JP7127975B2 - 半導体装置および放送システム、ならびに電子機器 - Google Patents

半導体装置および放送システム、ならびに電子機器 Download PDF

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Description

本発明の一態様は、半導体装置および放送システム、ならびに電子機器に関する。
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の一態様の技術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物(コンポジション・オブ・マター)に関するものである。そのため、より具体的に本明細書等で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、液晶表示装置、発光装置、照明装置、蓄電装置、記憶装置、撮像装置、それらの動作方法、または、それらの製造方法、を一例として挙げることができる。
なお、本明細書等において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能しうる装置全般を指す。トランジスタ、半導体回路は半導体装置の一態様である。また、記憶装置、表示装置、撮像装置、電子機器は、半導体装置を有する場合がある。
テレビジョン(TV)は、大画面化に伴い、高精細度の映像を視聴できることが望まれている。そのため、超高精細TV(UHDTV)放送の実用化が推し進められている。日本国では、2015年に通信衛星(CS)および光回線による4K放送サービスが開始されている。今後、放送衛星(BS)によるUHDTV(4K、8K)の試験放送の開始が予定されている。そのため、8K放送に対応するための各種の電子機器が開発されている(例えば、非特許文献1)。8Kの実用放送では、4K放送、2K放送(フルハイビジョン放送)も併用される予定である。
8K放送等では、高精細度の画像データを処理する必要があるため、画像データの容量が大きくなり、画像データの符号化および復号化が不可欠となる。フレーム間予測により、予測画像データを生成し、入力画像データと予測画像データの差分を符号化および復号化することにより、高い圧縮効率を得ることができる。復号化された入力画像データは、画像処理回路により画像処理を行うことができる。ここで、画像処理回路を複数設け、使用する画像処理回路をスイッチにより選択することにより、表示される画像に求められる画質等、状況に応じて異なる画像処理を行うことができる(特許文献1)。
特開2003-179933号公報
S.Kawashima,et al.,"13.3-In. 8K X 4K 664-ppi OLED Display Using CAAC-OS FETs、"SID 2014 DIGEST,pp.627―630.
8K放送等により、画像処理回路により処理される画像データの容量が大きくなると、画像処理回路等は高速な動作が求められ、これによりクロック周波数が高くなる。したがって、画像処理回路の切り替えが1クロック期間で完了しない場合がある。これにより、画像処理回路による画像処理が正しく行われない場合がある。
本発明の一態様では、クロック周波数を高めても画像処理回路の構成の切り替えの際に誤動作を生じない半導体装置を提供することを課題の1つとする。または、本発明の一態様では、高速動作に適した半導体装置を提供することを課題の1つとする。または、本発明の一態様では、信頼性の高い半導体装置を提供することを課題の1つとする。または、本発明の一態様では、消費電力を低減した半導体装置を提供することを課題の1つとする。または、本発明の一態様では、新規な半導体装置および新規な電子機器等を提供することを課題の1つとする。
なお本発明の一態様の課題は、上記列挙した課題に限定されない。上記列挙した課題は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお他の課題は、以下の記載で述べる、本項目で言及していない課題である。本項目で言及していない課題は、当業者であれば明細書または図面等の記載から導き出せるものであり、これらの記載から適宜抽出することができる。なお、本発明の一態様は、上記列挙した記載、および/または他の課題のうち、少なくとも一つの課題を解決するものである。
本発明の一態様は、デコーダを有し、デコーダは、第1の回路を有し、第1の回路は、クロック信号に同期して動作する機能を有し、第1の回路は、画像処理を行う機能を有し、第1の回路は、回路構成を切替えることができ、第1の回路の回路構成が切り替わっている最中にクロック信号が第1の回路に入力されないように、第1の回路に対してクロックゲーティングを行う半導体装置である。
また、上記態様において、デコーダは、第2の回路と、第3の回路と、を有し、第2の回路は、クロック信号を第1の回路に出力する機能を有し、第2の回路は、クロックゲーティングを行う機能を有し、第3の回路は、第1の信号を第1の回路に出力する機能を有し、第1の回路は、第1の信号の論理に対応した回路構成をとる機能を有してもよい。
また、上記態様において、デコーダは、コンフィギュレーションメモリを有し、コンフィギュレーションメモリは、コンフィギュレーションデータを保持する機能を有し、コンフィギュレーションメモリは、コンフィギュレーションデータに応じた第2の信号を生成する機能を有し、第2の回路は、クロックゲーティングを、第2の信号の論理を基にして規定されたクロック数だけ行ってもよい。
また、上記態様において、デコーダは、第1乃至第m(mは自然数)のコンフィギュレーションメモリを有し、第1乃至第mのコンフィギュレーションメモリは、それぞれが保持するコンフィギュレーションデータに応じた第1乃至第mの出力信号を生成する機能を有し、第2の回路は、第1乃至第mの出力信号の論理を基に、2進数の整数データを生成する機能を有し、第2の回路は、クロックゲーティングを、整数分のクロック数だけ行ってもよい。
また、上記態様において、第1の回路は、プログラマブルロジックエレメントを有し、プログラマブルロジックエレメントは、フリップフロップ回路を有してもよい。
また、本発明の一態様の半導体装置と、表示装置と、を有し、半導体装置は、放送信号を受信し、当該放送信号を基にして、画像データを生成する機能を有し、表示装置は、画像データに対応する画像を表示する機能を有する放送システムも本発明の一態様である。
また、本発明の一態様の半導体装置と、表示部と、を有する電子機器も本発明の一態様である。
本発明の一態様では、クロック周波数を高めても画像処理回路の構成の切り替えの際に誤動作を生じない半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様では、高速動作に適した半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様では、信頼性の高い半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様では、消費電力を低減した半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様では、新規な半導体装置および新規な電子機器等を提供することができる。
なお本発明の一態様の効果は、上記列挙した効果に限定されない。上記列挙した効果は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお他の効果は、以下の記載で述べる、本項目で言及していない効果である。本項目で言及していない効果は、当業者であれば明細書または図面等の記載から導き出せるものであり、これらの記載から適宜抽出することができる。なお、本発明の一態様は、上記列挙した効果、および/または他の効果のうち、少なくとも一つの効果を有するものである。したがって本発明の一態様は、場合によっては、上記列挙した効果を有さない場合もある。
放送システムの構成例を示すブロック図。 放送システムのデータ伝送を示す模式図。 エンコーダの構成例を示すブロック図。 デコーダの構成例を示すブロック図。 画像処理回路の構成例を示すブロック図。 デコーダの動作方法の一例を示すタイミングチャート。 コントローラの構成例を示すブロック図。 コントローラの構成例を示す回路図。 コントローラの構成例を示す回路図およびブロック図。 コントローラの構成例を示す回路図。 コントローラの構成例を示す回路図。 PLEの構成例を示す回路図。 コンフィギュレーションメモリの構成例を示す回路図。 コンフィギュレーションメモリの構成例を示す回路図。 コンフィギュレーションメモリの構成例を示す回路図。 コンフィギュレーションメモリの構成例を示す回路図。 コントローラの動作方法の一例を示すタイミングチャート。 イメージセンサの構成例を示す図。 イメージセンサの構成例を示す図。 イメージセンサの構成例を示す図。 イメージセンサの構成例を示す回路図。 表示部の構成例を示すブロック図および画素の構成例を示す回路図。 表示パネルの構成例を示す上面図。 表示パネルの構成例を示す断面図。 表示パネルの構成例を示す断面図。 電子機器の構成例を示す図。
実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。但し、本発明は以下の説明に限定されず、本発明の趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態および詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明は以下に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。なお、以下に説明する発明の構成において、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略することがある。なお、図を構成する同じ要素のハッチングを異なる図面間で適宜省略または変更する場合もある。
また本明細書等において、トランジスタとは、ゲートと、ドレインと、ソースとを含む少なくとも三つの端子を有する素子である。そして、ドレイン(ドレイン端子、ドレイン領域またはドレイン電極)とソース(ソース端子、ソース領域またはソース電極)の間にチャネル領域を有しており、チャネル形成領域を介して、ソースとドレインとの間に電流を流すことができるものである。
ここで、ソースとドレインとは、トランジスタの構造または動作条件等によって変わるため、いずれがソースまたはドレインであるかを限定することが困難である。このため、「ソース」という用語と、「ドレイン」という用語とは、場合によっては、または、状況に応じて、互いに入れ替えることが可能である。
また、本明細書等において、XとYとが接続されている、と明示的に記載されている場合は、XとYとが電気的に接続されている場合と、XとYとが機能的に接続されている場合と、XとYとが直接接続されている場合とが、本明細書等に開示されているものとする。したがって、所定の接続関係、例えば、図または文章に示された接続関係に限定されず、図または文章に示された接続関係以外のものも、図または文章に記載されているものとする。
ここで、X、Yは、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、等)であるとする。
XとYとが直接的に接続されている場合の一例としては、XとYとの電気的な接続を可能とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷等)が、XとYとの間に接続されていない場合であり、XとYとの電気的な接続を可能とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷等)を介さずに、XとYとが、接続されている場合である。
XとYとが電気的に接続されている場合の一例としては、XとYとの電気的な接続を可能とする素子(例えば、スイッチ、トランジスタ、容量素子、インダクタ、抵抗素子、ダイオード、表示素子、発光素子、負荷等)が、XとYとの間に1個以上接続されることが可能である。なお、スイッチは、オンオフが制御される機能を有している。つまり、スイッチは、導通状態(オン状態)、または、非導通状態(オフ状態)になり、電流を流すか流さないかを制御する機能を有している。または、スイッチは、電流を流す経路を選択して切り替える機能を有している。なお、XとYとが電気的に接続されている場合は、XとYとが直接的に接続されている場合を含むものとする。
XとYとが機能的に接続されている場合の一例としては、XとYとの機能的な接続を可能とする回路(例えば、論理回路(インバータ、NAND回路、NOR回路等)、信号変換回路(DA変換回路、AD変換回路、ガンマ補正回路等)、電位レベル変換回路(電源回路(昇圧回路、降圧回路等)、信号の電位レベルを変えるレベルシフタ回路等)、電圧源、電流源、切り替え回路、増幅回路(信号振幅または電流量等を大きくできる回路、オペアンプ、差動増幅回路、ソースフォロワ回路、バッファ回路等)、信号生成回路、記憶回路、制御回路等)が、XとYとの間に1個以上接続されることが可能である。なお、一例として、XとYとの間に別の回路を挟んでいても、Xから出力された信号がYへ伝達される場合は、XとYとは機能的に接続されているものとする。なお、XとYとが機能的に接続されている場合は、XとYとが直接的に接続されている場合と、XとYとが電気的に接続されている場合とを含むものとする。
なお、XとYとが電気的に接続されている、と明示的に記載されている場合は、XとYとが電気的に接続されている場合(つまり、XとYとの間に別の素子または別の回路を挟んで接続されている場合)と、XとYとが機能的に接続されている場合(つまり、XとYとの間に別の回路を挟んで機能的に接続されている場合)と、XとYとが直接接続されている場合(つまり、XとYとの間に別の素子または別の回路を挟まずに接続されている場合)とが、本明細書等に開示されているものとする。つまり、電気的に接続されている、と明示的に記載されている場合は、単に、接続されている、とのみ明示的に記載されている場合と同様な内容が、本明細書等に開示されているものとする。
なお、例えば、トランジスタのソース(または第1の端子等)が、Z1を介して(または介さず)、Xと電気的に接続され、トランジスタのドレイン(または第2の端子等)が、Z2を介して(または介さず)、Yと電気的に接続されている場合や、トランジスタのソース(または第1の端子等)が、Z1の一部と直接的に接続され、Z1の別の一部がXと直接的に接続され、トランジスタのドレイン(または第2の端子等)が、Z2の一部と直接的に接続され、Z2の別の一部がYと直接的に接続されている場合では、以下のように表現することができる。
例えば、「XとYとトランジスタのソース(または第1の端子等)とドレイン(または第2の端子等)とは、互いに電気的に接続されており、X、トランジスタのソース(または第1の端子等)、トランジスタのドレイン(または第2の端子等)、Yの順序で電気的に接続されている。」と表現することができる。または、「トランジスタのソース(または第1の端子等)は、Xと電気的に接続され、トランジスタのドレイン(または第2の端子等)はYと電気的に接続され、X、トランジスタのソース(または第1の端子等)、トランジスタのドレイン(または第2の端子等)、Yは、この順序で電気的に接続されている」と表現することができる。または、「Xは、トランジスタのソース(または第1の端子等)とドレイン(または第2の端子等)とを介して、Yと電気的に接続され、X、トランジスタのソース(または第1の端子等)、トランジスタのドレイン(または第2の端子等)、Yは、この接続順序で設けられている」と表現することができる。これらの例と同様な表現方法を用いて、回路構成における接続の順序について規定することにより、トランジスタのソース(または第1の端子等)と、ドレイン(または第2の端子等)とを、区別して、技術的範囲を決定することができる。
または、別の表現方法として、例えば、「トランジスタのソース(または第1の端子等)は、少なくとも第1の接続経路を介して、Xと電気的に接続され、前記第1の接続経路は、第2の接続経路を有しておらず、前記第2の接続経路は、トランジスタを介した、トランジスタのソース(または第1の端子等)とトランジスタのドレイン(または第2の端子等)との間の経路であり、前記第1の接続経路は、Z1を介した経路であり、トランジスタのドレイン(または第2の端子等)は、少なくとも第3の接続経路を介して、Yと電気的に接続され、前記第3の接続経路は、前記第2の接続経路を有しておらず、前記第3の接続経路は、Z2を介した経路である。」と表現することができる。または、「トランジスタのソース(または第1の端子等)は、少なくとも第1の接続経路によって、Z1を介して、Xと電気的に接続され、前記第1の接続経路は、第2の接続経路を有しておらず、前記第2の接続経路は、トランジスタを介した接続経路を有し、トランジスタのドレイン(または第2の端子等)は、少なくとも第3の接続経路によって、Z2を介して、Yと電気的に接続され、前記第3の接続経路は、前記第2の接続経路を有していない。」と表現することができる。または、「トランジスタのソース(または第1の端子等)は、少なくとも第1の電気的パスによって、Z1を介して、Xと電気的に接続され、前記第1の電気的パスは、第2の電気的パスを有しておらず、前記第2の電気的パスは、トランジスタのソース(または第1の端子等)からトランジスタのドレイン(または第2の端子等)への電気的パスであり、トランジスタのドレイン(または第2の端子等)は、少なくとも第3の電気的パスによって、Z2を介して、Yと電気的に接続され、前記第3の電気的パスは、第4の電気的パスを有しておらず、前記第4の電気的パスは、トランジスタのドレイン(または第2の端子等)からトランジスタのソース(または第1の端子等)への電気的パスである。」と表現することができる。これらの例と同様な表現方法を用いて、回路構成における接続経路について規定することにより、トランジスタのソース(または第1の端子等)と、ドレイン(または第2の端子等)とを、区別して、技術的範囲を決定することができる。
なお、これらの表現方法は、一例であり、これらの表現方法に限定されない。ここで、X、Y、Z1、Z2は、対象物(例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、等)であるとする。
なお、回路図上は独立している構成要素同士が電気的に接続しているように図示されている場合であっても、1つの構成要素が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合もある。例えば配線の一部が電極としての機能を有する場合は、一の導電膜が、配線の機能、および電極の機能の両方の構成要素の機能を併せ持っている。したがって、本明細書における電気的に接続とは、このような、一の導電膜が、複数の構成要素の機能を併せ持っている場合も、その範疇に含める。
なお、一般的に、電位(電圧)は、相対的なものであり、基準の電位からの相対的な大きさによって大きさが決定される。したがって、「接地」「GND」「グラウンド」等と記載されている場合であっても、必ずしも、電位が0ボルトであるとは限らないものとする。例えば、回路で最も低い電位を基準として、「接地」や「GND」を定義する場合もある。または、回路で中間くらいの電位を基準として、「接地」や「GND」を定義する場合もある。その場合には、その電位を基準として、正の電位と負の電位が規定されることとなる。
(実施の形態1)
本実施の形態では、本発明の一態様の放送システムおよびその動作方法等について図1乃至図17を用いて説明する。
本発明の一態様は、撮像装置、送信装置、受信装置および表示装置を有する放送システムに関する。送信装置は、撮像装置により生成された画像データを符号化する機能を有するエンコーダを有する。受信装置は、送信装置により符号化された画像データを復号化する機能を有するデコーダを有する。表示装置は、デコーダにより復号化された画像データを基にして表示を行う機能を有する。
エンコーダおよびデコーダには、画像処理を行う機能を有する画像処理回路が設けられる。本発明の一態様の放送システムにおいて、画像処理回路にはプログラマブルロジックエレメント(PLE:Programmable Logic Element)が設けられ、回路構成を切り替えることができる。これにより、実行する画像処理の種類、程度等を変更することができる。例えば、画像処理としてフィルタリング処理を行う場合、フィルタの強さを変更することができる。本発明の一態様では、クロックゲーティングを行うことにより、画像処理回路の回路構成が切り替わっている最中にクロック信号がPLE等に入力されることを抑制することができる。これにより、クロック周波数を高めても、画像処理回路の構成の切り替えの際に誤動作が発生することを抑制することができる。つまり、本発明の一態様の放送システムが有する半導体装置の動作速度を高めつつ、本発明の一態様の放送システムが有する半導体装置の信頼性を高めることができる。
<放送システム>
図1は、放送システムの構成例を模式的に示すブロック図である。放送システム100は、撮像装置110、送信装置111、受信装置112および表示装置113を有する。なお、撮像装置110、送信装置111、受信装置112および表示装置113等、放送システム100が有する各種装置は半導体装置と呼ぶことができる。
撮像装置110は、イメージセンサ120および画像処理回路121を有する。送信装置111は、エンコーダ122および変調器123を有する。受信装置112は、復調器125およびデコーダ126を有する。表示装置113は、画像処理回路127および表示部128を有する。
撮像装置110が8K映像を撮影することが可能である場合、イメージセンサ120は、8Kのカラー画像を撮像可能な画素数を有する。例えば、1画素が1の赤用(R)副画素、1の緑用(G)副画素、および1の青用(B)副画素でなる場合、イメージセンサ120には、少なくとも7680×4320×3[R、G、B]の副画素が必要となり、また、4K用の撮像装置であれば、イメージセンサ120の副画素数は、少なくとも3840×2160×3であり、2K用の撮像装置であれば、副画素数は、少なくとも1920×1080×3である。
イメージセンサ120は撮像データを生成する機能を有する。画像処理回路121は、当該撮像データに画像処理(ノイズ除去、補間処理等)を施し、画像データIDを生成する機能を有する。画像データIDは送信装置111に出力することができる。
送信装置111は、画像データIDを処理して、放送帯域に適合する放送信号(搬送波)を生成する機能を有する。エンコーダ122は画像データIDを符号化し、符号化データCD1を生成する機能を有する。符号化のための処理には、離散コサイン変換(DCT:Discrete Cosine Transform)および離散サイン変換(DST:Discrete Sine Transform)等の直交変換、フレーム間予測処理、動き補償予測処理等がある。また、エンコーダ122は、画像データIDに放送制御用データ(例えば認証用のデータ)を付加する処理、暗号化処理、スクランブル処理(スペクトラム拡散のためのデータ並び替え処理)等を行う機能を有してもよい。
変調器123は符号化データCD1をIQ変調(直交位相振幅変調)することで、放送信号を生成し、出力する機能を有する。当該放送信号は、I(同位相)成分とQ(直交位相)成分の情報を持つ複合信号である。TV放送局は、画像データIDの取得、および放送信号の供給等を担う。
変調器123から出力された放送信号は、受信装置112で受信することができる。受信装置112は、受信した放送信号を表示装置113で表示可能な画像データFID2に変換する機能を有する。復調器125は、受信した放送信号を復調して、I信号、Q信号の2つのアナログ信号に分解する機能を有する。
デコーダ126は、I信号およびQ信号をデジタル信号に変換する機能を有する。デコーダ126は、当該デジタル信号を復号化し、画像データFID2を生成する機能を有する。復号化のための処理には、前述の符号化のための処理と同様に、DCTおよびDST等の直交変換、フレーム間予測処理、動き補償予測処理等がある。また、デコーダ126は、I信号およびQ信号から変換されたデジタル信号に対して、各種の処理を実行する機能を有してもよい。この処理には、フレーム分離、LDPC(Low Density Parity Check)符号の復号、放送制御用データの分離、デスクランブル処理等がある。
画像データFID2は、表示装置113の画像処理回路127に入力することができる。画像処理回路127は、画像データFID2を処理し、表示部128に入力可能なデータ信号を生成する機能を有する。画像処理回路127での処理は、画像処理(ガンマ処理)、デジタル-アナログ変換処理等がある。データ信号が入力されることで、表示部128は当該データ信号に対応する画像を表示することができる。
図2に、放送システムにおけるデータ伝送を模式的に示す。図2には、放送局161から送信された電波(放送信号)が、各家庭のテレビジョン受信装置160(TV160)に届けられるまでの経路を示している。TV160は、受信装置112および表示装置113を備えている。人工衛星162として、例えば、CS(通信衛星)、BS(放送衛星)等が挙げられる。アンテナ164として、例えば、BS・110°CSアンテナ、CSアンテナ等が挙げられる。アンテナ165として、例えば、UHF(Ultra High Frequency)アンテナ等が挙げられる。
電波166Aおよび電波166Bは、衛星放送用の放送信号である。人工衛星162は電波166Aを受信すると、地上に向けて電波166Bを伝送する。各家庭において、電波166Bはアンテナ164で受信され、TV160において衛星TV放送を視聴することができる。あるいは、電波166Bは他の放送局のアンテナで受信され、放送局内の受信装置によって光ケーブルに伝送できる信号に加工される。放送局は光ケーブル網を利用して放送信号を各家庭のTV160に送信する。電波167Aおよび電波167Bは、地上波放送用の放送信号である。電波塔163は、受信した電波167Aを増幅して、電波167Bを送信する。各家庭では、アンテナ165で電波167Bを受信することで、TV160で地上波TV放送を視聴することができる。
また、本実施の形態の放送システムは、TV放送用のシステムに限定されるものではない。また配信する画像データは、動画像データでもよいし、静止画像データでもよい。
<エンコーダ>
図3(A)は、エンコーダ122の構成例を示すブロック図である。エンコーダ122は、データメモリ301、差分器302、画像符号化回路303、可変長符号化回路304、画像復号化回路305、加算器306、画像処理回路307、フレームメモリ308、フレーム間予測回路309、予測パラメータ生成回路310およびコントローラ10を有する。コントローラ10は、コンテキスト信号生成回路11およびクロック信号生成回路13を有する。
データメモリ301は、画像データIDを保持する機能を有する。データメモリ301に保持された画像データIDは、エンコーダ122の動作タイミングに応じて、差分器302および予測パラメータ生成回路310に出力することができる。
差分器302は、画像データIDから、後述するフレーム間予測回路309により生成される予測画像データPID1を減算し、これにより差分画像データResを生成する機能を有する。
画像符号化回路303は、差分画像データResに対して、DCTまたはDST等を行うことにより、差分画像データResを符号化し、符号化差分画像データCRes1を生成する機能を有する。
可変長符号化回路304は、符号化差分画像データCRes1および、後述する予測パラメータPP1を可変長符号化する機能を有する。また、可変長符号化回路304は、可変長符号化を行ったデータのヘッダ部等に、後述するコンテキストデータContextD1を付加し、符号化データCD1を生成する機能を有する。符号化データCD1は、エンコーダ122の外部に出力することができる。
画像復号化回路305は、符号化差分画像データCRes1に対して、DCTまたはDST等を行うことにより、符号化差分画像データCRes1を復号化し、復号化差分画像データDRes1を生成する機能を有する。
加算器306は、復号化差分画像データDRes1と、後述するフレーム間予測回路309により生成される予測画像データPID1を加算し、これにより復号化画像データDID1を生成する機能を有する。
画像処理回路307は、復号化画像データDID1に対して、ガンマ補正、ノイズ除去等の画像処理を行い、画像補正済の画像データである画像データFID1を生成する機能を有する。詳細は後述するが、画像処理回路307はPLEを有し、回路構成を切り替えることができる。つまり、画像処理回路307はプログラム可能な論理回路としての機能を有する。これにより、実行する画像処理の種類、程度等を変更することができる。例えば、画像処理としてフィルタリング処理を行う場合、フィルタの強さを変更することができる。
コンテキスト信号生成回路11は、画像処理回路307の回路構成を規定するコンテキスト信号contextを生成し、画像処理回路307に出力する機能を有する。コンテキスト信号contextは、例えばnビット(nは2以上の整数)の信号とすることができる。コンテキスト信号contextをnビットの信号とすると、画像処理回路307の回路構成は、コンテキスト信号contextの論理に対応させて、例えば図3(B)に示すように画像処理回路307[0]乃至[n-1]のn種類の回路構成の中から選択することができる。この場合、nビットのコンテキスト信号contextの内、例えば1ビット分のコンテキスト信号contextをアクティブとし、残りのコンテキスト信号contextを非アクティブとすることができる。これにより、画像処理回路307を、アクティブとしたコンテキスト信号contextに対応した回路構成とすることができる。例えば、コンテキスト信号context[t](tは0以上n-1以下の整数)をアクティブとし、残りのコンテキスト信号contextを非アクティブとした場合、画像処理回路307の構成は画像処理回路307[t]とすることができる。
本明細書等において、信号をアクティブとするとは、例えば当該信号を高電位とすることを示す。また、信号を非アクティブとするとは、例えば当該信号を低電位とすることを示す。なお、信号の論理は逆でもよい。
本明細書等において、同じ符号を用いる場合であっても、特にその中で区別する必要がある場合には、符号に[0]、[1]、[n]等の識別用の符号を付記して記載する場合がある。例えば、複数のコンテキスト信号contextを区別するために、[0]、[1]、[n-1]等の符号を用いている。また、本明細書等において、画像処理回路307のn種類の回路構成を区別するために、[0]、[1]、[n-1]等の符号を付す場合がある。
また、本明細書等において、コンテキスト信号contextの論理を変更することを、コンテキスト切替えと呼ぶ場合がある。例えば、コンテキスト信号context[0]がアクティブで、他のコンテキスト信号contextが非アクティブである状態から、コンテキスト信号context[1]をアクティブとし、他のコンテキスト信号contextを非アクティブとすることは、コンテキスト切替えと呼ぶことができる。
コンテキスト信号生成回路11は、コンテキストデータContextD1を生成し、可変長符号化回路304に出力する機能を有する。コンテキストデータContextD1は、例えばアクティブとしたコンテキスト信号contextに関する情報を含む。なお、コンテキスト信号contextがnビットである場合、コンテキストデータContextD1はlog(n)ビットとすることができる。
コンテキスト信号生成回路11は、クロック制御信号clkCSを生成し、クロック信号生成回路13に出力する機能を有する。
クロック信号生成回路13は、クロック信号clkを基にして、クロック信号gclkを生成する機能を有する。クロック信号gclkは、画像処理回路307に出力することができる。クロック信号生成回路13は、例えばクロック制御信号clkCSがアクティブである場合は、クロック信号clkと対応する論理のクロック信号gclkを画像処理回路307に出力することができる。一方、例えばクロック制御信号clkCSが非アクティブである場合は、クロック信号gclkの画像処理回路307への出力を停止、つまりクロックゲーティングを行うことができる。
フレームメモリ308は、画像データFID1を保持する機能を有する。フレームメモリ308は、1フレーム分、または2フレーム分以上の画像データFID1を保持する機能を有する。また、フレームメモリ308は、保持された画像データFID1を、参照画像データRef1としてフレーム間予測回路309および予測パラメータ生成回路310に出力する機能を有する。
フレーム間予測回路309は、参照画像データRef1、および後述する予測パラメータPP1を基にして、予測画像データPID1を生成する機能を有する。前述のように、予測画像データPID1は、差分器302および加算器306に出力することができる。
予測パラメータ生成回路310は、データメモリ301から出力された画像データIDおよびフレームメモリ308から出力された参照画像データRef1を基にして、予測パラメータPP1を生成する機能を有する。例えば、画像データIDと、画像データIDの前のフレームの画像データである参照画像データRef1を比較して、両者の差分を基にして動きベクトルを検出し、当該動きベクトルを予測パラメータPP1とすることができる。なお、前述のように、予測パラメータPP1は、可変長符号化回路304およびフレーム間予測回路309に出力することができる。
前述のように、予測画像データPID1は、予測パラメータPP1と、画像データIDの前のフレームの画像データである参照画像データRef1とを基にして生成することができる。つまり、フレーム間予測回路309は、参照画像データRef1と予測パラメータPP1を基に画像データIDを予測し、予測した画像データを予測画像データPID1として生成することができる。
図3(A)に示す構成のエンコーダ122では、画像データIDと、予測画像データPID1との差分である差分画像データResを画像符号化回路303により符号化する。これにより、画像データIDを直接符号化する場合より、符号化効率を高めることができる。
<デコーダ>
図4は、デコーダ126の構成例を示すブロック図である。デコーダ126は、A/D(Analog to Digital)変換回路320、データメモリ321、可変長復号化回路322、画像復号化回路323、加算器324、画像処理回路325、フレームメモリ326、フレーム間予測回路327およびコントローラ10を有する。エンコーダ122と同様に、コントローラ10は、コンテキスト信号生成回路11およびクロック信号生成回路13を有する。
A/D変換回路320は、図1に示す復調器125から受信したアナログ信号であるI信号およびQ信号を、デジタル信号に変換する機能を有する。なお、当該デジタル信号を、符号化データCD2とする。
データメモリ321は、符号化データCD2を保持する機能を有する。データメモリ321に保持された符号化データCD2は、デコーダ126の動作タイミングに応じて、可変長復号化回路322に出力することができる。
可変長復号化回路322は、符号化データCD2を復号化する機能を有する。これにより、符号化差分画像データCRes2、予測パラメータPP2およびコンテキストデータContextD2が生成される。符号化差分画像データCRes2は図3(A)に示す符号化差分画像データCRes1に対応し、予測パラメータPP2は図3(A)に示す予測パラメータPP1に対応し、コンテキストデータContextD2は図3(A)に示すコンテキストデータContextD1に対応する。
画像復号化回路323は、符号化差分画像データCRes2を復号化し、復号化差分画像データDRes2を生成する機能を有する。
加算器324は、復号化差分画像データDRes2と、後述するフレーム間予測回路327により生成される予測画像データPID2を加算し、これにより復号化画像データDID2を生成する機能を有する。
画像処理回路325は、復号化画像データDID2に対して画像処理を行い、画像補正済の画像データである画像データFID2を生成する機能を有する。画像処理回路307と同様に、画像処理回路325はPLEを有し、回路構成を切り替えることができる。
コンテキスト信号生成回路11は、画像処理回路325の回路構成を規定するコンテキスト信号contextを生成し、画像処理回路325に出力する機能を有する。なお、画像処理回路325に出力されるコンテキスト信号contextのビット数は、エンコーダ122が有する画像処理回路307に出力されるコンテキスト信号contextのビット数と等しくすることが好ましい。つまり、コンテキスト信号contextは、例えばnビットの信号とすることができる。画像処理回路307と同様に、コンテキスト信号contextをnビットの信号とすると、画像処理回路325の回路構成はn通りとすることができる。
コンテキスト信号生成回路11は、コンテキストデータContextD2を基にして、アクティブとするコンテキスト信号を制御することができる。前述の通り、コンテキストデータContextD2は図3(A)に示すコンテキストデータContextD1に対応する。これにより、画像処理回路325に出力するコンテキスト信号contextの論理を、エンコーダ122に設けられた画像処理回路307に出力されたコンテキスト信号contextの論理と対応させることができる。例えば、エンコーダ122に設けられた画像処理回路307に出力されたコンテキスト信号contextのうち、例えばコンテキスト信号context[0]をアクティブとし、コンテキスト信号context[1]乃至[n-1]を非アクティブとしたとする。この場合、画像処理回路325に出力するコンテキスト信号contextも、例えばコンテキスト信号context[0]をアクティブとし、コンテキスト信号context[1]乃至[n-1]を非アクティブとすることができる。以上により、エンコーダ122とデコーダ126が、同様の回路構成の画像処理回路により画像処理を行うことができる。
また、前述のように、コンテキスト信号生成回路11は、クロック制御信号clkCSを生成し、クロック信号生成回路13に出力する機能を有する。
クロック信号生成回路13は、エンコーダ122が有するクロック信号生成回路13と同様の機能を有する。クロック信号生成回路13により生成されたクロック信号gclkは、画像処理回路325に出力することができる。クロック信号生成回路13は、クロック制御信号clkCSの論理に応じて、画像処理回路325へのクロックゲーティングを行うか否かを制御することができる。
フレームメモリ326は、画像データFID2を保持する機能を有する。フレームメモリ326は、1フレーム分、または2フレーム分以上の画像データFID2を保持する機能を有する。また、フレームメモリ326は、保持された画像データFID2をデコーダ126の外部に出力し、保持された画像データFID2を参照画像データRef2としてフレーム間予測回路327に出力する機能を有する。
フレーム間予測回路327は、参照画像データRef2および予測パラメータPP2を基にして、予測画像データPID2を生成する機能を有する。前述のように、予測画像データPID2は加算器324に出力することができる。
本発明の一態様では、例えばコンテキスト切替えが行われている期間は、画像処理回路307または画像処理回路325に対してクロックゲーティングを行うとすることができる。これにより、画像処理回路307または画像処理回路325の回路構成が切り替わっている最中に、クロック信号が画像処理回路307または画像処理回路325に設けられたPLE等に入力されることを抑制することができる。これにより、クロック信号clk等のクロック周波数を高めても、画像処理回路307または画像処理回路325の構成の切り替えの際に誤動作が発生することを抑制することができる。つまり、放送システム100が有する半導体装置の動作速度を高めつつ、放送システム100が有する半導体装置の信頼性を高めることができる。
<画像処理回路>
図5は、画像処理回路307および画像処理回路325の具体的な構成例を示したブロック図である。図5に示すように、画像処理回路307と画像処理回路325は同様の構成とすることが好ましい。なお、画像処理回路307および画像処理回路325以外の画像処理回路、例えば図1に示す画像処理回路121および画像処理回路127の構成も、図5に示す構成としてもよい。この場合、画像処理回路121および画像処理回路127についても、画像処理回路307および画像処理回路325の動作方法を適用することができる。
画像処理回路307および画像処理回路325は、メモリ331[0]乃至[r-1](rは2以上の整数)およびフィルタ回路332を有する。フィルタ回路332は、保持回路341、重み係数設定回路342、乗算回路343、加算回路344および除算回路345を有する。保持回路341は、例えばr行r列分のPLE346、つまりr×r個のPLE346を設けることができる。乗算回路343は、例えばr行r列分の乗算器347、つまりr×r個の乗算器347を設けることができる。
メモリ331[0]乃至[r-1]は、復号化画像データDID1または復号化画像データDID2を保持する機能を有する。メモリ331[0]乃至[r-1]として、ラインメモリまたはフレームメモリ等を用いることができる。
保持回路341は、メモリ331[0]乃至[r-1]から読み出した復号化画像データDID1または復号化画像データDID2を保持する機能を有する。詳細は後述するが、保持回路341に設けられたPLE346はフリップフロップ回路を有し、当該フリップフロップ回路に復号化画像データDID1または復号化画像データDID2をセットアップして保持することができる。
復号化画像データDID1または復号化画像データDID2を保持するPLE346は、コンテキスト信号contextの論理により規定することができる。これにより、例えばp行q列分(p、qはr以下の自然数)のPLE346にのみ復号化画像データDID1または復号化画像データDID2を保持することができる。この場合、p行q列分の乗算器347のみ使用される。つまり、フィルタのサイズをp×qに縮小することができる。
重み係数設定回路342は、保持回路341から出力された画像データに乗算する値である重み係数を設定し、当該重み係数に関する情報を乗算回路343が有する乗算器347に出力する機能を有する。重み係数設定回路342は、PLEを有し、コンテキスト切替えにより回路構成が切り替わることにより重み係数を切り替えることができる。なお、フィルタのサイズを縮小した場合、使用しない乗算器347には、重み係数として例えば0を出力することができる。また、重み係数設定回路342は、使用しない乗算器347に重み係数を出力しない構成としてもよい。
乗算回路343は、保持回路341から出力された画像データと、重み係数設定回路342から出力された重み係数との積を演算する機能を有する。当該演算は、乗算回路343に設けられた乗算器347により行うことができる。
加算回路344は、乗算回路343の出力値に対する総和を演算する機能を有する。
除算回路345は、加算回路344の出力値に対して重み係数の総和で除算し、画像データFID1または画像データFID2を出力する機能を有する。
図5に示す構成の画像処理回路307および画像処理回路325では、コンテキスト切替えにより回路構成を切替えて重み係数を調整することで、フィルタの強弱を調整することができる。例えば、すべての乗算器347に入力する重み係数を1とすることにより、フィルタ回路332は平均化フィルタとして機能することができる。
<デコーダ等の動作方法>
図6は、デコーダ126の動作方法の一例を示すタイミングチャートである。なお、エンコーダ122等の動作方法の一例についても、符号を必要に応じて読み替える等により、適宜図6を参照することができる。また、図6では、簡略化のためn=2としている。つまり、コンテキスト信号生成回路11は、コンテキスト信号context[0]およびコンテキスト信号context[1]を生成することができる。
図6に示すタイミングチャートは、クロック信号clk、復号化画像データDID2、コンテキスト信号context[0]、コンテキスト信号context[1]、クロック制御信号clkCS、クロック信号gclk、画像データFID2を示す。また、画像処理回路325の状態を示す。なお、図6に示す画像処理回路325の状態において、初期状態とは、回路構成が規定されていない状態を示す。また、[0]とは、画像処理回路325がコンテキスト信号context[0]をアクティブ、コンテキスト信号context[1]を非アクティブとした場合の回路構成であることを示す。また、[1]とは、画像処理回路325がコンテキスト信号context[1]をアクティブ、コンテキスト信号context[0]を非アクティブとした場合の回路構成であることを示す。
本明細書等において、画像処理回路325がコンテキスト信号context[0]をアクティブ、コンテキスト信号context[1]を非アクティブとした場合の回路構成となっている状態を状態[0]と表記する。また、画像処理回路325がコンテキスト信号context[1]をアクティブ、コンテキスト信号context[0]を非アクティブとした場合の回路構成となっている状態を状態[1]と表記する。
図6において、クロック信号gclkはクロックゲーティングされる場合以外はクロック信号clkと同時に変化している。しかしながら、実際にはゲート遅延やRC遅延等による伝達遅延分のずれが生じる。
また、図6に示す信号等の電位は、クロック信号clkまたはクロック信号gclkの立ち上りまたは立ち下りに同期して変化する。ここで、図6においてクロック信号clkまたはクロック信号gclkの立ち上りに同期して信号の電位が変化している場合であっても、クロック信号clkまたはクロック信号gclkの立ち下りに同期して信号の電位を変化させてもよい。また、図6においてクロック信号clkまたはクロック信号gclkの立ち下りに同期して信号の電位が変化している場合であっても、クロック信号clkまたはクロック信号gclkの立ち上りに同期して信号の電位を変化させてもよい。
コンテキスト信号context[0]およびコンテキスト信号context[1]の両方が低電位である場合、画像処理回路325は初期状態となる。例えば復号化画像データDID2が画像処理回路325に出力されていない場合に、画像処理回路325を初期状態とすることができる。この状態では、クロック制御信号clkCSは高電位とすることができる。
コンテキスト信号context[0]が高電位となると、画像処理回路325が初期状態から状態[0]に遷移する。この際、クロック制御信号clkCSの電位を低電位とすることにより、クロック信号gclkの画像処理回路325への出力を停止する、つまりクロックゲーティングを行うことができる。これにより、画像処理回路325の状態が遷移する最中に、クロック信号が画像処理回路325に設けられたPLE等に入力されることを抑制することができる。これにより、画像処理回路325の状態遷移の際に誤動作が発生することを抑制することができる。つまり、放送システム100が有する半導体装置の信頼性を高めることができる。
なお、クロックゲーティングが行われている間は、画像処理回路325は画像処理を停止しているため、復号化画像データDID2が画像処理回路325に入力されている場合であっても、画像処理回路325は画像データFID2を生成しない。
画像処理回路325の初期状態から状態[0]への遷移が完了した後、クロック制御信号clkCSが高電位となる。これにより、画像処理回路325へのクロック信号gclkの出力が再開され、画像処理回路325は復号化画像データDID2に画像処理を行って画像データFID2を出力することができる。
コンテキスト信号context[0]が低電位となり、コンテキスト信号context[1]が高電位となると、画像処理回路325が状態[0]から状態[1]へ遷移する。この際、画像処理回路325が初期状態から状態[0]に遷移する場合と同様に、クロック制御信号clkCSの電位を低電位とすることによりクロックゲーティングを行うことができる。
図6では、画像処理回路325の状態が遷移する場合に1クロック分のクロックゲーティングを行う場合を示しているが、2クロック分以上のクロックゲーティングを行ってもよい。この場合、クロック信号clkのクロック周波数を、1クロック分のクロックゲーティングを行う場合よりさらに高めることができる。これにより、放送システム100が有する半導体装置の動作速度を高めることができる。
<コントローラ>
図7(A)は、コントローラ10の詳細な構成例、および画像処理回路を示すブロック図である。コントローラ10は、コンテキスト信号生成回路11およびクロック信号生成回路13の他、コンフィギュレーションメモリ12を有する。また、前述のように、コンテキスト信号contextおよびクロック信号gclkが入力される画像処理回路307および画像処理回路325は、PLE346等のPLEを有する。
コンテキスト信号生成回路11には、クロック信号clk、リセット反転信号resetb、コンフィギュレーション状態信号configおよびコンテキスト状態信号contextinを入力することができる。クロック信号生成回路13には、クロック信号clkおよびリセット反転信号resetbを入力することができる。画像処理回路307および画像処理回路325には、コンテキスト信号contextおよびクロック信号gclkの他、リセット反転信号resetbおよびコンフィギュレーション状態信号configを入力することができる。
なお、画像処理回路307および画像処理回路325以外においても、PLEを有する画像処理回路にはコンテキスト信号context、クロック信号gclk、リセット反転信号resetbおよびコンフィギュレーション状態信号configを入力することができる。つまり、コントローラ10による動作が可能である。
また、コンテキスト信号contextがnビットである場合は、コンテキスト状態信号contextinはlog(n)ビットとすることができる。
クロック信号clkは、コントローラ10が有する各回路の動作タイミングを決定するクロック信号としての機能を有する。リセット反転信号resetbは、詳細は後述するが、PLE346等、画像処理回路307または画像処理回路325等が有するPLEに設けられたフリップフロップ回路のリセット信号としての機能を有する。コンフィギュレーション状態信号configは、コンフィギュレーション動作状態を表す信号としての機能を有する。コンテキスト状態信号contextinは、コンテキストの状態を設定する信号としての機能を有する。
コンテキスト信号生成回路11は、コンテキスト切替えに必要となるコンテキスト信号contextを生成し、コンフィギュレーションメモリ12および、PLE346等、画像処理回路307または画像処理回路325等が有するPLEに設けられたコンフィギュレーションメモリへ出力する機能を有する。また、コンテキスト信号生成回路は、前述のように、クロック制御信号clkCSを生成してクロック信号生成回路13に出力する機能を有する。
コンフィギュレーションメモリ12は、コンフィギュレーションデータを保持する機能を有し、また保持されたコンフィギュレーションデータに応じた出力信号moutを生成する機能を有する。
クロック信号生成回路13は、クロック制御信号clkCSおよび出力信号moutの論理に基づいて、クロック信号gclkの画像処理回路307または画像処理回路325等への出力または停止を制御する機能を有する。例えば、出力信号moutが高電位である場合はコンテキスト切替えの開始後にクロック制御信号clkCSを非アクティブとして1クロック分のクロックゲーティングを行い、出力信号moutが低電位である場合はクロックゲーティングを行わないとすることができる。
詳細は後述するが、リセット反転信号resetbがアクティブである場合は、PLE346等、画像処理回路307または画像処理回路325等が有するPLEに設けられたフリップフロップ回路をリセット状態とし、データのセットアップを行えないようにすることができる。一方、リセット反転信号resetbが非アクティブである場合は、当該フリップフロップ回路のリセット状態を解除し、クロック信号gclk等の論理に応じたデータのセットアップを可能とすることができる。
本明細書等において、反転信号をアクティブとするとは、例えば当該反転信号を低電位とすることを示す。また、反転信号を非アクティブとするとは、例えば当該反転信号を高電位とすることを示す。なお、反転信号の論理は逆でもよい。
また、コンフィギュレーション状態信号configは、コンフィギュレーションメモリ12がコンフィギュレーション動作を行っている場合はアクティブとし、コンフィギュレーションメモリ12がコンフィギュレーション動作を行っていない場合は非アクティブとすることができる。
図7(B)は、図7(A)の変形例であり、コントローラ10がコンフィギュレーションメモリ12[0]乃至[m-1](mは2以上の整数)を有する構成としている点が、図7(A)に示す構成のコントローラ10と異なる。コントローラ10が図7(B)に示す構成である場合、コンフィギュレーションメモリ12[0]乃至[m-1]は、出力信号mout[0]乃至[m-1]をそれぞれ生成する機能を有する。つまり、コンフィギュレーションメモリ12はmビットの出力信号moutを生成する機能を有する。
図7(B)に示す構成では、例えば出力信号mout[0]乃至[m-1]の論理を基にクロック信号生成回路13が2進数の整数データを生成し、該整数分のクロック数だけ画像処理回路307または画像処理回路325等に対してクロックゲーティングを行うことができる。2進数の整数データは、例えば出力信号mout[0]をLSB(Least Significant Bit)、出力信号mout[m-1]をMSB(Most Significant Bit)として生成することができる。
例えば、出力信号mout[1]が高電位で、その他の出力信号moutの電位がすべて低電位である場合、クロック信号生成回路13は2クロック分のクロックゲーティングを行うことができる。例えば、出力信号mout[0]および出力信号mout[1]が高電位で、その他の出力信号moutの電位がすべて低電位である場合、クロック信号生成回路13は3クロック分のクロックゲーティングを行うことができる。例えば、出力信号mout[m-1]が高電位で、その他の出力信号moutの電位がすべて低電位である場合、クロック信号生成回路13は2m-1クロック分のクロックゲーティングを行うことができる。例えば、出力信号mout[0]乃至[m-1]のすべてが高電位である場合、クロック信号生成回路13は2-1クロック分のクロックゲーティングを行うことができる。
例えば、出力信号mout[0]が高電位で、その他の出力信号moutの電位がすべて低電位である場合、クロック信号生成回路13は1クロック分のクロックゲーティングを行うことができる。また、例えば出力信号mout[0]乃至[m-1]の電位がすべて低電位である場合、クロック信号生成回路13はクロックゲーティングを行わないとすることができる。
なお、m=1とした場合、コントローラ10の構成は図7(A)と同様となる。つまり、m=1とした場合、出力信号mout[0]が高電位である場合は、1クロック分のクロックゲーティングを行うことができる。また、出力信号mout[0]が低電位である場合は、クロックゲーティングを行わないとすることができる。
図8は、n=2とした場合の、図7(A)に示すコントローラ10の構成例を示す回路図である。つまり、コンテキスト信号生成回路11はコンテキスト信号contextとしてコンテキスト信号context[0]およびコンテキスト信号context[1]のみを生成する。また、コンテキスト状態信号contextinは1ビットとする。なお、図9乃至図17においても、n=2とした場合について示しているが、図8乃至図17に示す構成等はnが3以上の場合においても適宜参照することができる。
コントローラ10は、前述のようにコンテキスト信号生成回路11、コンフィギュレーションメモリ12およびクロック信号生成回路13を有する。
コンテキスト信号生成回路11は、インバータ31、インバータ32、インバータ33、インバータ34、インバータ35、フリップフロップ回路41、フリップフロップ回路42、フリップフロップ回路43、AND回路51、AND回路52、AND回路53、AND回路54、およびXOR回路55を有する。クロック信号生成回路13は、NAND回路56およびAND回路57を有する。
インバータ31の入力端子は、フリップフロップ回路41のクロック入力端子およびAND回路57の第1の入力端子と電気的に接続されている。インバータ31の出力端子は、フリップフロップ回路42のクロック入力端子およびフリップフロップ回路43のクロック入力端子と電気的に接続されている。
インバータ32の入力端子は、フリップフロップ回路41のデータ出力端子およびフリップフロップ回路42のデータ入力端子と電気的に接続されている。インバータ32の出力端子は、インバータ33の入力端子およびAND回路53の第2の入力端子と電気的に接続されている。
インバータ33の出力端子は、AND回路51の第2の入力端子と電気的に接続されている。
インバータ34の入力端子は、フリップフロップ回路42のデータ出力端子、フリップフロップ回路43のデータ入力端子、AND回路52の第1の入力端子およびXOR回路55の第2の入力端子と電気的に接続されている。インバータ34の出力端子は、AND回路54の第1の入力端子と電気的に接続されている。
インバータ35の出力端子は、AND回路51の第1の入力端子およびAND回路53の第1の入力端子と電気的に接続されている。
フリップフロップ回路43のデータ出力端子は、XOR回路55の第1の入力端子と電気的に接続されている。
AND回路51の出力端子は、AND回路52の第2の入力端子と電気的に接続されている。AND回路53の出力端子は、AND回路54の第2の入力端子と電気的に接続されている。
NAND回路56の第1の入力端子は、コンフィギュレーションメモリ12と電気的に接続されている。NAND回路56の第2の入力端子は、XOR回路55の出力端子と電気的に接続されている。NAND回路56の出力端子は、AND回路57の第2の入力端子と電気的に接続されている。
クロック信号clkは、フリップフロップ回路41のクロック入力端子およびAND回路57の第1の入力端子に入力することができる。リセット反転信号resetbは、フリップフロップ回路41のリセット入力端子、フリップフロップ回路42のリセット入力端子およびフリップフロップ回路43のリセット入力端子に入力することができる。コンフィギュレーション状態信号configは、インバータ35の入力端子に入力することができる。コンテキスト状態信号contextinは、フリップフロップ回路41のデータ入力端子に入力することができる。
インバータ31は、クロック信号clkの反転信号を生成する機能を有する。
フリップフロップ回路41は、コンテキスト状態信号contextinから、クロック信号clkの立ち上がりに同期したデータ出力信号を生成する機能を有する。例えば、コンテキスト状態信号contextinが高電位となった場合、クロック信号clkが立ち上がった際にフリップフロップ回路41は高電位のデータ出力信号を生成する。
フリップフロップ回路42は、フリップフロップ回路41が生成したデータ出力信号から、クロック信号clkの立ち下がりに同期したデータ出力信号を生成する機能を有する。例えば、フリップフロップ回路41から高電位のデータ出力信号が生成された場合、クロック信号clkが立ち下がった際にフリップフロップ回路42は高電位のデータ出力信号を生成する。
インバータ32、インバータ34、インバータ35、AND回路53およびAND回路54で構成される回路は、コンテキスト信号context[0]を生成する機能を有する。インバータ32、インバータ33、インバータ35、AND回路51およびAND回路52で構成される回路は、コンテキスト信号context[1]を生成する機能を有する。なお、両方の回路において、フリップフロップ回路41のデータ出力信号、フリップフロップ回路42のデータ出力信号およびコンフィギュレーション状態信号configを入力信号とする。
フリップフロップ回路43は、フリップフロップ回路42が生成したデータ出力信号から、クロック信号clkの立ち下がりに同期したデータ出力信号を生成する機能を有する。これにより、フリップフロップ回路43が生成するデータ出力信号は、フリップフロップ回路42が生成するデータ出力信号より1クロック分だけ遅れて論理変化する信号となる。
XOR回路55は、クロック制御信号clkCSを生成する機能を有する。クロック制御信号clkCSは、フリップフロップ回路42から生成されたデータ出力信号の論理と、フリップフロップ回路43から生成されたデータ出力信号の論理と、が異なる場合に高電位つまりアクティブとなり、等しい場合に低電位つまり非アクティブとなる。フリップフロップ回路42から生成されるデータ出力信号の論理が変化すると同時にコンテキスト切替えが発生するので、XOR回路55は、コンテキスト切替えが発生した瞬間は高電位の信号を出力し、次のクロック信号clkが立ち下がった際に低電位の信号を出力する。つまり、XOR回路55によりコンテキスト切替えのタイミングにパルス信号を取得することができる。
NAND回路56は、画像処理回路307または画像処理回路325等に対するクロックゲーティングの制御信号を生成する機能を有する。例えば、出力信号moutが高電位であり、さらにクロック制御信号clkCSが高電位である場合に画像処理回路307または画像処理回路325等に対してクロックゲーティングを行い、それ以外の場合はクロックゲーティングを行わないようにすることができる。
AND回路57は、NAND回路56から高電位の信号が出力されている場合に、クロック信号clkの論理と対応する論理のクロック信号gclkを生成し、NAND回路56から低電位の信号が出力されている場合に、低電位に固定されたクロック信号gclkを出力する機能を有する。
図9(A)は、図7(B)に示すコントローラ10の構成例を示す回路図である。
図9(A)に示す構成のコントローラ10は、NAND回路56を有さずクロックゲーティング制御回路60を有する点、およびコンフィギュレーションメモリ12[0]乃至コンフィギュレーションメモリ12[m-1]を有する点が図8に示す構成のコントローラ10と異なる。
クロックゲーティング制御回路60にはクロック信号clk、出力信号mout[0]乃至[m-1]およびクロック制御信号clkCSを入力することができる。
クロックゲーティング制御回路60は、画像処理回路307または画像処理回路325等に対するクロックゲーティングを制御するイネーブル信号enを出力する機能を有する。例えば、出力信号mout[0]乃至[m-1]の論理を基に画像処理回路307または画像処理回路325等に対するクロックゲーティングを行うクロック数を規定し、該クロック数だけ低電位のイネーブル信号enを出力する。イネーブル信号enはAND回路57の第2の入力端子に入力されるので、クロックゲーティング制御回路60が低電位のイネーブル信号enを出力する期間は、クロック信号clkの論理に関係なくクロック信号gclkの電位は低電位となる。一方、クロックゲーティング制御回路60が高電位のイネーブル信号enを出力する期間は、クロック信号gclkの論理はクロック信号clkの論理と対応する。つまり、イネーブル信号enが低電位である期間は画像処理回路307または画像処理回路325等に対するクロックゲーティングを行うことができる。
なお、イネーブル信号enの論理は逆でもよい。つまり、クロック信号生成回路13を、イネーブル信号enが高電位である場合に画像処理回路307または画像処理回路325等に対するクロックゲーティングを行うことができる構成としてもよい。
図9(B)は、図9(A)に示すクロックゲーティング制御回路60の構成例である。クロックゲーティング制御回路60は、カウンタ回路61と、コンパレータ62とを有する。
カウンタ回路61には、クロック信号clkおよびクロック制御信号clkCSを入力することができる。コンパレータ62には、出力信号mout[0]乃至[m-1]を入力することができる。
カウンタ回路61は、クロック信号clkのクロックパルスを数え、kビット(kは2以上の整数)の信号を出力する機能を有する。また、コンパレータ62は、カウンタ回路61から出力されるkビットの信号の論理を基にした2進数値と、mビットの出力信号moutの論理を基にした2進数値とを比較して、比較結果に応じた論理のイネーブル信号enを出力する機能を有する。
クロックゲーティング制御回路60の動作について説明する。クロック制御信号clkCSが高電位となった場合、カウンタ回路61が有するレジスタが初期化される。これにより、カウンタ回路61から出力されるkビットの信号はすべて低電位となる。したがって、イネーブル信号enの電位は低電位となり、これにより画像処理回路307または画像処理回路325等に対するクロックゲーティングが開始される。
次に、クロック信号clkに同期してカウンタ回路61はカウントを開始する。カウント開始以降、コンパレータ62はカウンタ回路61から出力されるkビットの信号の論理を基にした2進数値と、mビットの出力信号moutの論理を基にした2進数値と、を比較し、カウンタ回路61から出力される値が出力信号moutの値以上となると高電位のイネーブル信号enを出力する。これにより、画像処理回路307または画像処理回路325等に対するクロックゲーティングが終了する。
以上がクロックゲーティング制御回路60の動作である。なお、クロックゲーティングの終了後、例えばカウンタ回路61はフルカウントまでカウントアップした後、カウント値を維持した状態で停止する。なお、フルカウントとは、カウンタ回路61から出力されるkビットの信号がすべて高電位となることを示す。
なお、図8および図9(A)、(B)に示す回路構成はあくまで一例である。例えば、図8に示す構成のAND回路51、AND回路52、AND回路53、AND回路54、NAND回路56およびAND回路57を、図10に示すようにそれぞれ回路71、回路72、回路73、回路74、回路76および回路77に置き換えてもよい。また、例えば図9(A)に示す構成のAND回路51乃至AND回路54およびAND回路57を、図11に示すようにそれぞれ回路71乃至回路74および回路77に置き換えてもよい。
<PLE>
図12(A)は、PLE346等、画像処理回路307および画像処理回路325等が有するPLEの構成例を示す回路図である。PLE346等のPLEは、ルックアップテーブル80、フリップフロップ回路83およびマルチプレクサ84を有する。ルックアップテーブル80は、s個(sは2以上の整数)の信号を入力することができるs入力ルックアップテーブルであり、コンフィギュレーションメモリ81[0]乃至[2]を有する。また、図12(A)に示すルックアップテーブル80の構成例を図12(B)に示す。
ルックアップテーブル80は、フリップフロップ回路83のデータ入力端子およびマルチプレクサ84の第1の入力端子と電気的に接続されている。コンフィギュレーションメモリ81[2]は、マルチプレクサ84の選択信号入力端子と電気的に接続されている。フリップフロップ回路83のデータ出力端子は、マルチプレクサ84の第2の入力端子と電気的に接続されている。
ルックアップテーブル80には、入力信号in[0]乃至[s-1]を入力することができる。コンフィギュレーションメモリ81[0]乃至[2]には、コンテキスト信号context[0]およびコンテキスト信号context[1]を入力することができる。フリップフロップ回路83のクロック入力端子には、クロック信号gclkを入力することができる。フリップフロップ回路83のリセット入力端子には、リセット反転信号resetbを入力することができる。
ルックアップテーブル80は、図12(B)に示すように、入力信号in[0]乃至[2-1]の論理に応じてコンフィギュレーションメモリ81[0]乃至[2-1]の中の1つの出力信号を出力する機能を有する。コンフィギュレーションメモリ81[0]乃至[2]は、コンフィギュレーションメモリ12と同様に、コンフィギュレーションデータを保持し、また保持されたコンフィギュレーションデータに応じた信号を生成する機能を有する。フリップフロップ回路83は、クロック信号gclkの論理に応じてルックアップテーブル80からの出力信号の、保持またはマルチプレクサ84の第2の入力端子への出力を行う機能を有する。マルチプレクサ84は、コンフィギュレーションメモリ81[2]から出力された信号の論理に応じて、ルックアップテーブル80から出力された信号の論理またはフリップフロップ回路83のデータ出力端子から出力された信号の論理の一方に対応する論理の信号を、出力信号outとして出力する機能を有する。
<コンフィギュレーションメモリ>
図13は、図7(A)、(B)等に示すコンフィギュレーションメモリ12および図12に示すコンフィギュレーションメモリ81の構成例を示す回路図である。コンフィギュレーションメモリ12およびコンフィギュレーションメモリ81は、メモリセル91[0]、メモリセル91[1]、トランジスタ92[0]、トランジスタ92[1]、トランジスタ93および配線94を有する。
図13では、トランジスタ92[0]、トランジスタ92[1]およびトランジスタ93がすべてnチャネル型トランジスタである場合の例を示しているが、本発明の一態様はこれに限定されず、一部またはすべてのトランジスタをpチャネル型トランジスタに置き換えてもよい。
本明細書ではnチャネル型トランジスタをn-ch型トランジスタ、pチャネル型トランジスタをp-ch型トランジスタと呼ぶことがある。
メモリセル91[0]は、トランジスタ92[0]のソースまたはドレインの一方と電気的に接続されている。メモリセル91[1]は、トランジスタ92[1]のソースまたはドレインの一方と電気的に接続されている。トランジスタ92[0]のソースまたはドレインの他方は、トランジスタ92[1]のソースまたはドレインの他方およびトランジスタ93のソースまたはドレインの一方と電気的に接続されている。トランジスタ93のソースまたはドレインの他方は、配線94と電気的に接続されている。
信号dataは、メモリセル91[0]およびメモリセル91[1]に入力することができる。信号word[0]は、メモリセル91[0]に入力することができる。信号word[1]は、メモリセル91[1]に入力することができる。コンテキスト信号context[0]は、トランジスタ92[0]のゲートに入力することができる。コンテキスト信号context[1]は、トランジスタ92[1]のゲートに入力することができる。コンフィギュレーション状態信号configは、トランジスタ93のゲートに入力することができる。
メモリセル91[0]およびメモリセル91[1]は、コンフィギュレーションデータを保持する機能を有する。トランジスタ92[0]は、メモリセル91[0]に保持されたコンフィギュレーションデータに基づいたデータを出力信号moutとしてコンフィギュレーションメモリ12およびコンフィギュレーションメモリ81の外部に出力するか否かを、コンテキスト信号context[0]の電位に基づいて制御する機能を有する。トランジスタ92[1]は、メモリセル91[1]に保持されたコンフィギュレーションデータに基づいたデータを出力信号moutとしてコンフィギュレーションメモリ12およびコンフィギュレーションメモリ81の外部に出力するか否かを、コンテキスト信号context[1]の電位に基づいて制御する機能を有する。
つまり、コンテキスト信号context[0]が高電位である場合、例えばメモリセル91[0]に保持されたコンフィギュレーションデータが高電位である場合は出力信号moutの電位は高電位となり、メモリセル91[0]に保持されたコンフィギュレーションデータが低電位である場合は出力信号moutの電位は低電位となる。また、コンテキスト信号context[1]が高電位である場合、例えばメモリセル91[1]に保持されたコンフィギュレーションデータが高電位である場合は出力信号moutの電位は高電位となり、メモリセル91[1]に保持されたコンフィギュレーションデータが低電位である場合は出力信号moutの電位は低電位となる。
なお、コンテキスト信号context[0]およびコンテキスト信号context[1]の論理は適宜逆にすることができる。また、コンフィギュレーションメモリ12およびコンフィギュレーションメモリ81は、例えばメモリセル91[0]に保持されたコンフィギュレーションデータが高電位である場合に出力信号moutが低電位となり、メモリセル91[0]に保持されたコンフィギュレーションデータが低電位である場合に出力信号moutが高電位となるような構成とすることができる。また、例えばメモリセル91[1]に保持されたコンフィギュレーションデータが高電位である場合に出力信号moutが低電位となり、メモリセル91[1]に保持されたコンフィギュレーションデータが低電位である場合に出力信号moutが高電位となるような構成とすることができる。
信号dataは、コンフィギュレーションデータをメモリセル91[0]およびメモリセル91[1]に供給する機能を有する。信号word[0]は、メモリセル91[0]へのコンフィギュレーションデータの書き込みを制御する、書き込み制御信号としての機能を有する。信号word[1]は、メモリセル91[1]へのコンフィギュレーションデータの書き込みを制御する、書き込み制御信号としての機能を有する。
トランジスタ93は、コンフィギュレーション動作中に出力信号moutの電位を配線94の電位に固定する機能を有する。なお、配線94には、例えば低電位を印加することができる。
図13に示すメモリセル91[0]およびメモリセル91[1]は、例えば図14(A)に示すように、メモリセル91[0]はトランジスタ95[0]およびラッチ回路96[0]を有し、メモリセル91[1]はトランジスタ95[1]およびラッチ回路96[1]を有する構成とすることができる。また、図14(B)に示すように、信号dataの論理を反転させたデータ(相補データ)である信号dataBをラッチ回路96[0]およびラッチ回路96[1]に供給できるような構成としてもよい。この場合、信号dataBはトランジスタ97[0]を介してラッチ回路96[0]に供給され、またトランジスタ97[1]を介してラッチ回路96[1]に供給される。
また、図15(A)に示すように、メモリセル91[0]はトランジスタ95[0]、ラッチ回路98[0]、MRAM99[0](Magnetoresistive Random Access Memory)および配線106[0]を有し、メモリセル91[1]はトランジスタ95[1]、ラッチ回路98[1]、MRAM99[1]および配線106[1]を有する構成としてもよい。また、図15(B)に示すように、ラッチ回路98[0]と、MRAM99[0]とがトランジスタ101[0]を介して接続され、ラッチ回路98[1]と、MRAM99[1]とがトランジスタ101[1]を介して接続されている構成としてもよい。
なお、図15(A)、(B)に示す構成のメモリセル91[0]およびメモリセル91[1]において、ラッチ回路98[0]およびラッチ回路98[1]を設けなくてもよい。
また、図13に示すメモリセル91[0]およびメモリセル91[1]は、例えば図16に示す構成とすることができる。図16に示すメモリセル91[0]は、トランジスタ95A[0]、トランジスタ95B[0]、容量素子102A[0]、容量素子102B[0]、配線103A[0]、配線103B[0]、トランジスタ104A[0]、トランジスタ104B[0]、配線105A[0]および配線105B[0]を有する。また、メモリセル91[1]は、トランジスタ95A[1]、トランジスタ95B[1]、容量素子102A[1]、容量素子102B[1]、配線103A[1]、配線103B[1]、トランジスタ104A[1]、トランジスタ104B[1]、配線105A[1]および配線105B[1]を有する。
ここでは、トランジスタ95A[0]、トランジスタ95B[0]、トランジスタ95A[1]、トランジスタ95B[1]、トランジスタ104A[0]、トランジスタ104B[0]、トランジスタ104A[1]およびトランジスタ104B[1]がすべてn-ch型トランジスタである場合の例を示すが、本発明の一態様はこれに限定されず、一部またはすべてのトランジスタをp-ch型トランジスタに置き換えてもよい。
トランジスタ95A[0]のソースまたはドレインの一方は、容量素子102A[0]の一方の端子およびトランジスタ104A[0]のゲートと電気的に接続されている。トランジスタ95B[0]のソースまたはドレインの一方は、容量素子102B[0]の一方の端子およびトランジスタ104B[0]のゲートと電気的に接続されている。容量素子102A[0]の他方の端子は、配線103A[0]と電気的に接続されている。容量素子102B[0]の他方の端子は、配線103B[0]と電気的に接続されている。
トランジスタ104A[0]のソースまたはドレインの一方は、トランジスタ92[0]のソースまたはドレインの一方およびトランジスタ104B[0]のソースまたはドレインの一方と電気的に接続されている。トランジスタ104A[0]のソースまたはドレインの他方は、配線105A[0]と電気的に接続されている。トランジスタ104B[0]のソースまたはドレインの他方は、配線105B[0]と電気的に接続されている。
トランジスタ95A[1]のソースまたはドレインの一方は、容量素子102A[1]の一方の端子およびトランジスタ104A[1]のゲートと電気的に接続されている。トランジスタ95B[1]のソースまたはドレインの一方は、容量素子102B[1]の一方の端子およびトランジスタ104B[1]のゲートと電気的に接続されている。容量素子102A[1]の他方の端子は、配線103A[1]と電気的に接続されている。容量素子102B[1]の他方の端子は、配線103B[1]と電気的に接続されている。
トランジスタ104A[1]のソースまたはドレインの一方は、トランジスタ92[1]のソースまたはドレインの一方およびトランジスタ104B[1]のソースまたはドレインの一方と電気的に接続されている。トランジスタ104A[1]のソースまたはドレインの他方は、配線105A[1]と電気的に接続されている。トランジスタ104B[1]のソースまたはドレインの他方は、配線105B[1]と電気的に接続されている。
配線103A[0]、配線103B[0]、配線103A[1]および配線103B[1]の電位は、例えば低電位とすることができる。また、配線105A[0]および配線105B[0]にはそれぞれ反対の論理の電位を印加し、配線105A[1]および配線105B[1]にもそれぞれ反対の論理の電位を印加する。例えば、配線105A[0]の電位を高電位とする場合、配線105B[0]の電位を低電位とする。また、例えば配線105A[1]の電位を高電位とする場合、配線105B[1]の電位を低電位とする。
信号dataは、トランジスタ95A[0]のソースまたはドレインの他方、トランジスタ95B[0]のソースまたはドレインの他方、トランジスタ95A[1]のソースまたはドレインの他方およびトランジスタ95B[1]のソースまたはドレインの他方に入力することができる。信号wordA[0]は、トランジスタ95A[0]のゲートに入力することができる。信号wordB[0]は、トランジスタ95B[0]のゲートに入力することができる。信号wordA[1]は、トランジスタ95A[1]のゲートに入力することができる。信号wordB[1]は、トランジスタ95B[1]のゲートに入力することができる。
なお、図16に示す構成のメモリセル91[0]には、2種類の信号word[0]を入力することができる。また、図16に示す構成のメモリセル91[1]には、2種類の信号word[1]を入力することができる。2種類の信号word[0]を、信号wordA[0]および信号wordB[0]と表記し、2種類の信号word[1]を、信号wordA[1]および信号wordB[1]と表記している。
トランジスタ95A[0]は、コンフィギュレーションデータの容量素子102A[0]への書き込みを制御する機能を有する。トランジスタ95B[0]は、コンフィギュレーションデータの容量素子102B[0]への書き込みを制御する機能を有する。トランジスタ95A[1]は、コンフィギュレーションデータの容量素子102A[1]への書き込みを制御する機能を有する。トランジスタ95B[1]は、コンフィギュレーションデータの容量素子102B[1]への書き込みを制御する機能を有する。
容量素子102A[0]、容量素子102B[0]、容量素子102A[1]および容量素子102B[1]は、コンフィギュレーションデータを保持する機能を有する。トランジスタ104A[0]は、容量素子102A[0]に保持されたコンフィギュレーションデータを増幅する機能を有する。トランジスタ104B[0]は、容量素子102B[0]に保持されたコンフィギュレーションデータを増幅する機能を有する。トランジスタ104A[1]は、容量素子102A[1]に保持されたコンフィギュレーションデータを増幅する機能を有する。トランジスタ104B[1]は、容量素子102B[1]に保持されたコンフィギュレーションデータを増幅する機能を有する。
次に、メモリセル91[0]およびメモリセル91[1]が図16に示す構成の場合における、コンフィギュレーションデータの保持および読み出しの手順について説明する。なお、配線105A[0]および配線105A[1]の電位を高電位とし、配線105B[0]および配線105B[1]の電位を低電位とする。
メモリセル91[0]に高電位のコンフィギュレーションデータを保持する場合、信号dataおよび信号wordA[0]の電位を高電位とする。これにより、容量素子102A[0]に電荷が保持され、トランジスタ104A[0]のゲートに高電位が印加される。したがって、トランジスタ104A[0]がオンとなる。配線105A[0]の電位は高電位であるので、コンテキスト信号context[0]が高電位となってトランジスタ92[0]がオンとなった場合、高電位の信号が出力信号moutとして出力される。
また、メモリセル91[0]に低電位のコンフィギュレーションデータを保持する場合、信号dataおよび信号wordB[0]の電位を高電位とする。これにより、容量素子102B[0]に電荷が保持され、トランジスタ104B[0]のゲートに高電位が印加される。したがって、トランジスタ104B[0]がオンとなる。配線105B[0]の電位は低電位であるので、コンテキスト信号context[0]が高電位となってトランジスタ92[0]がオンとなった場合、低電位の信号が出力信号moutとして出力される。
メモリセル91[1]に高電位のコンフィギュレーションデータを保持する場合、信号dataおよび信号wordA[1]の電位を高電位とする。また、メモリセル91[1]に低電位のコンフィギュレーションデータを保持する場合、信号dataおよび信号wordB[1]の電位を高電位とする。
図16に示す構成のメモリセル91[0]において、トランジスタ95A[0]のオフ電流を低減することで、容量素子102A[0]に書き込まれた電荷の保持時間を長くすることができ、トランジスタ95B[0]のオフ電流を低減することで、容量素子102B[0]に書き込まれた電荷の保持時間を長くすることができる。また、トランジスタ95A[1]のオフ電流を低減することで、容量素子102A[1]に書き込まれた電荷の保持時間を長くすることができ、トランジスタ95B[1]のオフ電流を低減することで、容量素子102B[1]に書き込まれた電荷の保持時間を長くすることができる。ここで、オフ電流とは、トランジスタがオフ状態のときにソースとドレインとの間に流れる電流をいう。トランジスタがn―ch型である場合、例えば、しきい値電圧が0V乃至2V程度であれば、ゲートの電圧がソースおよびドレインの電圧に対して負の電圧であるときのソースとドレインとの間に流れる電流をオフ電流と呼ぶことができる。また、オフ電流が極めて小さいとは、例えば、チャネル幅1μmあたりのオフ電流が100zA(ゼプトアンペア)以下であることをいう。なお、オフ電流は小さいほど好ましいため、この規格化されたオフ電流が10zA/μm以下、あるいは1zA/μm以下とすることが好ましく、10yA(ヨクトアンペア)/μm以下であることがより好ましい。1zAは1×10-21Aであり、1yAは1×10-24Aである。
このようにオフ電流を極めて小さくするには、トランジスタのチャネル形成領域をバンドギャップが広い半導体で形成すればよい。そのような半導体として、例えば金属酸化物が挙げられる。金属酸化物のバンドギャップは3.0eV以上であるため、半導体層を金属酸化物で形成したトランジスタ(OSトランジスタ)は熱励起によるリーク電流が小さく、また、オフ電流が極めて小さい。OSトランジスタのチャネル形成領域は、インジウム(In)および亜鉛(Zn)の少なくとも一方を含む金属酸化物であることが好ましい。このような金属酸化物としては、In-M-Zn酸化物(元素Mは、例えばAl、Ga、YまたはSn)が代表的である。電子供与体(ドナー)となる水分または水素等の不純物を低減し、かつ酸素欠損も低減することで、金属酸化物をi型(真性半導体)にする、あるいはi型に限りなく近づけることができる。ここでは、このような金属酸化物は高純度化された金属酸化物と呼ぶことができる。高純度化された金属酸化物を適用することで、チャネル幅で規格化されたOSトランジスタのオフ電流を数yA/μm以上数zA/μm以下程度に低くすることができる。
また、OSトランジスタでは、半導体層をシリコンで形成したトランジスタ(以下、Siトランジスタと呼ぶ)よりオフ電流特性の温度依存性が小さい。そのため、高温(例えば、100℃以上)であっても、OSトランジスタの規格化されたオフ電流を100zA以下とすることができる。よって、トランジスタ95A[0]にOSトランジスタを適用することで、高温環境下であっても容量素子102A[0]に書き込まれた電荷を長時間保持することができ、トランジスタ95B[0]にOSトランジスタを適用することで、高温環境下であっても容量素子102B[0]に書き込まれた電荷を長時間保持することができる。また、トランジスタ95A[1]にOSトランジスタを適用することで、高温環境下であっても容量素子102A[1]に書き込まれた電荷を長時間保持することができ、トランジスタ95B[1]にOSトランジスタを適用することで、高温環境下であっても容量素子102B[1]に書き込まれた電荷を長時間保持することができる。以上より、高温環境下でも高い信頼性を持つ半導体装置を得ることができる。
本明細書等において、金属酸化物(metal oxide)とは、広い表現での金属の酸化物である。金属酸化物は、酸化物絶縁体、酸化物導電体(透明酸化物導電体を含む)、酸化物半導体(Oxide Semiconductorまたは単にOSともいう)などに分類される。例えば、トランジスタの半導体層に金属酸化物を用いた場合、当該金属酸化物を酸化物半導体と呼称する場合がある。つまり、金属酸化物が増幅作用、整流作用、及びスイッチング作用の少なくとも1つを有する場合、当該金属酸化物を、金属酸化物半導体(metal oxide semiconductor)、略してOSと呼ぶことができる。また、OS FETと記載する場合においては、金属酸化物または酸化物半導体を有するトランジスタと換言することができる。
また、本明細書等において、窒素を有する金属酸化物も金属酸化物(metal oxide)と総称する場合がある。また、窒素を有する金属酸化物を、金属酸窒化物(metal oxynitride)と呼称してもよい。
また、本明細書等において、CAAC(c-axis aligned crystal)、及びCAC(Cloud-Aligned Composite)と記載する場合がある。なお、CAACは結晶構造の一例を表し、CACは機能、または材料の構成の一例を表す。
また、本明細書等において、CAC-OSまたはCAC-metal oxideとは、材料の一部では導電性の機能と、材料の一部では絶縁性の機能とを有し、材料の全体では半導体としての機能を有する。なお、CAC-OSまたはCAC-metal oxideを、トランジスタの半導体層に用いる場合、導電性の機能は、キャリアとなる電子(またはホール)を流す機能であり、絶縁性の機能は、キャリアとなる電子を流さない機能である。導電性の機能と、絶縁性の機能とを、それぞれ相補的に作用させることで、スイッチングさせる機能(On/Offさせる機能)をCAC-OSまたはCAC-metal oxideに付与することができる。CAC-OSまたはCAC-metal oxideにおいて、それぞれの機能を分離させることで、双方の機能を最大限に高めることができる。
また、本明細書等において、CAC-OSまたはCAC-metal oxideは、導電性領域、及び絶縁性領域を有する。導電性領域は、上述の導電性の機能を有し、絶縁性領域は、上述の絶縁性の機能を有する。また、材料中において、導電性領域と、絶縁性領域とは、ナノ粒子レベルで分離している場合がある。また、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ材料中に偏在する場合がある。また、導電性領域は、周辺がぼけてクラウド状に連結して観察される場合がある。
また、CAC-OSまたはCAC-metal oxideにおいて、導電性領域と、絶縁性領域とは、それぞれ0.5nm以上10nm以下、好ましくは0.5nm以上3nm以下のサイズで材料中に分散している場合がある。
また、CAC-OSまたはCAC-metal oxideは、異なるバンドギャップを有する成分により構成される。例えば、CAC-OSまたはCAC-metal oxideは、絶縁性領域に起因するワイドギャップを有する成分と、導電性領域に起因するナローギャップを有する成分と、により構成される。当該構成の場合、キャリアを流す際に、ナローギャップを有する成分において、主にキャリアが流れる。また、ナローギャップを有する成分が、ワイドギャップを有する成分に相補的に作用し、ナローギャップを有する成分に連動してワイドギャップを有する成分にもキャリアが流れる。このため、上記CAC-OSまたはCAC-metal oxideをトランジスタのチャネル領域に用いる場合、トランジスタのオン状態において高い電流駆動力、つまり大きなオン電流、及び高い電界効果移動度を得ることができる。
すなわち、CAC-OSまたはCAC-metal oxideは、マトリックス複合材(matrix composite)、または金属マトリックス複合材(metal matrix composite)と呼称することもできる。
なお、トランジスタ92[0]、トランジスタ92[1]、トランジスタ93、トランジスタ104A[0]、トランジスタ104B[0]、トランジスタ104A[1]およびトランジスタ104B[1]は、Siトランジスタとすることができる。Siトランジスタは、OSトランジスタに比べて高い電界効果移動度を有するといった特性を有する。そのため、トランジスタ92[0]、トランジスタ92[1]、トランジスタ93、トランジスタ104A[0]、トランジスタ104B[0]、トランジスタ104A[1]およびトランジスタ104B[1]に流れる電流値を増加させることができる。これにより、放送システム100が有する半導体装置の動作を高速化することができる。
また、トランジスタ92[0]、トランジスタ92[1]、トランジスタ93、トランジスタ104A[0]、トランジスタ104B[0]、トランジスタ104A[1]およびトランジスタ104B[1]をOSトランジスタとしてもよい。つまり、コンフィギュレーションメモリ12およびコンフィギュレーションメモリ81が有するトランジスタをすべてOSトランジスタとしてもよい。
また、メモリセル91[0]およびメモリセル91[1]は、図14乃至図16に示す構成に限らず、例えばReRAM(Resistive Random Access Memory)を有してもよいし、例えばフラッシュメモリを有してもよい。
なお、図12乃至図16に示す回路構成はあくまで一例であり、本発明の一態様を実現可能であればその他の構成としてもよい。
<コントローラの動作方法>
図7(A)に示す構成のコントローラ10等の動作例を、図17(A)に示すタイミングチャートを用いて説明する。また、図7(B)に示す構成のコントローラ10等の動作例を、図17(B)に示すタイミングチャートを用いて説明する。
図17(A)、(B)に示すタイミングチャートは、クロック信号clk、リセット反転信号resetb、コンフィギュレーション状態信号config、コンテキスト状態信号contextin、出力信号mout、コンテキスト信号context[0]、コンテキスト信号context[1]、クロック制御信号clkCSおよびクロック信号gclkの電位を示す。また、画像処理回路307または画像処理回路325等、PLEを有し、コントローラ10による動作が可能である画像処理回路の状態を示す。
コンテキスト信号context[0]が高電位である場合、画像処理回路は例えばコンフィギュレーションメモリ81等が有するメモリセル91[0]に保持されたコンフィギュレーションデータに応じた構成とすることができる。また、コンテキスト信号context[1]が高電位である場合、画像処理回路は例えばコンフィギュレーションメモリ81等が有するメモリセル91[1]に保持されたコンフィギュレーションデータに応じた構成とすることができる。
図17(A)、(B)において、クロック信号gclkはクロックゲーティングされる場合以外はクロック信号clkと同時に変化している。しかしながら、実際にはゲート遅延やRC遅延等による伝達遅延分のずれが生じる。
まず、図7(A)に示す構成のコントローラ10等の動作例を、図17(A)に示すタイミングチャートを用いて説明する。時刻T0以前ではコンフィギュレーションメモリ12がコンフィギュレーション動作を行っており、コンフィギュレーション状態信号configが高電位となっている。また、リセット反転信号resetb、コンテキスト状態信号contextin、出力信号mout、コンテキスト信号context[0]およびコンテキスト信号context[1]が低電位となっている。また、クロック制御信号clkCSが高電位となっている。
なお、画像処理回路は、回路構成を決定する電位が初期値に固定されている。例えば、画像処理回路が有するPLE346等のPLEが図12(A)に示す構成である場合、入力信号in[0]乃至[s-1]の電位およびコンフィギュレーションメモリ81[0]乃至[2]から出力される信号が低電位となっている。この場合、画像処理回路の回路構成が規定されておらず、つまり画像処理回路の状態は初期状態である。
時刻T0において、コンフィギュレーションメモリ12はコンフィギュレーション動作を完了し、クロック信号clkの立ち上がりに同期してコンフィギュレーション状態信号configの電位を低電位とする。その後、コンフィギュレーションメモリ12から出力される出力信号moutの電位が、図13に示すメモリセル91[0]に保持されたコンフィギュレーションデータに応じた電位となる。ここでは、出力信号moutが高電位であるとする。
時刻T1において、クロック信号clkの立ち上がりに同期してリセット反転信号resetbの電位を高電位とする。これにより、画像処理回路が有するフリップフロップ回路83等のリセット状態を解除する。
時刻T2において、クロック信号clkの立ち下がりに同期してコンテキスト信号context[0]が高電位となる。これによりコンテキスト切替えが開始され、画像処理回路の回路構成の、初期状態から状態[0]への遷移が開始される。この際、クロック制御信号clkCSの電位を低電位とすることにより、クロック信号gclkの、画像処理回路への出力を停止することができる。つまり、クロックゲーティングを行うことができる。
時刻T3において、クロック信号clkが立ち上がるが、1クロック分のクロックゲーティングが行われ、クロック信号gclkの電位は低電位のままとなる。したがって、次にクロック信号clkが立ち上がるまで、画像処理回路が有するフリップフロップ回路83等へのデータのセットアップを防ぐことができる。時刻T3において、初期状態から状態[0]への遷移が完了していないが、次のクロック信号gclkの立ち上がり時点で状態[0]への遷移が完了するため、コンテキスト切替え中に画像処理回路が有するフリップフロップ回路83等にデータがセットアップされることを防ぐことができる。したがって、画像処理回路が有するフリップフロップ回路83等に異常データがセットアップされることを防ぐことができる。これにより、コンテキスト切替え前後のデータ引き継ぎを正常に行うことができる。したがって、コンテキスト切替え時に誤動作が発生することを抑制することができ、放送システム100が有する半導体装置の動作速度を高めつつ、放送システム100が有する半導体装置の信頼性を高めることができる。
時刻T4において、クロック制御信号clkCSが高電位となり、クロックゲーティングが終了する。これにより、クロック信号gclkの電位がクロック信号clkの電位と対応する電位となる。
時刻T5において、コンテキスト状態信号contextinの電位を高電位とする。なお、コンテキスト状態信号contextinは、クロック信号clkに非同期で制御することができる。つまり、例えばクロック信号clkの立ち上がりと同時にコンテキスト状態信号contextinの電位を高電位としなくてもよい。
時刻T6において、クロック信号clkの立ち上がりに同期してコンテキスト信号context[0]が低電位となる。そして、次にクロック信号clkが立ち下がる時刻T7においてコンテキスト信号context[1]が高電位となる。これによりコンテキスト切替えが開始され、画像処理回路の回路構成の、状態[0]から状態[1]への遷移が開始される。この際、クロック制御信号clkCSの電位を低電位とすることにより、クロック信号gclkの、画像処理回路への出力を停止することができる。つまり、クロックゲーティングを行うことができる。
時刻T8において、クロック信号clkが立ち上がるが、1クロック分のクロックゲーティングが行われ、クロック信号gclkの電位は低電位のままとなる。したがって、次にクロック信号clkが立ち上がるまで、画像処理回路が有するフリップフロップ回路83等へのデータのセットアップを防ぐことができる。時刻T8において、状態[0]から状態[1]への遷移が未完了であるが、次のクロック信号gclkの立ち上がり時点で状態[1]への遷移が完了するため、コンテキスト切替え中に画像処理回路が有するフリップフロップ回路83等にデータがセットアップされることを防ぐことができる。したがって、画像処理回路が有するフリップフロップ回路83等に異常データがセットアップされることを防ぐことができる。これにより、コンテキスト切替え前後のデータ引き継ぎを正常に行うことができる。したがって、コンテキスト切替え時に誤動作が発生することを抑制することができ、放送システム100が有する半導体装置の動作速度を高めつつ、放送システム100が有する半導体装置の信頼性を高めることができる。
時刻T9において、クロック制御信号clkCSが高電位となり、クロックゲーティングが終了する。これにより、クロック信号gclkの電位がクロック信号clkの電位と対応する電位となる。
なお、時刻T3乃至T4および時刻T8乃至T9において、出力信号moutが低電位である場合はクロックゲーティングを行わず、クロック信号gclkの電位はクロック信号clkの電位と対応する電位となる。それ以外の場合におけるコントローラ10等の動作は、出力信号moutが高電位である場合と同様である。
次に、図7(B)に示す構成のコントローラ10等の動作を、図17(B)に示すタイミングチャートを用いて説明する。時刻T0以前ではコンフィギュレーションメモリ12[0]乃至[m-1]がコンフィギュレーション動作を行っており、コンフィギュレーション状態信号configが高電位となっている。また、リセット反転信号resetb、コンテキスト状態信号contextin、コンテキスト信号context[0]およびコンテキスト信号context[1]、出力信号mout[0]乃至[m-1]の電位が低電位となっている。また、クロック制御信号clkCSの電位が高電位となっている。
時刻T0において、コンフィギュレーションメモリ12[0]乃至[m-1]はコンフィギュレーション動作を完了し、クロック信号clkの立ち上がりに同期してコンフィギュレーション状態信号configの電位を低電位とする。その後、出力信号mout[0]乃至[m-1]の電位が、それぞれコンフィギュレーションメモリ12[0]乃至[m-1]が有するメモリセル91[0]に保持されたコンフィギュレーションデータに応じた電位となる。ここでは、出力信号mout[1]が高電位であり、その他の出力信号moutの電位がすべて低電位であるとする。
なお、出力信号mout[0]をLSB、出力信号mout[m-1]をMSBとすると、出力信号mout[0]乃至出力信号mout[m-1]の電位がすべて低電位である場合を10進数で表記すると”0”となる。また、出力信号mout[1]が高電位であり、その他の出力信号moutの電位がすべて低電位である場合を10進数で表記すると”2”となる。図17(B)では、出力信号mout[0]乃至出力信号mout[m-1]の電位がすべて低電位である場合を”0”と表記し、出力信号mout[1]が高電位であり、その他の出力信号moutの電位がすべて低電位である場合を”2”と表記する。
時刻T1、時刻T2、時刻T4乃至T7および時刻T9における動作は、図17(A)に示す場合と同様である。時刻T3および時刻T8において、2クロック分のクロックゲーティングが行われる。これにより、クロック信号clkのクロック周波数を、1クロック分のクロックゲーティングを行う場合よりさらに高めることができる。これにより、放送システム100の動作速度を高めることができる。
なお、図17(A)、(B)に示した動作はあくまで一例である。例えば、図17(A)、(B)ではクロック信号clkまたはクロック信号gclkの立ち上がりに同期して行っている動作を、クロック信号clkまたはクロック信号gclkの立ち下がりに同期して行ってもよい。また、例えば、図17(A)、(B)ではクロック信号clkまたはクロック信号gclkの立ち下がりに同期して行っている動作を、クロック信号clkまたはクロック信号gclkの立ち上がりに同期して行ってもよい。
図1、図3乃至図5および図7乃至図16に示す構成は、それぞれ適宜組み合わせることができる。
本実施の形態は、他の実施の形態に記載した構成と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態2)
本実施の形態では、放送システムに用いられる半導体装置について説明する。
<イメージセンサ>
図18(A)は、イメージセンサ120の構成例を示す平面図である。イメージセンサ120は、画素部621と、回路260、回路270、回路280、および回路290を有する。なお、本明細書等において、回路260乃至回路290などを「周辺回路」もしくは「ドライバ」と呼ぶ場合がある。例えば、回路260は周辺回路の一部と言える。
図18(B)は、画素部621の構成例を示す図である。画素部621は、a列b行(aおよびbは2以上の自然数)のマトリクス状に配置された複数の画素622を有する。なお、図18B中のxは1以上a以下の自然数であり、yは1以上b以下の自然数である。
回路260および回路270は、複数の画素622に接続し、複数の画素622を駆動するための信号を供給する機能を有する。また、回路260は、画素622から出力されたアナログ信号を処理する機能を有していてもよい。また、回路280は、周辺回路の動作タイミングを制御する機能を有していてもよい。例えば、クロック信号を生成する機能を有していてもよい。また、外部から供給されたクロック信号の周波数を変換する機能を有していてもよい。また、回路280は、参照用電位信号(例えば、ランプ波信号など)を供給する機能を有していてもよい。
周辺回路は、論理回路、スイッチ、バッファ、増幅回路、または変換回路のうちの少なくとも1つの回路を有する。また、周辺回路に用いるトランジスタなどは、後述する画素622を作製するために形成する半導体の一部を用いて形成してもよい。また、周辺回路の一部または全部にICチップ等の半導体装置を用いてもよい。
なお、周辺回路は、回路260乃至回路290のうち、少なくとも1つを省略してもよい。例えば、回路260または回路290の一方の機能を、回路260または回路290の他方に付加して、回路260または回路290の一方を省略してもよい。また、例えば、回路270または回路280の一方の機能を、回路270または回路280の他方に付加して、回路270または回路280の一方を省略してもよい。また、例えば、回路260乃至回路290のいずれか1つに、他の周辺回路の機能を付加することで、他の周辺回路を省略してもよい。
また、図18(C)に示すように、画素部621の外周に沿って回路260乃至回路290を設けてもよい。また、イメージセンサ120が有する画素部621において画素622を傾けて配置してもよい。画素622を傾けて配置することにより、行方向および列方向の画素間隔(ピッチ)を短くすることができる。これにより、イメージセンサ120で撮像された画像の品質をより高めることができる。
また、回路260乃至回路290の上方に重ねて画素部621を設けてもよい。回路260乃至回路290の上方に重ねて画素部621を設けることで、イメージセンサ120の大きさに対する画素部621の占有面積を大きくすることができる。よって、イメージセンサ120の受光感度を向上することができる。また、イメージセンサ120のダイナミックレンジを向上することができる。また、イメージセンサ120の解像度を向上することができる。また、イメージセンサ120で撮影した画像の再現性を向上することができる。また、イメージセンサ120の集積度を向上することができる。
イメージセンサ120が有する画素622を副画素として用いて、複数の画素622それぞれに異なる波長域の光を透過するフィルタ(カラーフィルタ)を設けることで、カラー画像表示を実現するための情報を取得することができる。
図19(A)は、カラー画像を取得するための画素623の一例を示す平面図である。図19(A)に示す画素623は、赤(R)の波長域の光を透過するカラーフィルタが設けられた画素622(以下、「画素622R」ともいう)、緑(G)の波長域の光を透過するカラーフィルタが設けられた画素622(以下、「画素622G」ともいう)および青(B)の波長域の光を透過するカラーフィルタが設けられた画素622(以下、「画素622B」ともいう)を有する。画素622R、画素622G、画素622Bをまとめて一つの画素623として機能させる。
なお、画素623に用いるカラーフィルタは、赤(R)、緑(G)、青(B)に限定されず、シアン(C)、黄(Y)およびマゼンタ(M)の光を透過するカラーフィルタを用いてもよい。1つの画素623に少なくとも3種類の異なる波長域の光を検出する画素622を設けることで、フルカラー画像を取得することができる。
図19(B)は、それぞれ赤(R)、緑(G)および青(B)の光を透過するカラーフィルタが設けられた画素622に加えて、黄(Y)の光を透過するカラーフィルタが設けられた画素622を有する画素623を例示している。図19(C)は、それぞれシアン(C)、黄(Y)およびマゼンタ(M)の光を透過するカラーフィルタが設けられた画素622に加えて、青(B)の光を透過するカラーフィルタが設けられた画素622を有する画素623を例示している。1つの画素623に4種類以上の異なる波長域の光を検出する画素622を設けることで、取得した画像の色の再現性をさらに高めることができる。
また、画素622R、画素622G、および画素622Bの画素数比(または受光面積比)は、必ずしも1:1:1である必要は無い。図19(D)に示すように、画素数比(受光面積比)を赤:緑:青=1:2:1とするBayer配列としてもよい。また、画素数比(受光面積比)を赤:緑:青=1:6:1としてもよい。
なお、画素623に用いる画素622は1つでもよいが、2つ以上が好ましい。例えば、同じ波長域の光を検出する画素622を2つ以上設けることで、冗長性を高め、イメージセンサ120の信頼性を高めることができる。
また、フィルタとして可視光の波長以下の波長を有する光を吸収または反射して、赤外光を透過するIR(IR:Infrared)フィルタを用いることで、赤外光を検出するイメージセンサ120を実現することができる。また、フィルタとして可視光の波長以上の波長を有する光を吸収または反射して、紫外光を透過するUV(UV:Ultra Violet)フィルタを用いることで、紫外光を検出するイメージセンサ120を実現することができる。また、フィルタとして、放射線を紫外光や可視光に変換するシンチレータを用いることで、イメージセンサ120をX線やγ線などを検出する放射線検出器として機能させることもできる。
また、フィルタとしてND(ND:Neutral Density)フィルター(減光フィルター)を用いると、光電変換素子(受光素子)に多大な光量の光が入射した時に生じる、出力が飽和する現象(以下、「出力飽和」ともいう。)を防ぐことができる。減光量の異なるNDフィルタを組み合わせて用いることで、イメージセンサのダイナミックレンジを大きくすることができる。
また、前述したフィルタ以外に、画素622にレンズを設けてもよい。ここで、図20の断面図を用いて、画素622、フィルタ624、レンズ625の配置例を説明する。レンズ625を設けることで、入射光を光電変換素子に効率よく受光させることができる。具体的には、図20(A)に示すように、画素622に形成したレンズ625、フィルタ624(フィルタ624R、フィルタ624G、フィルタ624B)、および画素ドライバ610等を通して光660を光電変換素子601に入射させる構造とすることができる。
ただし、二点鎖線で囲んだ領域に示すように、矢印で示す光660の一部が配線群626の一部、トランジスタ、および/または容量素子などによって遮光されてしまうことがある。したがって、図20(B)に示すように光電変換素子601側にレンズ625およびフィルタ624を形成して、入射光を光電変換素子601に効率良く受光させる構造としてもよい。光電変換素子601側から光660を入射させることで、受光感度の高いイメージセンサ120を提供することができる。
図21(A)、(B)、(C)に、画素部621に用いることができる画素ドライバ610の一例を示す。図21(A)に示す画素ドライバ610は、トランジスタ602、トランジスタ604、および容量素子606を有し、光電変換素子601に接続されている。トランジスタ602のソースまたはドレインの一方は光電変換素子601と電気的に接続され、トランジスタ602のソースまたはドレインの他方はノード607(電荷蓄積部)を介してトランジスタ604のゲートと電気的に接続されている。
「OS」の符号は、実施の形態1で示したOSトランジスタを適用することが好ましいことを示している。これは、他の図面でも同様である。OSトランジスタは、オフ電流を極めて小さくすることができるため、容量素子606を小さくすることができる。または、図21(B)に示すように、容量素子606を省略することができる。また、トランジスタ602としてOSトランジスタを用いると、ノード607の電位が変動しにくい。よって、ノイズの影響を受けにくいイメージセンサを実現することができる。なお、トランジスタ604にOSトランジスタを用いてもよい。
光電変換素子601には、シリコン基板においてpn型やpin型の接合が形成されたダイオード素子を用いることができる。または非晶質シリコン膜や微結晶シリコン膜などを用いたpin型のダイオード素子などを用いてもよい。または、ダイオード接続のトランジスタを用いてもよい。また、光電効果を利用した可変抵抗などをシリコン、ゲルマニウム、セレンなど用いて形成してもよい。
また、光電変換素子として、放射線を吸収して電荷を発生させることが可能な材料を用いて形成してもよい。放射線を吸収して電荷を発生させることが可能な材料としては、ヨウ化鉛、ヨウ化水銀、ガリウムヒ素、CdTe、CdZnなどがある。
図21(C)に示す画素ドライバ610は、トランジスタ602、トランジスタ603、トランジスタ604、トランジスタ605、および容量素子606を有し、光電変換素子601に接続されている。なお、図21(C)に示す画素ドライバ610は、光電変換素子601としてフォトダイオードを用いる場合を示している。トランジスタ602のソースまたはドレインの一方は光電変換素子601のカソードと電気的に接続され、他方はノード607と電気的に接続されている。光電変換素子601のアノードは、配線611と電気的に接続されている。トランジスタ603のソースまたはドレインの一方はノード607と電気的に接続され、他方は配線608と電気的に接続されている。トランジスタ604のゲートはノード607と電気的に接続され、ソースまたはドレインの一方は配線609と電気的に接続され、他方はトランジスタ605のソースまたはドレインの一方と電気的に接続されている。トランジスタ605のソースまたはドレインの他方は配線608と電気的に接続されている。容量素子606の一方の電極はノード607と電気的に接続され、他方の電極は配線611と電気的に接続される。
トランジスタ602は転送トランジスタとして機能できる。トランジスタ602のゲートには、転送信号TXが供給される。トランジスタ603はリセットトランジスタとして機能できる。トランジスタ603のゲートには、リセット信号RSTが供給される。トランジスタ604は増幅トランジスタとして機能できる。トランジスタ605は選択トランジスタとして機能できる。トランジスタ605のゲートには、選択信号SELが供給される。また、配線608にVDDが供給され、配線611にはVSSが供給される。
次に、図21(C)に示す画素ドライバ610の動作について説明する。まず、トランジスタ603をオン状態にして、ノード607にVDDを供給する(リセット動作)。その後、トランジスタ603をオフ状態にすると、ノード607にVDDが保持される。次に、トランジスタ602をオン状態とすると、光電変換素子601の受光量に応じて、ノード607の電位が変化する(蓄積動作)。その後、トランジスタ602をオフ状態にすると、ノード607の電位が保持される。次に、トランジスタ605をオン状態とすると、ノード607の電位に応じた電位が配線609から出力される(選択動作)。配線609の電位を検出することで、光電変換素子601の受光量を知ることができる。
トランジスタ602およびトランジスタ603には、OSトランジスタを用いることが好ましい。前述した通り、OSトランジスタはオフ電流を極めて小さくすることができるため、容量素子606を小さくすることができる。または、容量素子606を省略することができる。また、トランジスタ602およびトランジスタ603としてOSトランジスタを用いると、ノード607の電位が変動しにくい。よって、ノイズの影響を受けにくいイメージセンサ120を実現することができる。
<表示装置>
表示装置113は、例えば、EL(エレクトロルミネッセンス)素子(有機物および無機物を含むEL素子、有機EL素子、無機EL素子)、LEDチップ(白色LEDチップ、赤色LEDチップ、緑色LEDチップ、青色LEDチップなど)、トランジスタ(電流に応じて発光するトランジスタ)、電子放出素子、カーボンナノチューブを用いた表示素子、液晶素子、電子インク、エレクトロウェッティング素子、電気泳動素子、MEMS(マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システム)を用いた表示素子(例えば、グレーティングライトバルブ(GLV)、デジタルマイクロミラーデバイス(DMD)、DMS(デジタル・マイクロ・シャッター)、MIRASOL(登録商標)、IMOD(インターフェロメトリック・モジュレーション)素子、シャッター方式のMEMS表示素子、光干渉方式のMEMS表示素子、圧電セラミックディスプレイなど)、または、量子ドットなどの少なくとも一つを有している。
これらの他にも、表示装置は、電気的または磁気的作用により、コントラスト、輝度、反射率、透過率などが変化する表示媒体を有していてもよい。例えば、表示装置はプラズマディスプレイパネル(PDP)であってもよい。
EL素子を用いた表示装置の一例としては、ELディスプレイなどがある。電子放出素子を用いた表示装置の一例としては、フィールドエミッションディスプレイ(FED)またはSED方式平面型ディスプレイ(SED:Surface-conduction Electron-emitter Display)などがある。
量子ドットを各画素に用いた表示装置の一例としては、量子ドットディスプレイなどがある。なお、量子ドットは、表示素子としてではなく、液晶表示装置などに用いるバックライトの一部に設けてもよい。量子ドットを用いることにより、色純度の高い表示を行うことができる。
なお、量子ドットは、数nmサイズの半導体ナノ結晶であり、1×10個から1×10個程度の原子から構成されている。量子ドットはサイズに依存してエネルギーシフトするため、同じ物質から構成される量子ドットであっても、サイズによって発光波長が異なり、用いる量子ドットのサイズを変更することによって容易に発光波長を調整することができる。
また、量子ドットは、発光スペクトルのピーク幅が狭いため、色純度のよい発光を得ることができる。さらに、量子ドットの理論的な外部量子効率はほぼ100%であると言われており、蛍光発光を呈する有機化合物の25%を大きく上回り、燐光発光を呈する有機化合物と同等となっている。このことから、量子ドットを発光材料として用いることによって発光効率の高い発光素子を得ることができる。その上、無機化合物である量子ドットはその本質的な安定性にも優れているため、寿命の観点からも好ましい発光素子を得ることができる。
量子ドットを構成する材料としては、周期表第14族元素、周期表第15族元素、周期表第16族元素、複数の周期表第14族元素からなる化合物、周期表第4族から周期表第14族に属する元素と周期表第16族元素との化合物、周期表第2族元素と周期表第16族元素との化合物、周期表第13族元素と周期表第15族元素との化合物、周期表第13族元素と周期表第17族元素との化合物、周期表第14族元素と周期表第15族元素との化合物、周期表第11族元素と周期表第17族元素との化合物、酸化鉄類、酸化チタン類、カルコゲナイドスピネル類、各種半導体クラスター等を挙げることができる。
具体的には、セレン化カドミウム、硫化カドミウム、テルル化カドミウム、セレン化亜鉛、酸化亜鉛、硫化亜鉛、テルル化亜鉛、硫化水銀、セレン化水銀、テルル化水銀、砒化インジウム、リン化インジウム、砒化ガリウム、リン化ガリウム、窒化インジウム、窒化ガリウム、アンチモン化インジウム、アンチモン化ガリウム、リン化アルミニウム、砒化アルミニウム、アンチモン化アルミニウム、セレン化鉛、テルル化鉛、硫化鉛、セレン化インジウム、テルル化インジウム、硫化インジウム、セレン化ガリウム、硫化砒素、セレン化砒素、テルル化砒素、硫化アンチモン、セレン化アンチモン、テルル化アンチモン、硫化ビスマス、セレン化ビスマス、テルル化ビスマス、ケイ素、炭化ケイ素、ゲルマニウム、錫、セレン、テルル、ホウ素、炭素、リン、窒化ホウ素、リン化ホウ素、砒化ホウ素、窒化アルミニウム、硫化アルミニウム、硫化バリウム、セレン化バリウム、テルル化バリウム、硫化カルシウム、セレン化カルシウム、テルル化カルシウム、硫化ベリリウム、セレン化ベリリウム、テルル化ベリリウム、硫化マグネシウム、セレン化マグネシウム、硫化ゲルマニウム、セレン化ゲルマニウム、テルル化ゲルマニウム、硫化錫、セレン化錫、テルル化錫、酸化鉛、フッ化銅、塩化銅、臭化銅、ヨウ化銅、酸化銅、セレン化銅、酸化ニッケル、酸化コバルト、硫化コバルト、四酸化三鉄、硫化鉄、酸化マンガン、硫化モリブデン、酸化バナジウム、酸化タングステン、酸化タンタル、酸化チタン、酸化ジルコニウム、窒化ケイ素、窒化ゲルマニウム、酸化アルミニウム、チタン酸バリウム、セレンと亜鉛とカドミウムの化合物、インジウムと砒素とリンの化合物、カドミウムとセレンと硫黄の化合物、カドミウムとセレンとテルルの化合物、インジウムとガリウムと砒素の化合物、インジウムとガリウムとセレンの化合物、インジウムとセレンと硫黄の化合物、銅とインジウムと硫黄の化合物およびこれらの組合せ等を挙げることができるが、これらに限定されるものではない。また、組成が任意の比率で表される、いわゆる合金型量子ドットを用いても良い。例えば、カドミウムとセレンと硫黄の合金型量子ドットは、元素の含有比率を変化させることで発光波長を変えることができるため、青色発光を得るには有効な手段の一つである。
量子ドットの構造としては、コア型、コア-シェル型、コア-マルチシェル型等があり、そのいずれを用いても良いが、コアを覆ってより広いバンドギャップを持つ別の無機材料でシェルを形成することによって、ナノ結晶表面に存在する欠陥やダングリングボンドの影響を低減することができる。これにより、発光の量子効率が大きく改善するためコア-シェル型やコア-マルチシェル型の量子ドットを用いることが好ましい。シェルの材料の例としては、硫化亜鉛や酸化亜鉛が挙げられる。
また、量子ドットは、表面原子の割合が高いことから、反応性が高く、凝集が起こりやすい。そのため、量子ドットの表面には保護剤が付着しているまたは保護基が設けられていることが好ましい。当該保護剤が付着しているまたは保護基が設けられていることによって、凝集を防ぎ、溶媒への溶解性を高めることができる。また、反応性を低減させ、電気的安定性を向上させることも可能である。保護剤(または保護基)としては、例えば、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類、トリプロピルホスフィン、トリブチルホスフィン、トリヘキシルホスフィン、トリオクチルホスフィン等のトリアルキルホスフィン類、ポリオキシエチレンn-オクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンn-ノニルフェニルエーテル等のポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、トリ(n-ヘキシル)アミン、トリ(n-オクチル)アミン、トリ(n-デシル)アミン等の第3級アミン類、トリプロピルホスフィンオキシド、トリブチルホスフィンオキシド、トリヘキシルホスフィンオキシド、トリオクチルホスフィンオキシド、トリデシルホスフィンオキシド等の有機リン化合物、ポリエチレングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジステアレート等のポリエチレングリコールジエステル類、また、ピリジン、ルチジン、コリジン、キノリン類等の含窒素芳香族化合物等の有機窒素化合物、ヘキシルアミン、オクチルアミン、デシルアミン、ドデシルアミン、テトラデシルアミン、ヘキサデシルアミン、オクタデシルアミン等のアミノアルカン類、ジブチルスルフィド等のジアルキルスルフィド類、ジメチルスルホキシドやジブチルスルホキシド等のジアルキルスルホキシド類、チオフェン等の含硫黄芳香族化合物等の有機硫黄化合物、パルミチン酸、ステアリン酸、オレイン酸等の高級脂肪酸、アルコール類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、3級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等が挙げられる。
量子ドットは、サイズが小さくなるに従いバンドギャップが大きくなるため、所望の波長の光が得られるようにそのサイズを適宜調節する。結晶サイズが小さくなるにつれて、量子ドットの発光は青色側へ、つまり、高エネルギー側へとシフトするため、量子ドットのサイズを変化させることにより、紫外領域、可視領域、赤外領域のスペクトルの波長領域にわたって、その発光波長を調節することができる。量子ドットのサイズ(直径)は0.5nm乃至20nm、好ましくは1nm乃至10nmの範囲のものが通常良く用いられる。なお、量子ドットはそのサイズ分布が狭いほど、より発光スペクトルが狭線化し、色純度の良好な発光を得ることができる。また、量子ドットの形状は特に限定されず、球状、棒状、円盤状、その他の形状であってもよい。なお、棒状の量子ドットである量子ロッドはc軸方向に偏光した指向性を有する光を呈するため、量子ロッドを発光材料として用いることにより、より外部量子効率が良好な発光素子を得ることができる。
また、EL素子では多くの場合、発光材料をホスト材料に分散することによって発光効率を高めるが、ホスト材料は発光材料以上の一重項励起エネルギーまたは三重項励起エネルギーを有する物質であることが必要である。特に青色の燐光材料を用いる場合においては、それ以上の三重項励起エネルギーを有する材料であり、且つ、寿命の観点で優れたホスト材料の開発は困難を極めている。一方で、量子ドットはホスト材料を用いずに量子ドットのみで発光層を構成しても発光効率を保つことができるため、この点でも寿命という観点から好ましい発光素子を得ることができる。量子ドットのみで発光層を形成する場合には、量子ドットはコア-シェル構造(コア-マルチシェル構造を含む)であることが好ましい。
液晶素子を用いた表示装置の一例としては、液晶表示装置(透過型液晶ディスプレイ、半透過型液晶ディスプレイ、反射型液晶ディスプレイ、直視型液晶ディスプレイ、投射型液晶ディスプレイ)などがある。
なお、半透過型液晶ディスプレイや反射型液晶ディスプレイを実現する場合には、画素電極の一部、または、全部が、反射電極としての機能を有するようにすればよい。例えば、画素電極の一部、または、全部が、アルミニウム、銀、などを有するようにすればよい。さらに、その場合、反射電極の下に、SRAMなどの記憶回路を設けることも可能である。これにより、さらに、消費電力を低減することができる。
電子インク、電子粉流体(登録商標)、または電気泳動素子を用いた表示装置の一例としては、電子ペーパーなどがある。
なお、表示素子などにLEDチップを用いる場合、LEDチップの電極や窒化物半導体の下に、グラフェンやグラファイトを配置してもよい。グラフェンやグラファイトは、複数の層を重ねて、多層膜としてもよい。このように、グラフェンやグラファイトを設けることにより、その上に、窒化物半導体、例えば、結晶を有するn型GaN半導体層などを容易に成膜することができる。さらに、その上に、結晶を有するp型GaN半導体層などを設けて、LEDチップを構成することができる。なお、グラフェンやグラファイトと、結晶を有するn型GaN半導体層との間に、AlN層を設けてもよい。なお、LEDチップが有するGaN半導体層は、MOCVDで成膜してもよい。ただし、グラフェンを設けることにより、LEDチップが有するGaN半導体層は、スパッタ法で成膜することも可能である。
また、MEMSを用いた表示素子においては、表示素子が封止されている空間(例えば、表示素子が配置されている素子基板と、素子基板に対向して配置されている対向基板との間)に、乾燥剤を配置してもよい。乾燥剤を配置することにより、MEMSなどが水分によって動きにくくなることや、劣化しやすくなることを防止することができる。
図22(A)に表示部の構成例を示す。図22(A)の表示部3100は、表示領域3131、回路3132、および回路3133を有する。回路3132は、例えば走査線ドライバとして機能する。また、回路3133は、例えば信号線ドライバとして機能する。
また、表示部3100は、各々が略平行に配設され、且つ、回路3132によって電位が制御されるm本の走査線3135と、各々が略平行に配設され、かつ、回路3133によって電位が制御されるn本の信号線3136と、を有する。さらに、表示領域3131はm行n列のマトリクス状に配設された複数の画素3130を有する。なお、m、nは、ともに2以上の整数である。
表示領域3131において、各走査線3135は、画素3130のうち、いずれかの行に配設されたn個の画素3130と電気的に接続される。また、各信号線3136は、画素3130のうち、いずれかの列に配設されたm個の画素3130に電気的に接続される。
図22(B)および図22(C)は、画素3130の構成例を示す回路図である。図22(B)の画素3130Bは、自発光型表示装置の画素であり、図22(C)の画素3130Cは、液晶表示装置の画素である。
画素3130Bは、トランジスタ3431と、容量素子3233と、トランジスタ3232と、トランジスタ3434と、発光素子3125とを有する。画素3130Bは、データ信号が与えられるn列目の信号線3136(以下、信号線DL_nという)と、ゲート信号が与えられるm行目の走査線3135(以下、走査線GL_mという)と、電位供給線VL_aと、電位供給線VL_bとに電気的に接続されている。
また、複数の画素3130Bを、それぞれ副画素として用いて、それぞれの副画素から異なる波長域の光を発光させることで、カラー画像を表示することができる。例えば、赤の波長域の光を発する画素3130、緑の波長域の光を発する画素3130、および青の波長域の光を発する画素3130を1つの画素として用いる。
なお、組み合わせる光の波長域は、赤、緑、および青に限定されず、シアン、黄およびマゼンタであってもよい。1つの画素に少なくとも3種類の異なる波長域の光を発する副画素を設けることで、フルカラー画像を表示することができる。
また、赤、緑、および青に、イエロー、シアン、マゼンタ、白などを一種以上追加してもよい。例えば、赤、緑、および青に加えて、黄の波長域の光を発する副画素を加えてもよい。また、シアン、黄、およびマゼンタに赤、緑、青、白などを一種以上追加してもよい。例えば、シアン、黄、およびマゼンタに加えて、青の波長域の光を発する副画素を加えてもよい。1つの画素に4種類以上の異なる波長域で発光する副画素を設けることで、表示する画像の色の再現性をさらに高めることができる。
また、1つの画素に用いる、赤、緑、青の画素数比(または発光面積比)は、必ずしも1:1:1である必要は無い。例えば、画素数比(発光面積比)を赤:緑:青=1:1:2としてもよい。また、画素数比(発光面積比)を赤:緑:青=1:2:3としてもよい。
また、白色光を発する副画素に、赤、緑、青などのカラーフィルタを組み合わせて、フルカラー表示を実現することもできる。また、赤、緑、または青の波長域の光を発する副画素それぞれに、赤、緑、または青の波長域の光を透過するカラーフィルタを組み合わせてもよい。
ただし、本発明はカラー表示の表示装置に限定されるものではなく、モノクロ表示の表示装置に適用することもできる。
図22(C)に示す画素3130Cは、トランジスタ3431と、容量素子3233と、液晶素子3432と電気的に接続されている。画素3130Cは、信号線DL_nと、走査線GL_mと、容量線CLとに電気的に接続されている。
液晶素子3432の一対の電極の一方の電位は、画素3130Cの仕様に応じて適宜設定される。液晶素子3432に含まれる液晶は、ノード3436に書き込まれるデータにより配向状態が設定される。なお、複数の画素3130Cのそれぞれが有する液晶素子3432の一対の電極の一方に、共通の電位(コモン電位)を与えてもよい。容量線CLの電位の値は、画素3130Cの仕様に応じて適宜設定される。容量素子3233は、ノード3436に書き込まれたデータを保持する保持容量としての機能を有する。
液晶素子3432のモードとしては、例えば、TNモード、STNモード、VAモード、ASM(Axially Symmetric Aligned Micro-cell)モード、OCB(Optically Compensated Birefringence)モード、FLC(Ferroelectric Liquid Crystal)モード、AFLC(AntiFerroelectric Liquid Crystal)モード、MVAモード、PVA(Patterned Vertical Alignment)モード、IPSモード、FFSモード、またはTBA(Transverse Bend Alignment)モードなどを用いてもよい。また、他の例として、ECB(Electrically Controlled Birefringence)モード、PDLC(Polymer Dispersed Liquid Crystal)モード、PNLC(Polymer Network Liquid Crystal)モード、ゲストホストモードなどがある。ただし、これに限定されず、様々なモードを用いることができる。
図23を用いて、表示パネルのデバイス構造を説明する。図23(A)において、基板4001上に設けられた画素部4002を囲むようにして、シール材4005が設けられ、基板4006によって封止されている。図23(A)においては、基板4001上のシール材4005によって囲まれている領域とは異なる領域に、信号線ドライバ4003、及び走査線ドライバ4004が実装されている。信号線ドライバ4003は別途用意された基板に設けられており、単結晶半導体トランジスタ又は多結晶半導体トランジスタで構成される。走査線ドライバ4004も同様である。また、信号線ドライバ4003、走査線ドライバ4004、または画素部4002に与えられる各種信号及び電位は、FPC(Flexible printed circuit)4018a、FPC4018bから供給されている。
図23(B)及び図23(C)において、基板4001上に設けられた画素部4002と、走査線ドライバ4004とを囲むようにして、シール材4005が設けられている。また画素部4002と、走査線ドライバ4004の上に基板4006が設けられている。よって画素部4002と、走査線ドライバ4004とは、基板4001とシール材4005と基板4006とによって、表示素子と共に封止されている。図23(B)及び図23(C)においては、基板4001上のシール材4005によって囲まれている領域とは異なる領域に、信号線ドライバ4003が実装されている。図23(B)及び図23(C)においては、信号線ドライバ4003、走査線ドライバ4004、または画素部4002に与えられる各種信号及び電位は、FPC4018から供給されている。
また図23(B)及び図23(C)においては、信号線ドライバ4003を別途形成し、基板4001に実装している例を示しているが、この構成に限定されない。走査線ドライバを別途形成して実装しても良いし、信号線ドライバの一部または走査線ドライバの一部のみを別途形成して実装しても良い。
なお、別途形成したドライバの接続方法は、特に限定されるものではなく、ワイヤボンディング、COG(Chip On Glass)、TCP(Tape Carrier Package)、COF(Chip On Film)などを用いることができる。図23Aは、COGにより信号線ドライバ4003、走査線ドライバ4004を実装する例であり、図23Bは、COGにより信号線ドライバ4003を実装する例であり、図23Cは、TCPにより信号線ドライバ4003を実装する例である。また、表示装置は、表示素子が封止された状態にあるパネルと、該パネルにコントローラを含むIC等を実装した状態にあるモジュールとを含む場合がある。また基板4001上に設けられた画素部及び走査線ドライバは、トランジスタを複数有しており、上記実施の形態で示したトランジスタを適用することができる。
図24(A)及び図24(B)は、図23(B)中でN1-N2の鎖線で示した部位の断面構成を示す断面図である。図24(A)の表示パネル4000Aは液晶表示装置のものであり、図24(B)の表示パネル4000Bは自発光型表示装置のものである。
表示パネル4000Aは電極4015を有しており、電極4015はFPC4018が有する端子と異方性導電層4019を介して、電気的に接続されている。また、電極4015は、絶縁層4112、絶縁層4111、および絶縁層4110に形成された開口において配線4014と電気的に接続されている。表示パネル4000Aは、トランジスタ4010、4011および容量素子4020を有する。容量素子4020は、トランジスタ4010のソース電極またはドレイン電極の一方の一部と、電極4021が絶縁層4103を介して重なる領域を有する。電極4021は、電極4017と同じ導電層で形成されている。電極4015は、第1の電極層4030と同じ導電層から形成され、配線4014は、トランジスタ4010、およびトランジスタ4011のソース電極およびドレイン電極と同じ導電層で形成されている。表示パネル4000Bも同様である。
また基板4001上に設けられた画素部4002と走査線ドライバ4004は、トランジスタを複数有しており、図24(A)及び図24(B)では、画素部4002に含まれるトランジスタ4010と、走査線ドライバ4004に含まれるトランジスタ4011とを例示している。図24(A)では、トランジスタ4010およびトランジスタ4011上に、絶縁層4112、絶縁層4111、および絶縁層4110が設けられ、図24(B)では、絶縁層4112の上に隔壁4510が形成されている。
一般に、画素に設けられる容量素子の容量は、画素に配置されるトランジスタのリーク電流等を考慮して、所定の期間の間電荷を保持できるように設定される。容量素子の容量は、トランジスタのオフ電流等を考慮して設定すればよい。例えば、液晶表示装置の画素部に前述のOSトランジスタを用いることにより、容量素子の容量を、液晶容量に対して1/3以下、もしくは1/5以下とすることができる。また、OSトランジスタを用いることにより、容量素子の形成を省略することもできる。
図24(A)において、液晶素子4013は、第1の電極層4030、第2の電極層4031、及び液晶層4008を含む。なお、液晶層4008を挟持するように配向膜として機能する絶縁層4032、絶縁層4033が設けられている。第2の電極層4031は基板4006側に設けられ、第1の電極層4030と第2の電極層4031は液晶層4008を介して重畳する。
またスペーサ4035は絶縁層を選択的にエッチングすることで得られる柱状のスペーサであり、第1の電極層4030と第2の電極層4031との間隔(セルギャップ)を制御するために設けられている。なお球状のスペーサを用いていても良い。
表示素子として、液晶素子を用いる場合、サーモトロピック液晶、低分子液晶、高分子液晶、高分子分散型液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等を用いることができる。これらの液晶材料は、条件により、コレステリック相、スメクチック相、キュービック相、カイラルネマチック相、等方相等を示す。
また、配向膜を用いないブルー相(Blue Phase)を示す液晶を用いてもよい。ブルー相は液晶相の一つであり、コレステリック液晶を昇温していくと、コレステリック相から等方相へ転移する直前に発現する相である。ブルー相は狭い温度範囲でしか発現しないため、温度範囲を改善するために5重量%以上のカイラル剤を混合させた液晶組成物を液晶層に用いる。ブルー相を示す液晶とカイラル剤とを含む液晶組成物は、応答速度が1msec以下と短く、また、光学的等方性であるため配向処理が不要であり、且つ、視野角依存性が小さい。また配向膜を設けなくてもよいのでラビング処理も不要となるため、ラビング処理によって引き起こされる静電破壊を防止することができ、作製工程中の液晶表示装置の不良や破損を軽減することができる。よって液晶表示装置の生産性を向上させることが可能となる。
また、画素(ピクセル)をいくつかの領域(サブピクセル)に分け、それぞれ別の方向に分子を倒すよう工夫されているマルチドメイン化あるいはマルチドメイン設計といわれる方法を用いることができる。
また、液晶材料の固有抵抗は、1×10Ω・cm以上であり、好ましくは1×1011Ω・cm以上であり、さらに好ましくは1×1012Ω・cm以上である。なお、本明細書における固有抵抗の値は、20℃で測定した値とする。
本実施の形態で用いるOSトランジスタは、オフ状態における電流値(オフ電流値)を低くすることができる。よって、映像信号等の電気信号の保持時間を長くすることができ、電源オン状態では書き込み間隔も長く設定できる。よって、リフレッシュ動作の頻度を少なくすることができるため、消費電力を抑制する効果を奏する。
また、OSトランジスタは、比較的高い電界効果移動度が得られるため、高速駆動が可能である。よって、表示装置の画素部に上記トランジスタを用いることで、高画質な画像を提供することができる。また、同一基板上にドライバ部または画素部を作り分けて作製することが可能となるため、表示装置の部品点数を削減することができる。
また、表示装置において、ブラックマトリクス(遮光層)、偏光部材、位相差部材、反射防止部材などの光学部材(光学基板)などを適宜設けてもよい。例えば、偏光基板及び位相差基板による円偏光を用いてもよい。また、光源としてバックライト、サイドライトなどを用いてもよい。
また、表示装置に含まれる表示素子として、エレクトロルミネッセンスを利用する発光素子(「EL素子」ともいう。)を適用することができる。EL素子は、一対の電極の間に発光性の化合物を含む層(「EL層」ともいう。)を有する。一対の電極間に、EL素子の閾値電圧よりも大きい電位差を生じさせると、EL層に陽極側から正孔が注入され、陰極側から電子が注入される。注入された電子と正孔はEL層において再結合し、EL層に含まれる発光物質が発光する。
また、EL素子は、発光材料が有機化合物であるか、無機化合物であるかによって区別され、一般的に、前者は有機EL素子、後者は無機EL素子と呼ばれている。
有機EL素子は、電圧を印加することにより、一方の電極から電子、他方の電極から正孔がそれぞれEL層に注入される。そして、それらキャリア(電子および正孔)が再結合することにより、発光性の有機化合物が励起状態を形成し、その励起状態が基底状態に戻る際に発光する。このようなメカニズムから、このような発光素子は、電流励起型の発光素子と呼ばれる。
なお、EL層は、発光性の化合物以外に、正孔注入性の高い物質、正孔輸送性の高い物質、正孔ブロック材料、電子輸送性の高い物質、電子注入性の高い物質、またはバイポーラ性の物質(電子輸送性及び正孔輸送性が高い物質)などを有していてもよい。
EL層は、蒸着法(真空蒸着法を含む)、転写法、印刷法、インクジェット法、塗布法などの方法で形成することができる。
無機EL素子は、その素子構成により、分散型無機EL素子と薄膜型無機EL素子とに分類される。分散型無機EL素子は、発光材料の粒子をバインダ中に分散させた発光層を有するものであり、発光メカニズムはドナー準位とアクセプター準位を利用するドナー-アクセプター再結合型発光である。薄膜型無機EL素子は、発光層を誘電体層で挟み込み、さらにそれを電極で挟んだ構造であり、発光メカニズムは金属イオンの内殻電子遷移を利用する局在型発光である。なお、ここでは、発光素子として有機EL素子を用いて説明する。
発光素子は発光を取り出すために少なくとも一対の電極の一方が透明であればよい。そして、基板上にトランジスタ及び発光素子を形成し、当該基板とは逆側の面から発光を取り出す上面射出(トップエミッション)構造や、基板側の面から発光を取り出す下面射出(ボトムエミッション)構造や、両面から発光を取り出す両面射出(デュアルエミッション)構造の発光素子があり、どの射出構造の発光素子も適用することができる。
図24Bにおいて、発光素子4513は、画素部4002に設けられたトランジスタ4010と電気的に接続している。なお発光素子4513の構成は、第1の電極層4030、発光層4511、第2の電極層4031の積層構造であるが、この構成に限定されない。発光素子4513から取り出す光の方向などに合わせて、発光素子4513の構成は適宜変えることができる。
隔壁4510は、有機絶縁材料、又は無機絶縁材料を用いて形成する。特に感光性の樹脂材料を用い、第1の電極層4030上に開口部を形成し、その開口部の側面が連続した曲率を持って形成される傾斜面となるように形成することが好ましい。
発光層4511は、単数の層で構成されていても、複数の層が積層されるように構成されていてもどちらでも良い。
発光素子4513に酸素、水素、水分、二酸化炭素等が侵入しないように、第2の電極層4031および隔壁4510上に保護層を形成してもよい。保護層としては、窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、DLC(Diamond Like Carbon)などを形成することができる。また、基板4001、基板4006、及びシール材4005によって封止された空間には充填材4514が設けられ密封されている。このように、外気に曝されないように気密性が高く、脱ガスの少ない保護フィルム(貼り合わせフィルム、紫外線硬化樹脂フィルム等)やカバー材でパッケージング(封入)することが好ましい。
充填材4514としては窒素やアルゴンなどの不活性な気体の他に、紫外線硬化樹脂または熱硬化樹脂を用いることができ、PVC(ポリビニルクロライド)、アクリル樹脂、ポリイミド、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)またはEVA(エチレンビニルアセテート)などを用いることができる。また、充填材4514に乾燥剤が含まれていてもよい。
シール材4005には、ガラスフリットなどのガラス材料や、二液混合型の樹脂などの常温で硬化する硬化樹脂、光硬化性の樹脂、熱硬化性の樹脂などの樹脂材料を用いることができる。また、シール材4005に乾燥剤が含まれていてもよい。
また、必要であれば、発光素子の射出面に偏光板、又は円偏光板(楕円偏光板を含む)、位相差板(λ/4板、λ/2板)、カラーフィルタなどの光学フィルムを適宜設けてもよい。また、偏光板又は円偏光板に反射防止膜を設けてもよい。例えば、表面の凹凸により反射光を拡散し、映り込みを低減できるアンチグレア処理を施すことができる。
また、発光素子をマイクロキャビティ構造とすることで、色純度の高い光を取り出すことができる。また、マイクロキャビティ構造とカラーフィルタを組み合わせることで、映り込みが低減し、表示画像の視認性を高めることができる。
表示素子に電圧を印加する第1の電極層及び第2の電極層(画素電極層、共通電極層、対向電極層などともいう)においては、取り出す光の方向、電極層が設けられる場所、及び電極層のパターン構造によって透光性、反射性を選択すればよい。
第1の電極層4030、第2の電極層4031は、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、インジウム錫酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化ケイ素を添加したインジウム錫酸化物などの透光性を有する導電性材料を用いることができる。
また、第1の電極層4030、第2の電極層4031はタングステン(W)、モリブデン(Mo)、ジルコニウム(Zr)、ハフニウム(Hf)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、タンタル(Ta)、クロム(Cr)、コバルト(Co)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、白金(Pt)、アルミニウム(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)などの金属、またはその合金、もしくはその金属窒化物から一種以上を用いて形成することができる。
また、第1の電極層4030、第2の電極層4031として、導電性高分子(導電性ポリマーともいう)を含む導電性組成物を用いて形成することができる。導電性高分子としては、いわゆるπ電子共役系導電性高分子を用いることができる。例えば、ポリアニリンまたはその誘導体、ポリピロールまたはその誘導体、ポリチオフェンまたはその誘導体、もしくは、アニリン、ピロールおよびチオフェンの2種以上からなる共重合体またはその誘導体等が挙げられる。
図25(A)は、図24(A)に示すトランジスタ4011及び4010に、トップゲート型のトランジスタを設けた場合の断面図を示している。同様に、図25(B)は、図24(B)に示すトランジスタ4011及び4010に、トップゲート型のトランジスタを設けた場合の断面図を示している。
トランジスタ4010、4011において、電極4017はゲート電極としての機能を有する。また、配線4014は、ソース電極またはドレイン電極としての機能を有する。また、絶縁層4103はゲート絶縁膜としての機能を有する。トランジスタ4010、4011は、半導体層4012を有する。半導体層4012として、結晶シリコン、多結晶シリコン、非晶質シリコン、金属酸化物、有機半導体、などを用いればよい。また、必要に応じて、半導体層4012の導電率を高めるため、または、トランジスタの閾値を制御するために、半導体層4012に不純物を導入してもよい。
本実施の形態は、他の実施の形態に記載した構成と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態3)
本実施の形態では、表示パネル等の各構成要素について説明する。
<基板>
表示パネル等が有する基板には、平坦面を有する材料を用いることができる。表示素子からの光を取り出す側の基板には、該光を透過する材料を用いる。例えば、ガラス、石英、セラミック、サファイヤ、有機樹脂などの材料を用いることができる。
厚さの薄い基板を用いることで、表示パネル等の軽量化、薄型化を図ることができる。さらに、可撓性を有する程度の厚さの基板を用いることで、可撓性を有する表示パネル等を実現できる。
また、発光を取り出さない側の基板は、透光性を有していなくてもよいため、上記に挙げた基板の他に、金属基板等を用いることもできる。金属基板は熱伝導性が高く、基板全体に熱を容易に伝導できるため、表示パネル等の局所的な温度上昇を抑制することができ、好ましい。可撓性や曲げ性を得るためには、金属基板の厚さは、10μm以上200μm以下が好ましく、20μm以上50μm以下であることがより好ましい。
金属基板を構成する材料としては、特に限定はないが、例えば、アルミニウム、銅、ニッケル等の金属、もしくはアルミニウム合金またはステンレス等の合金などを好適に用いることができる。
また、金属基板の表面を酸化する、または表面に絶縁膜を形成するなどにより、絶縁処理が施された基板を用いてもよい。例えば、スピンコート法やディップ法などの塗布法、電着法、蒸着法、またはスパッタリング法などを用いて絶縁膜を形成してもよいし、酸素雰囲気で放置するまたは加熱するほか、陽極酸化法などによって、基板の表面に酸化膜を形成してもよい。
可撓性を有し、可視光に対する透過性を有する材料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル樹脂、ポリアクリロニトリル樹脂、ポリイミド樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、ポリカーボネート(PC)樹脂、ポリエーテルスルホン(PES)樹脂、ポリアミド樹脂、シクロオレフィン樹脂、ポリスチレン樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリ塩化ビニル樹脂、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)樹脂等が挙げられる。特に、熱膨張係数の低い材料を用いることが好ましく、例えば、熱膨張係数が30×10-6/K以下であるポリアミドイミド樹脂、ポリイミド樹脂、PET等を好適に用いることができる。また、ガラス繊維に有機樹脂を含浸した基板や、無機フィラーを有機樹脂に混ぜて熱膨張係数を下げた基板を使用することもできる。このような材料を用いた基板は、重量が軽いため、該基板を用いた表示パネル等も軽量にすることができる。
上記材料中に繊維体が含まれている場合、繊維体は有機化合物または無機化合物の高強度繊維を用いる。高強度繊維とは、具体的には引張弾性率またはヤング率の高い繊維のことを言い、代表例としては、ポリビニルアルコール系繊維、ポリエステル系繊維、ポリアミド系繊維、ポリエチレン系繊維、アラミド系繊維、ポリパラフェニレンベンゾビスオキサゾール繊維、ガラス繊維、または炭素繊維が挙げられる。ガラス繊維としては、Eガラス、Sガラス、Dガラス、Qガラス等を用いたガラス繊維が挙げられる。これらは、織布または不織布の状態で用い、この繊維体に樹脂を含浸させ樹脂を硬化させた構造物を、可撓性を有する基板として用いてもよい。可撓性を有する基板として、繊維体と樹脂からなる構造物を用いると、曲げや局所的押圧による破損に対する信頼性が向上するため、好ましい。
または、可撓性を有する程度に薄いガラス、金属などを基板に用いることもできる。または、ガラスと樹脂材料とが接着層により貼り合わされた複合材料を用いてもよい。
可撓性を有する基板に、表示パネル等の表面を傷などから保護するハードコート層(例えば、窒化シリコン、酸化アルミニウムなど)や、押圧を分散可能な材質の層(例えば、アラミド樹脂など)等が積層されていてもよい。また、水分等による表示素子の寿命の低下等を抑制するために、可撓性を有する基板に透水性の低い絶縁膜が積層されていてもよい。例えば、窒化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化アルミニウム、窒化アルミニウム等の無機絶縁材料を用いることができる。
基板は、複数の層を積層して用いることもできる。特に、ガラス層を有する構成とすると、水や酸素に対するバリア性を向上させ、信頼性の高い表示パネル等とすることができる。
<トランジスタ>
トランジスタは、ゲート電極として機能する導電層と、半導体層と、ソース電極として機能する導電層と、ドレイン電極として機能する導電層と、ゲート絶縁層として機能する絶縁層と、を有する。上記では、ボトムゲート構造のトランジスタを適用した場合を示している。
なお、本発明の一態様の表示装置が有するトランジスタの構造は特に限定されない。例えば、プレーナ型のトランジスタとしてもよいし、スタガ型のトランジスタとしてもよいし、逆スタガ型のトランジスタとしてもよい。また、トップゲート型またはボトムゲート型のいずれのトランジスタ構造としてもよい。または、チャネルの上下にゲート電極が設けられていてもよい。
トランジスタに用いる半導体材料の結晶性についても特に限定されず、非晶質半導体、結晶性を有する半導体(微結晶半導体、多結晶半導体、単結晶半導体、または一部に結晶領域を有する半導体)のいずれを用いてもよい。結晶性を有する半導体を用いると、トランジスタ特性の劣化を抑制できるため好ましい。
また、トランジスタに用いる半導体材料としては、エネルギーギャップが2eV以上、好ましくは2.5eV以上、より好ましくは3eV以上である金属酸化物を用いることができる。代表的には、インジウムを含む金属酸化物などであり、例えば、後述するCAC-OSなどを用いることができる。
シリコンよりもバンドギャップが広く、かつキャリア密度の小さい金属酸化物を用いたトランジスタは、その低いオフ電流により、トランジスタと直列に接続された容量素子に蓄積した電荷を長期間に亘って保持することが可能である。
半導体層は、例えばインジウム、亜鉛およびM(アルミニウム、チタン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジルコニウム、ランタン、セリウム、スズ、ネオジムまたはハフニウム等の金属)を含むIn-M-Zn系酸化物で表記される膜とすることができる。
半導体層を構成する金属酸化物がIn-M-Zn系酸化物の場合、In-M-Zn酸化物を成膜するために用いるスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比は、In≧M、Zn≧Mを満たすことが好ましい。このようなスパッタリングターゲットの金属元素の原子数比として、In:M:Zn=1:1:1、In:M:Zn=1:1:1.2、In:M:Zn=3:1:2、In:M:Zn=4:2:3、In:M:Zn=4:2:4.1、In:M:Zn=5:1:6、In:M:Zn=5:1:7、In:M:Zn=5:1:8等が好ましい。なお、成膜される半導体層の原子数比はそれぞれ、上記のスパッタリングターゲットに含まれる金属元素の原子数比のプラスマイナス40%の変動を含む。
本実施の形態で例示したボトムゲート構造のトランジスタは、作製工程を削減できるため好ましい。またこのとき金属酸化物を用いることで、多結晶シリコンよりも低温で形成できる、半導体層よりも下層の配線や電極の材料、基板の材料として、耐熱性の低い材料を用いることが可能なため、材料の選択の幅を広げることができる。例えば、極めて大面積のガラス基板などを好適に用いることができる。
半導体層としては、キャリア密度の低い金属酸化物膜を用いる。例えば、半導体層は、キャリア密度が1×1017/cm以下、好ましくは1×1015/cm以下、さらに好ましくは1×1013/cm以下、より好ましくは1×1011/cm以下、さらに好ましくは1×1010/cm未満であり、1×10-9/cm以上のキャリア密度の金属酸化物を用いることができる。そのような金属酸化物を、高純度真性または実質的に高純度真性な金属酸化物と呼ぶ。これにより不純物濃度が低く、欠陥準位密度が低いため、安定な特性を有する金属酸化物であるといえる。
なお、これらに限られず、必要とするトランジスタの半導体特性および電気特性(電界効果移動度、しきい値電圧等)に応じて適切な組成のものを用いればよい。また、必要とするトランジスタの半導体特性を得るために、半導体層のキャリア密度や不純物濃度、欠陥密度、金属元素と酸素の原子数比、原子間距離、密度等を適切なものとすることが好ましい。
半導体層を構成する金属酸化物において、第14族元素の1つであるシリコンや炭素が含まれると、半導体層において酸素欠損が増加し、n型化してしまう。このため、半導体層におけるシリコンや炭素の濃度(二次イオン質量分析法により得られる濃度)を、2×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1017atoms/cm以下とする。
また、アルカリ金属およびアルカリ土類金属は、金属酸化物と結合するとキャリアを生成する場合があり、トランジスタのオフ電流が増大してしまうことがある。このため半導体層における二次イオン質量分析法により得られるアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を、1×1018atoms/cm以下、好ましくは2×1016atoms/cm以下にする。
また、半導体層を構成する金属酸化物に窒素が含まれていると、キャリアである電子が生じ、キャリア密度が増加し、n型化しやすい。この結果、窒素が含まれている金属酸化物を用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため半導体層における二次イオン質量分析法により得られる窒素濃度は、5×1018atoms/cm以下にすることが好ましい。
また、半導体層は、例えば非単結晶構造でもよい。非単結晶構造は、例えば、c軸に配向した結晶を有するCAAC-OS(C-Axis Aligned Crystalline Oxide Semiconductor、または、C-Axis Aligned and A-B-plane Anchored Crystalline Oxide Semiconductor)、多結晶構造、微結晶構造、または非晶質構造を含む。非単結晶構造において、非晶質構造は最も欠陥準位密度が高く、CAAC-OSは最も欠陥準位密度が低い。
非晶質構造の金属酸化物膜は、例えば、原子配列が無秩序であり、結晶成分を有さない。または、非晶質構造の酸化物膜は、例えば、完全な非晶質構造であり、結晶部を有さない。
なお、半導体層が、非晶質構造の領域、微結晶構造の領域、多結晶構造の領域、CAAC-OSの領域、単結晶構造の領域のうち、二種以上を有する混合膜であってもよい。混合膜は、例えば上述した領域のうち、いずれか二種以上の領域を含む単層構造、または積層構造を有する場合がある。
<CAC-OSの構成>
以下では、本発明の一態様で開示されるトランジスタに用いることができるCAC-OSの構成について説明する。
CAC-OSとは、例えば、金属酸化物を構成する元素が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、またはその近傍のサイズで偏在した材料の一構成である。なお、以下では、金属酸化物において、1つあるいはそれ以上の金属元素が偏在し、該金属元素を有する領域が、0.5nm以上10nm以下、好ましくは、1nm以上2nm以下、またはその近傍のサイズで混合した状態をモザイク状、またはパッチ状ともいう。
なお、金属酸化物は、少なくともインジウムを含むことが好ましい。特にインジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。
例えば、In-Ga-Zn酸化物におけるCAC-OS(CAC-OSの中でもIn-Ga-Zn酸化物を、特にCAC-IGZOと呼称してもよい。)とは、インジウム酸化物(以下、InOX1(X1は0よりも大きい実数)とする。)、またはインジウム亜鉛酸化物(以下、InX2ZnY2Z2(X2、Y2、およびZ2は0よりも大きい実数)とする。)と、ガリウム酸化物(以下、GaOX3(X3は0よりも大きい実数)とする。)、またはガリウム亜鉛酸化物(以下、GaX4ZnY4Z4(X4、Y4、およびZ4は0よりも大きい実数)とする。)などと、に材料が分離することでモザイク状となり、モザイク状のInOX1、またはInX2ZnY2Z2が、膜中に均一に分布した構成(以下、クラウド状ともいう。)である。
つまり、CAC-OSは、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とが、混合している構成を有する複合金属酸化物である。なお、本明細書において、例えば、第1の領域の元素Mに対するInの原子数比が、第2の領域の元素Mに対するInの原子数比よりも大きいことを、第1の領域は、第2の領域と比較して、Inの濃度が高いとする。
なお、IGZOは通称であり、In、Ga、Zn、およびOによる1つの化合物をいう場合がある。代表例として、InGaO(ZnO)m1(m1は自然数)、またはIn(1+x0)Ga(1-x0)(ZnO)m0(-1≦x0≦1、m0は任意数)で表される結晶性の化合物が挙げられる。
上記結晶性の化合物は、単結晶構造、多結晶構造、またはCAAC構造を有する。なお、CAAC構造とは、複数のIGZOのナノ結晶がc軸配向を有し、かつa-b面においては配向せずに連結した結晶構造である。
一方、CAC-OSは、金属酸化物の材料構成に関する。CAC-OSとは、In、Ga、Zn、およびOを含む材料構成において、一部にGaを主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。したがって、CAC-OSにおいて、結晶構造は副次的な要素である。
なお、CAC-OSは、組成の異なる二種類以上の膜の積層構造は含まないものとする。例えば、Inを主成分とする膜と、Gaを主成分とする膜との2層からなる構造は、含まない。
なお、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とは、明確な境界が観察できない場合がある。
なお、ガリウムの代わりに、アルミニウム、イットリウム、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、シリコン、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれている場合、CAC-OSは、一部に該金属元素を主成分とするナノ粒子状に観察される領域と、一部にInを主成分とするナノ粒子状に観察される領域とが、それぞれモザイク状にランダムに分散している構成をいう。
CAC-OSは、例えば基板を加熱しない条件で、スパッタリング法により形成することができる。また、CAC-OSをスパッタリング法で形成する場合、成膜ガスとして、不活性ガス(代表的にはアルゴン)、酸素ガス、および窒素ガスの中から選ばれたいずれか1つまたは複数を用いればよい。また、成膜時の成膜ガスの総流量に対する酸素ガスの流量比は低いほど好ましく、例えば酸素ガスの流量比を0%以上30%未満、好ましくは0%以上10%以下とすることが好ましい。
CAC-OSは、X線回折(XRD:X-ray diffraction)測定法のひとつであるOut-of-plane法によるθ/2θスキャンを用いて測定したときに、明確なピークが観察されないという特徴を有する。すなわち、X線回折から、測定領域のa-b面方向、およびc軸方向の配向は見られないことが分かる。
また、CAC-OSは、プローブ径が1nmの電子線(ナノビーム電子線ともいう。)を照射することで得られる電子線回折パターンにおいて、リング状に輝度の高い領域と、該リング領域に複数の輝点が観測される。したがって、電子線回折パターンから、CAC-OSの結晶構造が、平面方向、および断面方向において、配向性を有さないnc(nano-crystal)構造を有することがわかる。
また、例えば、In-Ga-Zn酸化物におけるCAC-OSでは、エネルギー分散型X線分光法(EDX:Energy Dispersive X-ray spectroscopy)を用いて取得したEDXマッピングにより、GaOX3が主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域とが、偏在し、混合している構造を有することが確認できる。
CAC-OSは、金属元素が均一に分布したIGZO化合物とは異なる構造であり、IGZO化合物と異なる性質を有する。つまり、CAC-OSは、GaOX3などが主成分である領域と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域と、に互いに相分離し、各元素を主成分とする領域がモザイク状である構造を有する。
ここで、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域は、GaOX3などが主成分である領域と比較して、導電性が高い領域である。つまり、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域を、キャリアが流れることにより、金属酸化物としての導電性が発現する。したがって、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域が、金属酸化物中にクラウド状に分布することで、高い電界効果移動度(μ)が実現できる。
一方、GaOX3などが主成分である領域は、InX2ZnY2Z2、またはInOX1が主成分である領域と比較して、絶縁性が高い領域である。つまり、GaOX3などが主成分である領域が、金属酸化物中に分布することで、リーク電流を抑制し、良好なスイッチング動作を実現できる。
したがって、CAC-OSを半導体素子に用いた場合、GaOX3などに起因する絶縁性と、InX2ZnY2Z2、またはInOX1に起因する導電性とが、相補的に作用することにより、高いオン電流(Ion)、および高い電界効果移動度(μ)を実現することができる。
また、CAC-OSを用いた半導体素子は、信頼性が高い。したがって、CAC-OSは、ディスプレイをはじめとするさまざまな半導体装置に最適である。
または、トランジスタのチャネルが形成される半導体にシリコンを用いてもよい。シリコンとしてアモルファスシリコンを用いてもよいが、特に結晶性を有するシリコンを用いることが好ましい。例えば、微結晶シリコン、多結晶シリコン、単結晶シリコンなどを用いることが好ましい。特に、多結晶シリコンは、単結晶シリコンに比べて低温で形成でき、かつアモルファスシリコンに比べて高い電界効果移動度と高い信頼性を備える。
本実施の形態で例示したボトムゲート構造のトランジスタは、作製工程を削減できるため好ましい。またこのときアモルファスシリコンを用いることで、多結晶シリコンよりも低温で形成できるため、半導体層よりも下層の配線や電極の材料、基板の材料として、耐熱性の低い材料を用いることが可能なため、材料の選択の幅を広げることができる。例えば、極めて大面積のガラス基板などを好適に用いることができる。一方、トップゲート型のトランジスタは、自己整合的に不純物領域を形成しやすいため、特性のばらつきなどを低減することができるため好ましい。このとき特に、多結晶シリコンや単結晶シリコンなどを用いる場合に適している。
<導電層>
トランジスタのゲート、ソースおよびドレインのほか、表示パネル等を構成する各種配線および電極などの導電層に用いることのできる材料としては、アルミニウム、チタン、クロム、ニッケル、銅、イットリウム、ジルコニウム、モリブデン、銀、タンタル、またはタングステンなどの金属、またはこれを主成分とする合金などが挙げられる。またこれらの材料を含む膜を単層で、または積層構造として用いることができる。例えば、シリコンを含むアルミニウム膜の単層構造、チタン膜上にアルミニウム膜を積層する二層構造、タングステン膜上にアルミニウム膜を積層する二層構造、銅-マグネシウム-アルミニウム合金膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜上に銅膜を積層する二層構造、タングステン膜上に銅膜を積層する二層構造、チタン膜または窒化チタン膜と、その上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にチタン膜または窒化チタン膜を形成する三層構造、モリブデン膜または窒化モリブデン膜と、その上に重ねてアルミニウム膜または銅膜を積層し、さらにその上にモリブデン膜または窒化モリブデン膜を形成する三層構造等がある。なお、酸化インジウム、酸化錫または酸化亜鉛等の酸化物を用いてもよい。また、マンガンを含む銅を用いると、エッチングによる形状の制御性が高まるため好ましい。
また、透光性を有する導電性材料としては、酸化インジウム、インジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、酸化亜鉛、ガリウムを添加した酸化亜鉛などの導電性酸化物またはグラフェンを用いることができる。または、金、銀、白金、マグネシウム、ニッケル、タングステン、クロム、モリブデン、鉄、コバルト、銅、パラジウム、またはチタンなどの金属材料や、該金属材料を含む合金材料を用いることができる。または、該金属材料の窒化物(例えば、窒化チタン)などを用いてもよい。なお、金属材料、合金材料(またはそれらの窒化物)を用いる場合には、透光性を有する程度に薄くすればよい。また、上記材料の積層膜を導電層として用いることができる。例えば、銀とマグネシウムの合金とインジウムスズ酸化物の積層膜などを用いると、導電性を高めることができるため好ましい。これらは、表示装置を構成する各種配線および電極などの導電層や、表示素子が有する導電層(画素電極や共通電極として機能する導電層)にも用いることができる。
<絶縁層>
各絶縁層に用いることのできる絶縁材料としては、例えば、アクリル、エポキシなどの樹脂、シリコーンなどのシロキサン結合を有する樹脂の他、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウムなどの無機絶縁材料を用いることもできる。
また、発光素子は、一対の透水性の低い絶縁膜の間に設けられていることが好ましい。これにより、発光素子に水等の不純物が侵入することを抑制でき、装置の信頼性の低下を抑制できる。
透水性の低い絶縁膜としては、窒化シリコン膜、窒化酸化シリコン膜等の窒素と珪素を含む膜や、窒化アルミニウム膜等の窒素とアルミニウムを含む膜等が挙げられる。また、酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、酸化アルミニウム膜等を用いてもよい。
例えば、透水性の低い絶縁膜の水蒸気透過量は、1×10-5[g/(m・day)]以下、好ましくは1×10-6[g/(m・day)]以下、より好ましくは1×10-7[g/(m・day)]以下、さらに好ましくは1×10-8[g/(m・day)]以下とする。
本実施の形態は、他の実施の形態に記載した構成と適宜組み合わせて実施することができる。
(実施の形態4)
本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置を適用することができる電子機器について説明する。
本発明の一態様の半導体装置を適用することができる電子機器としては、例えば、TV装置、コンピュータ用などのモニタ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機(携帯電話、携帯電話装置ともいう)、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、パチンコ機などの大型ゲーム機などが挙げられる。特に、上記電子機器は、可撓性を有する場合、家屋やビルの内壁もしくは外壁、又は、自動車の内装もしくは外装の曲面に沿って組み込むことも可能である。図26に電子機器の構成例を示す。
図26(A)に示す携帯電話機7400は、筐体7401に組み込まれた表示部7402のほか、操作ボタン7403、外部接続ポート7404、スピーカ7405、マイクロフォン7406などを備えている。携帯電話機7400は、指などで表示部7402に触れることで、情報を入力することができる。また、電話を掛ける、或いは文字を入力するなどのあらゆる操作は、指などで表示部7402に触れることにより行うことができる。また、操作ボタン7403の操作により、電源のON、OFF動作や、表示部7402に表示される画像の種類を切り替えることができる。例えば、メール作成画面から、メインメニュー画面に切り替えることができる。
携帯電話機7400に本発明の一態様の半導体装置を適用することにより、携帯電話機7400の動作を高速化することができる。
図26(B)は、腕時計型の携帯情報端末の一例を示している。図26(B)に示す携帯情報端末7100は、筐体7101、表示部7102、バンド7103、バックル7104、操作ボタン7105、入出力端子7106などを備える。携帯情報端末7100は、移動電話、電子メール、文章閲覧及び作成、音楽再生、インターネット通信、コンピュータゲームなどの種々のアプリケーションを実行することができる。表示部7102はその表示面が湾曲して設けられ、湾曲した表示面に沿って表示を行うことができる。また、表示部7102はタッチセンサを備え、指やスタイラスなどで画面に触れることで操作することができる。例えば、表示部7102に表示されたアイコン7107に触れることで、アプリケーションを起動することができる。
操作ボタン7105は、時刻設定のほか、電源のオン、オフ動作、無線通信のオン、オフ動作、マナーモードの実行及び解除、省電力モードの実行及び解除など、様々な機能を持たせることができる。例えば、携帯情報端末7100に組み込まれたオペレーティングシステムにより、操作ボタン7105の機能を自由に設定することもできる。携帯情報端末7100は、通信規格された近距離無線通信を実行することが可能である。例えば無線通信可能なヘッドセットと相互通信することによって、ハンズフリーで通話することもできる。また、携帯情報端末7100は入出力端子7106を備え、他の情報端末とコネクタを介して直接データのやりとりを行うことができる。また入出力端子7106を介して充電を行うこともできる。なお、充電動作は入出力端子7106を介さずに無線給電により行ってもよい。
携帯情報端末7100に本発明の一態様の半導体装置を適用することにより、携帯情報端末7100の動作を高速化することができる。
図26(C)はノート型のパーソナルコンピュータ(PC)を示している。図26(C)に示すPC7200は、筐体7221、表示部7222、キーボード7223、ポインティングデバイス7224等を有する。
PC7200に本発明の一態様の半導体装置を適用することにより、PC7200の動作を高速化することができる。
図26(D)は据え置き型の表示装置である。図26(D)の表示装置7000は、筐体7001、表示部7002、支持台7003等を有する。
表示装置7000に本発明の一態様の半導体装置を適用することにより、表示装置7000の動作を高速化することができる。
図26(E)はビデオカメラ7600であり、第1筐体7641、第2筐体7642、表示部7643、操作キー7644、レンズ7645、接続部7646等を有する。
ビデオカメラ7600に本発明の一態様の半導体装置を適用することにより、ビデオカメラ7600の動作を高速化することができる。
上記電子機器が有する表示部が、例えば、4Kまたは8Kで表される高い画素数を有する場合、上記電子機器は、本発明の一態様である受信装置を有することが好ましい。上記電子機器が、本発明の一態様である受信装置を有することで、高速且つ低消費電力で映像を受信し、表示することが可能になる。
本実施の形態は、他の実施の形態に記載した構成と適宜組み合わせて実施することができる。
10 コントローラ
11 コンテキスト信号生成回路
12 コンフィギュレーションメモリ
13 クロック信号生成回路
31 インバータ
32 インバータ
33 インバータ
34 インバータ
35 インバータ
41 フリップフロップ回路
42 フリップフロップ回路
43 フリップフロップ回路
51 AND回路
52 AND回路
53 AND回路
54 AND回路
55 XOR回路
56 NAND回路
57 AND回路
60 クロックゲーティング制御回路
61 カウンタ回路
62 コンパレータ
71 回路
72 回路
73 回路
74 回路
76 回路
77 回路
80 ルックアップテーブル
81 コンフィギュレーションメモリ
83 フリップフロップ回路
84 マルチプレクサ
91 メモリセル
92 トランジスタ
93 トランジスタ
94 配線
95 トランジスタ
95A トランジスタ
95B トランジスタ
96 ラッチ回路
97 トランジスタ
98 ラッチ回路
99 MRAM
100 放送システム
101 トランジスタ
102A 容量素子
102B 容量素子
103A 配線
103B 配線
104A トランジスタ
104B トランジスタ
105A 配線
105B 配線
106 配線
110 撮像装置
111 送信装置
112 受信装置
113 表示装置
120 イメージセンサ
121 画像処理回路
122 エンコーダ
123 変調器
125 復調器
126 デコーダ
127 画像処理回路
128 表示部
160 TV(テレビジョン受信装置)
161 放送局
162 人工衛星
163 電波塔
164 アンテナ
165 アンテナ
166A 電波
166B 電波
167A 電波
167B 電波
260 回路
270 回路
280 回路
290 回路
301 データメモリ
302 差分器
303 画像符号化回路
304 可変長符号化回路
305 画像復号化回路
306 加算器
307 画像処理回路
308 フレームメモリ
309 フレーム間予測回路
310 予測パラメータ生成回路
320 A/D変換回路
321 データメモリ
322 可変長復号化回路
323 画像復号化回路
324 加算器
325 画像処理回路
326 フレームメモリ
327 フレーム間予測回路
331 メモリ
332 フィルタ回路
341 保持回路
342 重み係数設定回路
343 乗算回路
344 加算回路
345 除算回路
346 PLE
347 乗算器
601 光電変換素子
602 トランジスタ
603 トランジスタ
604 トランジスタ
605 トランジスタ
606 容量素子
607 ノード
608 配線
609 配線
610 画素ドライバ
611 配線
621 画素部
622 画素
622B 画素
622G 画素
622R 画素
623 画素
624 フィルタ
624B フィルタ
624G フィルタ
624R フィルタ
625 レンズ
626 配線群
660 光
3100 表示部
3125 発光素子
3130 画素
3130B 画素
3130C 画素
3131 表示領域
3132 回路
3133 回路
3135 走査線
3136 信号線
3232 トランジスタ
3233 容量素子
3431 トランジスタ
3432 液晶素子
3434 トランジスタ
3436 ノード
4000A 表示パネル
4000B 表示パネル
4001 基板
4002 画素部
4003 信号線ドライバ
4004 走査線ドライバ
4005 シール材
4006 基板
4008 液晶層
4010 トランジスタ
4011 トランジスタ
4012 半導体層
4013 液晶素子
4014 配線
4015 電極
4017 電極
4018 FPC
4018b FPC
4019 異方性導電層
4020 容量素子
4021 電極
4030 電極層
4031 電極層
4032 絶縁層
4033 絶縁層
4035 スペーサ
4103 絶縁層
4110 絶縁層
4111 絶縁層
4112 絶縁層
4510 隔壁
4511 発光層
4513 発光素子
4514 充填材
7000 表示装置
7001 筐体
7002 表示部
7003 支持台
7100 携帯情報端末
7101 筐体
7102 表示部
7103 バンド
7104 バックル
7105 操作ボタン
7106 入出力端子
7107 アイコン
7200 PC
7221 筐体
7222 表示部
7223 キーボード
7224 ポインティングデバイス
7400 携帯電話機
7401 筐体
7402 表示部
7403 操作ボタン
7404 外部接続ポート
7405 スピーカ
7406 マイクロフォン
7600 ビデオカメラ
7641 筐体
7642 筐体
7643 表示部
7644 操作キー
7645 レンズ
7646 接続部

Claims (4)

  1. デコーダを有し、
    前記デコーダは、第1の回路と、第2の回路と、第3の回路と、コンフィギュレーションメモリと、を有し、
    前記第1の回路は、クロック信号に同期して動作する機能を有し、
    前記第1の回路は、画像処理を行う機能を有し、
    前記第1の回路は、回路構成を切替えることができ、
    前記第1の回路の回路構成が切り替わっている最中に前記クロック信号が前記第1の回路に入力されないように、前記第1の回路に対してクロックゲーティングを行い、
    前記第2の回路は、前記クロック信号を前記第1の回路に出力する機能を有し、
    前記第2の回路は、前記クロックゲーティングを行う機能を有し、
    前記第3の回路は、第1の信号を前記第1の回路に出力する機能を有し、
    前記第1の回路は、前記第1の信号の論理に対応した回路構成をとる機能を有し、
    前記コンフィギュレーションメモリは、コンフィギュレーションデータを保持する機能を有し、
    前記コンフィギュレーションメモリは、前記コンフィギュレーションデータに応じた第2の信号を生成して前記第2の回路へ出力する機能を有し、
    前記第2の信号が入力された前記第2の回路は、1クロック分以上の前記クロックゲーティングを行うことを特徴とする半導体装置。
  2. 請求項において、
    前記第1の回路は、プログラマブルロジックエレメントを有し、
    前記プログラマブルロジックエレメントは、フリップフロップ回路を有することを特徴とする半導体装置。
  3. 請求項1または2に記載の半導体装置と、表示装置と、を有し、
    前記半導体装置は、放送信号を受信する機能を有し、
    前記半導体装置は、前記放送信号を基にして、画像データを生成する機能を有し、
    前記表示装置は、前記画像データに対応する画像を表示する機能を有することを特徴とする放送システム。
  4. 請求項1乃至3のいずれか一項に記載の半導体装置と、表示部と、を有することを特徴とする電子機器。
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