、前記カプラより射出されたレーザビームが入射されるプロセスファイバとを備えるレーザ発振器を提供する。
第4実施形態において、前記カプラは、前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が凸面、射出面が凹状の円錐面である凹アキシコン面となっている凸凹アキシコンレンズと、前記凸凹アキシコンレンズより射出されたレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が凸状の円錐面である凸アキシコン面、射出面が平面となっている平凸アキシコンレンズと、前記平凸アキシコンレンズより射出されたレーザビームを集束させて、前記プロセスファイバのコアに結像した状態で入射させる集束レンズとを有する。
第4実施形態において、前記凸凹アキシコンレンズの前記射出面と前記平凸アキシコンレンズの前記入射面とが向かい合い、前記凸凹アキシコンレンズの前記射出面と前記平凸アキシコンレンズの前記入射面とは傾斜角度が互いに同じ円錐面であり、前記凸凹アキシコンレンズは、前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換するコリメートレンズの機能を含み、前記凸凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの間隔が調整可能に構成されている。
第4実施形態において、前記凸凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの間隔が所定の距離である前記凸凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとが離隔した状態で、前記凸凹アキシコンレンズは、前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームを発散光のレーザビームとして射出し、前記平凸アキシコンレンズは、前記凸凹アキシコンレンズより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換し、前記集束レンズは、前記平凸アキシコンレンズより射出された平行光のレーザビームを集束させて、リング状のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記コアに結像した状態で入射させる。
第4実施形態において、前記凸凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとを近接させた状態で、前記凸凹アキシコンレンズ及び前記平凸アキシコンレンズは、前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換し、前記集束レンズは、前記平凸アキシコンレンズより射出された平行光のレーザビームを集束させて、ガウシアン型のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記コアに結像した状態で入射させる。
図3に示すように、カプラ23は、コリメートレンズ24及び集束レンズ26以外に、第3のレンズとして、平凹アキシコンレンズ41と平凸アキシコンレンズ42とを備える。また、カプラ23は、平凹アキシコンレンズ41及び平凸アキシコンレンズ42をそれぞれ光軸方向に移動させるための移動機構411及び421、移動機構411及び421をそれぞれ駆動する駆動部412及び422を備える。
図6に示す第2実施形態において、図3~図5に示す第1実施形態と同一部分には同一符号を付し、その説明を省略する。
図7に示す第3実施形態において、第1実施形態と同一部分には同一符号を付し、その説明を省略する。第3実施形態においては、平凸アキシコンレンズ42の代わりに両凸アキシコンレンズ426が用いられ、単独のレンズとしての集束レンズ26が省略されている。
図8に示す第4実施形態において、第1実施形態と同一部分には同一符号を付し、その説明を省略する。第4実施形態においては、平凹アキシコンレンズ41の代わりに凸凹アキシコンレンズ414が用いられ、単独のレンズとしてのコリメートレンズ24が省略されている。
図9に示す第5実施形態において、第2実施形態と同一部分には同一符号を付し、その説明を省略する。第5実施形態においては、コリメートレンズ24と集束レンズ26との間に、第3のレンズとして平凸アキシコンレンズ43が配置されている。平凸アキシコンレンズ43は、レーザビームの入射面43aが平面、射出面43bが凸状の円錐面である凸アキシコン面となっている。カプラ23には、コア及びクラッドが2層のプロセスファイバ27Mが接続されている。プロセスファイバ27Mは3層以上のマルチクラッドファイバであってもよい。
図10に示す第6実施形態において、第2実施形態と同一部分には同一符号を付し、その説明を省略する。第6実施形態においては、コリメートレンズ24と集束レンズ26との間に、第3のレンズとして平凹アキシコンレンズ41が配置されている。カプラ23には、2層のプロセスファイバ27Mが接続されている。プロセスファイバ27Mは3層以上のマルチクラッドファイバであってもよい。
11 加工ヘッド
20 レーザ発振器
21 レーザ発振部
22 フィーディングファイバ
23 カプラ
24 コリメートレンズ
25 ミラー
26 集束レンズ
27,27M,28 プロセスファイバ
41 平凹アキシコンレンズ
42,43 平凸アキシコンレンズ
50 制御部
100 レーザ加工機
241,261,411,421 移動機構
242,262,412,422 駆動部
414 凸凹アキシコンレンズ
426 両凸アキシコンレンズ
Claims (6)
- レーザビームを発振するレーザ発振部と、
前記レーザ発振部より射出されたレーザビームを伝送するフィーディングファイバと、
前記フィーディングファイバより射出されたガウシアン型のビームプロファイルを有する発散光のレーザビームが入射されるカプラと、
前記カプラより射出されたレーザビームが入射されるプロセスファイバと、
を備え、
前記カプラは、
前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換するコリメートレンズと、
前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が平面、射出面が凹状の円錐面である凹アキシコン面となっている平凹アキシコンレンズと、
前記平凹アキシコンレンズより射出されたレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が凸状の円錐面である凸アキシコン面、射出面が平面となっている平凸アキシコンレンズと、
前記平凸アキシコンレンズより射出されたレーザビームを集束させて、前記プロセスファイバのコアに入射させる集束レンズと、
を有し、
前記平凹アキシコンレンズの前記射出面と前記平凸アキシコンレンズの前記入射面とが向かい合い、前記平凹アキシコンレンズの前記射出面と前記平凸アキシコンレンズの前記入射面とは傾斜角度が互いに同じ円錐面であり、
前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとのうちの少なくとも一方は光軸方向に移動自在であり、前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの間隔が調整可能に構成されており、
前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの間隔が所定の距離である前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとが離隔した状態で、前記平凹アキシコンレンズは、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームを発散光に変換し、前記平凸アキシコンレンズは、前記平凹アキシコンレンズより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換し、前記集束レンズは、前記平凸アキシコンレンズより射出された平行光のレーザビームを集束させて、リング状のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記コアに結像した状態で入射させ、
前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとを近接させた状態で、前記平凹アキシコンレンズ及び前記平凸アキシコンレンズは、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームをそのまま透過させ、前記集束レンズは、前記平凸アキシコンレンズより射出された平行光のレーザビームを集束させて、ガウシアン型のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記コアに結像した状態で入射させる
レーザ発振器。 - 前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの少なくとも一方を移動自在とする移動機構と、
前記移動機構を駆動する駆動部と、
前記駆動部を制御して前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの少なくとも一方を光軸方向に移動させるよう制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの間隔を連続的に変更して、前記プロセスファイバの前記コアに入射されるレーザビームのビームプロファイルを連続的に変更する
請求項1に記載のレーザ発振器。 - レーザビームを発振するレーザ発振部と、
前記レーザ発振部より射出されたレーザビームを伝送するフィーディングファイバと、
前記フィーディングファイバより射出されたガウシアン型のビームプロファイルを有する発散光のレーザビームが入射されるカプラと、
前記カプラより射出されたレーザビームが入射される、少なくともインナコア及びアウタコアを有するマルチクラッドファイバよりなるプロセスファイバと、
を備え、
前記カプラは、
前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームが入射される、光軸方向に移動自在のコリメートレンズと、
前記コリメートレンズより射出されたレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が平面、射出面が凹状の円錐面である凹アキシコン面となっている平凹アキシコンレンズと、
前記平凹アキシコンレンズより射出されたレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が凸状の円錐面である凸アキシコン面、射出面が平面となっている平凸アキシコンレンズと、
前記平凸アキシコンレンズより射出されたレーザビームを集束させて前記プロセスファイバに入射させる、光軸方向に移動自在の集束レンズと、
を有し、
前記平凹アキシコンレンズの前記射出面と前記平凸アキシコンレンズの前記入射面とが向かい合い、前記平凹アキシコンレンズの前記射出面と前記平凸アキシコンレンズの前記入射面とは傾斜角度が互いに同じ円錐面であり、
前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとのうちの少なくとも一方は光軸方向に移動自在であり、前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの間隔が調整可能に構成されており、
前記コリメートレンズが、前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換する第1の位置に位置し、前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの間隔が所定の距離である前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとが離隔した状態で、前記平凹アキシコンレンズは、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームを発散光に変換し、前記平凸アキシコンレンズは、前記平凹アキシコンレンズより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換し、
前記集束レンズは、第2の位置に位置して、前記平凸アキシコンレンズより射出された平行光のレーザビームを集束させて、リング状のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記インナコアに結像した状態で入射させ、
前記コリメートレンズが前記第1の位置よりも前記フィーディングファイバ側の第3の位置に位置し、前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの間隔が前記所定の距離である前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとが離隔した状態で、前記平凹アキシコンレンズは、前記コリメートレンズより射出された発散光のレーザビームを発散光のレーザビームとして射出し、前記平凸アキシコンレンズは、前記平凹アキシコンレンズより射出された発散光のレーザビームを発散光のレーザビームとして射出し、
前記集束レンズは、前記第2の位置よりも前記フィーディングファイバ側の第4の位置に位置して、前記平凸アキシコンレンズより射出された発散光のレーザビームを集束させて、リング状のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記アウタコアに結像した状態で入射させ、
前記コリメートレンズが前記第1の位置に位置し、前記平凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとを近接させた状態で、前記平凹アキシコンレンズ及び前記平凸アキシコンレンズは、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームをそのまま透過させ、
前記集束レンズは、前記第2の位置に位置して、前記平凸アキシコンレンズより射出された平行光のレーザビームを集束させて、ガウシアン型のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記インナコアに結像した状態で入射させる
レーザ発振器。 - レーザビームを発振するレーザ発振部と、
前記レーザ発振部より射出されたレーザビームを伝送するフィーディングファイバと、
前記フィーディングファイバより射出されたガウシアン型のビームプロファイルを有する発散光のレーザビームが入射されるカプラと、
前記カプラより射出されたレーザビームが入射されるプロセスファイバと、
を備え、
前記カプラは、
前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換するコリメートレンズと、
前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が平面、射出面が凹状の円錐面である凹アキシコン面となっている平凹アキシコンレンズと、
前記平凹アキシコンレンズより射出されたレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が凸状の円錐面である凸アキシコン面、射出面が凸面となっている両凸アキシコンレンズと、
を有し、
前記平凹アキシコンレンズの前記射出面と前記両凸アキシコンレンズの前記入射面とが向かい合い、前記平凹アキシコンレンズの前記射出面と前記両凸アキシコンレンズの前記入射面とは傾斜角度が互いに同じ円錐面であり、
前記両凸アキシコンレンズは、前記平凹アキシコンレンズより射出されたレーザビームを集束させて、前記プロセスファイバのコアに結像した状態で入射させる集束レンズの機能を含み、
前記平凹アキシコンレンズと前記両凸アキシコンレンズとの間隔が調整可能に構成されており、
前記平凹アキシコンレンズと前記両凸アキシコンレンズとの間隔が所定の距離である前記平凹アキシコンレンズと前記両凸アキシコンレンズとが離隔した状態で、前記平凹アキシコンレンズは、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームを発散光に変換し、前記両凸アキシコンレンズは、前記平凹アキシコンレンズより射出された発散光のレーザビームを集束させることにより、リング状のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記コアに結像した状態で入射させ、
前記平凹アキシコンレンズと前記両凸アキシコンレンズとを近接させた状態で、前記平凹アキシコンレンズの前記入射面と前記射出面及び前記両凸アキシコンレンズの前記入射面は、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームをそのまま透過させ、前記両凸アキシコンレンズは、前記コリメートレンズより射出された平行光のレーザビームを集束させることにより、ガウシアン型のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記コアに結像した状態で入射させる
レーザ発振器。 - レーザビームを発振するレーザ発振部と、
前記レーザ発振部より射出されたレーザビームを伝送するフィーディングファイバと、
前記フィーディングファイバより射出されたガウシアン型のビームプロファイルを有する発散光のレーザビームが入射されるカプラと、
前記カプラより射出されたレーザビームが入射されるプロセスファイバと、
を備え、
前記カプラは、
前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が凸面、射出面が凹状の円錐面である凹アキシコン面となっている凸凹アキシコンレンズと、
前記凸凹アキシコンレンズより射出されたレーザビームが入射され、レーザビームの入射面が凸状の円錐面である凸アキシコン面、射出面が平面となっている平凸アキシコンレンズと、
前記平凸アキシコンレンズより射出されたレーザビームを集束させて、前記プロセスファイバのコアに結像した状態で入射させる集束レンズと、
を有し、
前記凸凹アキシコンレンズの前記射出面と前記平凸アキシコンレンズの前記入射面とが向かい合い、前記凸凹アキシコンレンズの前記射出面と前記平凸アキシコンレンズの前記入射面とは傾斜角度が互いに同じ円錐面であり、
前記凸凹アキシコンレンズは、前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換するコリメートレンズの機能を含み、
前記凸凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの間隔が調整可能に構成されており、
前記凸凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとの間隔が所定の距離である前記凸凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとが離隔した状態で、前記凸凹アキシコンレンズは、前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームを発散光のレーザビームとして射出し、前記平凸アキシコンレンズは、前記凸凹アキシコンレンズより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換し、前記集束レンズは、前記平凸アキシコンレンズより射出された平行光のレーザビームを集束させて、リング状のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記コアに結像した状態で入射させ、
前記凸凹アキシコンレンズと前記平凸アキシコンレンズとを近接させた状態で、前記凸凹アキシコンレンズ及び前記平凸アキシコンレンズは、前記フィーディングファイバより射出された発散光のレーザビームを平行光に変換し、前記集束レンズは、前記平凸アキシコンレンズより射出された平行光のレーザビームを集束させて、ガウシアン型のビームプロファイルを有するレーザビームを前記プロセスファイバの前記コアに結像した状態で入射させる
レーザ発振器。 - 請求項1~5のいずれか1項に記載のレーザ発振器と、
前記レーザ発振器より射出されて前記プロセスファイバによって伝送されたレーザビームによって板金を加工する加工機本体と、
を備えるレーザ加工機。
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---|---|---|---|
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