JP7105492B2

JP7105492B2 - 差圧検出装置

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Publication number: JP7105492B2
Application number: JP2019031227A
Authority: JP
Inventors: 順基佐々木; 萌美野本; 竜大尾下
Original assignee: Yamashin Filter Corp
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Priority date: 2019-02-25
Filing date: 2019-02-25
Publication date: 2022-07-25
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Description

本発明は、差圧検出装置に関する。

特許文献１には、一方の面に歪み検出部が形成された薄膜状のダイヤフラムに、歪み検出部を覆う金属シートが設けられており、第１と第２の支持部材がダイヤフラムを両側から支持し固定する差圧センサが開示されている。支持部材には凹部が形成され、凹部にはシール用Ｏリングが設けられ、シール用Ｏリングがダイヤフラムに当接している。

特開平４－１４３６２９号公報

特許文献１に記載の発明では、ダイヤフラムの上面に歪み検出部や電気配線膜が形成されているため、ダイヤフラムの上面には凹凸が存在している。そして、ダイヤフラムの上面を覆うのが金属シートであるため、歪み検出部の凹凸がそのまま金属シートの凹凸となる。したがって、特許文献１に記載の発明では、Ｏリングが金属シートの凹凸と当接するため、完全なシール性を失い、Ｏリングとダイヤフラムとの間から液体が漏れるおそれがある。

特に、差圧センサを燃料用のフィルタや尿素水ＳＣＲシステムのフィルタ等に用いる場合には、噴射ノズルの閉塞や損傷を防止することが必須であることから、差圧センサ内での液体の漏れは許されず、完全なシールが望まれる。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、内部での液体の漏れを確実に防止できる差圧検出装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明に係る差圧検出装置は、例えば、高圧側と低圧側との圧力差である差圧を検出する差圧検出装置であって、一方の端面である第１端に開口する第１穴と、一端が前記第１穴の底面に開口し、他端が前記第１端以外の面に開口する第２穴であって、前記第１穴より直径が小さく、前記第１穴の軸に沿う第１方向に略沿っており、前記第１穴の底面に開口する第３穴を有する第２穴と、を有する略円柱形状のケースと、前記第１穴の底面に設けられた略円板形状の隔膜部と、前記隔膜部と当接するように前記第１穴の内部に設けられた固定部材であって、前記第１方向から見て前記第３穴と重なる位置に、前記第１方向に略沿って当該固定部材を貫通するように設けられた第４穴を有する固定部材と、を備え、前記隔膜部は、第１板と、第２板と、前記第１板又は前記第２板に設けられた歪みゲージと、前記歪みゲージより厚い略円環形状の環状部材と、を有し、前記歪みゲージは、前記環状部材の中空部に設けられ、前記環状部材の直径は、前記第３穴及び前記第４穴より大きく、前記第１板及び前記第２板は、前記歪みゲージ及び前記環状部材を挟むように設けられており、前記第１板と前記第２板との間には、充填部材が充填されており、前記第１穴の底面には、前記第３穴を囲むように第１溝が設けられ、前記固定部材には、前記隔膜部と当接する面に、前記第４穴を囲むように第２溝が設けられ、前記第１方向から見て、前記環状部材、前記第１溝及び前記第２溝の位置は重なり、前記第１溝及び前記第２溝には、それぞれ弾性変形可能な第１環状パッキンが設けられており、前記第１板及び前記第２板は、それぞれ前記第１環状パッキンと当接することを特徴とする。

本発明に係る差圧検出装置によれば、高圧側と低圧側との圧力差である差圧を検出する隔膜部は、環状部材と、環状部材の中空部に設けられた歪みゲージと、環状部材及び歪みゲージを挟むように設けられた第１板及び第２板とを有し、第１板及び第２板は、それぞれ第１環状パッキンと当接し、第１穴の軸に沿う第１方向からみて第１溝及び第２溝（第１環状パッキン）と環状部材とが重なる。このため、第１環状パッキンの弾性変形量を大きくして第１環状パッキンのシール性能を高くすることができる。したがって、差圧検出装置の内部での液体の漏れを確実に防止することができる。

ここで、前記第１穴及び前記固定部材は、略円柱形状であり、前記固定部材の側面には、第３溝が設けられ、前記第３溝には、弾性変形可能な第２環状パッキンが設けられており、前記第１穴の内周面は、前記第２環状パッキンと当接してもよい。これにより、仮に第１環状パッキンと第１穴との間から液体が漏れたとしても、第１穴と固定部材との間から液体が漏れることを確実に防止することができる。

ここで、前記環状部材は、当該環状部材の径方向に沿った孔又は切り欠きを有し、前記歪みゲージに接続されたケーブルは、前記孔又は切り欠きを介して前記隔膜部の外部に導かれてもよい。これにより、環状部材の表面、すなわち第１板又は第２板に凹凸が発生しないようにし、第１環状パッキンによるシール性能を確実に確保することができる。

ここで、前記第３穴は、前記第１穴に対して偏心しており、前記ケースは、前記第１穴の底面に開口し、前記第３穴と平行な第５穴を有し、前記第５穴は、前記第１穴の軸を挟んで前記第３穴の反対側に配置されており、前記第５穴の内部には、前記ケーブルが設けられていてもよい。これにより、ケースの直径を小さくし、差圧検出装置を小型化することができる。

ここで、前記第１板及び前記第２板は、金属製であり、厚さが略０．２ｍｍ～略０．３ｍｍであってもよい。これにより、隔膜部の強度を保つことができる。

本発明によれば、内部での液体の漏れを確実に防止できる。

本発明の第１の実施の形態にかかる差圧検出装置１が設けられた濾過装置１００の概略を示す図である。差圧検出装置１の断面図である。図２の部分拡大図である。隔膜部２０の平面図である。隔膜部２０Ａの平面図である。

以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。本発明にかかる差圧検出装置は、燃料タンクや尿素水ＳＣＲシステムに設けられた濾過装置、バルブ等に設けられており、高圧側と低圧側との圧力差である差圧を検出する。

図１は、本発明の第１の実施の形態にかかる差圧検出装置１が設けられた濾過装置１００の概略を示す図である。濾過装置１００は、油、燃料、尿素水等の液体に含まれる塵埃等を、フィルタを用いて除去するものである。なお、図１では、一部、断面を示すハッチングを省略する。

濾過装置１００は、主として、ハウジング１１０と、フィルタエレメント１２０と、ヘッド１３０と、を有する。

ハウジング１１０は、一端が略閉塞され、他端が開口する略有底円筒形状の部材である。ハウジング１１０の下端には、ドレン１１１が設けられる。なお、ドレン１１１は必須ではない。

ハウジング１１０の開口部は、ヘッド１３０に取り付けられる。ハウジング１１０がヘッド１３０に取り付けられると、フィルタエレメント１２０がヘッド１３０の中央筒１３２（後に詳述）に取り付けられる。これにより、フィルタエレメント１２０がハウジング１１０の内部に収容される。

フィルタエレメント１２０は、主として、内筒１２６と、濾材１２７と、濾材１２７の両端に設けられるプレート１２８、１２９と、を有する。内筒１２６は、両端に開口を有する略中空円筒形状の部材であり、耐腐食性の高い材料（例えば、樹脂や金属）を用いて形成される。

濾材１２７は、径方向に厚みを有する略中空円筒形状である。濾材１２７は、合成樹脂や紙等を用いたシート状のろ紙をひだ折りにし、ひだ折りにしたろ紙の両端を連結して丸めることによって形成される。

濾材１２７の一方の端（図１における上側の端）にはプレート１２８が設けられ、他方の端（図１における下側の端）にはプレート１２９が設けられる。プレート１２８及びプレート１２９は、耐腐食性の高い材料を用いて形成される。

プレート１２８は、濾材１２７の上端に設けられる。プレート１２８には、ヘッド１３０の中央筒１３２（後に詳述）が挿入される。プレート１２８と中央筒１３２との間には、シール部材１１３（例えば、Ｏリング）が設けられる。シール部材１１３により、プレート１２８と中央筒１３２との間から液体が外部に漏れないようにシールされる。また、プレート１２８に内筒１２６が設けられているため、プレート１２８に中央筒１３２が挿入されると、内筒１２６の内部空間が中央筒１３２の内部空間と連通する。

ヘッド１３０は、主として、本体１３１と、中央筒１３２と、流入路１３３と、流出路１３４と、取付穴１３５と、を有する。

本体１３１は、耐腐食性の高い材料で形成される。本体１３１は略有底円筒形状の筒状部を有し、筒状部のうちの開口端近傍の外周面には雄ねじ部１３１ａが形成されている。雄ねじ部１３１ａを、ハウジング１１０の内周に形成された雌ねじ部１１０ａに螺合させると、ヘッド１３０にハウジング１１０が取り付けられる。

ハウジング１１０とヘッド１３０との間には、シール部材１１２（例えば、Ｏリング）が設けられる。シール部材１１２により、ハウジング１１０とヘッド１３０との間から液体が外部に漏れないようにシールされる。

中央筒１３２は、略円筒形状であり、本体１３１に一体形成される。中央筒１３２は、本体１３１の底面略中央から、本体１３１の側面と同方向に突出している。中央筒１３２の外周面には、プレート１２８の中空部１２３ａに挿入される凹部１３２ａが形成される。

流入路１３３及び流出路１３４は略管状である。本体１３１の側面と中央筒１３２とにより形成される空間（中央筒１３２の外部の空間）Ｓ１は、流入路１３３と連通する。また、中央筒１３２の内部の空間Ｓ２は、流出路１３４と連通する。

流入路１３３を介して、濾過すべき液体Ｌ１が濾過装置１００に供給される。液体Ｌ１（図１実線矢印参照）は、ハウジング１１０内に流入し、その後濾材１２７で濾過されて、内筒１２６の内部へ流出する。また、内筒１２６の内部へ流出した濾過後の液体Ｌ２（図１二点鎖線矢印参照）は、流出路１３４から濾過装置１００の外部へ排出される。

取付穴１３５は、本体１３１の底面近傍に形成される。取付穴１３５には、差圧検出装置１が設けられる。取付穴１３５の側面には、雌ねじ部１３５ａが形成される。差圧検出装置１に形成された雄ねじ部１８（図２参照）を雌ねじ部１３５ａに螺合すると、差圧検出装置１がヘッド１３０に取り付けられる。

取付穴１３５と差圧検出装置１との間には、シール部材１１４、１１５（例えば、Ｏリング）が設けられる。シール部材１１４、１１５により、取付穴１３５と差圧検出装置１との間から液体が外部に漏れないようにシールされる。

取付穴１３５の底部近傍は、流出路１３４、すなわち空間Ｓ２と連通する。差圧検出装置１は底面が開口しているため、空間Ｓ２は、差圧検出装置１内部の穴１１（後に詳述）と連通する。

また、取付穴１３５の雌ねじ部１３５ａは、孔１３６を介して、空間Ｓ１と連通する。空間Ｓ１は、差圧検出装置１内部の穴１２（後に詳述）と連通する。

次に、差圧検出装置１について詳細に説明する。図２は、差圧検出装置１の断面図である。図２では、一部、断面を示すハッチングを省略する。

差圧検出装置１は、主として、ケース１０と、隔膜部２０と、固定部材３０と、取付部材３１と、環状パッキン４１、４２、４３と、検出ユニット５０と、を有する。

ケース１０は、略円柱形状であり、穴１１、穴１２、穴１３及び穴１４を有する。

穴１１は、略円柱形状であり、ケース１０の端面１５に開口する。穴１１の内周面には、雌ねじ部１１ａが形成される。

穴１１の内部には、主として、隔膜部２０と、固定部材３０と、取付部材３１とが設けられる。隔膜部２０は、穴１１の底面１１ｂに設けられている。固定部材３０は、略円柱形状の部材であり、隔膜部２０と当接する。取付部材３１は、略円柱形状の部材であり、外周面に雄ねじ部３１ａが形成されている。

雄ねじ部３１ａを雌ねじ部１１ａに螺合させることで、隔膜部２０及び固定部材３０が穴１１の内部に、高さ（ｚ方向の位置）が調整可能に設けられる。取付部材３１が隔膜部２０及び固定部材３０を押し上げ、固定部材３０が隔膜部２０に押し付けられ、隔膜部２０が底面１１ｂに押し付けられるように、取付部材３１が穴１１の内部に設けられる。

固定部材３０は、ケース１０及び穴１１の軸Ａに略沿った（ｚ方向に略沿った）穴３０ａを有し、穴３０ａは、固定部材３０を貫通するように設けられている。また、取付部材３１は、ｚ方向に略沿った穴３１ｂを有し、穴３１ｂは、取付部材３１を貫通するように設けられている。これにより、隔膜部２０の－ｚ側の端面（板２２、後に詳述）が穴１１を介して空間Ｓ２と連通し、濾過後の液体Ｌ２が隔膜部２０の－ｚ側の端面に導かれる。隔膜部２０については、後に詳述する。

穴１２は、一端が穴１１の底面１１ｂに開口し、他端が端面１５以外の面（ここでは、側面１７）に開口する。穴１２は、縦穴１２ａと、横穴１２ｂとを有する。縦穴１２ａは、穴１１より直径が小さく、ｚ方向に略沿っている。縦穴１２ａの一端は、穴１１の底面１１ｂに開口する。横穴１２ｂは、一端が縦穴１２ａに開口し、他端が側面１７に開口する。これにより、隔膜部２０の＋ｚ側の端面（板２１、後に詳述）が穴１２を介して空間Ｓ１と連通し、濾過前の液体Ｌ１が隔膜部２０の＋ｚ側の端面に導かれる。

＋ｚ方向又は－ｚ方向から見て、穴３０ａ及び穴３１ｂは、縦穴１２ａと重なる位置に設けられる。したがって、濾過前の液体Ｌ１と濾過後の液体Ｌ２との圧力差により隔膜部２０を微小量だけ変形させることができる。

穴１３は、略円筒形状であり、ケース１０の端面１６に開口する。穴１３には、検出ユニット５０が設けられる。検出ユニット５０は、略円筒形状であり、基板等を有する。検出ユニット５０の周囲には、雄ねじ部５０ａが形成されている。雄ねじ部５０ａを雌ねじ部１３ａに螺合させることで、検出ユニット５０が、高さ（ｚ方向の位置）が調整可能に穴１３の内部に設けられる。

穴１４は、縦穴１２ａと略平行な孔であり、一端が穴１１の底面１１ｂに開口し、他端が穴１３に開口する。穴１２は穴１１に対して偏心しており、穴１４は、穴１１の軸を挟んで穴１３の反対側に配置されておいる。つまり、穴１４は、穴１２が偏心することで形成されたスペースに設けられている。これにより、ケース１０の直径を小さくし、差圧検出装置１を小型化することができる。

穴１４の内部にはケーブル２５、２６が設けられており、ケーブル２５、２６は歪みゲージ２３（後に詳述）で発生した電気信号を検出ユニット５０に伝達する。

図３は、図２の部分拡大図である。図３では、一部、断面を示すハッチングを省略する。図４は、隔膜部２０の平面図である。図４では、隔膜部２０の要部を透視している。

隔膜部２０は、略円板形状であり、底面１１ｂと固定部材３０とにより狭持される。隔膜部２０は、主として、板２１、２２と、歪みゲージ２３と、環状部材２４と、を有する。

板２１、２２は、金属又は樹脂の板状部材であり、歪みゲージ２３及び環状部材２４を両側から挟むように設けられている。ここで、板状部材とは、折り曲げ、巻取り等が困難な程度の厚さ（例えば、金属板なら略０．１ｍｍ以上）を有するものであり、折り曲げや巻取りが可能なシート及びフィルムより厚いものをいう。

本実施の形態では、板２１、２２は、金属製（例えば、ステンレス鋼）であり、厚さが略０．２ｍｍ～略０．３ｍｍである。これにより、液体から圧力を受けたときに微小量の変形が可能であり、かつ、隔膜部２０の強度を保つことができる。

歪みゲージ２３は、板２１又は板２２（本実施の形態では、板２１）に設けられる。歪みゲージ２３は、内部に金属線が設けられており、測定対象物（ここでは、板２１又は板２２）の伸び縮みに従って金属線が伸び縮みし、金属線の電気抵抗の変化を測定することで測定対象物の伸び縮み（ひずみ）を求めるものである。金属線には、ケーブル２５、２６が接続されている。歪みゲージ２３の直径は、縦穴１２ａ及び穴３０ａの直径以下であることが望ましい。

歪みゲージ２３は、環状部材２４の中空部に設けられている。環状部材２４は、略円環形状の板状部材であり、厚さが歪みゲージ２３よりも厚い。したがって、板２１と板２２との間隔が歪みゲージ２３の厚さより広くなり、歪みゲージ２３のつぶれが防止される。

環状部材２４の直径は、縦穴１２ａ及び穴３０ａより大きい。そのため、＋ｚ方向又は－ｚ方向から見て、縦穴１２ａ及び穴３０ａと重なる位置に歪みゲージ２３を配置することができ、歪みゲージ２３が板２１及び板２２の変形量（つまり、差圧）を正確に検出することができる。

環状部材２４は、ケーブル２５、２６が通る切り欠き２４ａを有する。切り欠き２４ａは、環状部材２４の径方向に沿って形成されている。ケーブル２５、２６は、切り欠き２４ａ及び板２１に形成された孔２１ａを介して隔膜部２０の外部に導かれる。これにより、環状部材２４の表面、すなわち板２１又は板２２に凹凸が発生しないようにすることができる。

板２１と板２２との間には、充填部材２８が充填されている。歪みゲージ２３の厚さは環状部材２４の厚さ（板２１と板２２との間隔）より薄いが、板２１と板２２との間に充填部材２８が充填されていることにより、歪みゲージ２３が、板２１の歪みだけでなく、板２２の歪みも検出することができる。

充填部材２８は、高分子物質（一般的には分子量が１００００以上のもの）により構成される高分子材料であり、樹脂、ゴム等が含まれる。本実施の形態では、充填部材２８として、歪みゲージ２３用の接着剤（シアノアクリレート系又はエポキシ系）又はウレタン樹脂を用いる。

穴１１の底面１１ｂには、縦穴１２ａを囲むように溝１１ｃが設けられている。また、固定部材３０には、隔膜部２０と当接する面３０ｂに、穴３０ａを囲むように溝３０ｃが設けられている。溝１１ｃには、弾性変形可能な環状パッキン４１が設けられており、溝３０ｃには、弾性変形可能な環状パッキン４２が設けられている。環状パッキン４１、４２は、シール部材であり、例えばＯリングである。

環状パッキン４１は板２１と当接し、環状パッキン４２は板２２と当接する。これにより、隔膜部２０と底面１１ｂとの間、及び隔膜部２０と面３０ｂとの間から液体が漏れないようにすることができる。また、＋ｚ方向又は－ｚ方向から見て、環状部材２４、溝１１ｃ（環状パッキン４１）及び溝３０ｃ（環状パッキン４２）の位置が重なる。そのため、環状パッキン４１、４２の弾性変形量を大きくし、環状パッキン４１、４２を強く板２１、２２に押し付けたとしても、隔膜部２０がつぶれて歪みゲージ２３に力が加わることはない。これにより、歪みゲージ２３の測定性能を正確に保ったまま、隔膜部２０と底面１１ｂとの間、及び隔膜部２０と面３０ｂとの間から液体が確実に漏れないようにすることができる。

固定部材３０の側面３０ｄには、溝３０ｅが設けられている。溝３０ｅには、弾性変形可能な環状パッキン４３（例えば、Ｏリング）が設けられており、環状パッキン４３は穴１１の内周面と当接する。これにより、固定部材３０とケース１０（穴１１）との間から液体が確実に漏れないようにすることができる。

次に、差圧検出装置１の作用について図２を用いて説明する。濾材１２７（図１参照）の目詰まり等により空間Ｓ１（図１参照）の圧力が高くなってくると、高圧側の液体（濾過前の液体Ｌ１）により隔膜部２０が－ｚ方向に押し下げられ、板２１が変形する。板２１は、濾過前の液体Ｌ１（空間Ｓ１、高圧側）と濾過後の液体Ｌ２（空間Ｓ２、低圧側）の圧力差（差圧）に応じて変形する。歪みゲージ２３は、板２１の変形量に応じた大きさの信号を、ケーブル２５、２６を介して検出ユニット５０に出力する。これにより、差圧検出装置１は、高圧側と低圧側との差圧を検出する。

本実施の形態によれば、環状部材２４の厚さ（板２１と板２２との間隔）が歪みゲージ２３の厚さより厚く、環状パッキン４１と板２１とが当接する位置及び環状パッキン４２と板２２とが当接する位置を、＋ｚ方向又は－ｚ方向から見て環状部材２４と重なる位置にすることで、歪みゲージ２３を潰さず、隔膜部２０と底面１１ｂとの間、及び隔膜部２０と面３０ｂとの間から液体が確実に漏れないようにすることができる。

特に、差圧検出装置１を燃料用のフィルタや尿素水ＳＣＲシステムのフィルタ等に用いる場合には、噴射ノズルの閉塞や損傷を防止することが必須であることから、差圧検出装置１内での液体の漏れは許されない。本実施の形態によれば、＋ｚ方向又は－ｚ方向から見て、環状パッキン４１と板２１とが当接する位置及び環状パッキン４２と板２２とが当接する位置が環状部材２４と重なるため、環状パッキン４１、４２の弾性変形量を大きくして環状パッキン４１、４２のシール性能を高くすることで、差圧検出装置１内部での液体の漏れを確実に防止することができる。

また、本実施の形態によれば、固定部材３０と穴１１との間に環状パッキン４３を設けることで、差圧検出装置１内部での液体の漏れをより確実に防止することができる。

なお、本実施の形態では、環状部材２４は、環状部材２４の径方向に沿って形成された切り欠き２４ａを有し、ケーブル２５、２６は切り欠き２４ａを介して隔膜部２０の外部に導かれたが、ケーブルを隔膜部の外部に導く方法はこれに限られない。図５は、変形例に係る隔膜部２０Ａの平面図である。図５では、隔膜部２０Ａの要部を透視している。

隔膜部２０Ａは、主として、板２１、２２と、歪みゲージ２３と、環状部材２４Ａと、を有する。環状部材２４Ａは、環状部材２４と同様、歪みゲージ２３より厚い略円環形状の部材であり、環状部材２４Ａの径方向に沿って形成された孔２４ｂを有する。孔２４ｂは、環状部材２４Ａを径方向に貫通する孔であり、断面形状は例えば略円形状でも略楕円形状でも略矩形形状でもよい。ケーブル２５、２６は孔２４ｂ及び孔２１ａを介して隔膜部２０の外部に導かれる。

また、本実施の形態では、固定部材３０と穴１１との間に環状パッキン４３を設けたが、環状パッキン４１、４２により液体の漏れを防止することができるため、環状パッキン４３は必須でない。ただし、環状パッキン４３を設けることで、仮に濾過前の液体Ｌ１が隔膜部２０及び穴１１の底面１１ｂの間から漏れて穴１１の側面と固定部材３０との間に流れたとしても、環状パッキン４３が濾過前の液体Ｌ１を止めることで、穴１１の側面と固定部材３０との間から濾過前の液体Ｌ１が穴１１の内部に流出し、濾過前の液体Ｌ１が濾過後の液体Ｌ２と混合することを確実に防ぐことができるため、固定部材３０と穴１１との間に環状パッキン４３を設けることが望ましい。

また、本実施の形態では、隔膜部２０及び固定部材３０が穴１１の内部に設けるための取付部材３１を有したが、取付部材３１は必須でない。

以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。当業者であれば、実施形態の各要素を、適宜、変更、追加、変換等することが可能である。

また、本発明において、「略」とは、厳密に同一である場合のみでなく、同一性を失わない程度の誤差や変形を含む概念である。例えば、略平行とは、厳密に平行の場合には限られず、例えば数度程度の誤差を含む概念である。また、例えば、単に平行、直交、一致等と表現する場合において、厳密に平行、直交、一致等の場合のみでなく、略平行、略直交、略一致等の場合を含むものとする。また、本発明において「近傍」とは、基準となる位置の近くのある範囲（任意に定めることができる）の領域を含むことを意味する。例えば、Ａの近傍という場合に、Ａの近くのある範囲の領域であって、Ａを含んでもいても含んでいなくてもよいことを示す概念である。

１：差圧検出装置
１０：ケース
１１、１２、１３、１４：穴
１１ａ：雌ねじ部
１１ｂ：底面
１１ｃ：溝
１２ａ：縦穴
１２ｂ：横穴
１３ａ：雌ねじ部
１５、１６：端面
１７：側面
１８：雄ねじ部
２０、２０Ａ：隔膜部
２１、２２：板
２１ａ：孔
２３：歪みゲージ
２４、２４Ａ：環状部材
２４ａ：切り欠き
２４ｂ：孔
２５、２６：ケーブル
２８：高分子材料
３０：固定部材
３０ａ：穴
３０ｂ：面
３０ｃ：溝
３０ｄ：側面
３０ｅ：溝
３１：取付部材
３１ａ：雄ねじ部
３１ｂ：穴
４１、４２、４３：環状パッキン
５０：検出ユニット
５０ａ：雄ねじ部
１００：濾過装置
１１０：ハウジング
１１０ａ：雌ねじ部
１１１：ドレン
１１２、１１３、１１４、１１５：シール部材
１２０：フィルタエレメント
１２３ａ：中空部
１２６：内筒
１２７：濾材
１２８、１２９：プレート
１３０：ヘッド
１３１：本体
１３１ａ：雄ねじ部
１３２：中央筒
１３２ａ：凹部
１３３：流入路
１３４：流出路
１３５：取付穴
１３５ａ：雌ねじ部
１３６：孔

Claims

高圧側と低圧側との圧力差である差圧を検出する差圧検出装置であって、
一方の端面である第１端に開口する第１穴と、一端が前記第１穴の底面に開口し、他端が前記第１端以外の面に開口する第２穴であって、前記第１穴より直径が小さく、前記第１穴の軸に沿う第１方向に略沿っており、前記第１穴の底面に開口する第３穴を有する第２穴と、を有する略円柱形状のケースと、
前記第１穴の底面に設けられた略円板形状の隔膜部と、
前記隔膜部と当接するように前記第１穴の内部に設けられた固定部材であって、前記第１方向から見て前記第３穴と重なる位置に、前記第１方向に略沿って当該固定部材を貫通するように設けられた第４穴を有する固定部材と、
を備え、
前記隔膜部は、第１板と、第２板と、前記第１板又は前記第２板に設けられた歪みゲージと、前記歪みゲージより厚い略円環形状の環状部材と、を有し、
前記歪みゲージは、前記環状部材の中空部に設けられ、
前記環状部材の直径は、前記第３穴及び前記第４穴より大きく、
前記第１板及び前記第２板は、前記歪みゲージ及び前記環状部材を挟むように設けられており、
前記第１板と前記第２板との間には、充填部材が充填されており、
前記第１穴の底面には、前記第３穴を囲むように第１溝が設けられ、
前記固定部材には、前記隔膜部と当接する面に、前記第４穴を囲むように第２溝が設けられ、
前記第１方向から見て、前記環状部材、前記第１溝及び前記第２溝の位置は重なり、
前記第１溝及び前記第２溝には、それぞれ弾性変形可能な第１環状パッキンが設けられており、
前記第１板及び前記第２板は、それぞれ前記第１環状パッキンと当接する
ことを特徴とする差圧検出装置。
請求項１に記載の差圧検出装置であって、
前記第１穴及び前記固定部材は、略円柱形状であり、
前記固定部材の側面には、第３溝が設けられ、
前記第３溝には、弾性変形可能な第２環状パッキンが設けられており、
前記第１穴の内周面は、前記第２環状パッキンと当接する
ことを特徴とする差圧検出装置。
請求項１又は２に記載の差圧検出装置であって、
前記環状部材は、当該環状部材の径方向に沿った孔又は切り欠きを有し、
前記歪みゲージに接続されたケーブルは、前記孔又は切り欠きを介して前記隔膜部の外部に導かれる
ことを特徴とする差圧検出装置。
請求項３に記載の差圧検出装置であって、
前記第３穴は、前記第１穴に対して偏心しており、
前記ケースは、前記第１穴の底面に開口し、前記第３穴と平行な第５穴を有し、
前記第５穴は、前記第１穴の軸を挟んで前記第３穴の反対側に配置されており、
前記第５穴の内部には、前記ケーブルが設けられる
ことを特徴とする差圧検出装置。
請求項１から４のいずれか一項に記載の差圧検出装置であって、
前記第１板及び前記第２板は、金属製であり、厚さが略０．２ｍｍ～略０．３ｍｍである
ことを特徴とする差圧検出装置。