JP7159343B2 - 配線基板、複合基板および電気装置 - Google Patents

配線基板、複合基板および電気装置 Download PDF

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Description

本開示は、配線基板、複合基板および電気装置に関する。
従来より、半導体素子や発光素子などの機能部品、あるいはコンデンサなどの受動部品を実装するために、有機樹脂製またはセラミック製の配線基板が多用されている(例えば、特許文献1、2を参照)。
特開2005-32787号公報 特開2012-182382号公報
実施形態の一態様に係る配線基板は、基材が、該基材の一方側に外部に向けて突出する突出部を有しており、該突出部は主面の中央部が外周縁より盛り上がった形状であり、前記主面に複数の外部接続端子が配置されている。
実施形態の一態様に係る複合基板は、上記の配線基板と、金属製の枠部材と、を備えており、該枠部材は、前記基材を平面視したときに、前記突出部の形状に相当する開口部を有しており、前記枠部材は、前記開口部が前記突出部を囲みつつ、該突出部の周囲を埋めるように配置されている。
実施形態の一態様に係る電気装置は、上記配線基板のおもて面に電気素子を備えている。
本開示の実施形態に係る実装構造体の一態様を示す斜視図である。 図1のii-ii線断面図である。 図2に示したP1部の拡大図である。 図2に示したP2部の拡大図である。 本開示の実施形態に係る複合基板の一態様を示す斜視図である。 図5のvi-vi線断面図である。 本開示の実施形態に係る電気装置の一態様を示す斜視図である。 図7のviii-viii線断面図である。 本開示の実施形態に係る電気装置の他の態様を示す斜視図である。 図9のx-x線断面図である。 実施形態に係る配線基板の他の態様を示す断面図である。 実施形態に係る配線基板の他の態様を示す断面図である。 実施形態に係る配線基板の他の態様を示す断面図である。 実施形態に係る配線基板の他の態様を示す断面図である。 実施形態に係る配線基板の他の態様を示す断面図である。 図15のxv-xv線断面図である。 実施形態に係る配線基板の他の態様を示す断面図である。 図17のxviii-xviii線断面図である。 実施形態の複合基板の他の態様を示す分解斜視図である。 図19のxx-xx線断面図である。 実施形態の複合基板の他の態様を示す分解斜視図である。 図21のxxii-xxii線断面図である。 本開示の実施形態に係る配線基板の製造に用いる積層成形体の断面模式図である。 図11に示した積層成形体の一部であるベース部成形体の断面模式図である。 図11に示した積層成形体の一部である凸部成形体の断面模式図である。 ベース部成形体と凸部成形体とを積層する状態を示す断面模式図である。
以下に示す実施形態は、実装面積を小さくでき、放熱性を高めることのできる配線基板、複合基板および電気装置を提供するものである。ここでは、図1および図2に示す通り、説明の便宜上、配線基板が外部回路基板に実装された実装構造体を用いて説明する。図1は、本開示の実施形態に係る実装構造体の一態様を示す斜視図である。図2は、図1のii-ii線断面図である。図3は、図2に示したP1部の拡大図である。図4は、図2に示したP2部の拡大図である。
実施形態の実装構造体Aは外部回路基板Bの表面上に配線基板Cを有する。配線基板Cは基材1と導体部3とを有する。基材1は、一方側に、外部に向けて突出する突出部1dを有している。ここで、一方側というのは、突出部1dが設けられている裏面1a側のことである。図2において、突出部1dは、外部回路基板Bに向けて突出している部分である。また、突出部1dの主面を第1面1daと表記する場合がある。基材1の裏面1aとは反対側の面をおもて面1eとする。基材1において、突出部1d以外の部位をベース部1fとする。突出部1dはベース部1f上の任意の位置に配置されていても良いが、突出部1dはベース部1fの中央に配置されているのが良い。つまり、突出部1dとベース部1fとは平面視したときの中心の位置が同じであるのが良い。突出部1dの第1面1daには、導体部3として、外周縁1bに外部接続端子3aが設けられている。外部接続端子3aは、外部回路基板Bとの間で電気的な接続を行うためのものである。外部回路基板Bは、複数の接続パッドB1を有する。ここで、外周縁1bとは、突出部1dを平面視したときに、突出部1dの中央1aaから突出部1dの側面1ddまでの長さの1/2の位置よりも外側の領域である。
突出部1dの第1面1daに設けられた複数の外部接続端子3aと、外部回路基板Bに設けられた複数の接続パッドB1とは、不図示の接合材を介して電気的に接続されている。突出部1dの外径D2は基材1の外径D1よりも小さい。配線基板Cでは、外部接続端子3aが基材1よりも外径の小さい突出部1dの第1面1daに設けられている。外部接続端子3aが基材1のおもて面1eに設けられる場合に比較して、配線基板Cにおける外部接続端子3a同士の距離Lが短い。
配線基板Cを構成する基材1は熱膨張などによって寸法が変化する。配線基板Cでは、熱膨張により配線基板Cの寸法が変化しても、外部接続端子3a間の変形量が小さい。これにより突出部1dに設けられた外部接続端子3aと、外部回路基板Bに設けられた接続パッドB1との間の接続信頼性を高めることができる。
また、図2に示しているように、突出部1は、主面である第1面1daが凸状に突出した形状である。言い換えると、突出部1dは主面の中央部が外周縁側となる周縁1abより盛り上がった形状である。言い換えると、第1面1daは、内側1cとなっている中央1aaが外周縁側の周縁1abより盛り上がった形状である。つまり、突出部1は、中央1aaにおける厚みt1が周縁1abにおける厚みt2よりも厚い。ここで、図2に示しているように、突出部1dの第1面1daにおける周縁1abの位置と外部回路基板Bの表面B2との間の間隔をg1とする。突出部1dの第1面1daにおける中央1aaの位置と外部回路基板Bの表面B2との間の間隔をg2とする。配線基板Cでは、g2がg1よりも小さい。すなわち、突出部1dは、中央1aaの位置の方が周縁1abの位置よりも外部回路基板Bの表面B2との間の間隔が狭い。言い換えると、突出部1dの第1面1daは、中央1aaの位置の方が周縁1abの位置よりも外部回路基板Bの表面B2に近い。このため、突出部1dの中央1aaから外部回路基板Bの表面Bへ熱がより移動しやすい。この場合、突出部1dの第1面1daは外部回路基板Bの表面B2側に向けて突出する湾曲状であるのが良い。
基材1に適用する材料としては、アルミナ、コージエライト、窒化アルミニウムなど、高絶縁性のセラミックスが良い。導体部3に適用する材料としては、上記したセラミックスとの同時焼成が可能になるという点から、銅、タングステン、モリブデンおよびこれらのうちの少なくとも2種の金属を含む合金または金属間化合物が良い。外部回路基板Bには、FR-4などの有機系の積層配線板が良い。
配線基板Cには、導体部3として、外部接続端子3aの他に、図2に示しているように、内部配線3b、ビア導体3cおよび素子用接続端子3dを有していてもよい。図1では内部配線3bは省略している。
素子用接続端子3dおよび外部接続用端子3aを個々に見たときに、配線基板Cを構成している導体部3の一つである外部接続用端子3aの面積は、基材1のおもて面1e側に配置された素子用接続端子3dの面積よりも小さい方が良い。基材1の裏面1a側の第1面1daに配置された外部接続用端子3aの面積がおもて面1e側に配置された素子用接続端子3dの個々の面積よりも小さいと、外部接続用端子3a間のピッチを狭くすることができる。これによりおもて面1e側よりも面積の小さい突出部1dの第1面1daにより多くの外部接続用端子3aを配置させることができる。また、第1面1daに配置された多くの外部接続用端子3aによって外部接続用端子3aからの放熱性を高めることができる。また、反対に、素子用接続端子3dの個々の面積が大きいと、素子用接続端子3d自体の放熱体としての機能が高まる。素子用接続端子3d上に搭載する電気素子から発生する熱が放熱されやすくなり、配線基板Cの放熱性が高まる。
次に、突出部1dの第1面1daに設けた外部接続端子3aの形状について説明する。配線基板Cは、突出部1dの第1面1daに複数の外部接続端子3aを有する。外部接続端子3aは突出部1dの主面である第1面1daに設けられている。外部接続端子3aが突出部1dの第1面1daに設けられた状態では、外部接続端子3aの側面3asは露出した状態である。ここで、外部接続端子3aの側面3asとは、突出部1dの第1面1daに対してほぼ垂直な方向である。外部接続端子3aの側面3asは露出した状態であると、外部接続端子3aに露出した部分が存在するため、外部接続端子3aからの放熱性が高まる。この場合、外部接続端子3aの側面3asは凸状あるいは凹状に湾曲していても良い。外部接続端子3aの側面3asが凸状あるいは凹状に湾曲した形状であると、外部接続端子3aの側面3asが平坦な形状である場合に比べて、外部接続端子3aの側面の面積が大きい。外部接続端子3aの側面3asの面積が大きいため、配線基板Cの放熱性がさらに高まる。
また、図3に示すように、外部接続端子3aは、基材1の外周縁1b側の厚みt3が内側1cの厚みt4よりも厚い。突出部1dの第1面1daに設けられた複数の外部接続端子3aは、いずれも基材1の外周縁1b側の厚みt3が内側1cの厚みt4よりも厚い形状であるのがよい。外部接続端子3aのビア導体3cとの接続面3abは、突出部1dの第1面1daに沿う形状であるのがよい。外部接続端子3aの接続パッドB1との接合面3aaは外部回路基板Bの表面B2もしくは基材1の裏面1eにほぼ平行であるのが良い。外部接続端子3aと接続パッドB1との接合面3aaは外部回路基板Bの表面B2もしくは基材1の裏面1eに平行であるのがよい。外部接続端子3aと接続パッドB1との接合面3aaは外部回路基板Bの表面B2もしくは基材1の裏面1eに平行であると、突出部1dの第1面1daが外側に向けて突出していても外部回路基板Bの表面B2から基材1の裏面1eまでの高さhを均等にすることができる。裏面1eに搭載される機能素子が例えばレーザー素子などに代表される発光素子である場合に、発光素子の光の方向を安定化させることが可能になる。
配線基板Cは、導体部3として、外部接続端子3aの他に、図2に示しているように、内部配線3b、ビア導体3cおよび素子用接続端子3dを有する。外部接続端子3a、内部配線3b、ビア導体3cおよび素子用接続端子3dは、基材1において、突出部1dの第1面1daからおもて面1eに達し、双方の表面に露出している。素子用接続端子3d側に発生した熱を外部接続端子3a側まで、これらの導体部3を介して移動させることが容易となる。
次に、基材1における突出部1dの裾野の形状について説明する。基材1における突出部1dを除く部分をベース部1fとする。ベース部1fにおいて、突出部1dの外側の部分をベース周縁部1faとする。ベース部1fにおいて、突出部1dと重なる部分をベース中央部1fbとする。ベース周縁部1faの表面1faaから突出部1dの側面1ddに繋がる部位を庇奥表面1dbとする。庇奥表面1dbは凹状に湾曲している。
次に、図4に示すように、ベース周縁部1faの表面1faaに沿う直線L1と突出部1dの側面1ddに沿う直線L2とを設定する。基材1において、直線L1と直線L2とが交わる交点をC1とする。庇奥表面1dbがベース周縁部1faの表面1faaに沿うように引いた直線L1から反れる点をC2とする。庇奥表面1dbが突出部1dの側面1ddに沿うように引いた直線L2からそれる点をC3とする。基材1中で上記交点C1と、点C2および点C3の各点を結んだ領域を庇(ひさし)奥部1dcとする。配線基板Cでは、庇奥表面1dbが凹状に湾曲している形状であるため、基材1の中で、ベース周縁部1faの表面1faaから突出部1dの側面1ddにつながる庇奥部1dcは肉厚となっている。庇奥部1dcは交点C1から庇奥表面1dbに対して法線方向であって、点C2と点C3との中間辺りの厚みt3が最も厚い。図4に示す基材1では、ベース周縁部1faと突出部1dとが繋がる角部が直角な形状ではない。このためベース周縁部1faと突出部1dとが繋がる角部が直角である場合に比べて、配線基板Cの基材1を構成している突出部1dはベース部1fに対する曲げモーメントが高い。また、ベース周縁部1faと突出部1dとが繋がる角部に位置する庇奥部1dcが凹状に湾曲し、肉厚の形状である場合には、庇奥部1dcに発生する応力を分散させることができる。
図4において、応力をS1、S2、S3およびS4で示した矢印で示している。ベース周縁部1faと突出部1dとが繋がる角部が直角である場合には、突出部1dの側面1ddに沿う方向の応力S1とベース周縁部1faの表面1faaに沿う方向の応力S1とが交点C1に向くようになる。このような場合には、交点C1に応力S1、S2が集中する。一方、ベース周縁部1faと突出部1dとが繋がる角部に形成された庇奥部1dcが凹状に湾曲し、肉厚の形状である場合には、応力S1および応力S2から分かれた応力がそれぞれ生じる。
図4では、ベース周縁部1faから庇奥表面1dbに沿う応力をS3として示している。突出部1dから庇奥表面1dbに沿う応力をS4として示している。実装構造体Aが加熱・冷却の温度変化の環境に晒される状況を想定する。配線基板Cの突出部1dは外部回路基板Bの熱膨張によって寸法が変化する。配線基板Cを構成する基材1と外部回路基板Bとの間の熱膨張率の違いからベース周縁部1faから庇奥部1dc内に集中する応力S1、S2が応力S1、S2、S3およびS4に分解された状態になる。突出部1dとベース部1fとが繋がる庇奥部1dc内に発生する応力を分散させることができる。これにより外部回路基板Bと配線基板Cとの間の接合部における接続信頼性を高めることが可能になる。
図5は、本開示の実施形態に係る複合基板の一態様を示す斜視図である。図6は、図5のvi-vi線断面図である。複合基板Dは、配線基板Cと枠部材Eとを有する。複合基板Dは、配線基板Cに枠部材Eが接合された構造である。枠部材Eは、基材1を平面視したときに、突出部1dの形状に相当する開口部E1を有している。枠部材Eは、開口部E1が突出部1dを囲みつつ、突出部1dの周囲を埋めるように配置されている。複合基板Dでは、枠部材Eが基材1の突出部1dの第1面daを部分的に覆う状態である。これにより配線基板Cから枠部材Eへ熱が伝わりやすくなり、複合基板Dの放熱性を高めることが可能になる。開口部E1の内壁は、突出部1dの側面1ddに対向するように配置されている。枠部材Eの開口部E1の外側の部分は、ベース周縁部1faの表面1faaに接するように配置されている。この場合、枠部材Eの表面と突出部1dの第1面1daとは面一であるのが良い。ここで、面一とは、枠部材Eの表面と突出部1dの第1面1daの頂部との高さの差が10μm以内であることを言う。枠部材Eの表面と突出部1dの第1面1daとの間が上記範囲の面一の状態であると、配線基板Cに枠部材Eを組み合わせた複合基板Dを高い平行度でマザーボードに実装することが可能になる。配線基板Cに発光素子が実装された場合には光軸を安定させることができる。特に、枠部材Eに複数の開口部E1が設けられ、各開口部E1に配線基板Cが設置された場合に、複数の発光素子の光軸をより同じ方向に向けて揃えることが可能になる。枠部材Eと基材1とは、熱膨張率の差によって嵌めこんだ状態でもよいが、必要に応じてハンダまたは銀ロウなどの接合材を適用して接合しても良い。
枠部材Eは金属製であるのが良い。枠部材Eが金属製であると、配線基板Cからの放熱性をさらに高めることができる。枠部材Eの材料としては、熱伝導性が高いという点から、銅またはアルミニウムなどが適している。
配線基板Cに金属製の枠部材Eを貼り付けた場合には、枠部材Eが配線基板Cを構成する基材1よりも導電性が高いことからプロジェクション溶接などの電気溶接を採用することが可能になる。プロジェクション溶接は通常の電気溶接に比べて処理時間が短いため、配線基板Cおよびこれに搭載される電気素子が故障する確率を低減することができる。
図7は、本開示の実施形態に係る電気装置の一態様を示す斜視図である。図8は、図7のviii-viii線断面図である。図9は、本開示の実施形態に係る電気装置の他の態様を示す斜視図である。図10は、図9のx-x線断面図である。図9に示した電気装置が図7に示した電気装置と異なる点は、図9に示した電気装置が枠部材Eを有しない点である。
電気装置Fおよび電気装置Hは、配線基板Cのおもて面1e上に電気素子Gを有している。電気素子Gは配線基板Cに設けた素子用接続端子3dに接続されている。この場合、フリップチップ方式を示しているが、配線基板Cに電気素子Gを接続する方式としては、これに限らず、電気素子Gの用途またはサイズによってはワイヤボンディング方式を採用しても良い。
配線基板Cは、電気素子Gのサイズがベース部1fのサイズに近いほど大きい電気素子G、あるいは、サイズは小さくても複数個の電気素子Gを搭載するマルチチップ用の配線基板として、放熱性の点、および外部回路基板Bとの接続信頼性の点から適している。
配線基板Cが内部配線3bおよびビア導体3cを有する構造である場合には、小型・低背化とともに、導体部3のインダクタンスの小さい配線基板Cおよび電気装置F、Hを得ることができる。電気素子Gとしては、LSIなどの集積回路素子あるいはレーザーダイオードなどの発光素子が好適なものとなる。
次に、図11~図18に実施形態に係る配線基板の他の態様を示す。これらの中で、図15~18に示した配線基板M、Nでは、外部接続端子3a、内部配線3b、ビア導体3cおよび素子用接続端子3dなどの導体部3を省略しているが、この場合、必要に応じて、これらの外部接続端子3a、内部配線3b、ビア導体3cおよび素子用接続端子3dなどの群から選ばれる少なくとも1つの導体部3を備えたものとなる。
図11~図18に示した配線基板I~Nは、素子用接続端子3dが設けられたおもて面1e側に凹部1eaおよび凸部1ebのうちの少なくとも一方を有している。凹部1eaはおもて面1eが深さ方向に抉られた形状である。凸部1ebはおもて面1e上に設けられた台座の形状である。これらの凹部1eaおよび凸部1ebは、機能部品および受動部品の実装に好適な場所となる。この場合、凹部1eaは受動部品を実装するのに適している。一方、凸部1ebは機能部品を実装するのに適している。また、凹部1eaは突出部1dの一部を深さ方向に抉り、深い位置まで達するように設けられていてもよい。また、複数の凹部1eaにおいては面積および深さのうちの少なくとも一方が異なっていてもよい。ここで、面積とは凹部1eaであればおもて面1eにおける面積のことである。深さとは、おもて面1eから凹部1eaの底1easまでの長さのことである。凸部1ebについても、おもて面1eに複数設けられている場合には、面積および高さのうちの少なくとも一方が異なっていてもよい。ここで、高さとは、おもて面1eから凸部1ebの頂部1ebtまでの長さのことである。
ここで、受動部品としては、コンデンサ、コイル、抵抗、フィルタなどを挙げることができる。機能部品としては、IC(Integrated Circuit)、LSI(Large Scale Integrated Circuit)、MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)などの半導体素子の他、LED(Light Emitting Diode)、LD(Laser Diode)およびPD(Photodiode)を挙げることができる。
受動部品は機能部品に比べて配線基板I~Nに実装される数が多い。このような場合、配線基板I~N上に多くの受動部品が実装された状態になると、例えば、受動部品同士で高さが異なった場合に、実装構造体Aの全体的な厚みが高さの高い受動部品によって律速される。その結果、実装構造体Aは低背化が困難になる。このような場合、図11~図18に示した配線基板I~Nを用いると、受動部品を配線基板I~Nのおもて面1eから深い場所に実装することが可能になり、実装構造体Aの低背化が可能になる。また、配線基板I~Nが凹部を有する場合には、受動部品や機能部品がおもて面1eから突出する割合を少なくすることができる。その結果、おもて面1e上の風通しが良くなり、放熱性を向上させることができる。また、配線基板I~Nのおもて面1eに多数の凹部が形成されていると、配線基板I~Nの表面積が大きくなる。この場合にも配線基板I~Nの放熱性を高めることができる。このとき、配線基板I~Nに設けられる複数の凹部1eaはそれらの深さが異なっていてもよい。これにより受動部品の高さなどのサイズが異なった場合にも受動部品がおもて面1eから突出する割合を減らすことができる。
図16に示しているように、受動部品を電気的に接続する素子用接続端子3dが凹部1eaの底1easの部分あるいは底1easに近い部分に設けられる構造を想定する。配線基板I~Nのおもて面1e内の凹部1eaに実装される複数の受動部品は配線基板I~Nに設けた内部配線3bおよびビア導体3cによって結線されることになる。このような場合に、内部配線3bやビア導体3cからおもて面1eの素子用接続端子3dに至る配線の部分を短くすることができる。その結果、配線基板I~Nにおける導体部3に起因するインダクタンスを低減することができる。
図11~図18に示した配線基板I~Nは、上記のように、おもて面1eに凸部1ebを有していてもよい。この場合、おもて面1eには複数の凸部1ebが設けられていてもよい。おもて面1eに複数の凸部1ebが設けられた場合には、凸部1ebは互いに高さが異なっていてもよい。この場合、機能部品の高さなどのサイズが異なった場合にも機能部品がおもて面1eから過度に突出する割合を減らすことができる。
また、以下の点においても凸部1ebは互いに高さが異なっている方がよい。通常、受動部品よりも機能部品は電力を消費する割合が高い。機能部品は受動部品に比べて駆動したときに発熱しやすい。このような場合、配線基板I~Nから意図的に熱を逃がす工夫が必要になる。おもて面1eに複数の凸部1ebが設けられた場合に凸部1ebの高さが互いに異なっていると、機能部品のおもて面1eから高さ方向の位置をずらすことができる。これにより、機能部品が基になっている発熱源の位置を高さ方向にずらすことができる。機能部品自体が特性の温度依存性を有している場合がある。配線基板I~Nのおもて面1e上に複数の機能部品が実装されるような場合に、1つの機能部品が他の機能部品からの熱の影響を小さくすることができる。
図19および図20には、実施形態の複合基板の他の態様を示している。図19および図20に示した複合基板Oは枠部材Eの表面に溝部ee1を有する。図19では、複合基板Oが配線基板Cと枠部材Eとを上下方向に離した状態となっているが、枠部材Eの表面に設けられた溝部ee1の形状および配置を分かりやすくするために便宜上採用したものである。溝部ee1は、図19に示しているように、枠部材Eに設けられた開口部E1の周囲を囲むように配置されているのがよい。
図21および図22には、実施形態の複合基板の他の態様を示している。図21および図22に示した複合基板Pは枠部材Eの表面に壁部ee2を有する。図21においても複合基板Pを配線基板Cと枠部材Eとを上下方向に離した状態となっているが、この場合も枠部材Eの表面に設けられた壁部ee2の形状および配置を分かりやすくするために便宜上採用したものである。壁部ee2についても、図21に示しているように、枠部材Eに設けられた開口部E1の周囲を囲むように配置されているのがよい。
複合基板Oおよび複合基板Pによれば、枠部材Eに配線基板Cを接合材adを用いて接合したときに、開口部E1の内壁に設けられた接合材adが枠部材Eの表面に広がるのを抑えることができる。複合基板Oの場合には、接合材adは溝部ee1に溜まるようになる。複合基板Pの場合には、接合材adは壁部ee2の開口部E1側の内側にせき止められて開口部E1と壁部ee2との間の枠部材Eの表面上に溜まるようになる。
次に、配線基板、複合基板および電気装置の製造方法について説明する。図23は、本開示の実施形態に係る配線基板の製造に用いる積層成形体の断面模式図である。図24は、図23に示した積層成形体の一部であるベース部成形体の断面模式図である。図25は、図23に示した積層成形体の一部である凸部成形体の製造工程を示す断面模式図である。図26は、ベース部成形体と凸部成形体とを積層する状態を示す断面模式図である。後に、配線基板Cとなる積層成形体21の断面模式図である。
積層成形体Iは、図23に示すように、ベース部成形体Q1と凸部成形体Q2とを積層することにより作製する。図24に基づき、ベース部成形体Q1を作製する方法について説明する。ベース部成形体Q1は、まず、グリーンシート21を用意し、そのグリーンシート21に貫通孔23を形成する。次に、グリーンシート21に形成した貫通孔23に導体ペーストを充填し、ビア導体となるビア充填体25を形成する。次に、ビア充填体25の表面を覆うように、グリーンシートの表面に導体パターン27を形成する。こうしてベース部成形体Q1を得ることができる。
次に、図25に基づき、凸部成形体Q2を作製する方法について説明する。(a)工程において、まず、グリーンシート31を用意し、次いで、グリーンシート31に貫通孔33を形成する。次に、グリーンシート31に形成した貫通孔33に導体ペーストを充填してビア充填体35を形成する。次に、ビア充填体25の表面を覆うように、グリーンシート31の表面に導体パターン37を形成する。こうしてパターンシート39を得る。
次に、(b)工程において、作製したパターンシート39を(b)に示すように、凹部型43と平板型45とを組み合わせた金型を用いて加圧成形を行う。こうして凸部成形体Q2を形成することができる。この場合、焼成後に得られる配線基板Cにおいて、突出部1dの第1面1daの内側1cが外周縁1b側より盛り上がった形状、ベース周縁部1faの表面1faaから突出部1dの側面1ddにおける裾野が凹状に湾曲している形状、および基材1を構成する突出部1dの第1面1daに形成される外部接続端子3aの側面3asが凸状となる形状は、いずれも凹部型43の形状を調整することにより作製することができる。ここでは、金型41として、図25(b)に示した金型41を採用しているが、ここに示した凹部型43と平板型45とを組み合わせた金型41は一例にすぎないものであり、例えば、凹部型43を幅方向に2等分した割り子型の金型を用いても良い。
次に、図26に示しているように、ベース部成形体Q1と凸部成形体Q2とを積層することにより、図23に示した積層成形体Qを得る。この後、作製した積層成形体Qを焼成(最高温度:1500~1900℃)して配線基板Cを得る。
こうして得られた配線基板Cは、基材1が一方側に外部に向けて突出する突出部1dを有している。突出部1dは、第1面1daが、内側1cが外周縁1b側より盛り上がった形状である。
次に、金属製の枠部材Eを用意する。枠部材Eは配線基板Cの基材1を構成する突出部1dの形状に相当する開口部E1を有している。枠部材Eの開口部E1が配線基板Cを構成する突出部1dに嵌るように基材1に貼り合わせる。枠部材Eと基材1との接合は、かしめによるはめ込みでも良いが、枠部材Eと基材1とが接する部位にハンダもしくは銀ロウを塗布して接合する方法を採用してもよい。
電気装置Fまたは電気装置Hは、これらを構成する配線基板Cのおもて面1eに電気素子Gを実装することにより得ることができる。この場合、配線基板Cのおもて面1eに設けた素子用接続端子3dと電気素子Gの端子とを接続させる。こうして基材1の中でおもて面1eに電気素子Gを備えた電気装置Fまたは電気装置Hを得ることができる。
図11~図18に示した配線基板I~Nを作製するための積層成形体については、例えば、図24に示したベース部成形体Q1に変えて、ベース部成形体Q1の表面部分を金型を用いて凹凸状に成形したものを用いる。図18~図22に示した枠部材Eについては、所定の形状(溝部ee1付きまたは壁部ee2付き)に予め加工した金属製の部材を枠部材Eとして用いることで対応できる。
配線基板を、図24、図25および図26に示した方法により作製した。まず、グリーンシートを形成するための混合粉末として、窒化アルミニウム粉末94質量%に対して、イットリア粉末を5質量%、カルシア粉末を1質量%の割合で混合した混合粉末を調製した。次に、この混合粉末(固形分)100質量部に対して、有機バインダーとしてアクリル系バインダーを20質量部、トルエンを50質量部添加してスラリーを調製し、次に、ドクターブレード法を用いて所定の厚みのグリーンシートを作製した。導体部を形成するための導体ペーストには、タングステン粉末と窒化アルミニウム粉末を7:3の比率で混合した混合粉末に、アクリル系有機バインダーおよびテルピネオールを適宜添加して導体ペーストを調製したものを用いた。作製した積層成形体を還元雰囲気中、最高温度が1800℃となる条件にて2時間の焼成を行って配線基板を得た。
作製した配線基板は、焼成後の形状で、幅3.5mm×長さ4mmであった。配線基板の厚みは、ベース部が0.6mm、突出部が0.4mmであった。突出部の幅および長さは、ベース部の幅および長さの0.8倍のサイズとした。外部接続端子は、突出部の第1面の端から0.5mm内側に配置されていた。外部接続端子は、突出部の第1面上に長手方向に均等に配置されていた。突出部は、第1面が凸状に湾曲していた。湾曲した部分の厚みは、いずれの試料も最大値が0.08mmであった。湾曲した部分の厚みは、配線基板を断面視したときの厚みである。外部接続端子のサイズは、縦0.2mm×横0.2mm、形状は正方形であった。外部接続端子のピッチは0.3mmであった。外部接続端子の最大厚みは0.05mmであった。配線基板のおもて面に形成した素子用接続端子は、縦0.3mm×横0.3mmの正方形であった。素子用接続端子のピッチは0.5mmであった。電気素子としては、消費電力が80Wの半導体素子を用いた。半導体素子のサイズは、長さが3mm、幅が2.5mm、厚みが0.6mmであった。半導体素子には、一方の面に端子が10か所配置されていた。端子は半導体素子の長さ方向に沿って両端に平行に5個ずつ並んでいた。外部回路基板には、厚みが2mmのFR-4を用いた。外部回路基板は、縦10mm×横10mmの正方形であった。外部回路基板は、配線基板の外部接続端子の配置に対応する接続パッドを備えていた。接続パッドの最大厚みは0.05mmであった。外部回路基板としては、放熱性を高めるために、配線基板の突出部に対応する表面に銅箔が貼られており、また、その銅箔の下の外部回路基板の内部に貫通ビアを有する仕様であった。
配線基板の外部接続端子と外部回路基板の接続パッドとはハンダにより接続した。ハンダの厚みは0.01mmとなるように調整した。突出部の第1面の形状、突出部の庇奥部の形状、外部接続端子の形状、および突出部の第1面と外部回路基板の表面との間隔は表1に示した。表1に示した突出部の第1面と外部回路基板の表面との間隔は最低値である。配線基板のサイズ、突出部の形状、突出部の第1面に形成した外部接続端子の断面の形状、突出部の第1面と外部回路基板の表面との間隔、配線基板のおもて面に形成した素子用接続端子のサイズおよびピッチ、半導体素子のサイズ、外部回路基板のサイズおよび厚み、ならびに、配線基板を構成する突出部の第1面と外部回路基板の表面との間隔の測定にはデジタルマイクロスコープを用いた。
表1において、庇奥部の形状が「凹状」というのは、ベース周縁部の表面から突出部の側面に繋がる部分が肉厚で凹状に湾曲している状態を意味する。庇奥部の形状が「直角」というのは、ベース周縁部の表面から突出部の側面に繋がる部分の形状が凹状ではなく、90°もしくは90°に近い角度であることを意味する。配線基板に形成した外部接続端子は、いずれの試料においても、基材の外周縁側の厚みが内側部側の厚みよりも厚くなっていた。配線基板の放熱性の評価は、配線基板の基材の側面に熱電対を設置して配線基板の温度を測定した。配線基板の温度は、半導体素子の駆動を止めた直後の温度T1、駆動を止めて5秒経った後の温度T2を測定し、T2/T1比を求めた。試料数は5個とし、表1には平均値を示した。外部接続端子と接続パッドとの接続信頼性を温度サイクル試験により評した。温度サイクル試験は最高温度が125℃、最低温度が-55℃、最高温度および最低温度に各1分間放置した後、1分間かけて温度を変化させる条件とした。試料数は100個とした。比較例(試料No.1)として作製した配線基板は、突出部の第1面が湾曲していない分、突出部の第1面と外部回路基板の表面との間隔が0.07mmほど大きかった。
Figure 0007159343000001
表1に示した結果から明らかなように、突出部の第1面が凸状に湾曲した形状の試料(試料No.2~5)は、T2/T1比が0.6以下であったが、突出部の第1面が平坦な形状である試料No.1は、T2/T1比が0.8であった。ベース周縁部から突出部に繋がる部分の形状を凹状とした試料(試料No.3~5)は、ベース周縁部から突出部に繋がる部分の形状が直角である試料(試料No.2)に比べて、温度サイクル試験での不良数が少なく、高い接続信頼性を示した。
C・・・・・・・配線基板
D・・・・・・・複合基板
E・・・・・・・枠部材
E1・・・・・・開口部
F、H・・・・・電気装置
G・・・・・・・電気素子
1・・・・・・・基材
1b・・・・・・外周縁
1c・・・・・・内側
1d・・・・・・突出部
1da・・・・・第1面
1dd・・・・・突出部の側面
1f・・・・・・ベース部
1fa・・・・・ベース周縁部
1faa・・・・ベース周縁部の表面
3a・・・・・・外部接続端子
3d・・・・・・素子用接続端子
3as・・・・・外部接続端子の側面

Claims (11)

  1. 基材が、該基材の一方側に外部に向けて突出する突出部を有しており、
    前記基材の前記突出部の主面を第1面、前記基材の前記第1面とは反対側の面をおもて面としたときに、
    該突出部は前記第1面の中央部が外周縁より盛り上がり、凸状に湾曲した形状であり、
    前記第1面に複数の外部接続端子が配置されており、
    前記突出部の前記中央部における前記基材の前記おもて面から前記第1面までの距離は、前記基材の前記おもて面から前記外部接続端子が前記突出部と接している位置までの距離よりも長い、配線基板。
  2. 前記おもて面に複数の素子用接続端子を有しており、前記外部接続端子の個々の面積は前記素子用接続端子の個々の面積よりも小さい、請求項1に記載の配線基板。
  3. 前記外部接続端子は、側面が凸状または凹状に湾曲している、請求項1または2に記載の配線基板。
  4. 前記外部接続端子の前記外周縁側の厚みは、前記突出部の前記第1面における前記中央部側に位置する内側の厚みよりも厚い、請求項1乃至3のうちいずれかに記載の配線基板。
  5. 前記基材における前記突出部を除く部分をベース部とし、該ベース部の前記突出部の外側の部分をベース周縁部としたときに、該ベース周縁部の表面から前記突出部の側面につながる部位が凹状に湾曲している、請求項1乃至4のうちいずれかに記載の配線基板。
  6. 前記基材は、前記おもて面に凹部および凸部のうちの少なくとも一方を有している、請求項2乃至5のうちいずれかに記載の配線基板。
  7. 請求項1乃至6のうちいずれかに記載の配線基板と、金属製の枠部材と、を備えており、該枠部材は、前記基材を平面視したときに、前記突出部の形状に相当する開口部を有しており、前記枠部材は、前記開口部が前記突出部を囲みつつ、該突出部の周囲を埋めるように配置されている、複合基板。
  8. 前記枠部材の表面と前記第1面とは面一である、請求項7に記載の複合基板。
  9. 前記枠部材は、前記開口部の周囲に、該周囲を囲む、溝部または壁部を有する、請求項7または8に記載の複合基板。
  10. 請求項1乃至6のうちいずれかに記載の配線基板のおもて面に電気素子を備えている、電気装置。
  11. 請求項7乃至9のうちいずれかに記載の複合基板を構成している配線基板のおもて面に電気素子を備えている、電気装置。
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