JP7165873B2 - 撮像処理回路、撮像システム、撮像処理方法及びプログラム - Google Patents

撮像処理回路、撮像システム、撮像処理方法及びプログラム Download PDF

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Description

本開示は撮像処理回路、撮像システム、撮像処理方法及びプログラムに関し、より詳細には、光子から電荷への変換率が可変である光電変換部と共に用いられる撮像処理回路、この撮像処理回路を備える撮像システム、撮像処理方法及びプログラムに関する。
従来、光電変換部を用いた光検出装置(撮像システム)が知られている(例えば、特許文献1)。特許文献1記載の光検出装置は、複数の単位画素セルを含む。単位画素セルは、光センサと、垂直信号線に接続された信号検出回路と、信号検出回路に接続されたアドレストランジスタと、キャパシタ及び転送トランジスタとを有する。キャパシタ及び転送トランジスタは、光センサとアドレストランジスタとの間に接続されている。アドレストランジスタをオフとした状態で、ある期間において転送トランジスタをオンとすると、その期間において光センサに入射した光量を反映した量の電荷がキャパシタに転送される。その後、転送トランジスタがオフの状態でアドレストランジスタをオンとすれば、電荷が転送トランジスタを介して転送され、キャパシタに蓄積された電荷量に対応する信号電圧(出力信号)が垂直信号線に読み出される。
特開2017-216459号公報
本開示は、出力信号の読出速度を向上させることができる撮像処理回路、撮像システム、撮像処理方法及びプログラムを提供することを目的とする。
本開示の一態様に係る撮像処理回路は、制限部を備える。前記制限部は、光子を電荷に変換し光子から電荷への変換率が可変である光電変換部の出力信号について、最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する。前記制限部は、前記変換率が第1の変換率の際の前記光電変換部の出力信号の最大値と最小値との差分を、前記変換率が第2の変換率の際の前記光電変換部の出力信号の最大値と最小値との差分よりも小さくする。前記第2の変換率は、前記第1の変換率と比較して小さい。
本開示の一態様に係る撮像システムは、前記撮像処理回路と、前記光電変換部と、を備える。
本開示の一態様に係る撮像処理方法は、制限処理を備える。前記制限処理は、光子を電荷に変換し光子から電荷への変換率が可変である光電変換部の出力信号について、最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する。前記制限処理は、前記変換率が第1の変換率の際の前記光電変換部の出力信号の最大値と最小値との差分を、前記変換率が第2の変換率の際の前記光電変換部の出力信号の最大値と最小値との差分よりも小さくする。前記第2の変換率は、前記第1の変換率と比較して小さい。
本開示の一態様に係るプログラムは、前記撮像処理方法を、1以上のプロセッサに実行させる。
図1は、一実施形態に係る撮像システムのブロック図である。 図2は、同上の撮像システムの動作例を示すタイムチャートである。 図3は、比較例に係る撮像システムのブロック図である。 図4Aは、一実施形態に係る撮像システムの動作例を示すタイムチャートである。図4Bは、比較例に係る撮像システムの動作例を示すタイムチャートである。 図5は、変形例1に係る撮像システムの画素回路のブロック図である。 図6は、変形例2に係る撮像システムのオフセット回路のブロック図である。
以下、実施形態に係る撮像処理回路及び撮像システムについて、図面を用いて説明する。ただし、下記の実施形態は、本開示の様々な実施形態の1つに過ぎない。下記の実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計等に応じて種々の変更が可能である。
(概要)
本実施形態の撮像システム1は、CCD(Charge Coupled Devices)イメージセンサ、又はCMOS(Complementary Metal-Oxide Semiconductor)イメージセンサ等の二次元イメージセンサとして用いられる。図1に示すように、撮像システム1は、複数(図1では4つ)の画素回路3と、複数(図1では2つ)のオフセット回路4と、複数(図1では2つ)の垂直信号線51と、電圧供給回路71と、垂直走査回路72と、オフセット制御部73とを備えている。また、撮像システム1は、複数(図1では2つ)の相関二重サンプリング回路81と、複数(図1では2つ)の増幅回路82とを備えている。さらに、撮像システム1は、撮像システム1全体の動作を制御するマイクロコントローラを備えている。
複数の画素回路3は、2次元アレイ状に配置されている。複数の画素回路3のうち、同じ列に属する2つ以上の画素回路3は、共通の垂直信号線51に電気的に接続されている。複数の画素回路3の各々は、光電変換部2を有している。光電変換部2は、光子を電荷に変換する。光電変換部2で光子から変換された電荷は、電圧の形で、出力信号Vo1として垂直信号線51へ出力される。出力信号Vo1は、垂直信号線51を介して、撮像システム1の外部の装置へと読み出される。
複数のオフセット回路4は、複数の垂直信号線51と一対一で対応している。各垂直信号線51には、対応するオフセット回路4が電気的に接続されている。オフセット回路4は、対応する垂直信号線51にオフセット電圧を出力する。これにより、オフセット回路4は、出力信号Vo1の最小値を制限する。言い換えると、オフセット回路4から垂直信号線51に出力されるオフセット電圧の大きさにより、出力信号Vo1の最小値が決まる。
撮像処理回路10は、少なくとも1つのオフセット回路4(制限部)を含む。本実施形態では、撮像処理回路10とは、複数の画素回路3の各々のうち光電変換部2以外の構成と、複数のオフセット回路4とを含む構成を指す。すなわち、撮像システム1は、撮像処理回路10と、複数の光電変換部2と、を備える。
光電変換部2は、アバランシェフォトダイオード(Avalanche Photo Diode)を含む。本実施形態では、光電変換部2は、アバランシェフォトダイオードのみからなる。光電変換部2では、光子から電荷への変換率が可変である。すなわち、アバランシェフォトダイオードに所定値(アバランシェ降伏電圧)以上の逆電圧が印加されると、アバランシェ降伏現象により、光子から電荷への変換率が著しく増加する。つまり、光電変換部2は、電荷を増倍させる機能を有している。なお、アバランシェフォトダイオードにおいて、アバランシェ降伏現象が発生している場合の光子から電荷への変換は、アバランシェ増倍と称される。
以下では、光電変換部2が電荷を増倍させている際の光子から電荷への変換率を、第1の変換率と称す。また、光電変換部2が電荷を増倍させていない際の光子から電荷への変換率を、第2の変換率と称す。すなわち、光電変換部2における光子から電荷への変換率は、第1の変換率と第2の変換率との間で可変である。第2の変換率は、第1の変換率と比較して小さい。
本実施形態では、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際に光電変換部2に光が照射されると、光の強弱に関係なく、出力信号Vo1は、オフセット回路4により制限されている最小値まで低下する。また、光電変換部2に光が照射されなくなった場合、又は、光電変換部2の露光を止めた場合には、出力信号Vo1は、後述する増幅素子33により制限されている最大値まで上昇する。
光電変換部2の変換率が第1の変換率の際には、光電変換部2が電荷を増倍させるので、光を高感度で検出できる。この際、出力信号Vo1に基づいて、光の有無を2値で表すことができる。一方で、光電変換部2の変換率が第2の変換率の際には、光電変換部2に入射する光量に応じて出力信号Vo1の大きさが最大値と最小値との間で変化するので、出力信号Vo1に基づいて、光電変換部2に入射する光量を測定可能である。つまり、光電変換部2の変換率が第2の変換率の際には、光量を2値よりも細かく表すことができる。
オフセット回路4(制限部)は、光電変換部2の出力信号Vo1について、最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する。オフセット回路4は、変換率が第1の変換率の際の光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値との差分を、変換率が第2の変換率の際の光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値との差分よりも小さくする。具体的には、オフセット回路4は、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際のオフセット電圧を、光電変換部2の変換率が第2の変換率の際のオフセット電圧よりも、大きくする。垂直信号線51に出力された出力信号Vo1の最小値は、オフセット電圧に等しくなる。すなわち、オフセット回路4(制限部)は、垂直信号線51の電圧の最小値に相当するオフセット電圧を制限する。オフセット回路4(制限部)は、オフセット電圧を調整することで、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際の出力信号Vo1の最小値を、変換率が第2の変換率の際の出力信号Vo1の最小値よりも大きくする。
このように、オフセット回路4(制限部)は、光電変換部2の変換率が大きいほど、光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値との差分を小さくする。
光電変換部2の出力信号Vo1の最小値は、垂直信号線51において制限される。つまり、オフセット回路4により制限された垂直信号線51の電圧の最小値(オフセット電圧)を出力信号Vo1が下回る場合、光電変換部2から出力される電荷の大きさは変化しないが、垂直信号線51に出力される出力信号Vo1が最小値まで引き上げられる。
また、上記のように、1つのオフセット回路4(制限部)が、2つ以上の光電変換部2の出力信号Vo1について、最大値と最小値とのうち少なくとも一方(本実施形態では最小値のみ)を制限する。つまり、各オフセット回路4は、垂直信号線51を介して自身と電気的に接続された2つ以上の光電変換部2の出力信号Vo1の最小値を制限する。本実施形態では、このようなオフセット回路4と2つ以上の光電変換部2との組が、複数組設けられている。各オフセット回路4は、垂直信号線51の電圧の最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限することで、出力信号Vo1の最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する。
本実施形態の撮像システム1によれば、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際は、光電変換部2の変換率が第2の変換率の際と比較して、出力信号Vo1の最大値と最小値との差分が小さい。そのため、出力信号Vo1が最大値又は最小値を始点として変化する場合の変化量が小さくなるので、変化に要する時間が短くなる。また、出力信号Vo1が最大値と最小値との中間値から最大値又は最小値まで変化する場合も、変化量が小さくなるので、変化に要する時間が短くなる。結果として、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際の出力信号Vo1の読出速度を向上させることができる。
また、光電変換部2の変換率が第2の変換率の際の光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値との差分は、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際の光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値との差分よりも大きい。そのため、光電変換部2の変換率が第2の変換率の際に測定できる光の階調を減らすことなく、変換率が第1の変換率の際の出力信号Vo1の読出速度を向上させることができる。
また、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際には、出力信号Vo1の最大値と最小値との差分が比較的小さいので、撮像システム1の消費電流の低減を図ることができる。
また、撮像システム1では、光電変換部2の出力信号Vo1について、最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する回路であるオフセット回路4が、画素回路3の外に設けられている。そのため、出力信号Vo1について、最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する回路が画素回路3に含まれている場合と比較して、1つ1つの画素回路3を小型化することができる。
オフセット回路4が光電変換部2の出力信号Vo1の最大値又は最小値を制限するタイミングは、本実施形態に例示されたタイミングに限らない。例えば、光電変換部2に光子が入力されて、画素回路3より出力信号Vo1が読み出されるタイミングの一定期間前から出力信号Vo1の最大値又は最小値を制限する方式を採用してもよい。また、画素回路3がリセット素子32と、増幅素子33と、選択素子34との3つのトランジスタを有して構成される方式等によれば、出力信号Vo1を読み出した後に一定期間出力信号Vo1の最大値又は最小値を制限する方式も可能となる。
また、本実施形態では、光が入射されることで生成される光電変換部2の出力信号Vo1は、初期値に対して電圧値が大きくなっているが、例えば、画素回路3をP型トランジスタで構成した場合などにおいては、光が入射されることで生成される光電変換部2の出力信号Vo1は、初期値に対して電圧値が小さくなる。この際にも、画素回路3の出力信号Vo1の最大値と最小値との差分を小さくする手段として、出力信号Vo1の最大値又は最小値を制限する構成は有効である。
(構成)
複数の画素回路3は、2次元アレイ状に配置されている。同じ行に属する2つ以上の画素回路3は、送り配線により電圧供給回路71に電気的に接続されている。同じ行に属する2つ以上の画素回路3は、送り配線により垂直走査回路72に電気的に接続されている。複数の画素回路3の複数の列は、複数の相関二重サンプリング回路81と一対一で対応している。同じ列に属する2つ以上の画素回路3は、送り配線により共通の、対応する相関二重サンプリング回路81に電気的に接続されている。各相関二重サンプリング回路81は、増幅回路82に電気的に接続されている。
以下では、特に断りの無い限り、複数の画素回路3のうち、1つの画素回路3に着目して説明する。
画素回路3は、光電変換部2と、転送素子31と、リセット素子32と、増幅素子33と、選択素子34と、これらを電気的に接続している配線とを含む。転送素子31、リセット素子32、増幅素子33及び選択素子34はそれぞれ、nチャネルMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)等の半導体スイッチング素子である。
光電変換部2(アバランシェフォトダイオード)のアノードは、電圧供給回路71に電気的に接続されている。光電変換部2のカソードは、転送素子31のソース端子に電気的に接続されている。転送素子31のドレイン端子は、ノード35を介して、リセット素子32のソース端子と、増幅素子33のゲート端子とに電気的に接続されている。ここで、ノード35は、画素回路3に含まれる配線上の点である。増幅素子33のソース端子は、選択素子34のドレイン端子に電気的に接続されている。選択素子34のソース端子は、垂直信号線51に電気的に接続されている。
電圧供給回路71(調整部)は、動作モードとして、第1のモードと、第2のモードと、を有している。電圧供給回路71は、第1のモードでは、光電変換部2にアバランシェ降伏電圧以上の逆起電圧を印加する。これにより、電圧供給回路71は、第1のモードでは、光電変換部2の変換率を第1の変換率にする。つまり、電圧供給回路71は、第1のモードでは、光電変換部2に電荷を増倍させる。一方で、電圧供給回路71は、第2のモードでは、光電変換部2にアバランシェ降伏電圧未満の逆起電圧を印加する。これにより、電圧供給回路71は、第2のモードでは、光電変換部2の変換率を第2の変換率にする。つまり、光電変換部2に印加する逆起電圧の大きさを変更することが、電圧供給回路71の動作モードの切替えに相当する。
撮像システム1は、第1のモードでは第2のモードよりも光を高感度で検出することができ、第2のモードでは光量を第1のモードよりも細かく測定することができる。すなわち、電圧供給回路71の動作モードを切り替えることで、撮像システム1をこの2つの用途に用いることができる。
転送素子31、リセット素子32及び選択素子34の各々のゲート端子には、垂直走査回路72から電圧信号が入力される。これにより、転送素子31、リセット素子32及び選択素子34の各々のオンオフが切り替わる。転送素子31がオンになると、光電変換部2で発生した電荷がノード35に転送される。リセット素子32のドレイン端子には、電圧供給回路71から所定の大きさのリセット電圧が印加されている。リセット素子32がオンになると、ノード35の電圧がリセット電圧に等しくなる。すなわち、ノード35の電圧がリセットされる。増幅素子33のドレイン端子には、電圧供給回路71から電源電圧が印加されている。増幅素子33がオンになると、増幅素子33は、ノード35の電圧を調整して選択素子34へ出力する。具体的には、増幅(調整)素子33は、ノード35の電圧を増幅若しくは減衰させた電圧、又は、ノード35の電圧と等しい電圧を、選択素子34へ出力する。選択素子34がオンになると、増幅素子33で調整された電圧が出力信号Vo1として垂直信号線51に出力される。
垂直信号線51に出力される出力信号Vo1の最大値は、増幅素子33のドレイン電圧により制限されている。言い換えると、増幅素子33のドレイン電圧の大きさにより、出力信号Vo1の最大値が決まる。
オフセット回路4は、第1の直流電流源41と、第2の直流電流源42と、スイッチ素子43と、スイッチ素子44と、これらを電気的に接続する配線とを有している。第1の直流電流源41のプラス端子は、グラウンドに電気的に接続されている。第1の直流電流源41のマイナス端子は、スイッチ素子43と接続点45とを介して垂直信号線51に電気的に接続されている。ここで、接続点45は、オフセット回路4に含まれる配線上の点である。第2の直流電流源42のプラス端子には、オフセット制御部73から所定の大きさの電圧が印加されている。第2の直流電流源42のマイナス端子は、スイッチ素子44と接続点45とを介して垂直信号線51に電気的に接続されている。第1の直流電流源41は、第2の直流電流源42と同じ大きさの電流を出力する。
スイッチ素子43、44の各々は、例えば、nチャネルMOSFET等の半導体スイッチング素子である。スイッチ素子43、44の各々のゲート端子には、オフセット制御部73から制御信号が入力される。これにより、スイッチ素子43、44の各々のオンオフが切り替わる。
ここで、スイッチ素子43には、オフセット制御部73から出力された制御信号がそのまま入力され、スイッチ素子44には、上記制御信号のハイレベルとローレベルとを反転させた信号が入力される。そのため、オフセット制御部73は、スイッチ素子43、44のうち一方をオンにしているとき、他方をオフにしている。オフセット制御部73がスイッチ素子43をオフにしスイッチ素子44をオンにしているときの垂直信号線51のオフセット電圧(略0V)は、オフセット制御部73がスイッチ素子43をオンにしスイッチ素子44をオフにしているときのオフセット電圧よりも小さい。その差分は、オフセット制御部73から第2の直流電流源42に印加されている電圧に等しい。
オフセット回路4(制限部)は、電圧供給回路71(調整部)の動作モードに応じて、光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する。本実施形態のオフセット回路4は、光電変換部2の出力信号Vo1の最小値を制限する。すなわち、電圧供給回路71の動作モードが第1のモードのとき、オフセット制御部73は、スイッチ素子43をオンにしスイッチ素子44をオフにする。一方で、電圧供給回路71の動作モードが第2のモードのとき、オフセット制御部73は、スイッチ素子43をオフにしスイッチ素子44をオンにする。これにより、オフセット回路4は、電圧供給回路71の動作モードが第1のモードのときの出力信号Vo1の最小値を、電圧供給回路71の動作モードが第2のモードのときの出力信号Vo1の最小値よりも大きくする。
(動作例)
以下、図2を参照して、撮像システム1の動作例を説明する。図2のグラフの左に付された符号vrd1、vrst1、vapd1、sigs1、sigr1、sigt1、vcsel、sigsel、FD1、bl1、sоt1はそれぞれ、図1に同じ符号が付された箇所の電圧を表す。
以下では、電圧供給回路71の動作モードが第1のモードと第2のモードとの間で一定周期で切り替わるとして説明する。具体的には、時点T1、T6の間では、電圧供給回路71は第2のモードで動作し、時点T7、T12の間では、電圧供給回路71は第1のモードで動作する。
撮像システム1は、出力信号Vo1の読み出しを、複数の画素回路3について時分割で行う。すなわち、2次元アレイ状に配置された複数の画素回路3について、行ごとに異なるタイミングで出力信号Vo1を出力させる。ここでは、1つの画素回路3に着目して説明する。
時点T1、T6間では、光電変換部2に印加されている電圧(vapd1)は、負の値であって、アバランシェ降伏電圧に対応する所定値よりも大きい。言い換えると、時点T1、T6間では、光電変換部2に印加されている逆起電圧は、アバランシェ降伏電圧よりも小さい。そのため、電圧供給回路71の動作モードは第2のモードである。そして、電圧供給回路71の動作モードが第2のモードであることからオフセット制御部73は、スイッチ素子43をオンにしスイッチ素子44をオフにするためのローレベル信号(sigsel)をオフセット回路4に出力している。これにより、垂直信号線51の電圧(bl1)の最小値は、「vss」となっている。つまり、画素回路3から垂直信号線51に出力された出力信号Vo1の最小値は、「vss」となっている。
時点T1、T2間では、転送素子31のゲート電圧(sigt1)がローレベルなので、光電変換部2で発生した電荷は蓄積される。また、リセット素子32のゲート電圧(sigr1)がハイレベルなので、ノード35の電圧(FD1)はリセット電圧(vrst)に固定されている。また、選択素子34のゲート電圧(sigs1)がハイレベルなので、垂直信号線51には、リセット電圧が出力される。厳密には、垂直信号線51の電圧(bl1)は、リセット電圧(vrst)から、増幅素子33のゲート・ソース間の閾値電圧vtを引いた値となる。ただし、増幅素子33の増幅率を1と仮定した。垂直信号線51の電圧(bl1)は、相関二重サンプリング回路81に入力される。
時点T2、T3間では、リセット素子32のゲート電圧(sigr1)がローレベルにされる。その後、時点T3、T4間では、転送素子31のゲート電圧(sigt1)がハイレベルなので、光電変換部2で発生した電荷がノード35へ転送され、増幅素子33及び選択素子34を経由して、出力信号Vo1として垂直信号線51に出力される。そのため、光電変換部2に光が照射されている場合は、垂直信号線51の電圧(bl1)は、光電変換部2に照射された光量に応じたノード35の電圧(vfds)から、閾値電圧vtを引いた値となる(図2の時点T3、T4間では、実線で示している)。また、光電変換部2に光が照射されていない場合は、垂直信号線51の電圧(bl1)は、光電変換部2の暗電流に相当する電圧(vfdb)から、閾値電圧vtを引いた値となる(図2の時点T3、T4間では、破線で示している)。
相関二重サンプリング回路81は、時点T1、T2間で垂直信号線51から入力された電圧と、時点T3、T4間で垂直信号線51から入力された電圧との差分電圧(vsn)を算出する。光電変換部2に入射する光量が大きいほど、差分電圧(vsn)が大きくなる。より詳細には、差分電圧(vsn)は、光電変換部2に入射する光量に比例する。
増幅回路82は、相関二重サンプリング回路81から出力された信号(sоt1)を増幅する。この信号(sоt1)は、差分電圧(vsn)の情報を含む。
時点T4、T5間では、転送素子31のゲート電圧(sigt1)と、リセット素子32のゲート電圧(sigr1)とがハイレベルにされる。これにより、光電変換部2(アバランシェフォトダイオード)が空乏化される。その後、時点T5、T6では、転送素子31のゲート電圧(sigt1)がローレベルにされる。
時点T6、T7間では、光電変換部2に印加されている電圧(vapd1)が低下させられる。その結果、時点T7、T12間では、光電変換部2に印加されている電圧(vapd1)は、負の値であって、アバランシェ降伏電圧に対応する所定値よりも小さい。言い換えると、時点T7、T12間では、光電変換部2に印加されている逆起電圧は、アバランシェ降伏電圧よりも大きい。そのため、電圧供給回路71の動作モードは第1のモードである。そして、電圧供給回路71の動作モードが第1のモードであることから、オフセット制御部73は、スイッチ素子43をオフにしスイッチ素子44をオンにするためのハイレベル信号(sigsel)をオフセット回路4に出力している。これにより、垂直信号線51の電圧(bl1)の最小値は、「vcs」となっている。つまり、画素回路3から垂直信号線51に出力された出力信号Vo1の最小値は、「vcs」となっている。「vcs」は、電圧供給回路71の動作モードが第2のモードのときの垂直信号線51の電圧(bl1)の最小値である「vss」よりも大きい。
時点T7、T12間では、時点T1、T6間と同様に、転送素子31、リセット素子32及び選択素子34の各々のゲート電圧のハイとローとが切り替えられる。以下、より詳細に説明する。
時点T7、T9間の動作は、時点T1、T3間の動作と同じなので説明を省略する。
時点T9、T10間では、時点T3、T4間と同様に、転送素子31のゲート電圧(sigt1)がハイレベルなので、光電変換部2で発生した電荷がノード35へ転送され、増幅素子33及び選択素子34を経由して、出力信号Vo1として垂直信号線51に出力される。ここで、光電変換部2(アバランシェフォトダイオード)には、アバランシェ降伏電圧以上の逆起電圧が印加されているので、光電変換部2に光が照射されている場合は、垂直信号線51の電圧(bl1)は、オフセット回路4により制限された最小値(vcs)となる(図2の時点T9、T10間では、実線で示している)。また、光電変換部2に光が照射されていない場合は、垂直信号線51の電圧(bl1)は、光電変換部2の暗電流に相当する電圧(vfdb)から、閾値電圧vtを引いた値となる(図2の時点T9、T10間では、破線で示している)。
相関二重サンプリング回路81は、時点T7、T8間で垂直信号線51から入力された電圧と、時点T9、T10間で垂直信号線51から入力された電圧との差分電圧(vsa)を算出する。光電変換部2に光が入射している場合は、差分電圧(vsa)は、オフセット制御部73からオフセット回路4の第2の直流電流源42に印加されている電圧(vcsel)により規定された一定値となる。
増幅回路82は、相関二重サンプリング回路81から出力された信号(sоt1)を増幅する。この信号(sоt1)は、差分電圧(vsa)の情報を含む。
時点T10、T12間の動作は、時点T4、T6間の動作と同じなので説明を省略する。
時点T12、T13間では、光電変換部2に印加されている電圧(vapd1)が増加させられる。その後、時点T0に戻る。時点T1になるまでに、光電変換部2に印加されている負の電圧(vapd1)は、アバランシェ降伏電圧に対応する所定値を超える。言い換えると、光電変換部2に印加されている逆起電圧は、アバランシェ降伏電圧を下回る。そのため、電圧供給回路71の動作モードは第2のモードとなる。
なお、ここでは、図2を参照して、電圧供給回路71の動作モードが第1のモードと第2のモードとの間で一定周期で切り替わるとして説明したが、電圧供給回路71の動作モードが第1のモードに固定されていてもよい。また、外部からの操作により、第1のモード又は第2のモードが選択されてもよい。
(比較例)
図3に、比較例に係る撮像システム1Pのブロック図を図示する。実施形態の撮像システム1と同様の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
撮像システム1Pでは、オフセット回路4Pの構成が実施形態のオフセット回路4と相違する。すなわち、オフセット回路4Pは、第1の直流電流源41のみを有している。そのため、オフセット回路4Pから垂直信号線51に出力されるオフセット電圧は、常に一定である。
図4Aに、図2の一部を再掲する。図4Bに、比較例に係る撮像システム1Pの動作例を示す。図4Bに示す動作例では、図2(実施形態)と同じタイミングで、転送素子31、リセット素子32及び選択素子34の各々のゲート電圧のハイとローとが切り替えられる。
図4Bの時点T7、T13間を参照すると、垂直信号線51の電圧(bl1)は、図2(図4A)の場合よりも低い電圧(vss)まで変化し得る。その結果、時点T9、T10間を参照すると、垂直信号線51に出力される出力信号Vo1の最小値は、光電変換部2の飽和光量に対応する電圧(vfda)から閾値電圧vtを引いた値となる。ここで、vss<vfda-vtの関係が成り立つ。
実施形態の撮像システム1では、光電変換部2が電荷を増倍させている場合(第1のモード時)に、図2の時点T9、T10間に示されるように、出力信号Vo1の最小値が「vss」よりも高い電圧に制限される。そのため、出力信号Vo1が最小値まで変化する場合の変化量が小さくなるので、変化に要する時間が短くなる。結果として、実施形態では、比較例と比較して、出力信号Vo1の読出速度を向上させることができる。
(変形例1)
次に、実施形態の変形例1について、図5を用いて説明する。実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
本変形例1は、実施形態の画素回路3に代えての画素回路3Aの構成に関する。画素回路3Aは、画素回路3の構成に加えて、クランプ回路36を有している。
クランプ回路36は、例えば、ダイオード361と、スイッチ素子362とを含む。スイッチ素子362は、例えば、nチャネルMOSFET等の半導体スイッチング素子である。ダイオード361のアノードは、ノード35に電気的に接続されている。ダイオード361のカソードは、スイッチ素子362のソース端子に電気的に接続されている。スイッチ素子362のドレイン端子には、電圧供給回路71から電圧が印加されている。スイッチ素子362のゲート端子は、垂直走査回路72に電気的に接続されている。
垂直走査回路72からの制御信号により、ゲート電圧がハイレベルになり、スイッチ素子362のドレイン・ソース間が導通すると、ノード35の電圧は、スイッチ素子362のドレイン電圧によりクランプされる。要するに、ノード35の電圧の最大値は、スイッチ素子362のドレイン電圧とダイオード361の順方向電圧との和となる。結果として、画素回路3Aから垂直信号線51に出力される出力信号Vo1の最大値が、クランプ回路36により制限される(クランプされる)。つまり、光電変換部2から出力される電荷が十分大きい場合、この電荷に応じた電圧が、ノード35の電圧の最大値まで引き下げられることにより、出力信号Vo1が引き下げられる。
ゲート電圧がローレベルになると、スイッチ素子362のドレイン・ソース間が導通しないので、ノード35の電圧はクランプされなくなる。
クランプ回路36(制限部)は、垂直走査回路72からの制御信号に基づいて、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際の出力信号Vo1の最大値を、変換率が第2の変換率の際の出力信号Vo1の最大値よりも小さくする。電圧供給回路71の動作モードが第1のモードのとき、クランプ回路36は、スイッチ素子362をオンにする。一方で、電圧供給回路71の動作モードが第2のモードのとき、クランプ回路36は、スイッチ素子362をオフにする。これにより、クランプ回路36は、電圧供給回路71の動作モードが第1のモードのときの出力信号Vo1の最大値を、電圧供給回路71の動作モードが第2のモードのときの出力信号Vo1の最大値よりも大きくする。
電圧供給回路71の動作モードが第1のモードで光電変換部2の変換率が第1の変換率の際に、出力信号Vo1の最大値が制限されることで、出力信号Vo1の最大値と最小値との差分が小さくなる。そのため、出力信号Vo1が最大値又は最小値を始点として変化する場合の変化量が小さくなるので、変化に要する時間が短くなる。また、出力信号Vo1が最大値と最小値との間の中間値から最大値又は最小値まで変化する場合も、変化量が小さくなるので、変化に要する時間が短くなる。結果として、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際の出力信号Vo1の読出速度を向上させることができる。
なお、本変形例1では、オフセット回路4から垂直信号線51に出力されるオフセット電圧の大きさは、一定であってもよい。つまり、図3に示した比較例のように、オフセット回路4は、少なくとも第1の直流電流源41を有していればよい。オフセット回路4とクランプ回路36とのうち少なくとも一方が、光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限すればよい。すなわち、出力信号Vo1の読出速度を向上させるためには、出力信号Vo1の最大値及び最小値の少なくとも一方を制限すればよい。
(変形例2)
次に、実施形態の変形例2について、図6を用いて説明する。実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
本変形例2は、実施形態のオフセット回路4に代えてのオフセット回路4Bの構成に関する。オフセット回路4Bは、第1の直流電流源41を有しているが、第2の直流電流源42を有していない。オフセット回路4Bは、第1の直流電流源41に加えて、スイッチ素子43と、スイッチ素子44とを有している。オフセット回路4Bは、スイッチ素子43、44をオンオフすることによって、垂直信号線51に出力されるオフセット電圧の大きさを切り替える。
スイッチ素子43の第1端は、第1の直流電流源41のプラス端子に電気的に接続されている。スイッチ素子43の第2端は、グラウンドに電気的に接続されている。スイッチ素子44の第1端は、第1の直流電流源41のプラス端子に電気的に接続されている。スイッチ素子44の第2端には、オフセット制御部73から所定の大きさの電圧(vcsel)が印加されている。第1の直流電流源41のマイナス端子は、垂直信号線51に電気的に接続されている。
オフセット制御部73は、スイッチ素子43、44のうち一方をオンにしているとき、他方をオフにしている。オフセット制御部73がスイッチ素子43をオフにしスイッチ素子44をオンにしているときの垂直信号線51のオフセット電圧は、オフセット制御部73がスイッチ素子43をオンにしスイッチ素子44をオフにしているときのオフセット電圧よりも小さくなる。その差分は、オフセット制御部73からスイッチ素子44の第2端に印加されている電圧に等しい。
電圧供給回路71の動作モードが第1のモードのとき、オフセット制御部73は、スイッチ素子43をオンにしスイッチ素子44をオフにする。一方で、電圧供給回路71の動作モードが第2のモードのとき、オフセット制御部73は、スイッチ素子43をオフにしスイッチ素子44をオンにする。これにより、オフセット回路4Bは、電圧供給回路71の動作モードが第1のモードのときの出力信号Vo1の最小値を、電圧供給回路71の動作モードが第2のモードのときの出力信号Vo1の最小値よりも大きくする。
また、オフセット回路4Bは、スイッチ素子46と、スイッチ素子47とを更に有している。オフセット回路4Bは、スイッチ素子43、44のオンオフを切り替えることと、スイッチ素子46、47のオンオフを切り替えることとのうち少なくとも一方により、垂直信号線51へ出力するオフセット電圧の大きさを変えることができる。
第1の直流電流源41には、スイッチ素子46がオンでスイッチ素子47がオフのときは、スイッチ素子46を介して第1の電圧(vba)が供給される。また、第1の直流電流源41には、スイッチ素子46がオフでスイッチ素子47がオンのときは、スイッチ素子47を介して第2の電圧(vbb)が供給される。第1の直流電流源41は、供給される電圧の大きさに応じて、出力する電流の大きさを変化させることにより、垂直信号線51へ出力するオフセット電圧の大きさを変える。そのため、オフセット回路4Bは、スイッチ素子43、44のオンオフの組み合わせと、スイッチ素子46、47のオンオフの組み合わせとにより、オフセット電圧の大きさを4通りに変えることができる。
本変形例2によれば、第2の直流電流源42を用いることなく、出力信号Vo1の最小値を調整可能な構成(オフセット回路4B)を実現できる。
(実施形態のその他の変形例)
以下、実施形態のその他の変形例を列挙する。以下の変形例は、適宜組み合わせて実現されてもよい。
撮像システム1と同様の機能は、撮像処理方法、(コンピュータ)プログラム、又はプログラムを記録した非一時的記録媒体等で具現化されてもよい。
一態様に係る撮像処理方法は、制限処理を備える。制限処理は、光子を電荷に変換し光子から電荷への変換率が可変である光電変換部2の出力信号Vo1について、最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する。制限処理は、変換率が第1の変換率の際の光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値との差分を、変換率が第2の変換率の際の光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値との差分よりも小さくする。第2の変換率は、第1の変換率と比較して小さい。
一態様に係るプログラムは、上記の撮像処理方法を1以上のプロセッサに実行させるためのプログラムである。
本開示における撮像システム1は、コンピュータシステムを含んでいる。コンピュータシステムは、ハードウェアとしてのプロセッサ及びメモリを主構成とする。コンピュータシステムのメモリに記録されたプログラムをプロセッサが実行することによって、本開示における撮像システム1としての機能が実現される。プログラムは、コンピュータシステムのメモリに予め記録されてもよく、電気通信回線を通じて提供されてもよく、コンピュータシステムで読み取り可能なメモリカード、光学ディスク、ハードディスクドライブ等の非一時的記録媒体に記録されて提供されてもよい。コンピュータシステムのプロセッサは、半導体集積回路(IC)又は大規模集積回路(LSI)を含む1ないし複数の電子回路で構成される。ここでいうIC又はLSI等の集積回路は、集積の度合いによって呼び方が異なっており、システムLSI、VLSI(Very Large Scale Integration)、又はULSI(Ultra Large Scale Integration)と呼ばれる集積回路を含む。さらに、LSIの製造後にプログラムされる、FPGA(Field-Programmable Gate Array)、又はLSI内部の接合関係の再構成若しくはLSI内部の回路区画の再構成が可能な論理デバイスについても、プロセッサとして採用することができる。複数の電子回路は、1つのチップに集約されていてもよいし、複数のチップに分散して設けられていてもよい。複数のチップは、1つの装置に集約されていてもよいし、複数の装置に分散して設けられていてもよい。ここでいうコンピュータシステムは、1以上のプロセッサ及び1以上のメモリを有するマイクロコントローラを含む。したがって、マイクロコントローラについても、半導体集積回路又は大規模集積回路を含む1ないし複数の電子回路で構成される。
また、撮像システム1における複数の機能が、1つの筐体内に集約されていることは撮像システム1に必須の構成ではなく、撮像システム1の構成要素は、複数の筐体に分散して設けられていてもよい。さらに、撮像システム1の少なくとも一部の機能がクラウド(クラウドコンピューティング)等によって実現されてもよい。
反対に、実施形態において、複数の装置に分散されている撮像システム1の少なくとも一部の機能が、1つの筐体内に集約されていてもよい。
光電変換部2は、アバランシェフォトダイオードを含む構成に限定されない。光電変換部2は、例えば、ツェナーダイオード等の増倍型の素子と、フォトダイオード、フォトトランジスタ、又はフォトレジスタ(photoregistor)等の光電変換素子とを組み合わせて構成されていてもよい。
光電変換部2の構成は、電荷を増倍させる場合に出力信号Vo1が2値の間で変化する構成に限定されず、出力信号Vo1が3値以上の間で変化する構成であってもよい。例えば、光電変換部2は、電荷を増倍させる場合に、光子が入射していない際に出力信号Vo1が第1の値(最大値)となり、1個の光子が入射すると出力信号Vo1が第2の値となり、2個以上の光子が入射すると出力信号Vo1が第3の値(最小値)となる構成であってもよい。
光電変換部2は、光子から電荷への変換率が第1の変換率と第2の変換率との2通りに変化する構成に限定されず、3通り以上に変化する構成であってもよい。例えば、複数のアバランシェフォトダイオードの組み合わせを光電変換部2として用いることにより、光子から電荷への変換率が3通り以上に変化する構成を実現してもよい。電圧供給回路71(調整部)は、第1のモードと第2のモードとに加えて、光電変換部2の変換率を第1の変換率とも第2の変換率とも異なる変換率にするモードを1つ以上有していてもよい。
ノード35には、電荷を蓄えるコンデンサ等の素子が電気的に接続されていてもよい。
実施形態の複数の画素回路3は、行と列とをなすように並んでいるが、各行と各列とにおいて、複数の画素回路3は、直線状に並んでいなくてもよい。
撮像システム1の少なくとも一部の構成は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)技術を用いて半導体基板上等に形成されてもよい。
(まとめ)
以上説明した実施形態等から、以下の態様が開示されている。
第1の態様に係る撮像処理回路10は、制限部(オフセット回路4、4B又はクランプ回路36)を備える。制限部は、光子を電荷に変換し光子から電荷への変換率が可変である光電変換部2の出力信号Vo1について、最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する。制限部は、変換率が第1の変換率の際の光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値との差分を、変換率が第2の変換率の際の光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値との差分よりも小さくする。第2の変換率は、第1の変換率と比較して小さい。
上記の構成によれば、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際は、光電変換部2の変換率が第2の変換率の際と比較して、光電変換部2の出力信号Vo1が変化する場合の変化速度が大きくなる。すなわち、光電変換部2の変換率に関わらず光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値との差分が一定である場合と比較して、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際の出力信号Vo1の読出速度を向上させることができる。
また、第2の態様に係る撮像処理回路10は、第1の態様において、制限部(オフセット回路4、4B)を少なくとも1つ備える。光電変換部2は、複数設けられる。1つの制限部は、複数の光電変換部2のうち2つ以上の光電変換部2の出力信号Vo1について、最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する。
上記の構成によれば、1つの制限部(オフセット回路4、4B)により2つ以上の光電変換部2の出力信号Vo1を制限できるので、各光電変換部2に個別に制限部を設ける場合と比較して、制限部の個数を減らせる。
また、第3の態様に係る撮像処理回路10では、第2の態様において、制限部(オフセット回路4、4B)は、垂直信号線51と、複数の光電変換部2のうち垂直信号線51に出力信号Vo1を出力する2つ以上の光電変換部2との組に関して、垂直信号線51の電圧の最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する。
上記の構成によれば、制限部(オフセット回路4、4B)は、2つ以上の光電変換部2から垂直信号線51に出力された出力信号Vo1を、垂直信号線51において一括して制限できる。
また、第4の態様に係る撮像処理回路10では、第1~3の態様のいずれか1つにおいて、制限部(オフセット回路4、4B)は、変換率が第1の変換率の際の光電変換部2の出力信号Vo1の最小値を、変換率が第2の変換率の際の光電変換部2の出力信号Vo1の最小値よりも大きくする。
上記の構成によれば、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際の出力信号Vo1の読出速度を向上させることができる。
また、第5の態様に係る撮像処理回路10では、第1~4の態様のいずれか1つにおいて、制限部(クランプ回路36)は、変換率が第1の変換率の際の光電変換部2の出力信号Vo1の最大値を、変換率が第2の変換率の際の光電変換部2の出力信号Vo1の最大値よりも小さくする。
上記の構成によれば、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際の出力信号Vo1の読出速度を向上させることができる。
また、第6の態様に係る撮像処理回路10では、第1~5の態様のいずれか1つにおいて、制限部(オフセット回路4、4B又はクランプ回路36)は、変換率が大きいほど、光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値との差分を小さくする。
上記の構成によれば、光電変換部2の変換率が比較的大きい場合に、出力信号Vo1の読出速度を向上させることができる。
また、第7の態様に係る撮像処理回路10は、第1~6の態様のいずれか1つにおいて、変換率を調整する調整部(電圧供給回路71)を更に備える。調整部は、動作モードとして、変換率を第1の変換率にする第1のモードと、変換率を第2の変換率にする第2のモードと、を有する。制限部(オフセット回路4、4B又はクランプ回路36)は、調整部の動作モードに応じて、光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する。
上記の構成によれば、撮像処理回路10を用いて、第1のモードでは第2のモードよりも光を高感度で検出することができ、第2のモードでは光量を第1のモードよりも細かく測定することができる。すなわち、電圧供給回路71の動作モードを切り替えることで、撮像処理回路10をこの2つの用途に用いることができる。
また、第8の態様に係る撮像処理回路10では、第1~7の態様のいずれか1つにおいて、光電変換部2は、アバランシェフォトダイオードを含む。第1の変換率は、アバランシェフォトダイオードにアバランシェ降伏電圧が印加されている際の変換率である。
上記の構成によれば、アバランシェフォトダイオードがアバランシェ降伏する場合の、出力信号Vo1の変化速度を大きくできる。
第1の態様以外の構成については、撮像処理回路10に必須の構成ではなく、適宜省略可能である。
また、第9の態様に係る撮像システム1は、第1~8の態様のいずれか1つに係る撮像処理回路10と、光電変換部2と、を備える。
上記の構成によれば、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際の出力信号Vo1の読出速度を向上させることができる。
また、第10の態様に係る撮像処理方法は、制限処理を備える。制限処理は、光子を電荷に変換し光子から電荷への変換率が可変である光電変換部2の出力信号Vo1について、最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する。制限処理は、変換率が第1の変換率の際の光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値との差分を、変換率が第2の変換率の際の光電変換部2の出力信号Vo1の最大値と最小値との差分よりも小さくする。第2の変換率は、第1の変換率と比較して小さい。
上記の構成によれば、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際の出力信号Vo1の読出速度を向上させることができる。
また、第11の態様に係るプログラムは、第10の態様に係る撮像処理方法を、1以上のプロセッサに実行させる。
上記の構成によれば、光電変換部2の変換率が第1の変換率の際の出力信号Vo1の読出速度を向上させることができる。
上記態様に限らず、実施形態に係る撮像システム1の種々の構成(変形例を含む)は、撮像処理方法及びプログラムにて具現化可能である。
1 撮像システム
10 撮像処理回路
2 光電変換部
36 クランプ回路
4、4B オフセット回路(制限部)
51 垂直信号線
71 電圧供給回路(調整部)
Vo1 出力信号

Claims (11)

  1. 光子を電荷に変換し光子から電荷への変換率が可変である光電変換部の出力信号について、最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する制限部を備え、
    前記制限部は、前記変換率が第1の変換率の際の前記光電変換部の出力信号の最大値と最小値との差分を、前記変換率が前記第1の変換率と比較して小さい第2の変換率の際の前記光電変換部の出力信号の最大値と最小値との差分よりも小さくする、
    撮像処理回路。
  2. 前記制限部を少なくとも1つ備え、
    前記光電変換部は、複数設けられ、
    1つの前記制限部は、前記複数の光電変換部のうち2つ以上の光電変換部の出力信号について、最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する、
    請求項1に記載の撮像処理回路。
  3. 前記制限部は、垂直信号線と、前記複数の光電変換部のうち前記垂直信号線に出力信号を出力する2つ以上の光電変換部との組に関して、前記垂直信号線の電圧の最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する、
    請求項2に記載の撮像処理回路。
  4. 前記制限部は、前記変換率が前記第1の変換率の際の前記光電変換部の出力信号の最小値を、前記変換率が前記第2の変換率の際の前記光電変換部の出力信号の最小値よりも大きくする、
    請求項1~3のいずれか一項に記載の撮像処理回路。
  5. 前記制限部は、前記変換率が前記第1の変換率の際の前記光電変換部の出力信号の最大値を、前記変換率が前記第2の変換率の際の前記光電変換部の出力信号の最大値よりも小さくする、
    請求項1~4のいずれか一項に記載の撮像処理回路。
  6. 前記制限部は、前記変換率が大きいほど、前記光電変換部の出力信号の最大値と最小値との差分を小さくする、
    請求項1~5のいずれか一項に記載の撮像処理回路。
  7. 前記変換率を調整する調整部を更に備え、
    前記調整部は、動作モードとして、前記変換率を前記第1の変換率にする第1のモードと、前記変換率を前記第2の変換率にする第2のモードと、を有し、
    前記制限部は、前記調整部の前記動作モードに応じて、前記光電変換部の出力信号の最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する、
    請求項1~6のいずれか一項に記載の撮像処理回路。
  8. 前記光電変換部は、アバランシェフォトダイオードを含み、
    前記第1の変換率は、前記アバランシェフォトダイオードにアバランシェ降伏電圧が印加されている際の前記変換率である、
    請求項1~7のいずれか一項に記載の撮像処理回路。
  9. 請求項1~8のいずれか一項に記載の撮像処理回路と、
    前記光電変換部と、を備える、
    撮像システム。
  10. 光子を電荷に変換し光子から電荷への変換率が可変である光電変換部の出力信号について、最大値と最小値とのうち少なくとも一方を制限する制限処理を備え、
    前記制限処理は、前記変換率が第1の変換率の際の前記光電変換部の出力信号の最大値と最小値との差分を、前記変換率が前記第1の変換率と比較して小さい第2の変換率の際の前記光電変換部の出力信号の最大値と最小値との差分よりも小さくする、
    撮像処理方法。
  11. 請求項10に記載の撮像処理方法を、1以上のプロセッサに実行させるための、
    プログラム。
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