JP7123702B2 - X線検査装置 - Google Patents
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搬送される被検査物WにX線を照射し、被検査物Wを透過するX線の透過量に基づいて被検査物Wを検査するX線検査装置1であって、
X線を発生するX線照射部7と、
X線を検出する複数の検出素子が所定方向Zに並設されてなるX線ラインセンサ15と、
前記X線ラインセンサ15に対するX線の照射範囲を制限するスリット8aを備えたコリメータ8と、
並設された前記検出素子を含む平面と平行な平面内において、前記所定方向Zと直交する方向Xに沿って前記X線照射部7を移動させる第1の移動手段9と、
前記コリメータ8の前記スリット8aの中心を通過する中心線Cを回転軸として前記コリメータ8を回転方向Bに移動させる第2の移動手段11と、
前記第1の移動手段9を制御して前記X線照射部7を複数の位置に移動させ、各位置に
おいて得られた前記X線ラインセンサ15が検出するX線の検出量を演算して決定した位置に前記X線照射部7を移動させ、次に前記第2の移動手段11を制御して前記コリメータ8を複数の位置に移動させ、各位置において得られた前記X線ラインセンサ15が検出するX線の検出量を演算して決定した位置に前記コリメータ8を移動させる制御部5と、
を有することを特徴としている。
前記制御部5が、
前記X線照射部7から照射されるX線の中心線が、前記コリメータ8の前記スリット8aを通過して前記X線ラインセンサ15に到達するように前記第1の移動手段9を制御し、
前記コリメータ8の前記スリット8aの長手方向と、前記X線ラインセンサ15において前記検出素子が並設された前記所定方向Zとが平行となるように前記第2の移動手段11を制御することを特徴としている。
本発明の実施形態に係るX線検査装置1は、例えば、被検査物となる物品の製造ライン等の一部に組み込まれる検査装置であって、ラインを構成する搬送装置の上流側から順次搬送されてくる被検査物(物品)を受け入れ、これに対してX線を照射し、当該被検査物を透過したX線の透過量(透過X線量)、すなわちX線のセンサが検出したX線の検出量に基づいて異物混入の有無、シール部不良の有無、欠品の有無などの各種検査を行い、下流側に搬出する基本機能を有する装置である。また、このX線検査装置1は、外部への漏洩X線量を最小化するとともに、後述するようにX線照射部7とコリメータ8の配置を適正に調整して、X線を適切な状態でX線ラインセンサ15に到達させる調整機能も備えている。
この調整機能に係る部分は、位置を固定されたX線ラインセンサ15に対するX線照射部7とコリメータ8の位置を適正に調整するための機構であり、X線を適切な状態でX線ラインセンサ15に到達させるための手段である。なお前述したように、X線ラインセンサ15は、複数の検出素子が所定方向(Z方向)に並設されるような位置又は姿勢で第2ユニット4の筐体4aに固定されている。
制御部5は第1アクチュエータ9(図1参照)を作動させ、X線照射部7がX方向に移動できる範囲の一方の端部から他方の端部に向けてX線照射部7を移動させる。また、X線照射部7の移動に伴い、X線照射部7を駆動し、X線を照射させる。制御部5は、X線ラインセンサ15が出力する検知信号(X線の検出量に対応した信号)を受信し、得られたデータを次のような手順で演算し、X方向におけるX線照射部7の最適な位置を判断する。
制御部5は第2アクチュエータ11(図1参照)を作動させ、コリメータ8をB方向(図2参照)に回転させ、照射スリット8aがZ方向と略平行と考えられる位置の前後の複数位置でそれぞれ停止し、各位置でX線照射部7を駆動し、X線を照射させる。制御部5は、X線ラインセンサ15が出力する検知信号をコリメータ8の位置ごとに受信し、得られたデータを次のような手順で演算し、回転方向Bにおけるコリメータ8の最適な位置を判断する。
2…搬送部
3…第1ユニット
4…第2ユニット
5…制御部
7…X線照射部
8…コリメータ
8a…コリメータの照射スリット
9…第1の移動手段である第1アクチュエータ
11…第2の移動手段である第2アクチュエータ
15…X線ラインセンサ
W…被検査物
Claims (2)
- 搬送される被検査物(W)にX線を照射し、被検査物を透過するX線の透過量に基づいて被検査物を検査するX線検査装置(1)であって、
X線を発生するX線照射部(7)と、
X線を検出する複数の検出素子が所定方向(Z)に並設されてなるX線ラインセンサ(15)と、
前記X線ラインセンサに対するX線の照射範囲を制限するスリット(8a)を備えたコリメータ(8)と、
並設された前記検出素子を含む平面と平行な平面内において、前記所定方向と直交する方向(X)に沿って前記X線照射部を移動させる第1の移動手段(9)と、
前記コリメータの前記スリットの中心を通過する中心線(C)を回転軸として前記コリメータを回転方向(B)に移動させる第2の移動手段(11)と、
前記第1の移動手段を制御して前記X線照射部を複数の位置に移動させ、各位置におい
て得られた前記X線ラインセンサが検出するX線の検出量を演算して決定した位置に前記X線照射部を移動させ、次に前記第2の移動手段を制御して前記コリメータを複数の位置に移動させ、各位置において得られた前記X線ラインセンサが検出するX線の検出量を演算して決定した位置に前記コリメータを移動させる制御部(5)と、
を有することを特徴とするX線検査装置(1)。 - 前記制御部(5)は、
前記X線照射部(7)から照射されるX線の中心線が、前記コリメータ(8)の前記スリット(8a)を通過して前記X線ラインセンサ(15)に到達するように前記第1の移動手段(9)を制御し、
前記コリメータの前記スリットの長手方向と、前記X線ラインセンサにおいて前記検出素子が並設された前記所定方向(Z)とが平行となるように前記第2の移動手段(11)を制御することを特徴とする請求項1記載のX線検査装置(1)。
Priority Applications (1)
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JP2018163058A JP7123702B2 (ja) | 2018-08-31 | 2018-08-31 | X線検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018163058A JP7123702B2 (ja) | 2018-08-31 | 2018-08-31 | X線検査装置 |
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JP2020034494A JP2020034494A (ja) | 2020-03-05 |
JP7123702B2 true JP7123702B2 (ja) | 2022-08-23 |
Family
ID=69667844
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018163058A Active JP7123702B2 (ja) | 2018-08-31 | 2018-08-31 | X線検査装置 |
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KR102405693B1 (ko) * | 2021-04-30 | 2022-06-08 | 주식회사 씨엔아이 | 판독성을 높이기 위한 영상 보정 기능을 가지는 엑스레이 화물검색 시스템 |
Citations (2)
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JP2015184241A (ja) | 2014-03-26 | 2015-10-22 | アンリツ産機システム株式会社 | X線検査装置 |
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2018
- 2018-08-31 JP JP2018163058A patent/JP7123702B2/ja active Active
Patent Citations (2)
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JP2015184241A (ja) | 2014-03-26 | 2015-10-22 | アンリツ産機システム株式会社 | X線検査装置 |
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JP2020034494A (ja) | 2020-03-05 |
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