JP7119617B2 - 塗布膜形成方法及び塗布膜形成装置 - Google Patents
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Description
特許文献1には、半導体ウエハに形成された塗布膜を加熱する加熱装置が記載されている。この加熱装置は、複数の加熱モジュールの排気口に各々接続された個別排気路と、各個別排気路の下流端に共通に設けられた共通排気路とを備えている。また各個別排気路から分岐して、加熱モジュールの外部から気体を取り込む分岐路が設けられる。そして各分岐路に設けられるダンパの開閉により、各加熱モジュールの排気口からの排気量が調整される。この排気量の調整により、ウエハの面内における塗布膜について膜厚の均一性の向上が図られている。
第1の保持部に保持された前記基板の表面全体を被覆する平坦面を備えたプレス部により、前記基板の塗布膜に対して前記平坦面を相対的に押し当てるプレス工程と、
表面が平坦化された前記塗布膜を硬化させる塗布膜硬化工程と、を含み、
前記プレス工程を行う前に、前記平坦面を備えるプレス本体部と共に前記プレス部を成す第2の保持部が、当該プレス本体部を着脱自在に保持する保持工程を備え、
前記プレス工程は区画された処理空間で行われ、
前記プレス工程の後、前記プレス本体部の平坦面と前記基板の塗布膜とが接着した状態で前記第2の保持部によるプレス本体部の保持を解除する保持解除工程と、
次いで、前記処理空間から当該処理空間の外部における前記基板とプレス本体部との分離を行うための分離部へ、前記基板及びプレス本体部を搬送する工程と、
然る後、前記分離部において互いに接着した前記基板、プレス本体部を分離する分離工程と、
を備える。
またキャリアステーションB1側から見て、搬送路R1の左側には、塗布処理以外の記述の各処理を行うモジュール群が設けられる。当該モジュール群は、前方側からプレスモジュール1、分離モジュール2、UV照射モジュール3、剥離膜除去モジュール4、洗浄モジュール5及び膜再生モジュール6から構成されている。剥離膜除去モジュール4、洗浄モジュール5及び膜再生モジュール6は、プレスプレートの剥離膜を再生する膜再生部となるモジュール群である。
また底部構造体11bの底面には、周縁に沿って複数の排気口19が形成されている。排気口19は、排気管26を介して排気部27に接続されている。また排気管26に設けられたバルブV26の開閉により、処理容器11内(処理空間)の雰囲気が排気される状態と、排気が停止した状態と、が切り替えられる。
またプレート保持部14内には、加熱部であるヒータ18が埋設されている。既述の載置台13に設けられたヒータ17及びプレート保持部14に設けられたヒータ18は、制御部9により、オン/オフが切り替えられるように構成されている。
このようなウエハWは、キャリアCから取り出されて塗布モジュール7に搬送され、図6に示すように、スピンコーティングによりウエハWの表面全体に塗布液が塗布されてSOC膜101が形成される。図19は、この時のウエハWを示している。塗布液の粘性とパターン100の段差とによりSOC膜101の表面は当該段差が反映されて凹凸を備えている。
なおウエハWと分離されたプレスプレート110は、プレスモジュール1に搬送され、図7にて説明したようにプレート保持部14に保持される。
このように剥離膜111を除去、再生することで、剥離膜111の劣化による不具合や汚れに起因する汚染を抑制することができる。つまり使用時における剥離膜111の表面の清浄度を高く保つことができる。
このような場合には、UV処理によりSOC膜101を硬化(固化)した後、さらにSOC膜101上にもう一度SOC膜を形成する塗布液を塗布してもよい。例えば図14に示すようにSOC膜101を固化した後、ウエハWを塗布モジュール7に搬送し、図21に示すようにウエハWの表面全体に2回目の塗布液の塗布を行い、SOC膜を形成する。図22、23は、2回目の塗布の前後のウエハWを示している。なおウエハWに1回目の塗布で形成されるSOC膜101を第1のSOC膜101Aとし、第1のSOC膜101Aの上に2回目の塗布で形成されるSOC膜101を第2のSOC膜101Bとしている。
加熱処理を行ったウエハWは、図14に示したUV照射モジュール3に搬送され、第2のSOC膜101BにUVが照射される。これにより第2のSOC膜101Bが架橋反応により硬化する。
また第2のSOC膜101Bに対しても、第1のSOC膜101Aと同様にプレスモジュール1にて第2のSOC膜101Bのプレスを行うようにしてもよい。その場合は、例えば加熱モジュール8での加熱の代わりに当該プレスを行う。
またウエハWの表面全体でSOC膜101の平坦化が行われればよいため、SOC膜101を押圧する平坦面としては、このウエハWの表面全体を覆うことができるものであればよく、ウエハWの表面全体と同じ大きさあるいはウエハWの表面全体よりも大きいものを用いることができる。
本開示の処理によれば、ウエハWの全面で一括して膜の表面を平坦化するためスループットの低下が抑制されるし、高価な材料を用いずに膜の表面の平坦化を行うので、処理コストが嵩むことを防ぐことができる。そして、平坦化と膜の硬化とを確実性高く行うことができるという利点が有る。
本開示の実施の形態の効果を検証するため、図18に示した段差パターン100が形成されたウエハWを用い、実施の形態に示した塗布モジュール7を用いてウエハWにSOC膜101の塗布を行った。さらに当該ウエハWをプレスモジュール1に搬送し、実施の形態に示したプレス工程を実行した。そしてプレス工程の実行の前後において、SOC膜101の表面高さの水平分布を計測した。
図25に示すようにSOC膜101のプレス処理前においては、SOC膜101の表面に凹凸が見られ、表面高さに差が見られるが、プレス処理後は、凹凸がなくなり略平坦になっていた。この結果によれば、本開示に係るSOC膜形成装置によりSOC膜101の表面を平坦化することができると言える。
2 分離モジュール
3 UV照射モジュール
4 剥離膜除去モジュール
5 洗浄モジュール
6 膜再生モジュール
7 塗布モジュール
101 SOC膜
110 プレスプレート
111 剥離膜
W ウエハ
Claims (16)
- 段差を備えたパターンを表面に有する基板の当該表面全体に塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成工程と、
第1の保持部に保持された前記基板の表面全体を被覆する平坦面を備えたプレス部により、前記基板の塗布膜に対して前記平坦面を相対的に押し当てるプレス工程と、
表面が平坦化された前記塗布膜を硬化させる塗布膜硬化工程と、を含み、
前記プレス工程を行う前に、前記平坦面を備えるプレス本体部と共に前記プレス部を成す第2の保持部が、当該プレス本体部を着脱自在に保持する保持工程を備え、
前記プレス工程は区画された処理空間で行われ、
前記プレス工程の後、前記プレス本体部の平坦面と前記基板の塗布膜とが接着した状態で前記第2の保持部によるプレス本体部の保持を解除する保持解除工程と、
次いで、前記処理空間から当該処理空間の外部における前記基板とプレス本体部との分離を行うための分離部へ、前記基板及びプレス本体部を搬送する工程と、
然る後、前記分離部において互いに接着した前記基板、プレス本体部を分離する分離工程と、
を備える塗布膜形成方法。 - 前記分離工程は、
前記基板、プレス本体部を前記分離部における第3の保持部、第4の保持部により夫々保持する工程と、
前記基板の周縁部における前記塗布膜と前記平坦面との界面に、これら塗布膜と平坦面との接着を解除するための挿入部材を挿入する挿入工程と、
前記挿入工程の後に前記第3の保持部から前記第4の保持部を相対的に遠ざけて前記プレス本体部と前記基板とを分離する工程と、を含む請求項1記載の塗布膜形成方法。 - 前記保持解除工程を行ってから前記分離工程を行うまでの間に、前記プレス本体部及び基板を一括して冷却する冷却工程を含む請求項2記載の塗布膜形成方法。
- 前記基板の冷却用の流体が流通する流路を備える移動体を、前記処理空間と当該処理空間の外側との間で駆動機構により移動させる工程を含み、
前記冷却工程は、当該移動体に前記基板を載置する工程を含む請求項3記載の塗布膜形成方法。 - 前記保持工程において前記第2の保持部が保持する前記プレス本体部の平坦面には、前記分離工程において当該平坦面から前記塗布膜を剥離させるための剥離膜が形成されており、
当該分離工程を行った後、前記プレス本体部を前記分離部から膜再生部に搬送し、前記平坦面から前記剥離膜を除去した後、前記剥離膜を前記平坦面に再形成する再形成工程と、
然る後、前記剥離膜が再形成されたプレス本体部を前記処理空間に搬送し、前記第2の保持部によって保持する工程と、
を備える請求項1ないし4のいずれか一つに記載の塗布膜形成方法。 - 前記膜再生部は、前記剥離膜の除去を行う膜除去部と、当該剥離膜の再形成を行う膜形成部とを含み、
前記膜除去部と前記膜形成部との間で、前記プレス本体部を搬送する工程を含む請求項5記載の塗布膜形成方法。 - 前記再形成工程は、前記剥離膜を除去した後、当該剥離膜を再形成するまでの間に前記平坦面を洗浄する工程を含み、
前記膜再生部は、前記平坦面の洗浄を行う洗浄部を含み、
前記膜除去部と膜形成部と前記洗浄部との間で、前記プレス本体部を搬送する工程を含む請求項6記載の塗布膜形成方法。 - 前記プレス本体部は、平面視前記基板と同じ形状のプレス用の基板であり、前記平坦面は当該プレス用の基板の主面である請求項1ないし7のいずれか一つに記載の塗布膜形成方法。
- 前記プレス工程は、前記基板の周囲の雰囲気を大気圧よりも低い減圧雰囲気とした後、当該減圧雰囲気において前記プレス部による押し当てを行う工程を含む請求項1ないし8のいずれか一つに記載の塗布膜形成方法。
- 前記プレス工程は、前記押し当てが行われた状態で前記第1の保持部及びプレス部の少なくとも一方の温度を上昇させて前記基板を加熱する工程を備える請求項9に記載の塗布膜形成方法。
- 前記塗布膜硬化工程は、前記塗布膜に光を照射し、前記塗布膜を硬化させる工程を含む請求項1ないし10のいずれか一項に記載の塗布膜形成方法。
- 前記塗布膜硬化工程は、プレス工程における前記基板の温度よりも高い温度となるように基板を加熱して前記塗布膜を硬化させる工程を含む請求項1ないし10のいずれか一項に記載の塗布膜形成方法。
- 前記塗布膜硬化工程で硬化された塗布膜を第1の塗布膜とすると、この第1の塗布膜の表面全体に前記塗布液を塗布して、第2の塗布膜を形成する工程と、
続いて前記第2の塗布膜の表面を平坦化する工程と、
然る後、前記第2の塗布膜を硬化させる工程と、を含む請求項1ないし12のいずれか一項に記載の塗布膜形成方法。 - 前記第2の塗布膜の表面を平坦化する工程は、前記平坦面を当該第2の塗布膜に押し当てずに前記基板を加熱し、前記第2の塗布膜の表面を流動させて均す工程を含む請求項13に記載の塗布膜形成方法。
- 基板が搬入される搬入部と、
段差を備えたパターンを表面に有する基板の当該表面全体に塗布液を供給して塗布膜を形成する塗布膜形成モジュールと、
第1の保持部に保持された前記基板の表面全体を被覆する平坦面を備えたプレス部により、前記基板の塗布膜に対して前記平坦面を相対的に押し当てて当該塗布膜の表面を平坦化するプレスモジュールと、
表面が平坦化された前記塗布膜を硬化させる塗布膜硬化モジュールと、
前記搬入部と、塗布モジュールと、プレスモジュールと、塗布膜硬化モジュールとの間で前記基板を搬送する搬送機構と、
を備え、
前記プレスモジュールは、区画された処理空間を内部に形成する処理容器と、
前記処理容器内に設けられ、前記平坦面を備えるプレス本体部と共にプレス部を構成し、当該プレス本体部を着脱自在に保持するための第2の保持部と、
前記押し当てが行われるように前記第2の保持部を前記第1の保持部に対して相対的に進退させる進退機構と、を備え
前記処理空間の外部に設けられ、前記プレス本体部と共に前記基板が前記搬送機構によって搬送される分離部と、
前記押し当てを行う前に、前記第2の保持部が前記プレス本体部を着脱自在に保持する保持ステップと、前記処理空間で前記押し当てを行うプレスステップと、前記プレスステップの後、前記プレス本体部の平坦面と前記基板の塗布膜とが接着した状態で前記第2の保持部によるプレス本体部の保持を解除する保持解除ステップと、次いで、前記処理空間から前記分離部へ、前記基板及び前記プレス本体部を搬送するステップと、然る後、前記分離部において互いに接着した前記基板、前記プレス本体部を分離する分離ステップと、が実行されるように制御を行う制御部と、
を備える塗布膜形成装置。 - 前記処理容器内の雰囲気を大気圧よりも低い減圧雰囲気とした状態で前記押し当てが行われるように、当該処理容器内を排気する排気口を備える請求項15に記載の塗布膜形成装置。
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