JP7111850B2 - 低温熱処理工程を用いたチャバサイトゼオライト分離膜の欠陥構造の調節方法 - Google Patents

低温熱処理工程を用いたチャバサイトゼオライト分離膜の欠陥構造の調節方法 Download PDF

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Description

本発明は、CHA(Chabazite)ゼオライト分離膜中の欠陥構造を調節する方法に関し、より詳細には、オゾンを用いた低温における焼成によって分離膜中の有機構造指向剤を除去するとき、CHAゼオライト分離膜構造中に形成される欠陥の量及びサイズを減少させ、水分が含まれている排ガス及びバイオガスからCO又は水を効果的に分離できるCHAゼオライト分離膜分離性能を向上させる、CHAゼオライト分離膜中の欠陥構造を調節する方法に関する。
ゼオライト分離膜を用いた混合物質の分離は、分離膜内の透過物質の吸着と拡散速度の差によって決定される。このような点から、0.37×0.42nmの気孔サイズを有するCHAゼオライトは、0.33nmのサイズを有するCOをN(0.364nm)とCH(0.38nm)から分離することに適した気孔構造を有している。CHAゼオライト分離膜の高いCO/N及びCO/CH分離性能を報告する文献は、次の通りである(Avila et al.,Journal of Membrane Science,2009,335,32-36;Li et al.,Industrial and Engineering Chemistry Research,2010,49,4399-4404)。また、CHAゼオライト分離膜は、透過蒸発法に基づいて様々な有機物の脱水工程に用いることができ、高い酸安定性に基づいて、苛酷な酸性条件でも高い分離性能を維持することができる(Hasegawa et al.,Journal of Membrane Science,2010,347,193-196)。
ゼオライト分離膜の作製過程において、気孔中に存在する有機構造指向剤を高熱で焼成することによって気孔を活性化させる段階が必須である。しかし、ゼオライト分離膜と支持体間の熱膨張差によって、高温においてゼオライト分離膜にゼオライト気孔の他に追加の欠陥が発生する(Exter et al.,Zeolites,1997,19,13-20)。このとき、生成された欠陥は、通常、ゼオライト固有の気孔に比べて大きい気孔サイズを有し、非選択的通路を提供してしまう。このため、高熱で焼成されたゼオライト分離膜は、固有の分子体能力を失って分離性能が大きく減少する場合が多い。
ゼオライト分離膜の焼成温度を下げるために様々な研究が行われてきており、その一つがオゾン環境で焼成を行うことである。オゾンは半減期を持つ不安定な物質であり、崩壊して酸素ラジカルを放出する。この時に発生した酸素ラジカルが、ゼオライト構造中に存在する有機構造指向剤を低い温度でも酸化させて除去することができる。
オゾンの半減期は高温で急減する。文献によれば、オゾンの半減期は、120℃で1.5時間であるが、250℃では1.5秒と大幅に減少する(Batakliev et al.,Interdiscip Toxicol,2014,7,47-59)。オゾンの崩壊によって発生する酸素ラジカルが、ゼオライト構造中に存在する有機構造指向剤を焼成する核心酸化剤であるが、オゾンが分離膜の表面に当たる前に崩壊する場合には、酸素ラジカルが有機構造指向剤の焼成に影響を与えることができないという問題点がある。
一方、COの選択的な分離を必要とする排ガス処理或いはバイオガス高質化工程のストリームには水蒸気が存在する。実工程のストリームに存在する水分は、ゼオライト分離膜のCOに対する選択的な吸着及び拡散を妨害する役割を担い、これによってCO透過度の減少が起きる。したがって、ゼオライト分離膜の実用的なCO分離のためには、実工程と類似に、水分存在下でのCO分離性能の測定及び評価が必要である。
そこで、本発明者らは、上記の問題点を解決するために鋭意努力した結果、CHA分離膜の焼成工程において注入気体中にオゾンを含む場合、気孔中の有機構造指向剤の焼成を、より低い温度である150~300℃で行うことができ、追加の工程無しで、高温焼成で発生する分離膜中の欠陥を制御し、最適のCO、H又はHe分離性能を有するゼオライト分離膜を製造できることを確認し、本発明を完成するに至った。
本発明の目的は、CHA分離膜の有機構造指向剤の高温焼成工程で発生する分離膜中の欠陥を制御し、追加の工程無しで、CO、H又はHe分離性能を有する分離膜を製造する方法及び該方法によって製造された分離膜を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、前記分離膜を用いたCO、H又はHeの分離方法を提供することにある。
また、本発明のさらに他の目的は、前記分離膜を用いた、酸などを含有する用水又は水分を含む有機溶媒を処理する水処理、脱水処理又は廃水処理方法を提供することにある。
上記の目的を達成するために、本発明は、CHAゼオライト分離膜を150~300℃の温度及びオゾン雰囲気下で焼成させる段階を含むCHAゼオライト分離膜の欠陥構造の調節方法を提供する。
本発明はまた、前記方法によって欠陥構造が調節され、0.001~1%の欠陥密度を有することを特徴とするCHAゼオライト分離膜を提供する。
本発明はまた、前記CHAゼオライト分離膜を用いて、CH、CO、SO、N、O、C、C、C及びCからなる群から選ばれる分子とCO、H又はHeとを含む混合物からCO、H、又はHeを分離する方法を提供する。
本発明はまた、前記CHAゼオライト分離膜を用いて水と有機溶媒との混合物から水を分離する方法を提供する。
本発明の一実施例において、焼成及び熱処理温度によるCHA分離膜の蛍光共焦点顕微鏡イメージを示す写真である。 本発明の一実施例において、測定された蛍光共焦点イメージを映像処理して欠陥の位置を示す写真である。 本発明の一実施例において、焼成及び熱処理温度によるCHA分離膜の欠陥密度を示すグラフである。 本発明の一実施例において、焼成及び熱処理温度によるCHA分離膜の、乾燥な状況におけるCO/N分離性能を示すグラフである。 本発明の一実施例において、焼成及び熱処理温度によるCHA分離膜の、乾燥な状況におけるCO/CH分離性能を示すグラフである。 本発明の一実施例において、焼成及び熱処理温度によるCHA分離膜の、水分が含まれた状況におけるCO/N分離性能を示すグラフである。 本発明の一実施例において、焼成及び熱処理温度によるCHA分離膜の、水分が含まれた状況におけるCO/CH分離性能を示すグラフである。 本発明の一実施例において、熱処理温度によるCHA分離膜の、30℃におけるCO/N分離性能の変化を示すグラフである。 本発明の一実施例において、熱処理温度によるCHA分離膜の、30℃におけるCO/CH分離性能の変化を示すグラフである。 本発明の一実施例において、低温熱処理を経たCHA分離膜の、乾燥な条件及び水分の存在する条件で温度によるH/N分離性能を示すグラフである。 本発明の一実施例において、低温熱処理を経たCHA分離膜の、乾燥な条件及び水分の存在する条件で温度によるHe/N分離性能を示すグラフである。 本発明の一実施例において、中性及び酸性条件でHO/エタノール分離性能の変化を示すグラフである。 本発明の一実施例において、HO/酢酸分離性能の変化を示すグラフである。 本発明の一実施例において、HO/イソプロピルアルコール分離性能の変化を示すグラフである。
別に断らない限り、本明細書で使われる全ての技術的及び科学的用語は、本発明の属する技術の分野における熟練した専門家に通常理解されるのと同じ意味を有する。一般に、本明細書で使われる命名法は、本技術分野によく知られており、通常用いられるものである。
CHA分離膜の焼成工程において注入気体中にオゾンを含む場合、気孔中の有機構造指向剤の焼成を、既存工程に比べて低い温度である100~300℃で行うことができるため、高温焼成で発生する分離膜中の欠陥形成の程度を制御でき、最適の二酸化炭素分離性能を示すことを確認した。
したがって、本発明は、一観点において、CHAゼオライト分離膜を150~300℃の温度及びオゾン雰囲気下で焼成させる段階を含む、CHAゼオライト分離膜の欠陥構造の調節方法に関する。
また、本発明は、他の観点において、前記方法によって欠陥構造が調節され、0.001~1%の欠陥密度を有することを特徴とするCHAゼオライト分離膜に関する。
以下、本発明を詳細に説明する。
ゼオライト分離膜の欠陥は、主に、高い温度で焼成する過程で発生する。本発明では、焼成温度を下げるために、強い酸化剤であるオゾンを使用し、ゼオライト構造の膨脹/収縮に大きな影響を及ぼさない300℃以下の低い温度でゼオライト分離膜の熱処理を行う。この過程で、熱処理及び焼成温度によるゼオライト分離膜の欠陥形成の程度を確認する。そのために、CHAゼオライト分離膜を合成し、低温熱処理又は一般の高温焼成をした後、蛍光共焦点顕微鏡イメージから欠陥形成の程度を定性的に確認する。また、乾燥な状態又は水分の存在する状態でCO/N及びCO/CHの分離性能を測定することによって、特定の熱処理温度範囲でCHAゼオライト分離膜が高い分離性能を維持することを確認した。
一般に、CHA分離膜の焼成は、480~600℃で空気を酸化剤として用いて行う。しかし、注入気体中にオゾンを含む場合には、気孔中の有機構造指向剤の焼成を遥かに低い温度(150~300℃)で行うことができるので、高温焼成で発生する分離膜中の欠陥を制御できる。本発明は、分離膜の欠陥を単純に除去するのではなく、欠陥の構造を調節する効果がある。
本発明において、焼成段階の温度は、150~300℃、好ましくは170~280℃、より好ましくは175~275℃の温度で行うことができる。
前記範囲で焼成するとき、高温焼成で発生する分離膜中の欠陥を制御することができる。
本発明において、0.001~1.5g/minのオゾンの注入速度でオゾンの総注入量が0.05~75vol%となるように注入され、0.1~20℃/minの昇温速度で0.5~168時間焼成させることができ、オゾンと酸素を共に注入することができる。
本発明において、前記CHAゼオライト分離膜は、CHA種層が形成された支持体上に、有機構造指向剤:SiO:HO:NaO:Alが1~100:100:1000~20000:1~500:0~50のモル比で構成された二次成長溶液を添加し、水熱合成させることができる。前記有機構造指向剤は、TMAdaOH(N,N,N-trimethyl adamantylammonium hydroxide)、TMAdaBr(N,N,N-trimethyl adamantylammonium bromide)、TMAdaF(N,N,N-trimethyl adamantylammonium fluoride)、TMAdaCl(N,N,N-trimethyl adamantylammonium chloride)、TMAdaI(N,N,N-trimethyl adamantylammonium iodide)、TEAOH(tetraethylammonium hydroxide)、TEABr(tetraethylammonium bromide)、TEAF(tetraethylammonium fluoride)、TEACl(tetraethylammonium chloride)、TEAI(tetraethylammonium iodide)及びシクロヘキシルアミン(cyclohexylamine)からなる群から選ばれる1種以上でよく、好ましくは、TMAdaOH及び/又はTEAOHを使用するが、これに限定されるものではない。
本発明において、前記水熱合成は、100~200℃の温度で12~240時間行うことができ、好ましくは、110~180℃の温度で12~120時間行うことができる。前記温度及び時間の範囲で行うとき、気体透過に適切な厚さを持つ連続するCHAゼオライト分離膜の合成に有利である。
本発明において、前記水熱合成は、1回又は2回行うことができるが、これに限定されない。
本発明において、前記水熱合成後に、分離膜を30~200℃の温度で1~24時間、好ましくは50~100℃の温度で5~12時間乾燥させる段階をさらに含むことができる。
本発明において、前記支持体は、α-アルミナ、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリスルホン、ポリイミド、シリカ、ガラス、ガンマ-アルミナ、ムライト(mullite)、ジルコニア(zirconia)、チタニア(titania)、イットリア(yttria)、セリア(ceria)、バナジア(vanadia)、シリコン、ステンレススチール及びカーボンからなる群から選ばれる1種以上でよいが、これに限定されるものではない。
本発明に係るCHAゼオライト分離膜は、本発明に係るゼオライト分離膜の欠陥構造の調節方法によって欠陥構造が調節され、一般焼成を経たCHAゼオライト分離膜の欠陥密度に比べて1/10000~1/10倍に減少し、0.001~1%の低い欠陥密度を有することを特徴とする。
ここで、欠陥密度とは、映像処理されたイメージにおいて、明るいピクセルが全ピクセル中に占める比率を意味し、個数に関するパーセント(%)を示す。
本発明の一実施例で製造されたCHAゼオライト分離膜を用いて、乾燥な状況又は水分の存在する状況でCO/N及びCO/CHの分離性能を測定することによって、特定の熱処理温度範囲においてCHAゼオライト分離膜が高い分離性能を維持することを確認した。さらに、二酸化炭素を含むフィード(feed)中に水分が存在するか否かにかかわらず、高い二酸化炭素分離性能を維持できることを確認した。
したがって、本発明のさらに他の観点において、前記CHAゼオライト分離膜を用いて、CH、CO、SO、N、O、C、C、C及びCからなる群から選ばれる分子とCO、H、Heとを含む混合物から、CO、H、Heを分離する方法に関する。
本発明において、前記混合物は、水分を含む排ガス、合成ガス、排出ガス、天然ガス又はバイオガスでよい。二酸化炭素を含むフィード(feed)中に水分が存在するか存在しないか(乾燥状態)にかかわらず、高い二酸化炭素分離性能が維持できる。
本発明に係るCHAゼオライト分離膜を利用する用途において、二酸化炭素の分離には二酸化炭素の分離、捕集又は除去などのいずれをも含む。
本発明に係るCHAゼオライト分離膜は、H、Heなどの様々な気体の分離、捕集又は除去などに用いることができる。
また、本発明の一実施例において、製造されたCHAゼオライト分離膜を用いて、強い酸性条件でも、酸などを含有する用水又は水分を含む有機溶媒から安定的に高い酸又は有機溶媒の脱水性能を示すことを確認した。
したがって、本発明の他の観点において、前記CHAゼオライト分離膜を用いて、水と有機溶媒との混合物から水を分離する方法に関する。
本発明において、前記有機溶媒は、メタノール(methanol)、エタノール(ethanol)、プロパノール(propanol)、乳酸エチル(ethyl lactate)、エチレングリコール(ethylene glycol)、プロピレングリコールモノエチルエーテル(propylene glycol monoethyl ether acetate)、シクロヘキサノール(cyclohexanol)、クロロホルム(chloroform)、酢酸(acetic acid)、乳酸(lactic acid)、ギ酸(formic acid)、クエン酸(citric acid)、シュウ酸(oxalic acid)、尿酸(uric acid)、リンゴ酸(malic acid)、アセトン(acetone)、ジエチルエーテル(diethyl ether)、ジエチレングリコールジメチルエーテル(diethylene glycol dimethyl ether)、ジメチルホルムアミド(dimethyl formamide)、ジメチルスルホキシド(dimethyl sulfoxide)、1,4-ジオキサン(1,4-dioxane)、グリセロール(glycerol)、ヘキサメチルホスホルアミド(Hexamethylphosphoramide)、ヘキサメチルリン酸トリアミド(hexamethylphosphoric triamide)、アセトニトリル(acetonitrile)、N-メチルピロリジン(N-Methylpyrrolidine)、ニトロメタン(nitromethane)、テトラヒドロフラン(tetrahydrofuran)、トリエチルアミン(triethanolamine)、プロピレングリコールモノメチルエーテル酢酸(propylene glycol monoethyl ether acetic acid)、テトラクロロメタン(tetrachloromethane)、ジクロロエタン(dichloroethane)、メチレンクロリド(methylene Chloride)、ベンゼン(benzene)、クロロベンゼン(chlorobenzene)、ポリアリールエーテル(polyaryletherketone)、キシレン(xylene)、トルエン(toluene)、ペンタン(pentane)、ヘキサン(hexane)、ヘプタン(heptane)、ヘキサメチルジシラザン(hexamethyldisilazane)のようなアルコール、極性溶媒、芳香族溶媒、非極性溶媒でよい。
本発明に係るCHAゼオライト分離膜は、酸(acid)などを含有する用水又は水分を含む有機溶媒を処理する水処理、脱水処理、廃水処理などに用いることができる。
以下、実施例を用いて、本発明をより詳細に説明する。これらの実施例は単に本発明を例示するためのものであり、本発明の範囲がこれらの実施例によって制限されないことは、当業界における通常の知識を有する者にとって明らかであろう。
[実施例]
実施例1:CHA分離膜の製造
CHA種粒子をアルミニウム支持体上に均一に蒸着させた後、種粒子の二次成長を用いてCHAゼオライト分離膜を合成した。この過程で、種粒子を合成溶液中で水熱合成させるために、有機構造指向剤であるTMAdaOH(N,N,-trimethyladamantylammonium hydroxide)、TEAOH(Tetraethylammonium hydroxide)とSi、Al及びアルカリ金属イオン原料を入れた合成溶液を用意した。用意した合成溶液に、種が蒸着された支持体を入れ、水熱合成を行ってCHAゼオライト分離膜を得た。
実施例2:CHAゼオライト分離膜の高温焼成及び低温焼成
実施例1で合成したCHAゼオライト分離膜(まだ気孔が開いていない状態である。)を、一般の高温焼成又は低温で熱処理することによって、構造中に存在する有機構造指向剤を除去した。酸素を用いた一般の高温焼成は、550℃で200mL/minの速度で空気を流しながら12時間行われ、オゾンを用いた低温熱処理は、150~300℃の区間で~5vol%のOを形成させるためにO気体を1,000mL/minの速度でオゾン発生器に流しながら連続して48時間熱処理を行った。
実施例3:CHAゼオライト分離膜の特性分析
実施例2の方法で熱処理したCHAゼオライト分離膜の特性を把握するために、蛍光共焦点顕微鏡測定を行った。完成したCHAゼオライト分離膜を、~1nmサイズの染料で染色した後、共焦点顕微鏡で測定を行う場合、概略1nm以上のサイズを有する欠陥の構造が確認できる。これから、焼成及び熱処理温度によるCHAゼオライト分離膜の欠陥形成程度を定性的に確認した(図1)。また、欠陥の形態をより細密で正確に観察するために、共焦点顕微鏡イメージを映像処理してCHAゼオライト分離膜の欠陥をより正確に示した(図2)。分析の結果、一般の高温焼成を経たCHAゼオライト分離膜には連続するクラック(crack)状の欠陥が形成され、5.3%の欠陥密度を有するのに対し、オゾンベースの低温熱処理を経たCHAゼオライト分離膜には遥かに少ない欠陥が形成され、当該欠陥も連続するクラックではなく、散在する(scattered)点の形態を帯び、0.007~0.07%の欠陥密度を有すると分析された。欠陥密度は、図2の欠陥のピクセル(明るい部分)が全ピクセル中に占める比率を意味する。
実施例4:CHAゼオライト分離膜のCO 分離特性の分析
オゾンベースの低温熱処理を経たCHA分離膜は、乾燥な排ガスのCO/N分離において、最大で4のCO/N分離係数(図4)を示し、乾燥なバイオガス高質化のCO/CH分離において、最大で400の分離係数(図5)を示した。これは、一般の高温焼成を経たCHA分離膜が乾燥条件のCO/N及びCO/CH分離においてそれぞれ最大で3及び20の分離係数を示したことに比べて向上した値に該当する。水分を含む排ガスのCO/N分離において、最大で15以上の分離係数を示し(図6)、水分を含むバイオガス高質化のCO/CH分離において、最大で200以上の分離係数を示した(図7)。これは、一般の高温焼成を経たCHA分離膜が、水分条件のCO/N及びCO/CH分離においてそれぞれ最大で10及び100の分離係数を示したことに比べて向上した値に該当する。
実施例5:CHAゼオライト分離膜の乾燥状態におけるCO 分離特性の分析
乾燥な状況でCO/NとCO/CH分離性能を分析して図4(排ガス)及び図5(バイオガス)に示し、30℃での結果を要約してそれぞれ図8及び図9に示した。オゾンベースの熱処理温度が175~300℃である区間において、CO/N及びCO/CH分離におけるCO透過度(permeance)×選択度(SF)がそれぞれ、(8.0~10)×10-7mol・m-2・s-1・Pa-1及び(1.7~2.5)×10-5mol・m-2・s-1・Pa-1と略一定に維持されることが確認できる。当該CO/CH分離性能は、一般の高温焼成を経た分離膜のCO分離性能に比べて4~6倍向上した値に該当する。
実施例6:CHAゼオライト分離膜の、水分の存在する状態におけるCO 分離特性の分析
水分の存在する状況でCO/NとCO/CH分離性能を分析して図6(排ガス)及び図7(バイオガス)に示し、30℃での結果を要約してそれぞれ図8及び図9に示した。オゾンベースの熱処理温度が175~275℃である区間において、COの透過度×選択度が他の熱処理温度(150℃及び300℃)におけるに比べて高く、当該区間におけるCO/N及びCO/CH分離性能はそれぞれ、(9.2~16)×10-7mol・m-2・s-1・Pa-1及び(1.2~3.4)×10-5mol・m-2・s-1・Pa-1であった。当該CO/CH分離性能は、一般の高温焼成を経た分離膜のCO分離性能に比べて3~7倍向上した値に該当する。
実施例7:CHAゼオライト分離膜の、乾燥及び水分の存在する条件におけるH /N 分離特性の分析
オゾンベースの低温熱処理を経たCHA分離膜の、乾燥又は水分の存在する状況におけるH/N分離性能を分析して図10に示した。乾燥条件ベースの30℃で4.7のH/N分離係数を示し、温度が高くなるにつれて次第に向上して200℃では8.8のH/N分離係数を示した。水分が存在する条件ベースの30℃では4.7のH/N分離係数を示し、同様に、温度が高くなるにつれて次第に向上して200℃では8.8のH/N分離係数を示した。
実施例8:CHAゼオライト分離膜の、乾燥及び水分の存在する条件におけるHe/N 分離特性の分析
オゾンベースの低温熱処理を経たCHA分離膜の、乾燥又は水分の存在する状況におけるHe/N分離性能を分析して図11に示した。乾燥条件ベースの30℃で1.5のHe/N分離係数を示し、温度が高くなるにつれて次第に向上して200℃では4.6のH/N分離係数を示した。水分が存在する条件ベースの30℃では2.1のH/N分離係数を示し、同様に、温度が高くなるにつれて次第に向上して200℃では4.5のH/N分離係数を示した。
実施例9:CHAゼオライト分離膜の中性及び酸性条件におけるエタノール脱水能力の分析
オゾンベースの低温熱処理を経たCHAゼオライト分離膜の、中性及び酸性条件におけるエタノールの脱水能力を分析して図12に示した。水/エタノール混合物は、15~25%の水と75~85%のエタノールとの混合物からなり、酸性の場合は、クエン酸(citric acid)をさらに添加してpH 2に調節された。温度は、80~100℃に維持された。中性及び酸性条件において1.0~2.5kg・m-2・h-1の水透過度を示し、1600~2000の高い分離係数で高純度に脱水が行われた。特に、pH 2~3の強い酸性条件でも4時間において安定的に高い酢酸脱水性能を維持した。
実施例10:CHAゼオライト分離膜の酢酸(acetic acid)脱水能力の分析
オゾンベースの低温熱処理を経たCHAゼオライト分離膜の、中性及び酸性条件におけるエタノールの脱水能力を分析して図13に示した。水/酢酸混合物は、10~15%の水と85~90%の酢酸との混合物からなり、温度は100℃に維持された。当該条件において1.3~1.8kg・m-2・h-1の水透過度を示し、300~900の高い分離係数で高純度に脱水が行われた。特に、pH 2という強い酸性条件でも6時間において安定的に高いエタノール脱水性能を維持した。
実施例11:CHAゼオライト分離膜のIPA(isopropyl alchol)脱水能力の分析
オゾンベースの低温熱処理を経たCHAゼオライト分離膜のIPA脱水能力を分析して図14に示した。水/IPA混合物は、20%の水と80%のIPAとの混合物からなり、温度は70℃に維持された。当該条件において1.3~2.4kg・m-2・h-1の水透過度を示し、8000~22000の高い分離係数で高純度に脱水が行われた。
本発明によれば、ゼオライト分離膜の作製過程中の焼成段階で形成される分離膜における欠陥のサイズ及び量を調節できる方法は、既存の一般焼成方法に比べて低い温度で焼成を行い、高温工程で形成される欠陥の量を減らすことができる。
本発明では、強い酸化剤であるオゾンを用いて、ゼオライト構造の膨脹/収縮に大きな影響を及ぼさない300℃以下の低い温度でゼオライト分離膜を熱処理することによって、欠陥の形成が最小化し、且つ水分及び乾燥条件におけるCO/N、CO/CH、H/N及びHe/N分離性能が向上する効果がある。
以上、本発明内容の特定の部分を詳細に記述してきたが、当業界における通常の知識を有する者にとって、このような具体的記述は単に好ましい実施様態に過ぎず、これによって本発明の範囲が制限されない点は明らかであろう。したがって、本発明の実質的な範囲は、請求項及びそれらの等価物によって定義されるといえよう。

Claims (7)

  1. CHAゼオライト分離膜を150~300℃の温度及びオゾン雰囲気下で焼成させる段階を含む、CHAゼオライト分離膜の欠陥構造の調節方法であって、
    0.001~1.5g/minのオゾンの注入速度でオゾンの総注入量が0.05~75vol%となるように注入され、0.1~20℃/minの昇温速度で0.1~168時間焼成させる、前記方法
  2. 175~275℃の温度で行われることを特徴とする、請求項1に記載のCHAゼオライト分離膜の欠陥構造の調節方法。
  3. 前記CHAゼオライト分離膜は、CHA種層が形成された支持体上に、有機構造指向剤:SiO:HO:NaO:Alが1~100:100:1000~20000:1~500:0~50のモル比で含む二次成長溶液を添加し、水熱合成させる段階を含む方法によって製造されることを特徴とする、請求項1に記載のCHAゼオライト分離膜の欠陥構造の調節方法。
  4. 前記有機構造指向剤は、TMAdaOH(N,N,N-trimethyl adamantylammonium hydroxide)、TMAdaBr(N,N,N-trimethyl adamantylammonium bromide)、TMAdaF(N,N,N-trimethyl adamantylammonium fluoride)、TMAdaCl(N,N,N-trimethyl adamantylammonium chloride)、TMAdaI(N,N,N-trimethyl adamantylammonium iodide)、TEAOH(tetraethylammonium hydroxide)、TEABr(tetraethylammonium bromide)、TEAF(tetraethylammonium fluoride)、TEACl(tetraethylammonium chloride)、TEAI(tetraethylammonium iodide)及びシクロヘキシルアミン(cyclohexylamine)からなる群から選ばれる1種以上であることを特徴とする、請求項に記載のCHAゼオライト分離膜の欠陥構造の調節方法。
  5. 前記水熱合成は、100~200℃の温度で12~240時間行われることを特徴とする、請求項に記載のCHAゼオライト分離膜の欠陥構造の調節方法。
  6. 前記水熱合成後に分離膜を30~200℃の温度で1~24時間乾燥させる段階をさらに含む、請求項に記載のCHAゼオライト分離膜の欠陥構造の調節方法。
  7. 前記支持体は、α-アルミナ、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリテトラフルオロエチレン、ポリスルホン、ポリイミド、シリカ、ガラス、ガンマ-アルミナ、ムライト(mullite)、ジルコニア(zirconia)、チタニア(titania)、イットリア(yttria)、セリア(ceria)、バナジア(vanadia)、シリコン、ステンレススチール及びカーボンからなる群から選ばれる1種以上であることを特徴とする、請求項に記載のCHAゼオライト分離膜の欠陥構造の調節方法。
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