JP7141633B2 - 摺動装置 - Google Patents
摺動装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7141633B2 JP7141633B2 JP2018092297A JP2018092297A JP7141633B2 JP 7141633 B2 JP7141633 B2 JP 7141633B2 JP 2018092297 A JP2018092297 A JP 2018092297A JP 2018092297 A JP2018092297 A JP 2018092297A JP 7141633 B2 JP7141633 B2 JP 7141633B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sliding
- dlc film
- hydrogen
- atmosphere
- ceramics
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Taps Or Cocks (AREA)
Description
り、また、長期間にわたって使用することができるため、部品交換の頻度を下げることができる。
C膜5bがボール4と接している。
していない場合であっても、第1部材5および第2部材4の摺動における摩擦係数が低くなる。
HFS)を用いて測定すればよい。
ンバー41内を所定の真空度とした後、不活性ガス(ArまたはHe)を用いたイオンボンバード処理によりシートリテーナ5の基部5aの曲面状の端面から不純物を除去する。
浄した後、摩擦試験を行い、摩擦係数を測定し、その値を表1に示した。本実施例の場合、円板状試験片が第1部材に、ピン形試験片が第2部材にそれぞれ該当する。
施した。摺動面における雰囲気は水素として、雰囲気における水分量が0体積ppmと60体積ppmの2条件になるように制御した。
ボール弁以外の形態の摺動装置に本開示を適用してもよい。
2 :本体、収容部
4 :第2部材、ボール
5 :第1部材、シートリテーナ
5a:基部
5b:DLC膜
6 :上ステム
8 :流入部
9 :流出部
11:ハンドル
20:チャンバー
22:ホルダー
23:電極
24:カソード
25:バイアス電源(A)
26:バイアス電源(B)
27:陰極PIGプラズマ源
28:コイル
29:ガス導入口
30:ガス排出口
31:プラズマ
41:チャンバー
42、43:アーク蒸発源
44:ホルダー
45:排気口
46:アーク電源
47:モーター
48:回転導入部
49:回転軸
50:バイアス電源
Claims (8)
- 摺動部と、該摺動部を収容する収容部とを備え、
前記摺動部は、
銅合金からなる基部上にDLC膜からなる第1面を有するシートリテーナと、
ZrおよびAlの少なくともいずれかを含む酸化物を主成分とするセラミックスからなり、第2面を有するボールとを備えたトラニオン構造であり、
前記第1面と前記第2面とが摺動面であり、
該摺動面における雰囲気が水素であり、
前記DLC膜が水素を含有している、摺動装置。 - 前記雰囲気が、水分を含まない請求項1に記載の摺動装置。
- 摺動部と、該摺動部を収容する収容部とを備え、
前記摺動部は、
銅合金からなる基部上にDLC膜からなる第1面を有するシートリテーナと、
ジルコニア質セラミックスからなり、第2面を有するボールとを備えたトラニオン構造であり、
前記第1面と前記第2面とが摺動面であり、
該摺動面における雰囲気が水素であり、
前記DLC膜が水素を含有していない、摺動装置。 - 前記雰囲気の水分量が60体積ppm未満である請求項3に記載の摺動装置。
- 摺動部と、該摺動部を収容する収容部とを備え、
前記摺動部は、
DLC膜からなる第1面を有する第1部材と、
炭化珪素質セラミックスからなり、第2面を有する第2部材とを備え、
前記第1面と前記第2面とが摺動面であり、
前記DLC膜が水素を含有し、
前記摺動面における雰囲気が水素であるとともに水分を含有している、摺動装置。 - 前記雰囲気の水分量が60体積ppm以上である、請求項5に記載の摺動装置。
- 摺動部と、該摺動部を収容する収容部とを備え、
前記摺動部は、
DLC膜からなる第1面を有する第1部材と、
窒化珪素質セラミックスからなり、第2面を有する第2部材とを備え、
前記第1面と前記第2面とが摺動面であり、
前記DLC膜が水素を含まず、
該摺動面における雰囲気が水素であるとともに水分を含有している、摺動装置。 - 前記雰囲気の水分量が60体積ppm以上である、請求項7に記載の摺動装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017095832 | 2017-05-12 | ||
JP2017095832 | 2017-05-12 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018194171A JP2018194171A (ja) | 2018-12-06 |
JP7141633B2 true JP7141633B2 (ja) | 2022-09-26 |
Family
ID=64570972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018092297A Active JP7141633B2 (ja) | 2017-05-12 | 2018-05-11 | 摺動装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7141633B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013129560A1 (ja) | 2012-02-28 | 2013-09-06 | 株式会社キッツ | 高圧用トラニオン型ボール弁並びに水素ステーション |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05263952A (ja) * | 1992-03-12 | 1993-10-12 | Tokyo Yogyo Co Ltd | 水栓用バルブ部材 |
JPH0996367A (ja) * | 1995-09-29 | 1997-04-08 | Kyocera Corp | ディスクバルブ |
-
2018
- 2018-05-11 JP JP2018092297A patent/JP7141633B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013129560A1 (ja) | 2012-02-28 | 2013-09-06 | 株式会社キッツ | 高圧用トラニオン型ボール弁並びに水素ステーション |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2018194171A (ja) | 2018-12-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008214759A (ja) | 炭素膜被覆部材の製造方法 | |
JP2001316800A (ja) | 非晶質炭素被覆部材 | |
JP7141633B2 (ja) | 摺動装置 | |
JP2016032861A (ja) | 被覆工具 | |
US20230243029A1 (en) | Tetrahedral amorphous hydrogenated carbon and amorphous siloxane diamond-like nanocomposite | |
JP4449187B2 (ja) | 薄膜形成方法 | |
Kao et al. | Effects of carbon doping on mechanical, tribological, structural, anti-corrosion and anti-glass-sticking properties of CrNbSiTaZr high entropy alloy coatings | |
JP2008218491A (ja) | 探針収納容器、プローバ装置、探針配置方法、及び探針収納容器の製造方法 | |
JP6533818B2 (ja) | 摺動部材およびピストンリング | |
KR102088090B1 (ko) | 피복 공구의 제조 방법 | |
JP2012228735A (ja) | 耐摩耗性に優れる被覆工具およびその製造方法 | |
JP2022099748A (ja) | CrN被膜、及び摺動部材 | |
JP4209815B2 (ja) | 医療用器具 | |
JP2006161075A (ja) | 硬質炭素膜およびその形成方法 | |
JP2016128599A (ja) | ダイヤモンドライクカーボン層積層体およびその製造方法 | |
JP4091761B2 (ja) | ディスクバルブ | |
Sui et al. | Mechanical properties and anti-corrosion behavior of the diamond-like carbon films | |
JP4766853B2 (ja) | 水栓 | |
TW201350359A (zh) | 筆記具(二) | |
Sun et al. | Achieving ultra‐low friction of a‐C: H film grown on 9Cr18Mo steel for industrial application via programmable high power pulse magnetron sputtering | |
CN110023052A (zh) | 模具及其制造方法 | |
JP4380377B2 (ja) | カーボン系膜形成方法 | |
JP2010202978A (ja) | 非晶質炭素被覆部材 | |
JP2016084491A (ja) | 摺動システムおよび摺動部材 | |
JP4638181B2 (ja) | 摺動部材、ディスクバルブ及びそれを用いた混合栓 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180703 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210511 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20210830 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20210907 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220111 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220126 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220325 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220809 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220831 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7141633 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |