JP7103949B2 - マスクシート、マスクプレートおよびその組立方法 - Google Patents

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［関連出願の相互参照］
本願は、２０１７年０４月２７日に出願された中国特許出願２０１７１０２８９６４９．３号の優先権を主張し、ここでこの先の出願の開示全体が本願の一部として取り込まれる。

本発明は、マスクシート、マスクプレートおよびマスクプレートの組立方法に関する。

表示技術の発展に伴い、一般的なディスプレイは、液晶ディスプレイ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ、ＬＣＤ）、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ、ＯＬＥＤ）、プラズマディスプレイ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ、ＰＤＰ）および電子インク（Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｉｎｋ）ディスプレイなどを含む。消費電力が低く、軽量で薄く、高色域で、表示輝度が高く、視野角が広く、かつ応答速度が高いなどの利点を有するため、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイはますます人気になっている。

ファインメタルマスクプレート（ＦＭＭ）は、フレーム（Ｆｒａｍｅ）、被覆バー（Ｃｏｖｅｒ）、支持バー（Ｈｏｗｌｉｎｇ）およびファインメタルマスクシート（Ｆｉｎｅ Ｍｅｔａｌ Ｍａｓｋ Ｓｈｅｅｔ、ＦＭＭ Ｓｈｅｅｔ）を溶接してなる。ファインメタルマスクシートは、堆積材料または蒸着材料を基板に堆積または蒸着してファインパターンを形成するマスクシートである。通常、ファインメタルマスクシート（ＦＭＭ Ｓｈｅｅｔ）は、堆積材料または蒸着材料を基板に堆積または蒸着してファインパターンを有するマスクプレートを形成するように、堆積材料の通過を許す複数の開口、たとえば複数の四角形スリットまたは複数の条状スリットを含む。

本発明の少なくとも一態用は、マスクシート、マスクプレートおよびマスクプレートの組立方法を提供する。上記マスクシートによれば、該マスクシートを用いたマスクプレートに被覆バーを設置する必要がないので、マスクプレート全体の溶接のタクトタイムを低減させて、マスクプレートの組立効率を向上させる、新たなマスクシートを提供する。

本発明の少なくとも一態様は、マスク領域と、前記マスク領域を取り囲んだ周辺領域と、を含んでおり、前記周辺領域に位置する少なくとも１つのエッジ部は、肉抜部を含む、マスクシートを提供する。

たとえば、本発明の一態様に係るマスクシートにおいて、前記マスクシートは延出方向を有し、前記少なくとも１つのエッジ部は前記延出方向に延出している第１エッジ部および第２エッジ部を含み、前記第１エッジ部と前記第２エッジ部は前記肉抜部を含む。

たとえば、本発明の一態様に係るマスクシートにおいて、前記肉抜部は、前記マスクシートの上面から一部の厚さを除去してなる上肉抜部、または、前記マスクシートの下面から一部の厚さを除去してなる下肉抜部を含む。

たとえば、本発明の一態様に係るマスクシートにおいて、前記肉抜部は、横断面形状が段状または台形状を含む。

たとえば、本発明の一態様に係るマスクシートにおいて、前記肉抜部は、前記マスクシートの上面と下面の間の部分から一部の厚さを除去してなる中間肉抜部、または、前記マスクシートの上面と下面から一部の厚さを同時に除去してなる両側肉抜部を含む。

本発明の少なくとも一態様は、第１マスク領域、および前記第１マスク領域を取り囲んだ第１周辺領域を含んでおり、前記第１周辺領域に位置する少なくとも１つのエッジ部が上肉抜部を含む第１マスクシートと、第２マスク領域、および前記第２マスク領域を取り囲んだ第２周辺領域を含んでおり、前記第２周辺領域に位置する少なくとも１つのエッジ部が下肉抜部を含む第２マスクシートと、を備えており、前記第１マスクシートと前記第２マスクシートとは、交互に設置されるとともに、隣接する前記第１マスクシートと前記第２マスクシートにおける前記上肉抜部と前記下肉抜部が少なくとも部分的に重なる、マスクプレートを提供する。

たとえば、本発明の一態様に係るマスクプレートにおいて、前記第１マスクシートは、第１延出方向を有するとともに、前記第１周辺領域に位置しかつ前記第１延出方向に延出している第１エッジ部および第２エッジ部を含んでおり、前記第１エッジ部と前記第２エッジ部は、前記上肉抜部を含み、前記第２マスクシートは、第２延出方向を有するとともに、前記第２周辺領域に位置しかつ前記第２延出方向に延出している第３エッジ部および第４エッジ部を含んでおり、前記第３エッジ部と前記第４エッジ部は、前記下肉抜部を含む。

たとえば、本発明の一態様に係るマスクプレートにおいて、前記第１周辺領域と前記第２周辺領域とは厚さがほぼ同じであり、重なって設置された前記上肉抜部と前記下肉抜部の全体厚さは前記第１周辺領域および／または前記第２周辺領域の厚さとほぼ同じである。

たとえば、本発明の一態様に係るマスクプレートにおいて、前記上肉抜部と前記下肉抜部は、断面形状が段状または台形状を含む。

たとえば、本発明の一態様に係るマスクプレートにおいて、１つの開口を含むフレームと、両端が前記フレームに固定して設置された複数の支持バーと、をさらに備え、前記第１マスクシートと前記第２マスクシートとは、前記開口を完全に隠すように、前記支持バーに交互に設置されるとともに、前記フレームに固定して設置される。

たとえば、本発明の一態様に係るマスクプレートにおいて、前記支持バーの前記第１マスクシートへの正投影は前記第１マスクシートの前記第１周辺領域にあり、前記支持バーの前記第２マスクシートへの正投影が前記第２マスクシートの前記第２周辺領域にある。

たとえば、本発明の一態様に係るマスクプレートにおいて、前記フレームは、前記支持バーの各々の両端が固定して設置される支持バー取付面を含む。

たとえば、本発明の一態様に係るマスクプレートにおいて、前記第１延出方向と前記第２延出方向は、前記支持バーの第３延出方向にほぼ垂直である。

たとえば、本発明の一態様に係るマスクプレートにおいて、前記マスクプレートは、前記第１延出方向に沿いかつ隣接する前記第１マスクシートと前記第２マスクシートの間に位置する被覆バーが設置されていない。

本発明の少なくとも一態様は、マスクプレートの組立方法を提供しており、前記マスクプレートは、第１マスク領域、および前記第１マスク領域を取り囲んだ第１周辺領域を含んでおり、前記第１周辺領域に位置する少なくとも１つのエッジ部が上肉抜部を含む第１マスクシートと、第２マスク領域、および前記第２マスク領域を取り囲んだ第２周辺領域を含んでおり、前記第２周辺領域に位置する少なくとも１つのエッジ部が上肉抜部を含む第２マスクシートと、を備え、前記組立方法は、前記第１マスクシートを間隔をあけて取り付けるステップと、前記第２マスクシートの前記下肉抜部が前記第１マスクシートの前記上肉抜部を少なくとも部分的に被覆するように、前記第１マスクシートの傍らに前記第２マスクシートを取り付けるステップと、を含む。

たとえば、本発明の一態様に係るマスクプレートの組立方法において、前記マスクプレートは、１つの開口を含むフレームと、複数の支持バーと、をさらに備え、前記組立方法は、前記支持バーの各々の両端を前記フレームに固定して取り付けるステップと、前記開口を完全に隠すように、前記第１マスクシートと前記第２マスクシートとを前記支持バーに交互に取り付けるとともに、前記フレームに固定するステップと、をさらに含む。

たとえば、本発明の一態様に係るマスクプレートの組立方法において、前記フレームは、支持バー取付面をさらに含み、前記組立方法は、前記支持バーの前記第１マスクシートへの正投影が前記第１周辺領域にあり、前記支持バーの前記第２マスクシートへの正投影が前記第２周辺領域にあるように、前記第１マスクシートにおける第１マスク領域の位置と前記第２マスクシートにおける第２マスク領域の位置に応じて、前記支持バーを取り付けるステップをさらに含む。

たとえば、本発明の一態様に係るマスクプレートの組立方法において、前記第１マスクシートを間隔をあけて取り付けるステップは、前記フレームの中間から両側へ、前記第１マスクシートを間隔をあけて順に取り付けることを含む。

本発明の実施形態に関わる技術手段をより明確に説明するために、以下、実施例の図面について簡単に説明するが、勿論、以下の説明における図面は本発明の実施形態の一部に過ぎず、本発明を制限するものではない。

マスクプレートの平面模式図である。 本発明の一実施形態に係るマスクシートの平面模式図である。 本発明の一実施形態に係る別のマスクシートの平面模式図である。 本発明の一実施形態に係るマスクシートの側面模式図である。 本発明の一実施形態に係る別のマスクシートの側面模式図である。 本発明の一実施形態に係る別のマスクシートの側面模式図である。 本発明の一実施形態に係る別のマスクシートの平面模式図である。 本発明の一実施形態に係る別のマスクシートの平面模式図である。 本発明の一実施形態に係る肉抜部の横断面模式図である。 本発明の一実施形態に係る別の肉抜部の横断面模式図である。 本発明の一実施形態に係るマスクプレートの部分平面模式図である。 本発明の一実施形態に係る別のマスクプレートの部分平面模式図である。 本発明の一実施形態に係るマスクプレートの平面模式図である。 本発明の一実施形態に係る支持バー取付面の模式図である。 本発明の一実施形態に係るマスクプレート組立方法のフローチャートである。

以下、本発明の目的、技術手段、およびメリットをより明白にするため、本発明の実施形態に係る技術思想について本発明の実施形態の図面を参照しながら全体として明確に説明する。説明された実施例が本発明の一部の実施例のみであり、本発明の全ての実施例ではないことは明白であろう。当業者には、開示された本発明の実施例に基づき、容易に成し遂げることができた他の実施例の全ては本発明の精神から逸脱しない。

特に定義しない限り、本開示に使用された技術用語または科学用語は、当業者に理解される一般的な意味である。本発明に係る特許出願の明細書及び特許請求の範囲に使用される「第１」「第２」のような用語は順序、数量または重要性を示すものではなく、異なる構成要素を区別するものにすぎない。同様に、「１つ」や「一」等のような用語は数量を制限するものではなく、少なくとも１つあることを意味する。「接続」や「連結」等のような用語は物理的または機械的接続に限定されなく、直接的や間接的にかかわらず電気的接続を含む。

図１はマスクプレートの平面模式図を示している。図１に示されるように、該マスクプレートは、フレーム５０、被覆バー６０、支持バー４０および複数のマスクシート１０を備え、マスクシート１０は少なくとも１つのマスクプレートパターン１１を含む。フレーム５０に凹溝５４が設置され、支持バー４０は凹溝５４内に溶接され、複数のマスクシート１０はフレーム５０に溶接され、被覆バー６０は少なくとも隣接するマスクシート１０の間に設置されて、堆積または蒸着材料の隣接するマスクシート１０の間の領域での堆積または蒸着を阻止する。研究したところ、本願の発明者により、溶接過程において、被覆バーと支持バーのフレームに対する位置がともに一定であるため、各フレームは一種しかのマスクプレートの溶接に適用できないことが見出される。このため、このようなマスクプレートは、フレームの利用率を大幅に減少させるとともに、マスクプレート全体の溶接のタクトタイム（Ｔａｃｔ Ｔｉｍｅ）の増大を引き起こし、さらに、被覆バーが堆積または蒸着対象となる基板（たとえば、ガラス基板）とマスクシートの間に設置されているため、マスクシートと堆積または蒸着対象となる基板の間の距離が大きく、つまり、マスクシートと堆積または蒸着対象となる基板の密着程度が低下し、堆積または蒸着対象となる基板に堆積または蒸着されるパターンの精度低下を招く。

本発明の実施形態は、マスクシート、マスクプレートおよびマスクプレートの組立方法を提供する。該マスクシートは、少なくとも１つのマスク領域および前記マスク領域を取り囲んだ周辺領域を含み、周辺領域に位置する少なくとも１つのエッジ部が肉抜部を含む。このように、上記マスクシートは、新たなマスクシートを提供しており、該マスクシートを用いたマスクプレートに被覆バーが設置される必要がないので、マスクプレート全体の溶接のタクトタイムを低減させ、マスクプレートの組立効率を向上させる。そして、該マスクシートを用いたマスクプレートでは、隣接するマスクシート同士の密着程度が高まり、製品の精度が向上する。

以下、本発明の実施形態に係るマスクシート、マスクプレートおよびマスクプレートの組立方法について、図面を参照しながら説明する。

本発明の一実施形態は、マスクシートを提供する。図２は、本実施形態によるマスクシートを示している。該マスクシートは、マスク領域１１０およびマスク領域１１０を取り囲んだ周辺領域１２０を含む。該マスクシートの周辺領域１２０に位置する少なくとも１つのエッジ部は肉抜部１２５を含む。たとえば、図２に示されるように、該マスクシートは５つのマスク領域１１０と、マスク領域１１０を取り囲んだ周辺領域１２０、とを含み、周辺領域１２０に位置する１つのエッジ部が肉抜部１２５を含む。なお、本発明の実施形態では、マスク領域の数について制限がなく、マスク領域の数は必要に応じて設定してもよい。また、マスク領域とは、堆積または蒸着パターンを有する領域であり、たとえば、マスク領域は、堆積または蒸着材料を通過させることのできる複数の開口、たとえば複数の四角形スリットまたは複数の条状スリットを含む。

本実施形態に係るマスクシートでは、マスクシートの周辺領域に位置する少なくとも１つのエッジ部は肉抜部を含む。よって、該マスクシートを用いたマスクプレートでは、隣接するマスクシートの肉抜部を少なくとも部分的に重ねることで、重ねられた肉抜部は被覆バーとして機能し、すなわち、堆積または蒸着材料の隣接するマスクシートの間の領域での堆積または蒸着を防止する。従って、該マスクシートを用いたマスクプレートは被覆バーが設置されなくてもよく、このようにして、マスクプレートのコストを削減させる一方、マスクプレート全体の溶接のタクトタイムを減少させて、マスクプレートの組立効率を向上させる。また、該マスクシートを用いたマスクプレートに被覆バーが設置されなくてもよいため、マスクシートと堆積または蒸着対象となる基板の間の距離をより小さく設定することができ、つまり、マスクシートと堆積または蒸着対象となる基板の密着程度を高く設定することができ、それによって、堆積または蒸着対象となる基板に堆積または蒸着されたパターンの精度を向上させることができる。

たとえば、本実施形態の一例によるマスクシートでは、図２に示されるように、肉抜部１２５は上肉抜部１２５１である。上肉抜部１２５１とは、マスクシートの上面１３０から一部の厚さを除去してなる。つまり、上記上肉抜部の厚さがマスクシート本体の厚さよりも小さく、かつ上肉抜部の底面がマスクシート本体の下面と面一である。

たとえば、図３Ａは、本実施形態に係る別のマスクシートの平面模式図を示しており、図３Ｂは、図３Ａに示されるマスクシートの側面模式図である。本実施形態の別の一例によるマスクシートにおいて、肉抜部１２５は下肉抜部１２５２であってもよい。図３Ｂに示されるように、下肉抜部１２５２はマスクシートの下面１４０から一部の厚さを除去してなる。つまり、上記下肉抜部の厚さがマスクシート本体の厚さよりも小さく、かつ下肉抜部の底面がマスクシート本体の上面と面一である。

たとえば、いくつかの例では、肉抜部はそれ以外の構造としてもよい。たとえば、図３Ｃは別のマスクシートの側面模式図、図３Ｄは別のマスクシートの側面模式図を示している。図３Ｃと３Ｄに示されるように、肉抜部１２５は、中間肉抜部１２５３または両側肉抜部１２５４を含んでおり、中間肉抜部１２５３はマスクシートの上面１３０と下面１４０の間の部分から一部の厚さを除去してなり、両側肉抜部１２５４はマスクシートの上面１３０と下面１４０から一部の厚さを同時に除去してなる。

たとえば、図４は本実施形態に係る別のマスクシートの平面模式図を示しており、本実施形態の一例によるマスクシートでは、マスクシートは延出方向を有し、周辺領域１２０に位置しかつ該延出方向に延出している第１エッジ部１２１および第２エッジ部１２２を含み、すなわち、上記少なくとも１つのエッジは該延出方向に延出している第１エッジ部１２１および第２エッジ部１２２を含み、第１エッジ部１２１と第２エッジ部１２２はともに肉抜部１２５を含む。よって、該マスクシートは、隣接する両側にあるマスクシートと肉抜部が少なくとも部分的に重なることにより被覆バーとして機能できる。なお、上記延出方向とは、マスクシートの長手方向である。

たとえば、図４に示されるように、該マスクシートの第１エッジ部１２１と第２エッジ部１２２の肉抜部１２５はともに上肉抜部１２５１である。

たとえば、図５は本実施形態に係る別のマスクシートの平面模式図を示しており、該マスクシートの第１エッジ部１２１と第２エッジ部１２２の肉抜部１２５はともに下肉抜部１２５２である。

なお、上記図４と図５に示されるマスクシートの第１エッジ部と第２エッジ部の肉抜部は同種の肉抜部であり、すなわち上肉抜部または下肉抜部であり、それによって、取り付けや溶接が容易になる。勿論、本発明の実施形態はそれに制限されず、マスクシートの第１エッジ部と第２エッジ部の肉抜部は異種の肉抜部としてもよい。

たとえば、図６は本実施形態に係る別の肉抜部の横断面模式図を示しており、図６では、左側が上肉抜部、右側が下肉抜部を示している。図６に示されるように、上肉抜部１２５１と下肉抜部１２５２とは、横断面形状が段状である。つまり、肉抜部は部分的に薄肉化されている。

たとえば、図７は本実施形態に係る別の肉抜部の横断面模式図を示しており、図７では、左側が上肉抜部、右側が下肉抜部を示している。図７に示されるように、上肉抜部１２５１と下肉抜部１２５２とは、横断面形状が台形状である。

なお、本発明の実施形態による肉抜部の横断面形状は、上記図６と図７に示される形状を含むが、それらに制限されない。

本発明の一実施形態はマスクプレートをさらに提供する。図８は、本実施形態に係るマスクプレートの部分平面模式図を示しており、該マスクプレートは、第１マスクシート２００と第２マスクシート３００を含む。第１マスクシート２００は、少なくとも１つの第１マスク領域２１０と第１マスク領域２１０を取り囲んだ第１周辺領域２２０とを含み、第１周辺領域２２０に位置する少なくとも１つのエッジ部が上肉抜部２２５１を含む。第２マスクシート３００は、少なくとも１つの第２マスク領域３１０と第２マスク領域３１０を取り囲んだ第２周辺領域３２０とを含み、第２周辺領域３２０に位置する少なくとも１つのエッジ部が下肉抜部３２５２を含む。第１マスクシート２００と第２マスクシート３００とは、交互に設置されるとともに、隣接する第１マスクシート２００と第２マスクシート３００の上肉抜部２２５１と下肉抜部３２５２が少なくとも部分的に重るようにして設置される。

本実施形態に係るマスクプレートでは、第１マスクシートの第１周辺領域に位置する少なくとも１つのエッジ部は上肉抜部を含んでおり、第２マスクシートの第２周辺領域に位置する少なくとも１つのエッジ部は下肉抜部を含んでおり、そして、隣接する第１マスクシートと第２マスクシートの上肉抜部と下肉抜部は少なくとも部分的に重なって設置される。よって、隣接する第１マスクシートと第２マスクシートの少なくとも部分的に重なって設置された上肉抜部と下肉抜部は被覆バーとして機能し、すなわち、堆積または蒸着材料の隣接する第１マスクシートと第２マスクシートの間の領域（隙間）での堆積または蒸着を防止する。従って、該マスクプレートは、被覆バーが設置されなくてもよく、このようにして、マスクプレートのコストを削減させる一方、マスクプレート全体の溶接のタクトタイムを減少させて、マスクプレートの組立効率を向上させる。また、該マスクプレートに被覆バーが設置されていないため、第１マスクシートおよび第２マスクシートと堆積または蒸着対象となる基板との間の距離を小さく設定し、つまり、第１マスクシートおよび第２マスクシートと堆積または蒸着対象となる基板との密着程度を高く設定し、それによって、堆積または蒸着対象となる基板に堆積または蒸着されたパターンの精度を向上させることができる。

たとえば、本実施形態の一例によるマスクプレートでは、図８に示されるように、該マスクプレートは、第１マスクシート２００と第２マスクシート３００を含んでおり、このような場合、第１マスクシート２００は、第１周辺領域２２０に位置しかつ第２マスクシート３００から離れたエッジ部に上肉抜部が設置されなくてもよく、第２マスクシート３００は、第２周辺領域３２０に位置しかつ第１マスクシート２００から離れたエッジ部に下肉抜部が設置されなくてもよい。勿論、本発明の実施形態はそれに制限されず、第１マスクシートの第１周辺領域では、第２マスクシートから離れたエッジ部に上肉抜部が設置されてもよく、同様に、第２マスクシートの第２周辺領域では、第１マスクシートから離れたエッジ部に下肉抜部が設置されてもよい。

なお、隣接する第１マスクシートと第２マスクシートの上肉抜部と下肉抜部が少なくとも部分的に重なって設置されることは、上肉抜部と下肉抜部が完全に重なって設置される場合と、上肉抜部と下肉抜部が部分的に重なって設置される場合とを含み、重なって設置される上肉抜部と下肉抜部は、堆積または蒸着材料の隣接する第１マスクシートと第２マスクシートの間の領域（隙間）での堆積または蒸着を防止する作用を果たすことができればよい。たとえば、図８に示されるように、第１マスクシート２００と第２マスクシート３００の上肉抜部２２５１と下肉抜部３２５２は部分的に重なって設置されるため、下肉抜部３２５２と第１周辺領域２２０の未薄肉化部分との間に間隔Ｄがある。

図９は本実施形態に係る別のマスクプレートの部分平面模式図を示している。図９に示されるように、該マスクプレートでは、第１マスクシート２００と第２マスクシート３００の上肉抜部２２５１と下肉抜部３２５２は完全に重なって設置されるため、下肉抜部３２５２と第１周辺領域２２０の未薄肉化部分が接続されている。

たとえば、本実施形態の一例によるマスクプレートでは、図９に示されるように、第１マスクシート２００は、第１延出方向を有するとともに、第１周辺領域２２０に位置しかつ第１延出方向に延出している第１エッジ部２２１および第２エッジ部２２２を含んでおり、第１エッジ部２２１と第２エッジ部２２２はともに上肉抜部２２５１を含む。第２マスクシート３００は、第２延出方向を有するとともに、第２周辺領域３２０に位置しかつ第２延出方向に延出している第３エッジ部３２３と第４エッジ部３２４を含んでおり、第３エッジ部３２３と第４エッジ部３２４は下肉抜部３２５２を含む。このように、該マスクプレートは、第１マスクシートと第２マスクシートを任意の数で交互に設置することで、寸法の異なるマスクプレートを形成することができる。なお、上記第１延出方向とは、第１マスクシートの長手方向であり、上記第２延出方向とは、第２マスクシートの長手方向であり、第１延出方向と第２延出方向は同一方向としてもよい。

たとえば、本実施形態の一例によるマスクプレートでは、第１マスクシートの第１周辺領域と第２マスクシートの第２周辺領域の厚さがほぼ同じであり、重なって設置された第１マスクシートの上肉抜部と第２マスクシートの下肉抜部の全体厚さが第１周辺領域または第２周辺領域の厚さとほぼ同じである。よって、該マスクプレートでは、交互に設置された第１マスクシートと第２マスクシートの平坦度が高まり、それによって、堆積または蒸着対象となる基板に堆積または蒸着されたパターンの精度をより向上させることができる。なお、上記厚さがほぼ同じであるとは、両方の厚さの差が５％以下であることをいう。

たとえば、本実施形態の一例によるマスクプレートでは、上肉抜部と下肉抜部の横断面形状は段状または台形状を含む。具体的には、実施形態１の関連説明を参照すればよく、ここでは詳細な説明を省略する。

図１０は本実施形態に係るマスクプレートの平面模式図を示している。図１０に示されるように、該マスクプレートは、１つの開口（未図示）を有するフレーム５００と、両端がフレーム５００に固定された複数の支持バー４００とをさらに備える。第１マスクシート２００と第２マスクシート３００とは、開口を完全に隠すように、支持バー４００に交互に設置されるとともに、フレーム５００に固定して設置される。よって、第１マスクシートと第２マスクシートは、フレームにおいて展開または緊張状態になり得る。

たとえば、本実施形態の一例によるマスクプレートでは、図１０に示されるように、支持バー４００は、第１延出方向と第２延出方向に対してほぼ垂直な第３延出方向を有する。なお、上記ほぼ垂直とは、それらのなす角が１°以下の範囲であることをいう。

たとえば、本実施形態の一例によるマスクプレートでは、図１０に示されるように、支持バー４００の第１マスクシート２００への正投影は、第１マスクシート２００の第１周辺領域２２０にあり、支持バー４００の第２マスクシート３００への正投影は、第２マスクシート３００の第２周辺領域３２０にある。つまり、支持バー４００は、第１マスクシート２００と第２マスクシート３００を支持する役割を果たすものであり、第１マスクシート２００にある第１マスクプレートパターン２１０と第２マスクシート３００にある第２マスクプレートパターン３１０を遮断することがない。

たとえば、本実施形態の一例によるマスクプレートでは、フレーム５００は、支持バー取付面５４０を含み、支持バー４００は、両端が支持バー取付面５４０に固定される。よって、フレームは、支持バーごとに凹溝が設置されるのではないため、支持バーは、マスクシートの寸法とパラメータ（たとえばマスクシートでのマスクプレートパターンの位置と数量）に応じて設置されてもよい。１つのフレームは、複数種のマスクプレートの組立に用いられるため、フレームの利用率を向上させる。

図１１は、本実施形態に係る支持バー取付面の模式図を示している。図１１に示されるように、支持バー取付面５４０は、フレーム５００の表面へ窪んだ面であり、その窪んだ深さｈが支持バー４００の厚さに応じて設定でき、たとえば同じにし、つまり、支持バーの両端が支持バー取付面に固定されると、支持バーとフレーム本体の表面は面一になる。勿論、支持バー取付面の窪んだ深さは、支持バーの厚さに応じて設定されなくてもよく、本発明の実施形態はこれを制限していない。

本実施形態に係るマスクプレートでは、第１延出方向に沿い、かつ隣接する第１マスクシートと第２マスクシートの間に位置する被覆バーが設置されなくてもよい。よって、マスクプレートのコストを削減させる一方、マスクプレート全体の溶接のタクトタイムを減少させて、マスクプレートの組立効率を向上させる。また、該マスクプレートに被覆バーが設置されていないため、第１マスクシートおよび第２マスクシートと堆積または蒸着対象となる基板との間の距離を小さく設定し、つまり、第１マスクシートおよび第２マスクシートと堆積または蒸着対象となる基板との密着程度を高く設定し、それによって、堆積または蒸着対象となる基板に堆積または蒸着されたパターンの精度を向上させることができる。

本発明の一実施形態はマスクプレートの組立方法をさらに提供する。該マスクプレートは、第１マスクシートと第２マスクシートを含んでおり、第１マスクシートは、少なくとも１つの第１マスク領域および第１マスク領域を取り囲んだ第１周辺領域を含み、第１周辺領域に位置する少なくとも１つのエッジ部が上肉抜部を含んでおり、第２マスクシートは、少なくとも１つの第２マスク領域および第２マスク領域を取り囲んだ第２周辺領域を含み、第２周辺領域に位置する少なくとも１つのエッジ部が上肉抜部を含む。該組立方法は、図１２に示されるように、ステップＳ３０１とステップＳ３０２を含む。

ステップＳ３０１において、第１マスクシートを間隔をあけて取り付ける。

ステップＳ３０２において、第２マスクシートの下肉抜部が第１マスクシートの上肉抜部を少なくとも部分的に被覆するように、第１マスクシートの傍らに第２マスクシートを取り付ける。

よって、隣接する第１マスクシートと第２マスクシートの上肉抜部と下肉抜部は少なくとも部分的に重なって設置される。従って、該マスクプレートに被覆バーが設置されなくてもよいため、マスクプレートのコストを削減させる一方、マスクプレート全体の溶接のタクトタイムを減少させて、マスクプレートの組立効率を向上させる。また、該マスクプレートに被覆バーが設置されていないため、第１マスクシートおよび第２マスクシートと堆積または蒸着対象となる基板との間の距離を小さく設定し、つまり、第１マスクシートおよび第２マスクシートと堆積または蒸着対象となる基板との密着程度を高く設定し、それによって、堆積または蒸着対象となる基板に堆積または蒸着されたパターンの精度を向上させることができる。そして、上肉抜部を有する第１マスクシートを先に設置してから、上肉抜部を有する第２マスクシートを取り付けるため、該マスクプレートの組立が容易になる。

たとえば、本実施形態の一例によるマスクプレートの組立方法では、マスクプレートは１つの開口を含むフレームと、複数の支持バーをさらに備えており、該組立方法は、各支持バーの両端をフレームに固定して取り付けるステップと、開口を完全に隠すように、第１マスクシートと第２マスクシートとを支持バーに交互に取り付けるとともに、フレームに固定するステップと、をさらに含む。

たとえば、本実施形態の一例によるマスクプレートの組立方法では、フレームは支持バー取付面を含み、該組立方法は、支持バーの第１マスクシートでの正投影が第１マスクシートの第１周辺領域にあり、支持バーの第２マスクシートでの正投影が第２マスクシートの第２周辺領域にあるように、第１マスクシートでの第１マスク領域の位置と第２マスクシートでの第２マスク領域の位置に応じて支持バーを取り付けるステップをさらに含む。よって、支持バーは、第１マスクシートと第２マスクシートを支持する作用を果たし、第１マスクシートにある第１マスクプレートパターンと第２マスクシートにある第２マスクプレートパターンとを遮断することがない。そして、支持バーは、マスクシートの寸法とパラメータ（たとえばマスクシートでのマスクプレートパターンの位置と数量）に応じて設置されてもよい。１つのフレームは、複数種のマスクプレートの組立に用いられるため、フレームの利用率を向上させる。

たとえば、本実施形態の一例によるマスクプレートの組立方法では、第１マスクシートを間隔をあけて取り付けるステップは、前記フレームの中間から両側へ、間隔をあけて順に取り付け、たとえば第１マスクシートを溶接することを含む。

なお、
（１）本発明の実施形態の図面は、本発明の実施形態に係る構造のみに関し、他の構造は通常の設計を参照すればよい。
（２）矛盾がない限り、本発明の同一実施形態および異なる実施形態における特徴は互いに組み合わせてもよい。

以上、本発明の具体的な実施形態を説明したが、本発明の保護範囲はこれらに限定されるものではなく、本開示に記載の技術的範囲を超えていない限り、当業者により容易に成し遂げることができた変更や置換はすべて本発明の保護範囲に属する。従って、本発明の保護範囲は、添付した特許請求の範囲に定められる。

１０ マスクシート
１１ マスクプレートパターン
４０ 支持バー
５０ フレーム
５４ 凹溝
６０ 被覆バー
１１０ マスク領域
１２０ 周辺領域
１２１ 第１エッジ部
１２２ 第２エッジ部
１２５ 肉抜部
１３０ 上面
１４０ 下面
２００ 第１マスクシート
２２０ 第１周辺領域
２２１ 第１エッジ部
２２２ 第２エッジ部
３００ 第２マスクシート
３２０ 第２周辺領域
３２３ 第３エッジ部
３２４ 第４エッジ部
４００ 支持バー
５００ フレーム
５４０ 支持バー取付面
１２５１ 上肉抜部
１２５２ 下肉抜部
１２５３ 中間肉抜部
１２５４ 両側肉抜部
２２５１ 上肉抜部
３２５２ 下肉抜部

Claims (9)

1. 第１マスク領域、および前記第１マスク領域を取り囲んだ第１周辺領域を含んでおり、前記第１周辺領域に位置する少なくとも１つのエッジ部が上肉抜部を含む第１マスクシートと、
   第２マスク領域、および前記第２マスク領域を取り囲んだ第２周辺領域を含んでおり、前記第２周辺領域に位置する少なくとも１つのエッジ部が下肉抜部を含む第２マスクシートと、を備えるマスクプレートであって、
   前記第１マスクシートと前記第２マスクシートとは、交互に設置されるとともに、隣接する前記第１マスクシートと前記第２マスクシートにおける前記上肉抜部と前記下肉抜部が少なくとも部分的に重なり、
   前記第１マスクシートは、長手方向である第１延出方向を有し、前記第２マスクシートは、長手方向である第２延出方向を有し、
   前記マスクプレートは、フレームと、複数の支持バーと、をさらに備え、前記フレームは、１つの開口を含み、前記複数の支持バーのそれぞれの両端は、前記フレームに固定され、前記第１マスクシートと前記第２マスクシートとは、前記開口を完全に隠すように、前記複数の支持バーに交互に設置されるとともに、前記フレームに固定して設置され、
   前記フレームは、１つの第１支持バー取付面と、１つの第２支持バー取付面と、をさらに含み、前記複数の支持バーのそれぞれは、前記複数の支持バーの第３延出方向に沿って、第１端と、第２端と、を含み、前記複数の支持バーの第１端は、前記第１支持バー取付面に固定して設置され、前記複数の支持バーの第２端は、前記第２支持バー取付面に固定して設置され、前記第１支持バー取付面および前記第２支持バー取付面の双方は、前記フレームの表面上の窪んだ面であり、前記第１支持バー取付面および前記第２支持バー取付面の深さは、前記支持バーの厚さと同じである
   マスクプレート。
2. 前記第１マスクシートは、前記第１周辺領域に位置しかつ前記第１延出方向に延出している第１エッジ部および第２エッジ部を含んでおり、前記第１エッジ部と前記第２エッジ部は、前記上肉抜部を含み、
   前記第２マスクシートは、前記第２周辺領域に位置しかつ前記第２延出方向に延出している第３エッジ部および第４エッジ部を含んでおり、前記第３エッジ部と前記第４エッジ部は、前記下肉抜部を含む
   請求項１に記載のマスクプレート。
3. 前記第１周辺領域と前記第２周辺領域とは厚さがほぼ同じであり、重なって設置された前記上肉抜部と前記下肉抜部の全体厚さは前記第１周辺領域および／または前記第２周辺領域の厚さとほぼ同じである
   請求項１または２に記載のマスクプレート。
4. 前記上肉抜部と前記下肉抜部は、横断面形状が段状または台形状を含む
   請求項１または２に記載のマスクプレート。
5. 前記支持バーの前記第１マスクシートへの正投影は前記第１マスクシートの前記第１周辺領域にあり、前記支持バーの前記第２マスクシートへの正投影が前記第２マスクシートの前記第２周辺領域にある
   請求項１に記載のマスクプレート。
6. 前記第１延出方向と前記第２延出方向は、前記支持バーの前記第３延出方向にほぼ垂直である
   請求項１に記載のマスクプレート。
7. 前記マスクプレートは、前記第１延出方向に沿いかつ隣接する前記第１マスクシートと前記第２マスクシートの間に位置する被覆バーが設置されていない
   請求項１～６のいずれか１項に記載のマスクプレート。
8. マスクプレートの組立方法であって、
   前記マスクプレートは、
   第１マスク領域、および前記第１マスク領域を取り囲んだ第１周辺領域を含んでおり、前記第１周辺領域に位置する少なくとも１つのエッジ部が上肉抜部を含む第１マスクシートと、
   第２マスク領域、および前記第２マスク領域を取り囲んだ第２周辺領域を含んでおり、前記第２周辺領域に位置する少なくとも１つのエッジ部が下肉抜部を含む第２マスクシートと、
   １つの開口を含むフレームと、
   複数の支持バーと、を備え、
   前記フレームは、１つの第１支持バー取付面と、１つの第２支持バー取付面と、を含み、前記複数の支持バーのそれぞれは、前記複数の支持バーの第３延出方向に沿って、第１端と、第２端と、を含み、前記複数の支持バーの第１端は、前記第１支持バー取付面に固定して設置され、前記複数の支持バーの第２端は、前記第２支持バー取付面に固定して設置され、前記第１支持バー取付面および前記第２支持バー取付面の双方は、前記フレームの表面上の窪んだ面であり、前記第１支持バー取付面および前記第２支持バー取付面の深さは、前記支持バーの厚さと同じであり、
   前記組立方法は、
   前記第１マスクシートを間隔をあけて取り付けるステップと、
   前記第２マスクシートの前記下肉抜部が前記第１マスクシートの前記上肉抜部を少なくとも部分的に被覆するように、前記第１マスクシートの傍らに前記第２マスクシートを取り付けるステップと、
   前記複数の支持バーの前記第１マスクシートへの正投影が前記第１周辺領域にあり、前記複数の支持バーの前記第２マスクシートへの正投影が前記第２周辺領域にあるように、前記第１マスクシートにおける前記第１マスク領域の位置と前記第２マスクシートにおける前記第２マスク領域の位置に応じて、前記複数の支持バーを取り付けるステップと、を含む
   マスクプレートの組立方法。
9. 前記第１マスクシートを間隔をあけて取り付けるステップは、前記フレームの中間から両側へ、前記第１マスクシートを間隔をあけて順に取り付けることを含む
   請求項８に記載のマスクプレートの組立方法。

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