JP7159428B2 - Package drying equipment in semiconductor strip cutting and sorting equipment - Google Patents
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Description
本発明は、半導体ストリップ切断及び分類設備におけるパッケージ乾燥装置に係り、より具体的には、個別化されたパッケージを迅速かつ効果的に乾燥させるための装置に関する。 The present invention relates to package drying equipment in semiconductor strip cutting and sorting facilities, and more particularly to equipment for drying singulated packages quickly and effectively.
半導体製造工程は、ウエハ上に半導体素子を製造するための工程であって、例えば露光、蒸着、エッチング、イオン注入、洗浄などを含む。半導体ストリップ切断及び分類装備は、複数のパッケージが配置されたストリップをパッケージ単位で切断して個別化し、各パッケージに対する洗浄、乾燥、検査を介して良好又は不良状態を区分して、最終的な収納容器であるトレイにそれぞれ分類して積載する。 A semiconductor manufacturing process is a process for manufacturing semiconductor devices on a wafer, and includes, for example, exposure, deposition, etching, ion implantation, and cleaning. The semiconductor strip cutting and sorting equipment cuts and separates the strip on which multiple packages are arranged by package unit, sorts the good or bad status through cleaning, drying and inspection for each package, and finally stores it. They are sorted and loaded on trays, which are containers.
各パッケージに対する検査は、カメラなどのビジョン検査装置を用いて行われ、精密な検査のために、各パッケージに対しては、検査の妨げになるおそれのある異物が除去されなければならない。切断されたパッケージの洗浄に使用された洗浄液も、検査過程で邪魔になるおそれがあるので、パッケージに洗浄液が残っていないように管理する必要がある。 Each package is inspected using a vision inspection device such as a camera, and for precise inspection, each package must be freed of foreign matter that may interfere with the inspection. The cleaning liquid used to clean the cut package may also interfere with the inspection process, so it is necessary to manage the package so that no cleaning liquid remains on the package.
そこで、本発明の実施形態は、個別化された半導体パッケージに残っている洗浄液を効果的に除去するとともに、水気が他の装置に飛散することを防止することができるパッケージ乾燥装置、及び該パッケージ乾燥装置を含む半導体ストリップ切断及び分類装備を提供することを目的とする。 Accordingly, an embodiment of the present invention provides a package drying apparatus capable of effectively removing the cleaning liquid remaining in the individualized semiconductor package and preventing water from splashing to other devices, and the package. It is an object of the present invention to provide a semiconductor strip cutting and sorting equipment that includes a drying device.
本発明の解決課題は、上述したものに限定されず、上述していない他の解決課題は、以降の記載から当業者に明確に理解できるだろう。 The solutions of the present invention are not limited to those mentioned above, and other solutions not mentioned above will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
本発明の実施形態による半導体ストリップ切断及び分類設備で個別化されたパッケージを乾燥させるためのパッケージ乾燥装置は、前記パッケージが装着され、移送ガイドに沿って移動するベースと、前記ベースの移動経路で前記ベースを包み込むように設置されたシールドユニットと、前記シールドユニットに設置され、前記ベースに装着されたパッケージに向けて空気を噴射する空気噴射ユニットと、前記シールドユニットに設置され、前記パッケージから飛散する水気を吸引する吸引ユニットと、を含む。 A package drying apparatus for drying individualized packages in a semiconductor strip cutting and sorting facility according to an embodiment of the present invention comprises a base on which the packages are mounted and which moves along a transfer guide, and a moving path of the base. a shield unit installed to wrap around the base; an air injection unit installed in the shield unit that injects air toward the package attached to the base; and an air injection unit installed in the shield unit that scatters from the package. and a suction unit for sucking the water.
本発明の実施形態によれば、前記シールドユニットは、前記ベースに前記パッケージが装着される装着位置と、前記パッケージに対する検査が行われる検査位置との間に位置することができる。 According to an embodiment of the present invention, the shield unit may be positioned between a mounting position where the package is mounted on the base and an inspection position where the package is inspected.
本発明の実施形態によれば、前記空気噴射ユニットは、傾いた方向に空気を噴射することができる。 According to an embodiment of the present invention, the air injection unit can inject air in an oblique direction.
本発明の実施形態によれば、前記吸引ユニットは、前記空気噴射ユニットが傾いた方向に位置することができる。 According to embodiments of the present invention, the suction unit may be positioned in a direction in which the air injection unit is tilted.
本発明の実施形態によれば、前記吸引ユニットは、前記空気噴射ユニットが傾いた方向に対して反対の方向に傾くことができる。 According to an embodiment of the invention, the suction unit can tilt in a direction opposite to the direction in which the air injection unit tilts.
本発明の実施形態によれば、前記ベースは、前記パッケージが装着される装着部と、前記装着部よりも突出した突出部と、を含むことができる。 According to an embodiment of the present invention, the base may include a mounting part on which the package is mounted and a protruding part protruding from the mounting part.
本発明の実施形態によれば、前記装着部は、前記パッケージと同じ大きさ及び形状を有することができる。 According to embodiments of the present invention, the mounting part may have the same size and shape as the package.
本発明の実施形態によれば、前記突出部は、前記装着部から前記パッケージの厚さ分と同じ高さだけ突出することができる。 According to an embodiment of the present invention, the protrusion may protrude from the mounting part by a height equal to the thickness of the package.
本発明の実施形態に係る半導体ストリップ切断及び分類設備で個別化されたパッケージをハンドリングするパッケージハンドリング装置は、前記パッケージが装着されるベース、及び前記ベースを回転させるための回転軸を含む反転テーブルと、前記ベースに装着された前記パッケージを乾燥させる乾燥ユニットと、前記反転テーブルから前記パッケージを収容するパレットテーブルと、を含む。前記乾燥ユニットは、前記反転テーブルの移動経路で前記ベースを包み込むように設置されたシールドユニットと、前記シールドユニットに設置され、前記ベースに装着されたパッケージに向けて空気を噴射する空気噴射ユニットと、前記シールドユニットに設置され、前記パッケージから飛散する水気を吸引する吸引ユニットと、を含む。 A package handling apparatus for handling individualized packages in a semiconductor strip cutting and sorting facility according to an embodiment of the present invention includes a turntable including a base on which the packages are mounted and a rotation axis for rotating the base. , a drying unit for drying the packages mounted on the base, and a pallet table for receiving the packages from the turnover table. The drying unit includes a shield unit installed so as to wrap the base on the movement path of the reversing table, and an air injection unit installed in the shield unit for injecting air toward the package mounted on the base. and a suction unit installed in the shield unit for sucking water splashed from the package.
本発明の実施形態に係る半導体ストリップ切断及び分類設備は、複数のパッケージが配置された半導体ストリップが積載されるローディングユニットと、前記半導体ストリップを切断して個別化された半導体パッケージを移送する切断ユニットと、前記半導体パッケージを乾燥及び検査してトレイに収納する分類ユニットと、を含む。前記分類ユニットは、前記パッケージが装着され、移送ガイドに沿って移動するベース、及び前記ベースを回転させるための回転軸を含む反転テーブルと、前記ベースに装着された前記パッケージを乾燥させる乾燥ユニットと、前記反転テーブルから前記パッケージを収容するパレットテーブルと、を含む。前記ベースは、前記パッケージが装着される装着部と、前記ベースから前記装着部を除いた残りの領域に形成され、前記装着部よりも前記パッケージの高さだけ突出した突出部と、を含み、前記乾燥ユニットは、前記ベースの移動経路で前記ベースを包み込むように設置されたシールドユニットと、前記シールドユニットに設置され、前記ベースの装着部に装着されたパッケージに向けて空気を噴射する空気噴射ユニットと、前記シールドユニットに設置され、前記パッケージから飛散する水気を吸引する吸引ユニットと、を含む。 A semiconductor strip cutting and sorting equipment according to an embodiment of the present invention includes a loading unit loaded with a semiconductor strip on which a plurality of packages are arranged, and a cutting unit for cutting the semiconductor strip and transporting individualized semiconductor packages. and a sorting unit for drying and inspecting the semiconductor packages and storing them in trays. The sorting unit includes a base on which the packages are mounted and which moves along a transfer guide, a reversing table including a rotating shaft for rotating the base, and a drying unit for drying the packages mounted on the base. , a pallet table for receiving the packages from the flipping table. the base includes a mounting portion on which the package is mounted, and a protrusion formed in a remaining area of the base excluding the mounting portion and protruding from the mounting portion by a height of the package; The drying unit includes a shield unit installed to wrap the base along the movement path of the base, and an air jet installed in the shield unit that jets air toward the package mounted on the mounting portion of the base. and a suction unit installed in the shield unit for sucking water splashed from the package.
本発明の実施形態によれば、パッケージからシールドユニットをパッケージが装着されたベースの移動経路に配置し、空気を噴射する空気噴射ユニット、及び水気を吸引する吸引ユニットをシールドユニットに構成することにより、パッケージの水気を迅速かつ効果的に除去するとともに、水気が飛散するのを防止することができる。 According to the embodiment of the present invention, the shield unit is arranged from the package to the movement path of the base on which the package is mounted, and the air injection unit that injects air and the suction unit that sucks moisture are configured in the shield unit. , it can quickly and effectively remove the moisture from the package and prevent the moisture from splashing.
本発明の効果は、上述したものに限定されず、上述していない他の効果は、以降の記載から当業者に明確に理解できるだろう。 The effects of the present invention are not limited to those described above, and other effects not described above will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
以下、添付図面を参照して、本発明の実施形態について、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者が容易に実施し得るように詳細に説明する。本発明は、様々に異なる形態で実現でき、ここで説明する実施形態に限定されない。 BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry them out. This invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments set forth herein.
本発明を明確に説明するために、説明と関係のない部分は省略し、明細書全体にわたって、同一又は類似の構成要素については同一の参照符号を付する。 In order to clearly describe the present invention, portions irrelevant to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.
また、いくつかの実施形態において、同一の構成を有する構成要素については同一の符号を使用して代表的な実施形態でのみ説明し、それ以外の他の実施形態では、代表的な実施形態とは異なる構成についてのみ説明する。 In addition, in some embodiments, components having the same configuration are denoted by the same reference numerals, and only representative embodiments are described. describes only the different configurations.
明細書全体にわたって、ある部分が他の部分と「連結(又は結合)」されているとするとき、これは、「直接的に連結(又は結合)」されている場合だけでなく、別の部材を挟んで「間接的に連結(又は結合)」されている場合も含む。また、ある部分がある構成要素を「含む」とするとき、これは、特に反対される記載がない限り、他の構成要素を除外するのではなく、他の構成要素をさらに含むことができることを意味する。 Throughout the specification, when a part is "connected (or coupled)" to another part, it means that it is "directly connected (or coupled)" to another member It also includes the case where it is "indirectly connected (or coupled)" across. Also, when a part "includes" a certain component, this does not exclude other components, but that it can further include other components, unless specifically stated to the contrary. means.
他に定義されない限り、技術的又は科学的な用語を含めてここで使用されるすべての用語は、本発明の属する技術分野における通常の知識を有する者によって一般的に理解されるのと同じ意味を持っている。一般的に使用される辞典に定義されている用語は、関連技術の文脈上持つ意味と一致する意味を持つものと解釈されるべきであり、本出願において明白に定義しない限り、理想的又は過度に形式的な意味で解釈されない。 Unless defined otherwise, all terms, including technical or scientific terms, used herein have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. have. Terms defined in commonly used dictionaries should be construed to have a meaning consistent with the meaning they have in the context of the relevant art, and unless expressly defined in this application, ideal or excessive. not be interpreted in a formal sense.
図1は本発明の実施形態による半導体ストリップ切断及び分類設備10の概略的な構造を示す。図1を参照すると、本発明の実施形態に係る半導体ストリップ切断及び分類設備10は、ローディングユニット100、切断ユニット200、及び分類ユニット300を含む。
FIG. 1 shows a schematic structure of a semiconductor strip cutting and
本発明の実施形態に係る半導体ストリップ切断及び分類設備10は、複数のパッケージが配置された半導体ストリップSが積載されるローディングユニット100と、半導体ストリップSを切断して個別化されたパッケージPを移送する切断ユニット200と、パッケージPを乾燥及び検査してトレイに収納する分類ユニット300と、を含む。
A semiconductor strip cutting and
ローディングユニット100は、外部から移送された半導体ストリップSを切断ユニット200の一時保管ユニット205に伝達する。図1に詳細に示されていないが、ローディングユニット100は、半導体ストリップSが積載されるマガジンと、半導体ストリップSを押して伝達するプッシャーと、を含むことができる。ローディングユニット100に供給された半導体ストリップSは、一時保管ユニット205に位置することができる。
The
ストリップピッカー210は、一時保管ユニット205に位置した半導体ストリップSを把持してチャックテーブル240へ移送する。パッケージピッカー220は、カッター250によって切断されてチャックテーブル240を介して移送されたパッケージPを真空吸着方式で把持して洗浄ユニット260及び反転テーブル310へ移送する。ガイドフレーム230は、ストリップピッカー210、パッケージピッカー220がX軸方向に移動するための経路を提供する。ガイドフレーム230には、ストリップピッカー210及びパッケージピッカー220を移動させるための駆動部が結合できる。
The
チャックテーブル240は、ストリップピッカー210とカッター250との間、及びカッター250とパッケージピッカー220との間で半導体ストリップSとパッケージPがそれぞれ移送されるようにすることができる。チャックテーブル240は、Y軸方向に移動することができ、Z軸方向を中心に回転することができ、半導体ストリップSが搭載されることができる。チャックテーブル240は、ストリップピッカー210によって移送された半導体ストリップSを吸着してカッター250へ移送する。また、チャックテーブル240は、カッター250によって切断が完了した複数のパッケージPをパッケージピッカー220へ伝達する。つまり、チャックテーブル240は、カッター250と第1ガイドフレーム230との間を往復移動することができる。パッケージピッカー220は、洗浄ユニット260で洗浄された半導体パッケージPを吸着して反転テーブル310へ移送し、反転テーブル310に移送された半導体パッケージPは、乾燥ユニット320によって乾燥することができる。ここで、反転テーブル310は、移送ガイド314に沿って移動するように構成される。
The chuck table 240 can transfer the semiconductor strips S and the packages P between the
分類ユニット300は、各半導体パッケージPに対する検査結果に基づいて半導体パッケージPをそれぞれ分類する。分類ユニット300は、個別化されたパッケージPをハンドリングするためのハンドリング装置と呼ばれることができる。より具体的には、分類ユニット300は、ボール検査ユニット330B、マーク検査ユニット330M、アライン検査ユニット360によって検査が完了して第1パレットテーブル341と第2パレットテーブル346に積載された半導体パッケージPを個別にピックアップし、検査結果に基づいて順次分類して他所へ移送する。第1パレットテーブル341と第2パレットテーブル346は、それぞれ、第1パレット駆動部材340と第2パレット駆動部材345によって移動することができる。
The
このための分類ユニット300は、ソーティングピッカー370、ソーティングピッカー駆動部材380、第1搬出トレイ351、第2搬出トレイ356、第1搬出トレイ駆動部材350及び第2搬出トレイ駆動部材355を含むことができる。
For this purpose, the
ソーティングピッカー370は、ボール検査ユニット330B、マーク検査ユニット330M、アライン検査ユニット360によって検査が完了して第1パレットテーブル341と第2パレットテーブル346にそれぞれ積載された半導体パッケージPをピックアップして、後述する第1搬出トレイ351、第2搬出トレイ356へ移送する。
The sorting
ソーティングピッカー駆動部材380は、レール形状をしてX軸方向に設置され、一部分はアライン検査ユニット360と隣接するように位置することができる。ソーティングピッカー駆動部材380は、ソーティングピッカー370をX軸方向に移動させる。このためのソーティングピッカー駆動部材380は、ソーティングピッカー370の移動のための駆動手段が内蔵されているものであり得る。
The sorting
第1搬出トレイ351と第2搬出トレイ356は、それぞれ良品半導体パッケージPと不良品半導体パッケージPを積載して他所へ搬出することができる。これとは異なり、第1搬出トレイ351と第2搬出トレイ356は、製造された状態に応じて半導体パッケージPを等級付け、等級に応じてそれぞれ積載することも可能である。例えば、第1搬出トレイ351はA等級の半導体パッケージPを積載し、第2搬出トレイ356はA等級よりも製造された状態が低いB等級の半導体パッケージPを積載することができる。
The first carry-out
ソーティングピッカー370が第1パレットテーブル341と第2パレットテーブル346から半導体パッケージPをピックアップして第1搬出トレイ351又は第2搬出トレイ356のそれぞれにすべて積載させると、第1搬出トレイ351又は第2搬出トレイ356は、Y軸方向に移動して半導体パッケージPを他所へ伝達する。
When the sorting
第1搬出トレイ駆動部材350は、第1搬出トレイ351を移動させる。第1搬出トレイ駆動部材350は、第1搬出トレイ351の移動のための駆動手段が内蔵されているものであり得る。
The first carry-out
第2搬出トレイ駆動部材355は、第2搬出トレイ356を移動させる。第2搬出トレイ駆動部材355は、第2搬出トレイ356の移動のための駆動手段が内蔵されているものであり得る。
The second carry-out
半導体ストリップ切断及び分類設備10は、前述したように、半導体ストリップSを切断、洗浄、乾燥、及び検査後に分類して他所へ排出することができる。一方、本発明の実施形態によるパッケージピッカー220が半導体ストリップ切断及び分類設備10に含まれることに限定されず、一般的な半導体パッケージ製造システムに適用可能である。以下、洗浄ユニット260で洗浄液を用いて洗浄したパッケージPを乾燥ユニット320で迅速かつ効果的に乾燥させるための装置及び方法について説明する。
Semiconductor strip cutting and sorting
一般的に、半導体ストリップSとパッケージPは、電気的接続のためのボール(Ball)が形成されたボール面Bと、各パッケージPのマークが刻印されるマーク面Mとから構成される。一方、パッケージPのボール面Bが上方を向き、マーク面Mが下方を向く状態がデッドバグ(Dead Bug)と呼ばれ、パッケージPのマーク面Mが上方を向き、ボール面が下方を向く状態がライブバグ(Live Bug)と呼ばれる。切断ユニット200における切断及び洗浄工程は、すべてボール面Bが上部を向いたデッドバグ状態で行われ、各パッケージPは、デッドバグ状態でパッケージピッカー220によって反転テーブル310に伝達される。
In general, the semiconductor strip S and the package P are composed of a ball surface B on which balls for electrical connection are formed, and a mark surface M on which the mark of each package P is stamped. On the other hand, the state in which the ball surface B of the package P faces upward and the mark surface M faces downward is called a dead bug. Called Live Bug. The cutting and cleaning processes in the
図2の(a)及び図3の(a)を参照すると、反転テーブル310は、水平方向に移動可能な外郭フレーム311と、パッケージPを吸着して固定させるベース312と、外郭フレーム311に対してベース312が回転するようにする回転軸313と、を含む。ベース312は、パッケージPのマーク面Mを吸引した状態で回転軸313を中心に回転して、図2の(b)に示すようにパッケージPのボール面Bが上方を向くようにすることができ、また、図3の(b)に示すようにパッケージPのボール面Bが下方を向くようにすることができる。
2A and 3A, the turnover table 310 includes a horizontally movable
図4は空気噴射を介してパッケージの水気を除去する過程を示す。図4を参照すると、ベース312に装着されたパッケージPの周辺に洗浄液が残っており、空気噴射ユニット322が上部のパッケージPに向けて空気を噴射して水気を除去する。しかし、図4の破線で示すように、ベース312とパッケージPとの間の段差によって水気が溜まってしまう場合が発生する。このように溜まってしまった水気に対して空気を噴射しても、水が容易に除去されず、また、段差に空気を噴射すると、ノイズが発生して作業環境に悪影響を与えるおそれがある。
FIG. 4 shows the process of removing moisture from the package through air injection. Referring to FIG. 4, the cleaning liquid remains around the package P mounted on the
また、パッケージPに空気を噴射すると、一部の水気は蒸発し、他の一部の水気は周辺の他の装置に飛散することができる。図1に示すように、乾燥ユニット320の周辺にボール検査ユニット330Bなどのビジョン検査装置が備えられることができるが、ビジョン検査装置に水気が飛散すると、以後の検査性能に悪影響を与えるおそれがある。
In addition, when air is injected into the package P, part of the moisture evaporates, and another part of the moisture can scatter to other peripheral devices. As shown in FIG. 1, a vision inspection device such as a
そのため、本発明の実施形態は、パッケージPの水気を迅速かつ効果的に除去することができる乾燥装置を提供する。また、本発明の実施形態によれば、パッケージから水気が飛散しないようにベース312の移動経路に位置し、飛散する水気を遮断するシールドユニット321を構成し、パッケージPに向けて空気を噴射する空気噴射ユニット322と、パッケージPから水気を吸引する吸引ユニット323をシールドユニット321の内部に構成することにより、パッケージPの水気を除去するとともに、水気が周辺に飛散しないようにすることができる。
Thus, embodiments of the present invention provide a drying apparatus that can quickly and effectively remove moisture from packages P. FIG. In addition, according to the embodiment of the present invention, the
本発明の実施形態による半導体ストリップ切断及び分類装置10で個別化されたパッケージPを乾燥させるためのパッケージ乾燥装置は、パッケージPが装着され、移送ガイド314に沿って移動するベース312と、ベース312の移動経路でベース312を包み込むように設置されたシールドユニット321と、シールドユニット321に設置され、ベース312に装着されたパッケージPに向けて空気を噴射する空気噴射ユニット322と、シールドユニット321に設置され、パッケージPから飛散する水気を吸引する吸引ユニット323と、を含む。
A package drying apparatus for drying the packages P singulated by the semiconductor strip cutting and sorting
図5乃至図7は本発明の実施形態によるパッケージ乾燥装置の一例を示す。図5は上部から見たパッケージ乾燥装置を示し、図6はy方向から見たパッケージ乾燥装置を示すし、図7はx方向から見たパッケージ乾燥装置を示す。 5-7 show an example of a package drying apparatus according to an embodiment of the present invention. 5 shows the package drying apparatus viewed from above, FIG. 6 shows the package drying apparatus viewed from the y direction, and FIG. 7 shows the package drying apparatus viewed from the x direction.
図5乃至図7を参照すると、シールドユニット321が反転テーブル310の移動経路の一部に位置する。シールドユニット321は、トンネルなどの形状を有し、ベース312に吸着されたパッケージPの水気が周辺に飛散しないように遮断する。また、シールドユニット321は、トンネルの形状を有するとともに、他の装置が設置できる構造物として実現できる。シールドユニット321には、水気を除去するための空気噴射ユニット322と吸引ユニット323が設置されることができる。
Referring to FIGS. 5 to 7, the
本発明の実施形態によれば、シールドユニット321は、ベース312にパッケージPが装着される装着位置P1と、パッケージPに対する検査が行われる検査位置P2との間に位置することができる。パッケージPは、洗浄ユニット260で洗浄された後、装着位置P1で反転テーブル310のベース312に吸着され、以後、反転テーブル310によってボール面が上方を向くデッドバグ状態で検査位置P2に移送されて検査される。シールドユニット321が装着位置P1と検査位置P2との間に位置することにより、検査の妨げになれるパッケージPの水気を除去することができる。
According to an embodiment of the present invention, the
空気噴射ユニット322は、パッケージPに空気を噴射してパッケージPから水気が離脱するようにする。空気噴射ユニット322によって噴射された空気の圧力が、パッケージPに付いている洗浄液をパッケージPから分離させる。空気噴射ユニット322は、シールドユニット321の天井に設置され、下方にパッケージPに向けて空気を噴射することができる。
The
吸引ユニット323は、真空圧を印加して周辺の流体を吸い込む。吸引ユニット323は、空気噴射ユニット322の空気圧によって、パッケージPから分離された水を吸引することができる。吸引ユニット323は、シールドユニット321の天井における空気噴射ユニット322の周辺に設置されることができる。
The
本発明の実施形態によれば、空気噴射ユニット322は、傾いた方向に空気を噴射することができる。図7に示すように、空気噴射ユニット322は、垂直方向(例えば、z方向)に対して一定の角度だけ傾いた状態で空気を噴射することができる。例えば、空気噴射ユニット322は、反転テーブル310の移動方向(例えば、y方向)に対して反対の方向に向かって傾くことができる。空気噴射ユニット322が傾いた状態でパッケージPに向けて空気を噴射することにより、水気を一定の方向に誘導することができ、より水気が集まる位置を容易に管理することができる。
According to embodiments of the present invention, the
本発明の実施形態によれば、吸引ユニット323は、空気噴射ユニット322が傾いた方向に位置することができる。図7に示すように、吸引ユニット323は、空気噴射ユニット322が傾いた方向(例えば、-y方向)に位置することができる。空気噴射ユニット322は、特定の方向に傾いた状態で空気を噴射して一定の方向に水気を誘導し、吸引ユニット323が、空気噴射ユニット322が傾いた方向に位置することにより、一定の方向に誘導された水気を効果的に吸引することができる。
According to embodiments of the present invention, the
本発明の実施形態によれば、吸引ユニット323は、空気噴射ユニット322が傾いた方向に対して反対の方向に傾くことができる。図7に示すように、吸引ユニット323は、空気噴射ユニット322が傾いた方向(例えば、-y方向)の反対方向(例えば、+y方向)に向かって傾くことができる。空気噴射ユニット322は、特定の方向に傾いた状態で空気を噴射して一定の方向に水気を誘導し、吸引ユニット323は、空気噴射ユニット322と反対の方向に傾いた状態で水気を吸引することにより、より多くの水気を容易に吸引することができる。
According to embodiments of the present invention, the
図8及び図9は本発明の実施形態によるパッケージが装着されるベースの一例を示す。図8はパッケージPが装着されていない状態のベース312を示し、図9はパッケージPが装着された状態のベース312を示す。
8 and 9 show an example of a base on which a package is mounted according to an embodiment of the present invention. 8 shows the
図8及び図9に示すように、ベース312は、パッケージPが装着される装着部312Aと、該装着部312Aよりも突出した突出部312Bと、を含む。図5に示すように、ベース312には、パッケージが装着できる溝状の装着部312Aが配列される。また、ベース312における、装着部312Aを除いた残りの領域には、装着部312Aよりも上方に突出した突出部312Bが形成される。
As shown in FIGS. 8 and 9, the
本発明の実施形態によれば、装着部312Aは、パッケージPと同じ大きさ及び形状を有することができる。図8及び図9に示すように、パッケージPと同じ大きさ及び形状を有するように装着部312Aが形成され、残りの領域に突出部312Bが形成される。パッケージPは、溝状の装着部312Aに嵌め込まれ、ここで、パッケージPと突出部312Bとの間に段差がないか或いは非常に狭いため、洗浄液が浸透することができない。装着部312Aは、パッケージPと同じかそれよりやや大きく形成されるが、これは、実施形態によって公差と洗浄液が浸透可能なサイズを考慮して設計できる。
The mounting
本発明の実施形態によれば、突出部312Bは、装着部312AからパッケージPの厚さ分と同じ高さだけ突出することができる。突出部312Bの上面とパッケージPの上面とを面一にすることにより、パッケージPと突出部312Bとの間で段差が発生することを防止し、結果的に段差に水気が溜まって洗浄液がパッケージPに残っていることを防止することができる。
According to an embodiment of the present invention, the protruding
図10は本発明の実施形態によるパッケージ乾燥装置の他の例を示す。図10は図8及び図9のように構成されたベース312が適用された乾燥ユニット320の構成を示す。図10を参照すると、ベース312においてパッケージPの高さと同じ突出高さを有する突出部312B同士の間に溝状に形成された装着部312AにパッケージPが装着される。図10に示すように、パッケージPに対応する形状の溝にパッケージPが装着されることにより、パッケージPとベース312との間の段差によって水気が溜まる現象が発生しないため、パッケージPとベース312に洗浄液が残っていないようにすることができる。
FIG. 10 shows another example of a package drying apparatus according to an embodiment of the invention. FIG. 10 shows the construction of a
図11及び図12は本発明の実施形態によるパッケージが装着されるベースの他の例を示す。 11 and 12 show another example of a base on which a package is mounted according to an embodiment of the present invention.
一方、ベース312は、様々な形状に提供されることができる。図8及び図9に示すように、アレイ状に装着部312Aが構成されてもよく、図11に示すように、行方向と列方向にパッケージPが互いに隣接しないように装着部312Aが構成されてもよい。
Meanwhile, the base 312 can be provided in various shapes. As shown in FIGS. 8 and 9, the mounting
本発明の実施形態によれば、ベース312は、パッケージPのタイプに応じて変更できる。つまり、以前の工程とは異なるタイプのパッケージPが処理される場合、異なるタイプのベース312が使用できる。また、ベース312は、2つのモジュールに分けられ、一つはさまざまなタイプのパッケージPに対して共通に使用され、もう一つはパッケージPのタイプ別に変更されることができる。
According to embodiments of the present invention, the
例えば、図12に示すように、ベース312は、様々なタイプのパッケージPに対して共通に使用されるベースプレート3122と、ベースプレート3122に着脱可能に結合された吸着プレート3121と、を含むことができる。パッケージPと直接接触する吸着プレート3121は、装着部312Aと突出部312Bを含み、装着部312Aと突出部312Bの形状は、パッケージPの種類ごとに異なることができる。例えば、装着部312Aの大きさ、サイズまたは突出部312Bの突出高さは、パッケージPの種類ごとに異なることができる。
For example, as shown in FIG. 12, the
上述したパッケージPの水気を除去するための乾燥装置は、パッケージハンドリング装置と半導体ストリップ切断及び分類設備10の一部として構成されることができる。本発明の実施形態に係る半導体ストリップ切断及び分類設備10で個別化されたパッケージをハンドリングするパッケージハンドリング装置は、パッケージPが装着されるベース312、及びベース312を回転させるための回転軸313を含む反転テーブル310と、ベース312に装着されたパッケージPを乾燥させる乾燥ユニット320と、反転テーブル310からパッケージPを収容するパレットテーブル341、346と、を含む。乾燥ユニット320は、反転テーブル310の移動経路でベース312を包み込むように設置されたシールドユニット321と、シールドユニット321に設置され、ベース312に装着されたパッケージPに向けて空気を噴射する空気噴射ユニット322と、シールドユニット321に設置され、パッケージPから飛散する水気を吸引する吸引ユニット323と、を含む。
The drying apparatus for removing moisture from the packages P described above can be configured as part of the package handling apparatus and semiconductor strip cutting and sorting
本発明の実施形態に係る半導体ストリップ切断及び分類設備10は、複数のパッケージが配置された半導体ストリップSが積載されるローディングユニット100と、半導体ストリップSを切断して個別化された半導体パッケージを移送する切断ユニット200と、半導体パッケージPを乾燥及び検査してトレイ351、356に収納する分類ユニット300と、を含む。分類ユニット300は、パッケージPが装着されるベース312、ベース312を回転させるための回転軸313を含む反転テーブル310と、ベース312に装着されたパッケージPを乾燥させる乾燥ユニット320と、反転テーブル310からパッケージPを収容するパレットテーブル341、346と、を含む。乾燥ユニット320は、反転テーブル310の移動経路でベース312を包み込むように設置されたシールドユニット321と、シールドユニット321に設置され、ベース312に装着されたパッケージPに向けて空気を噴射する空気噴射ユニット322と、シールドユニット321に設置され、パッケージPから飛散する水気を吸引する吸引ユニット323と、を含む。
The semiconductor strip cutting and sorting
本実施形態及び本明細書に添付された図面は、本発明に含まれる技術的思想の一部を明確に示しているものに過ぎず、本発明の明細書及び図面に含まれている技術的思想の範囲内で当業者が容易に類推することができる変形例と具体的な実施形態はいずれも本発明の権利範囲に含まれることが自明であるというべきである。 The embodiments and the drawings attached to this specification only clearly show a part of the technical ideas included in the present invention, and the technical ideas included in the specification and drawings of the present invention. It should be obvious that any modifications and specific embodiments that can be easily guessed by those skilled in the art within the scope of the idea are included in the scope of the present invention.
したがって、本発明の思想は、説明された実施形態に局限されて定められてはならず、後述する特許請求の範囲だけでなく、この特許請求の範囲と均等であるか或いは等価的変形があるすべてのものは、本発明の思想の範疇に属するというべきである。 Accordingly, the spirit of the present invention should not be limited to the described embodiments, and should not be limited to the scope of the claims set forth below, as well as equivalents or equivalent modifications to these claims. All should be said to belong to the scope of the idea of the present invention.
100 ローディングユニット
200 切断ユニット
205 一時保管ユニット
210 ストリップピッカー
220 パッケージピッカー
230 ガイドフレーム
240 チャックテーブル
250 カッター
260 洗浄ユニット
300 分類ユニット
310 反転テーブル
311 外郭フレーム
312 ベース
313 回転軸
320 乾燥ユニット
321 シールドユニット
322 空気噴射ユニット
323 吸引ユニット
324 第1連結部材
325 第2連結部材
330B ボール検査ユニット
330M マーク検査ユニット
340 第1パレット駆動部材
341 第1パレットテーブル
345 第2パレット駆動部材
346 第2パレットテーブル
350 第1搬出トレイ駆動部材
351 第1搬出トレイ
355 第2搬出トレイ駆動部材
356 第2搬出トレイ
360 検査部
370 ソーティングピッカー
380 ソーティングピッカー駆動部材
P 半導体パッケージ
S 半導体ストリップ
100
Claims (20)
前記パッケージが装着され、移送ガイドに沿って移動するベースと、
前記ベースの移動経路で前記ベースを包み込むように設置されたシールドユニットと、
前記シールドユニットに設置され、前記ベースに装着されたパッケージに向けて空気を噴射する空気噴射ユニットと、
前記シールドユニットに設置され、前記パッケージから飛散する水気を吸引する吸引ユニットと、を含む、パッケージ乾燥装置。 A package drying apparatus for drying singulated packages in a semiconductor strip cutting and sorting facility, comprising:
a base on which the package is mounted and which moves along a transfer guide;
a shield unit installed so as to wrap the base along the path of movement of the base;
an air injection unit installed in the shield unit for injecting air toward the package attached to the base;
a suction unit that is installed in the shield unit and sucks water splashing from the package.
前記パッケージが装着される装着部と、
前記装着部よりも突出した突出部と、を含む、請求項1に記載のパッケージ乾燥装置。 The base is
a mounting portion to which the package is mounted;
2. The package drying apparatus according to claim 1, further comprising a protruding portion protruding from said mounting portion.
前記パッケージが装着されるベース、及び前記ベースを回転させるための回転軸を含む反転テーブルと、
前記ベースに装着された前記パッケージを乾燥させる乾燥ユニットと、
前記反転テーブルから前記パッケージを収容するパレットテーブルと、を含み、
前記乾燥ユニットは、
前記反転テーブルの移動経路で前記ベースを包み込むように設置されたシールドユニットと、
前記シールドユニットに設置され、前記ベースに装着されたパッケージに向けて空気を噴射する空気噴射ユニットと、
前記シールドユニットに設置され、前記パッケージから飛散する水気を吸引する吸引ユニットと、を含む、パッケージハンドリング装置。 A package handling device for handling singulated packages in a semiconductor strip cutting and sorting facility, comprising:
a reversing table including a base on which the package is mounted and a rotating shaft for rotating the base;
a drying unit for drying the package mounted on the base;
a pallet table that receives the packages from the flipping table;
The drying unit
a shield unit installed so as to wrap the base on the movement path of the reversing table;
an air injection unit installed in the shield unit for injecting air toward the package attached to the base;
a suction unit that is installed in the shield unit and sucks water splashing from the package.
前記パッケージが装着される装着部と、
前記装着部よりも突出した突出部と、を含む、請求項9に記載のパッケージハンドリング装置。 The base is
a mounting portion to which the package is mounted;
10. The package handling device according to claim 9, comprising a protruding portion protruding beyond said mounting portion.
複数のパッケージが配置された半導体ストリップが積載されるローディングユニットと、
前記半導体ストリップを切断して個別化された半導体パッケージを移送する切断ユニットと、
前記半導体パッケージを乾燥及び検査してトレイに収納する分類ユニットと、を含み、
前記分類ユニットは、
前記パッケージが装着され、移送ガイドに沿って移動するベース、及び前記ベースを回転させるための回転軸を含む反転テーブルと、
前記ベースに装着された前記パッケージを乾燥させる乾燥ユニットと、
前記反転テーブルから前記パッケージを収容するパレットテーブルと、を含み、
前記ベースは、
前記パッケージが装着される装着部と、
前記ベースから前記装着部を除いた残りの領域に形成され、前記装着部よりも前記パッケージの高さだけ突出した突出部と、を含み、
前記乾燥ユニットは、
前記ベースの移動経路で前記ベースを包み込むように設置されたシールドユニットと、
前記シールドユニットに設置され、前記ベースの装着部に装着されたパッケージに向けて空気を噴射する空気噴射ユニットと、
前記シールドユニットに設置され、前記パッケージから飛散する水気を吸引する吸引ユニットと、を含む、半導体ストリップ切断及び分類設備。 A semiconductor strip cutting and sorting facility comprising:
a loading unit on which a semiconductor strip on which a plurality of packages are arranged is loaded;
a cutting unit for cutting the semiconductor strip and transferring the individualized semiconductor packages;
a sorting unit that dries and inspects the semiconductor packages and stores them in trays;
The classification unit comprises:
an inversion table including a base on which the package is mounted and moved along a transfer guide, and a rotation shaft for rotating the base;
a drying unit for drying the package mounted on the base;
a pallet table that receives the packages from the flipping table;
The base is
a mounting portion to which the package is mounted;
a protruding portion formed in the remaining area of the base excluding the mounting portion and protruding from the mounting portion by a height of the package;
The drying unit
a shield unit installed so as to wrap the base along the path of movement of the base;
an air injection unit that is installed in the shield unit and that injects air toward the package mounted on the mounting portion of the base;
a suction unit installed in the shielding unit for sucking water splashing from the package.
前記吸引ユニットは、前記空気噴射ユニットが傾いた方向に位置する、請求項17に記載の半導体ストリップ切断及び分類設備。 The air injection unit injects air in an inclined direction,
18. The semiconductor strip cutting and sorting equipment according to claim 17, wherein the suction unit is located in an inclined direction of the air injection unit.
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