JP7146488B2 - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Description
第1の主面および前記第1の主面と反対側の第2の主面を有する第1導電型の半導体基板と、
前記第1の主面に形成された第2導電型の拡散領域と、
前記第1の主面に前記拡散領域を取り囲むように形成され、前記半導体基板よりも不純物濃度が高い第1導電型のチャネルストッパー領域と、
前記第1の主面上に形成され、前記拡散領域および前記チャネルストッパー領域間を跨ぐ絶縁膜と、
前記絶縁膜の上に形成され、前記拡散領域から前記チャネルストッパー領域まで延在するフィールドプレートと、
を備えることを特徴とする。
前記拡散領域と前記チャネルストッパー領域との間の距離は、前記半導体装置の所要の耐圧に基づくようにしてもよい。
前記絶縁膜の厚さは、前記半導体装置の所要の耐圧に基づくようにしてもよい。
前記フィールドプレートを埋設するように前記第1の主面側を被覆し、空気よりも絶縁破壊電界強度が大きい材料からなるパッシベーション膜をさらに備えてもよい。
前記チャネルストッパー領域は、前記半導体基板の側面に露出しているようにしてもよい。
前記フィールドプレートは、前記拡散領域に電気的に接続されているようにしてもよい。
前記チャネルストッパー領域に電気的に接続された等電位リング電極であって、前記フィールドプレートとの間で前記半導体装置の所要の耐圧に基づく距離を確保するように前記第1の主面上に形成された、等電位リング電極をさらに備えてもよい。
前記パッシベーション膜は、前記フィールドプレートと前記等電位リング電極との間隙を充填するようにしてもよい。
前記フィールドプレートの先端部は、前記チャネルストッパー領域の境界上に位置するようにしてもよい。
前記拡散領域に電気的に接続するように前記第1の主面上に形成された第1の主電極と、
前記第2の主面に形成され、前記半導体基板よりも不純物濃度の高い第1導電型の第2の拡散領域と、
前記第2の拡散領域に電気的に接続するように前記第2の主面上に形成された第2の主電極と、
をさらに備えてもよい。
前記フィールドプレートは、前記第1の主電極に電気的に接続するようにしてもよい。
前記拡散領域に電気的に接続するように前記第1の主面上に形成されたゲート電極と、
前記拡散領域内に形成された第1導電型の第2の拡散領域と、
前記拡散領域および前記第2の拡散領域に電気的に接続するように前記第1の主面上に形成された第1の主電極と、
前記第2の主面に形成された第2導電型の第3の拡散領域と、
前記第3の拡散領域に電気的に接続するように前記半導体基板の第2の主面上に形成された第2の主電極と、
をさらに備えてもよい。
前記フィールドプレートは、前記ゲート電極または前記第1の主電極に電気的に接続するようにしてもよい。
第1の主面、および前記第1の主面と反対側の第2の主面を有する第1導電型の半導体基板を用意する工程と、
前記第1の主面に第2導電型の拡散領域を形成する工程と、
前記第1の主面に前記拡散領域を取り囲むように前記半導体基板よりも不純物濃度が高い第1導電型のチャネルストッパー領域を形成する工程と、
前記第1の主面に露出した前記拡散領域と、前記第1の主面に露出した前記チャネルストッパー領域との間のバルク領域を跨ぐように、前記第1の主面上に絶縁膜を形成する工程と、
前記拡散領域から前記チャネルストッパー領域まで延在するようにフィールドプレートを前記絶縁膜の上に形成する工程と、
を備えることを特徴とする。
図1を参照して、第1の実施形態に係る半導体装置1について説明する。本実施形態に係る半導体装置1は、アバランシェ・ブレークダウン・ダイオード(ABD)である。
次に、半導体装置1の耐圧シミュレーション結果について、図2、図3Aおよび図3Bを参照して説明する。
次に、上記の半導体装置1の製造方法について、図4のフローチャートに沿って説明する。
次に、図5を参照して、第2の実施形態に係る半導体装置1Aについて説明する。本実施形態に係る半導体装置1Aは、3端子型のサイリスタである。
図6を参照して変形例1に係る半導体装置1Bについて説明する。本変形例に係る半導体装置1Bは、半導体装置1Aと同じ3端子型のサイリスタであるが、ゲート電極とカソード電極の配置が異なっている。
次に、図7を参照して変形例2に係る半導体装置1Cについて説明する。本変形例に係る半導体装置1Cは、2端子型の片方向サイリスタである。
次に、図8を参照して変形例3に係る半導体装置1Dについて説明する。本変形例に係る半導体装置1Dは、2端子型の双方向サイリスタである。
2 半導体基板
2a,2b 主面
2s 側面
3 拡散領域(ベース領域)
4 チャネルストッパー領域
5 絶縁膜
6 フィールドプレート
6a 先端部
7 パッシベーション膜
8 等電位リング電極
9,16 アノード電極
10,15 拡散領域
11,14,14B,14C カソード電極
12,12B ゲート電極
13 拡散領域(エミッタ領域)
17,18 電極
20 バルク領域
B1,B2 空乏領域の境界
D (ベース領域とチャネルストッパー領域間の)距離
W (空乏領域の)幅
Claims (10)
- 第1の主面および前記第1の主面と反対側の第2の主面を有する第1導電型の半導体基板と、
前記第1の主面に形成された第2導電型の拡散領域と、
前記第1の主面に前記拡散領域を取り囲むように形成され、前記半導体基板よりも不純物濃度が高い第1導電型のチャネルストッパー領域と、
前記第1の主面上に形成され、前記拡散領域および前記チャネルストッパー領域間を跨ぐ絶縁膜と、
前記絶縁膜の上に形成され、前記拡散領域から前記チャネルストッパー領域まで延在するフィールドプレートと、
前記フィールドプレートを埋設するように前記第1の主面側を被覆し、空気よりも絶縁破壊電界強度が大きい材料からなるパッシベーション膜と、
前記チャネルストッパー領域に電気的に接続された等電位リング電極と、
を備える半導体装置であって、
前記等電位リング電極は前記フィールドプレートとの間で前記半導体装置の所要の耐圧に基づく距離を確保するように前記第1の主面上に形成され、前記パッシベーション膜は、前記フィールドプレートと前記等電位リング電極との間隙を充填していることを特徴とする半導体装置。 - 前記拡散領域と前記チャネルストッパー領域との間の距離は、前記半導体装置の所要の耐圧に基づくことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記絶縁膜の厚さは、前記半導体装置の所要の耐圧に基づくことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記チャネルストッパー領域は、前記半導体基板の側面に露出していることを特徴とする請求項1~3のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記フィールドプレートは、前記拡散領域に電気的に接続されていることを特徴とする請求項1~4のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記フィールドプレートの先端部は、前記チャネルストッパー領域の境界上に位置することを特徴とする請求項1~5のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記拡散領域に電気的に接続するように前記第1の主面上に形成された第1の主電極と、
前記第2の主面に形成され、前記半導体基板よりも不純物濃度の高い第1導電型の第2の拡散領域と、
前記第2の拡散領域に電気的に接続するように前記第2の主面上に形成された第2の主電極と、
をさらに備えることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記フィールドプレートは、前記第1の主電極に電気的に接続することを特徴とする請求項7に記載の半導体装置。
- 前記拡散領域に電気的に接続するように前記第1の主面上に形成されたゲート電極と、
前記拡散領域内に形成された第1導電型の第2の拡散領域と、
前記拡散領域および前記第2の拡散領域に電気的に接続するように前記第1の主面上に形成された第1の主電極と、
前記第2の主面に形成された第2導電型の第3の拡散領域と、
前記第3の拡散領域に電気的に接続するように前記半導体基板の第2の主面上に形成された第2の主電極と、
をさらに備えることを特徴とする請求項1~6のいずれかに記載の半導体装置。 - 前記フィールドプレートは、前記ゲート電極または前記第1の主電極に電気的に接続することを特徴とする請求項9に記載の半導体装置。
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JP2018124551A JP7146488B2 (ja) | 2018-06-29 | 2018-06-29 | 半導体装置およびその製造方法 |
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