JP7110588B2 - シンチレータパネルおよび放射線画像検出装置 - Google Patents
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各実施例および比較例により形成した蛍光体層の断面を精密研磨した後に、走査型電子顕微鏡(S2400;(株)日立製作所製)を用いて倍率500倍で蛍光体層を拡大観察した。得られた画像において、固形分部分(蛍光体およびバインダー樹脂等)と空隙部分を画像処理ソフト(Adobe Photoshop;アドビシステムズ(株)製)で2階調に画像変換し、シンチレータ層の断面の面積に占める空隙部分の面積割合を空隙率として算出した。蛍光体層端部の空隙率は、蛍光体層の側面から内側に向かって100μmの範囲において上記記載の方法で算出した。蛍光体層内部の空隙率は、蛍光体層の側面から内側に向かって100μmを超える範囲において上記記載の方法で算出した。
各実施例および比較例により得られた離型シート付きシンチレータパネルの端部断面を精密研磨した後に、光学顕微鏡(VHX-900F;(株)キーエンス製)を用いて倍率100倍で拡大観察し、角度測定機能を用いて、被覆層表面と、蛍光体層と接する側の基板表面との成す角度を測定した。
各実施例および比較例により得られた離型シート付きシンチレータパネルの白色PETフィルム基板面を吸着ステージに吸着させた後に、離型シートを剥離して、接着層を介してシンチレータパネルを光電変換撮像素子基板に貼り合わせて、放射線画像検出装置を作製した。ただし、実施例7については、シンチレータパネルと光電変換撮像素子基板をポリエステルテープ(559A;ニチバン(株)製)により貼り合わせて、放射線画像検出装置を作製した。得られた放射線画像検出装置に対し、シンチレータパネルの基板側から管電圧60kVpのX線を照射して、シンチレータ層からの発光をFPDで検出し発光画像を取得した。取得した発光画像を目視で観察し、シンチレータパネル外周部への被覆層起因の気泡混入を以下の基準で判定した。
○:被覆層起因の気泡混入が確認されない
×:被覆層起因の気泡混入が確認される。
各実施例および比較例により得られた離型シート付きシンチレータパネル各50枚の白色PETフィルム基板面を吸着ステージに吸着させた後に、離型シートを剥離し、蛍光体層を目視観察し、膜剥がれの有無を以下の基準で判定した。ただし、実施例7については、離型シートを有しないため、形成した蛍光体層をそのまま目視観察した。
◎:方形の角部200箇所中、蛍光体層の膜剥がれが観察される箇所が4箇所未満
○:方形の角部200箇所中、蛍光体層の膜剥がれが観察される箇所が4箇所以上10箇所未満
×:方形の角部200箇所中、蛍光体層の膜剥がれが観察される箇所が10箇所以上。
各実施例および比較例により得られた離型シート付きシンチレータパネルの白色PETフィルム基板面を吸着ステージに吸着させた後に、離型シートを剥離し、離型シートを剥離して、接着層を介してシンチレータパネルを光電変換撮像素子基板に貼り合わせて、放射線画像検出装置を作製した。ただし、実施例7については、シンチレータパネルと光電変換撮像素子基板をポリエステルテープ(559A;ニチバン(株)製)により貼り合わせて、放射線画像検出装置を作製した。得られた放射線画像検出装置に対し、シンチレータパネルの基板側から管電圧60kVpのX線を照射して、シンチレータ層からの発光をFPDで検出し発光画像を取得した。取得した発光画像を目視観察し、蛍光体層の削れ屑起因の異物混入を以下の基準で判定した。
○:蛍光体層の削れ屑起因の異物が確認されない
×:蛍光体層の削れ屑起因の異物がシンチレータパネルと光電変換撮像素子基板の間に混入する。
各実施例および比較例により得られた離型シート付きシンチレータパネルを、離型シートを剥離してFPD(PaxScan3030;Varian社製)にセットし、放射線画像検出装置を作製した。ただし、実施例7については、シンチレータパネルと光電変換撮像素子基板をポリエステルテープ(559A;ニチバン(株)製)により貼り合わせて、放射線画像検出装置を作製した。放射線画像検出装置に対し、シンチレータパネルの基板側から管電圧60kVpのX線を照射して、シンチレータ層からの発光量をFPDで検出し、シンチレータパネルの輝度を評価した。また、シンチレータパネルの画像鮮鋭度を、矩形波チャートの撮影画像に基づき評価した。実施例1に記載のシンチレータパネルの輝度及び画像鮮鋭度を100とした場合の相対輝度および相対画像鮮鋭度を算出した。相対輝度および相対画像鮮鋭度ともに90を下回るとFPDとしての特性は不十分である。算出した相対輝度および相対画像鮮鋭度を以下の基準で判定した。
◎:100以上
○:90以上100未満
×:90未満。
20質量部の有機バインダー(エチルセルロース(7mPa・s);比重1.1g/cm3)を、80質量部の有機溶媒(テルピネオール、比重0.93g/cm3)に80℃で加熱溶解し、有機溶液を得た。また、蛍光体粉末1として、平均粒子径D50が10μmのTb賦活Gd2O2S(GOS:Tb、比重7.3g/cm3)を準備した。7.0質量部の有機溶液に、93.0質量部の蛍光体粉末を混合して、蛍光体ペースト1を作製した。
3.6質量部の有機溶液に、96.4質量部の蛍光体粉末を混合したこと以外は蛍光体ペースト1の作製と同様にして、蛍光体ペースト2を作製した。
11.9質量部の有機溶液に、88.1質量部の蛍光体粉末を混合したこと以外は蛍光体ペースト1の作製と同様にして、蛍光体ペースト3を作製した。
13.1質量部の有機溶液に、86.9質量部の蛍光体粉末を混合したこと以外は蛍光体ペースト1の作製と同様にして、蛍光体ペースト4を作製した。
蛍光体ペースト1と同様の方法により有機溶液を得た。また、蛍光体粉末2として、平均粒子径D50が5μmのTb賦活Gd2O2S(Gd2O2S:Tb、比重6.9g/cm3)を準備した。7.4質量部の有機溶液に、92.6質量部の蛍光体粉末2を混合して、蛍光体ペースト5を作製した。
3.8質量部の有機溶液に、96.2質量部の蛍光体粉末を混合したこと以外は蛍光体ペースト5の作製と同様にして、蛍光体ペースト6を作製した。
12.5質量部の有機溶液に、87.5質量部の蛍光体粉末を混合したこと以外は蛍光体ペースト5の作製と同様にして、蛍光体ペースト7を作製した。
50質量部のポリビニルアルコール(E-AL-200;アラビックヤマト(株)製)を、50質量部のエタノール(055-00457;和光純薬工業(株)製)に溶解させて被覆液1を調製した。
200mm×200mmの白色PETフィルム基板(E6SQ;東レ(株)製)上に、前記蛍光体ペースト1を、ダイコーターを用いて、乾燥後の蛍光体層厚みが200μmになるように塗布し、80℃の熱風乾燥炉で4時間乾燥することにより第一の蛍光体層を形成した。第一の蛍光体層における蛍光体の含有量100体積部に対するバインダー樹脂の含有量は10体積部であった。
前記蛍光体ペースト1にかえて蛍光体ペースト2を用いたこと以外は実施例1と同様の方法により離型シート付きシンチレータパネルを得た。第一の蛍光体層における蛍光体の含有量100体積部に対するバインダー樹脂の含有量は5体積部であった。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生、被覆層起因の気泡混入はいずれも認められず、光電変換撮像素子基板への貼り付けは良好であった。相対輝度は105であり良好であった。相対画像鮮鋭度は94であり、90を上回っておりFPDとしての特性を満たしていた。
前記蛍光体ペースト1にかえて蛍光体ペースト3を用いたこと以外は実施例1と同様の方法により離型シート付きシンチレータパネルを得た。第一の蛍光体層における蛍光体の含有量100体積部に対するバインダー樹脂の含有量は18体積部であった。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生、被覆層起因の気泡混入はいずれも認められず、光電変換撮像素子基板への貼り付けは良好であった。相対輝度は93であり、90を上回っておりFPDとしての特性を満たしていた。相対画像鮮鋭度は107であり良好であった。
200mm×200mmの白色PETフィルム基板上に、前記蛍光体ペースト5を、ダイコーターを用いて、乾燥後の蛍光体層厚みが40μmになるように塗布した。その上に、前記蛍光体ペースト1を、ダイコーターを用いて、乾燥後の蛍光体層厚みが180μmになるように塗布した。そして、80℃の熱風乾燥炉で4時間乾燥することにより、第一の蛍光体層および第二の蛍光体層を形成した。第一の蛍光体層および第二の蛍光体層における蛍光体の合計含有量100体積部に対するバインダー樹脂の合計含有量は10体積部であった。その後、実施例1と同様の方法により離型シート付きシンチレータパネルを得た。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生、被覆層起因の気泡混入はいずれも認められず、光電変換撮像素子基板への貼り付けは良好であった。相対輝度は95であり、90を上回っておりFPDとしての特性を満たしていた。相対画像鮮鋭度は115であり良好であった。
前記蛍光体ペースト5にかえて蛍光体ペースト6を、ペースト1にかえて蛍光体ペースト2を用いたこと以外は実施例4と同様の方法により離型シート付きシンチレータパネルを得た。第一の蛍光体層における蛍光体の含有量100体積部に対するバインダー樹脂の含有量は5体積部であった。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生、被覆層起因の気泡混入はいずれも認められず、光電変換撮像素子基板への貼り付けは良好であった。相対輝度は106、相対画像鮮鋭度は104であり良好であった。
前記蛍光体ペースト5にかえて蛍光体ペースト7を、ペースト1にかえて蛍光体ペースト3を用いたこと以外は実施例4と同様の方法により離型シート付きシンチレータパネルを得た。第一の蛍光体層における蛍光体の含有量100体積部に対するバインダー樹脂の含有量は18体積部であった。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生、被覆層起因の気泡混入はいずれも認められず、光電変換撮像素子基板への貼り付けは良好であった。相対輝度は96であり、90を上回っておりFPDとしての特性を満たしていた。相対画像鮮鋭度は117であり良好であった。
接着層および離型シートを積層しなかったこと以外は実施例1と同様の方法によりシンチレータパネルを得た。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生、被覆層起因の気泡混入はいずれも認められず、光電変換撮像素子基板への貼り付けは良好であった。相対輝度は100であり良好であった。相対画像鮮鋭度は97であり、90を上回っておりFPDとしての特性を満たしていた。
前記被覆液1にかえてシリコーン樹脂(KE-45;信越化学工業(株)製)を使用したこと以外は実施例1と同様の方法により離型シート付きシンチレータパネルを得た。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所以上10箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生は認められなかったが、被覆層起因の気泡混入が発生した。相対輝度および相対画像鮮鋭度は100であり良好であった。
被覆層を形成しなかったこと以外は実施例1と同様の方法によりシンチレータパネルを得た。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中10箇所以上であり不良であった。削れ屑が発生し、光電変換撮像素子基板への貼り付けは不良であった。相対輝度および相対画像鮮鋭度は100であり良好であった。
前記蛍光体ペースト1にかえて蛍光体ペースト4を用いたこと、刃先角度が30°のトムソン刃にかえて離型シート面からシンチレータパネルの基材面に向かって刃入れしたこと以外は実施例1と同様の方法により離型シート付きシンチレータパネルを得た。実施例1と同様に評価した結果を表1に示す。蛍光体層厚みは、蛍光体層端部よりも蛍光体層内部の方が薄く、蛍光体層の空隙率は、蛍光体層内部は11%、蛍光体層端部は2%であった。シンチレータパネルの蛍光体層の膜剥がれは方形の角部200箇所中4箇所未満であり良好であった。削れ屑の発生、被覆層起因の気泡混入は認められず、光電変換撮像素子基板への貼り付けは良好であった。相対輝度は88であり90を下回っており不良であった。相対画像鮮鋭度は109であり良好であった。
2 シンチレータパネル
3 光電変換撮像素子基板
4 基板
5 蛍光体層
6 離型シート
7 接着層
8 被覆層
9 光電変換層
10 出力層
11 基板
12 蛍光体層の端部
13 蛍光体層の内部
14 被覆層表面
Claims (6)
- 基板上に、蛍光体およびバインダー樹脂を含有する蛍光体層を有するシンチレータパネルであって、前記蛍光体層における蛍光体の含有量100体積部に対するバインダー樹脂の含有量が18体積部以下であり、前記蛍光体層の外周部側面に被覆層を有し、前記蛍光体層の端部の空隙率が内部の空隙率よりも低く、前記蛍光体層の端部の空隙率が10%未満であるシンチレータパネル。
- 前記蛍光体層が蛍光体の粒子径が異なる複数の層を有する請求項1記載のシンチレータパネル。
- 前記被覆層の表面と、蛍光体層と接する側の基板表面との成す角度が90度を超える請求項1または2に記載のシンチレータパネル。
- 前記被覆層がポリビニルアルコールを含む請求項1~3のいずれか一項に記載のシンチレータパネル。
- 請求項1~4のいずれか一項に記載のシンチレータパネルの蛍光体層上に、接着層および離型シートをこの順に有する離型シート付きシンチレータパネル。
- 請求項1~4のいずれか一項に記載のシンチレータパネル、接着層および光電変換撮像素子基板を有する放射線画像検出装置。
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