CN206902222U - 掩模片和掩模板 - Google Patents

Abstract

一种掩模片和掩模板。该掩模片包括至少一个掩模区域以及围绕所述掩模区域的周边区域；所述掩模片位于周边区域的至少一个边缘部包括厚度减薄部。由此，该掩模片提供一种新型的掩模片，使得使用该掩模片的掩模板无需设置覆盖条，从而可降低掩模板整体的焊接的节拍时间，提高掩模板的组装效率。

Description

掩模片和掩模板

技术领域

本实用新型的实施例涉及一种掩模片和一种掩模板。

背景技术

随着显示技术的不断发展，通常的显示器包括液晶显示器(Liquid CrystalDisplay，LCD)、有机电致发光显示器(Organic Light Emitting Diode，OLED)、等离子显示器(Plasma Display Panel，PDP)以及电子墨水(Electronic Ink)显示器等。因其具有功耗低、轻薄、高色域、显示亮度高、可视角度宽以及响应速度快等优点，有机电致发光显示器显示器越来越受到市场的欢迎。

精细金属掩模板(FMM Mask)是由框架(Frame)、覆盖条(Cover)、支撑条(Howling)以及精细金属掩模片(Fine Metal Mask Sheet，FMM Sheet)焊接组合而成。精细金属掩模片是一种将沉积材料或蒸镀材料沉积或蒸镀到基板上并形成精细图案的掩模片。通常，精细金属掩模片(FMM Sheet)包括多个允许沉积材料通过的开口，例如多个方形狭缝或多个条形狭缝，以将沉积材料或蒸镀材料沉积或蒸镀到基板上并形成精细图案的掩模。

实用新型内容

本实用新型至少一个实施例提供一种掩模片、一种掩模板以及一种掩模板的组装方法。该掩模片提供一种新型的掩模片，使得使用该掩模片的掩模板无需设置覆盖条，从而可降低掩模板整体的焊接的节拍时间，提高掩模板的组装效率。

本实用新型至少一个实施例提供一种掩模片，其包括：至少一个掩模区域；以及围绕所述掩模区域的周边区域，所述掩模片位于所述周边区域的至少一个边缘部包括厚度减薄部。

例如，在本实用新型一实施例提供的掩模片中，所述掩模片具有一延伸方向，所述至少一个边缘部包括沿所述延伸方向延伸的第一边缘部和第二边缘部，所述第一边缘部和所述第二边缘部包括所述厚度减薄部。

例如，在本实用新型一实施例提供的掩模片中，所述厚度减薄部包括上厚度减薄部或下厚度减薄部，所述上厚度减薄部为从所述掩模片的上表面去除部分厚度得到的，所述下厚度减薄部为从所述掩模片的下表面去除部分厚度得到的。

例如，在本实用新型一实施例提供的掩模片中，所述厚度减薄部的横截面形状包括阶梯形或梯形。

本实用新型至少一个实施例提供一种掩模板，其包括：第一掩模片，包括至少一个第一掩模区域以及围绕所述第一掩模区域的第一周边区域，所述第一掩模片位于所述第一周边区域的至少一个边缘部包括上厚度减薄部；以及第二掩模片，包括至少一个第二掩模区域以及围绕所述第二掩模区域的第二周边区域，所述第二掩模片位于所述第二周边区域的至少一个边缘部包括下厚度减薄部，所述第一掩模片和所述第二掩模片交替设置，且相邻的所述第一掩模片和所述第二掩模片的所述上厚度减薄部和所述下厚度减薄部至少部分交叠设置。

例如，在本实用新型一实施例提供的掩模板中，所述第一掩模片具有第一延伸方向，所述第一掩模片包括位于所述第一周边区域且沿所述第一延伸方向延伸的第一边缘部和第二边缘部，所述第一边缘部和所述第二边缘部包括所述上厚度减薄部；所述第二掩模片具有第二延伸方向，所述第二掩模片包括位于第二周边区域且沿所述第二延伸方向延伸的第三边缘部和第四边缘部，所述第三边缘部和所述第四边缘部包括所述下厚度减薄部。

例如，在本实用新型一实施例提供的掩模板中，所述第一周边区域和所述第二周边区域的厚度相同，交叠设置的所述上厚度减薄部与所述下厚度减薄部的整体厚度与所述第一周边区域和/或所述第二周边区域的厚度相同。

例如，在本实用新型一实施例提供的掩模板中，所述上厚度减薄部和所述下厚度减薄部的横截面形状包括阶梯形或梯形。

例如，在本实用新型一实施例提供的掩模板中，还包括：框架，包括一开口；多个支撑条，各所述支撑条的两端固定设置在所述框架上，所述第一掩模片和所述第二掩模片交替设置在所述支撑条上，并固定设置在所述框架上以将所述开口完全遮挡。

例如，在本实用新型一实施例提供的掩模板中，所述支撑条在所述第一掩模片上的正投影落入所述第一掩模片的所述第一周边区域，所述支撑条在所述第二掩模片上的正投影落入所述第二掩模片的所述第二周边区域。

例如，在本实用新型一实施例提供的掩模板中，所述框架包括支撑条安装面，各所述支撑条的两端固定设置在所述支撑条安装面上。

例如，在本实用新型一实施例提供的掩模板中，所述第一延伸方向和所述第二延伸方向垂直于所述支撑条的第三延伸方向。

例如，在本实用新型一实施例提供的掩模板中，所述掩模板不设置沿所述第一延伸方向并位于相邻的所述第一掩模片和所述第二掩模片之间的覆盖条。

本实用新型至少一个实施例提供一种掩模板的组装方法，所述掩模板包括：第一掩模片，包括至少一个第一掩模区域以及围绕所述第一掩模区域的第一周边区域，所述第一掩模片位于所述第一周边区域的至少一个边缘部包括上厚度减薄部；以及第二掩模片，包括至少一个第二掩模区域以及围绕所述第二掩模区域的第二周边区域，所述第二掩模片位于所述第二周边区域的至少一个边缘部包括上厚度减薄部，所述组装方法包括：间隔安装所述第一掩模片；以及在所述第一掩模片的旁边安装所述第二掩模片，所述第二掩模片的所述下厚度减薄部至少部分覆盖所述第一掩模片的所述上厚度减薄部。

例如，在本实用新型一实施例提供的掩模板的组装方法中，所述掩模板还包括框架和多个支撑条，所述框架包括一开口，所述组装方法还包括：将各所述支撑条的两端固定安装在所述框架上；以及将所述第一掩模片和所述第二掩模片交替安装在所述支撑条上，并固定在所述框架上以将所述开口完全遮挡。

例如，在本实用新型一实施例提供的掩模板的组装方法中，所述框架还包括支撑条安装面，所述组装方法还包括：根据所述第一掩模片上的第一掩模区域的位置和所述第二掩模片上的第二掩模区域的位置安装所述支撑条以使所述支撑条在所述第一掩模片上的正投影落入所述第一周边区域，所述支撑条在所述第二掩模片上的正投影落入所述第二周边区域。

附图说明

为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本公开的一些实施例，而非对本公开的限制。

图1为一种掩模板的平面示意图；

图2为本实用新型一实施例提供的一种掩模片的平面示意图；

图3为本实用新型一实施例提供的另一种掩模片的平面示意图；

图4为本实用新型一实施例提供的另一种掩模片的平面示意图；

图5为本实用新型一实施例提供的另一种掩模片的平面示意图；

图6为本实用新型一实施例提供的一种厚度减薄部的横截面示意图；

图7为本实用新型一实施例提供的另一种厚度减薄部的横截面示意图；

图8为本实用新型一实施例提供的一种掩模板的局部平面示意图；

图9为本实用新型一实施例提供的另一种掩模板的局部平面示意图；

图10为本实用新型一实施例提供的一种掩模板的平面示意图；

图11为本实用新型一实施例提供的一种支撑条安装面的示意图；以及

图12为本实用新型一实施例提供的一种掩模板组装方法的流程图。

具体实施方式

为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。

除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。

图1示出了一种掩模板的平面示意图。如图1所示，该掩模板包括框架50、覆盖条60、支撑条40以及多个掩模片10，掩模片10包括至少一个掩模图案11。框架50上设置有凹槽54，支撑条40焊接在凹槽54内，多个掩模片10焊接在框架50上，覆盖条60至少设置在相邻的掩模片10之间，以阻挡沉积或蒸镀材料在相邻的掩模片10之间的区域的沉积或蒸镀。在研究中，本申请的发明人发现：在焊接的过程中，覆盖条和支撑条相对于框架的位置均是固定的，因此每个框架只能对应一种类型的掩模板的焊接。因此这种掩模板在很大程度上降低了框架的利用率，并且导致掩模板整体的焊接的节拍时间(Tact Time)增长；并且，由于覆盖条设置在待沉积或蒸镀的基板(例如，玻璃基板)与掩模片之间，掩模片与待沉积或蒸镀的基板之间的距离较大，也就是说掩模片与待沉积或蒸镀的基板的贴合程度较低，会造成沉积或蒸镀到待沉积或蒸镀的基板上图案的精度相对较低。

本实用新型实施例提供一种掩模片、一种掩模板以及一种掩模板的组装方法。该掩模片包括至少一个掩模区域以及围绕所述掩模区域的周边区域；该掩模片位于周边区域的至少一个边缘部包括厚度减薄部。由此，该掩模片提供一种新型的掩模片，使得使用该掩模片的掩模板无需设置覆盖条，从而可降低掩模板整体的焊接的节拍时间，提高掩模板的组装效率。并且，使用该掩模片的掩模板中相邻的掩模片直接的贴合程度较高，可提高产品的精度。

下面，结合附图对本实用新型实施例提供的掩模片、掩模板以及掩模板的组装方法进行说明。

实施例一

本实施例提供一种掩模片。图2示出了根据本实施例的一种掩模片；该掩模片包括至少一个掩模区域110以及围绕掩模区域110的周边区域120。该掩模片位于周边区域120的至少一个边缘部包括厚度减薄部125。例如，如图2所示，该掩模片包括五个掩模区域110和围绕掩模区域110的周边区域120，该掩模片位于周边区域120的一个边缘部包括厚度减薄部125。需要说明的，本实用新型实施例对掩模区域的个数不作限制，掩模区域的个数可根据实际情况进行设置。另外，掩模区域是指具有沉积或蒸镀图案的区域，例如，掩模区域包括多个允许沉积或蒸镀材料通过的开口，例如多个方形狭缝或多个条形狭缝。

在本实施例提供的掩模片中，掩模片位于周边区域的至少一个边缘部包括厚度减薄部。由此，在采用该掩模片的掩模板中，可将相邻的掩模片的厚度减薄部至少部分重叠，从而使重叠的厚度减薄部可以起到覆盖条的作用，即以阻挡沉积或蒸镀材料在相邻的掩模片之间的区域的沉积或蒸镀。因此，采用该掩模片的掩模板可不设置覆盖条，一方面可减少掩模板的成本，另一方面可减少掩模板的整体的焊接的节拍时间，提高掩模板的组装效率。另外，由于采用该掩模片的掩模板可不设置覆盖条，掩模片与待沉积或蒸镀的基板之间的距离可设置地较小，也就是说掩模片与待沉积或蒸镀的基板的贴合程度可设置地较高，从而可提高沉积或蒸镀到待沉积或蒸镀的基板上图案的精度。

例如，在本实施例一示例提供的掩模片中，如图2所示，厚度减薄部125为上厚度减薄部1251。上厚度减薄部是指从掩模片的上表面130去除部分厚度得到的。也就是说，上述的上厚度减薄部的厚度小于掩模片本体的厚度，并且上厚度减薄部的底面与掩模片本体的下表面处于同一平面上。

例如，图3示出了根据本实施例的另一种的掩模片的平面示意图，在本实施例另一示例提供的掩模片中，厚度减薄部125也可为下厚度减薄部1252。下厚度减薄部1252是指从掩模片的下表面(图中未示出)去除部分厚度得到的。也就是说，上述的下厚度减薄部的厚度小于掩模片本体的厚度，并且下厚度减薄部的底面与掩模片本体的上表面处于同一平面上。

例如，图4示出了根据本实施例的另一种的掩模片的平面示意图，在本实施例一示例提供的掩模片中，掩模片具有一延伸方向，该掩模片包括位于周边区域120且沿该延伸方向延伸的第一边缘部121和第二边缘部122，即上述的至少一个边缘包括沿该延伸方向延伸的第一边缘部121和第二边缘部122，第一边缘部121和第二边缘部122都包括厚度减薄部125。由此，该掩模片可同时与相邻两侧的掩模片通过厚度减薄部的至少部分重叠来替代覆盖条的作用。需要说明的是，上述的延伸方向是指掩模片在长度上延长、伸展的方向。

例如，如图4所示，该掩模片的第一边缘部121和第二边缘部122的厚度减薄部125都为上厚度减薄部1251。

例如，图5示出了根据本实施例的另一种的掩模片的平面示意图，该掩模片的第一边缘部121和第二边缘部122的厚度减薄部125都为下厚度减薄部1252。

需要说明的是，上述的图4和图5中所示的掩模片的第一边缘部和第二边缘部的厚度减薄部为同一种厚度减薄部，即上厚度减薄部或下厚度减薄部，从而可便于安装和焊接。当然，本实用新型实施例包括但不限于此，掩模片的第一边缘部和第二边缘部的厚度减薄部也可为不同种类的厚度减薄部。

例如，图6示出了另根据本实施例的一种的厚度减薄部的横截面示意图，图6中左侧示出了一种上厚度减薄部，图6中右侧示出了一种下厚度减薄部。如图6所示，上厚度减薄的1251和下厚度减薄部1252的横截面形状可为阶梯形。也就是说，厚度减薄部可以部分被减薄。

例如，图7示出了另根据本实施例的一种的厚度减薄部的横截面示意图，图7中左侧示出了一种上厚度减薄部，图7中右侧示出了一种下厚度减薄部。如图7所示，上厚度减薄的1251和下厚度减薄部1252的横截面形状可为梯形。

需要说明的是，本实用新型实施例提供的厚度减薄部的横截面形状包括但不限于上述图6和7所示的形状。

实施例二

本实施例提供一种掩模板。图8示出了根据本实施例的一种的掩模板的局部平面示意图，该掩模板包括第一掩模片200和第二掩模片300。第一掩模片200包括至少一个第一掩模区域210和围绕第一掩模区域210的第一周边区域220，第一掩模片200位于第一周边区域220的至少一个边缘部包括上厚度减薄部2251；第二掩模片300包括至少一个第二掩模区域310和围绕第二掩模区域310的第二周边区域320，第二掩模片300位于第二周边区域320的至少一个边缘部包括下厚度减薄部3252。第一掩模片200和第二掩模片300交替设置，且相邻的第一掩模片200和第二掩模片300的上厚度减薄部2251和下厚度减薄部3252至少部分交叠设置。

在本实施例提供的掩模板中，第一掩模片位于第一周边区域的至少一个边缘部包括上厚度减薄部，第二掩模片位于第二周边区域的至少一个边缘部包括下厚度减薄部，并且相邻的第一掩模片和第二掩模片的上厚度减薄部和下厚度减薄部至少部分交叠设置。由此，相邻的第一掩模片和第二掩模片至少部分交叠设置的上厚度减薄部和下厚度减薄部可起到覆盖条的作用，即以阻挡沉积或蒸镀材料在相邻的第一掩模片和第二掩模片之间的区域(间隙)的沉积或蒸镀。因此，该掩模板可不设置覆盖条，一方面可减少掩模板的成本，另一方面可减少掩模板的整体的焊接的节拍时间，提高掩模板的组装效率。另外，由于该掩模板不设置覆盖条，第一掩模片和第二掩模片与待沉积或蒸镀的基板之间的距离可设置地较小，也就是说第一掩模片和第二掩模片与待沉积或蒸镀的基板的贴合程度可设置地较高，从而可提高沉积或蒸镀到待沉积或蒸镀的基板上图案的精度。

例如，在本实施例一示例提供的掩模板中，如图8所示，该掩模板包括一个第一掩模片200和一个第二掩模片300，在这种情况下，第一掩模片200位于第一周边区域220且远离第二掩模片300的边缘部可不设置上厚度减薄部，第二掩模片300位于第二周边区域320且远离第一掩模片200的边缘部可不设置下厚度减薄部。当然，本实用新型实施例包括但不限于此，第一掩模片的第一周边区域远离第二掩模片的边缘部也可设置上厚度减薄部，同样地，第二掩模片的第二周边区域远离第一掩模片的边缘部也可设置下厚度减薄部。

需要说明的是，相邻的第一掩模片和第二掩模片的上厚度减薄部和下厚度减薄部至少部分交叠设置包括上厚度减薄部和下厚度减薄部完全交叠设置的情况也包括上厚度减薄部和下厚度减薄部不完全交叠设置的情况，只要交叠设置的上厚度减薄部和下厚度减薄部可起到阻挡沉积或蒸镀材料在相邻的第一掩模片和第二掩模片之间的区域(间隙)的沉积或蒸镀的作用即可。例如，如图8所示，第一掩模片200和第二掩模片300的上厚度减薄部2251和下厚度减薄部3252部分交叠设置，因此，下厚度减薄部3252与第一周边区域220未减薄的部分具有一间隔D。

图9示出了根据本实施例的另一种的掩模板的局部平面示意图。如图9所示，在该掩模板中，第一掩模片200和第二掩模片300的上厚度减薄部2251和下厚度减薄部3252完全交叠设置，因此，下厚度减薄部3252与第一周边区域220未减薄的部分相接。

例如，在本实施例一示例提供的掩模板中，如图9所示，第一掩模片200具有第一延伸方向，第一掩模片200包括位于第一周边区域220且沿第一延伸方向延伸的第一边缘部221和第二边缘部222，第一边缘部221和第二边缘部222都包括上厚度减薄部2251；第二掩模片300具有第二延伸方向，第二掩模片300包括位于第二周边区域320且沿第二延伸方向延伸的第三边缘部323和第四边缘部324，第三边缘部323和第四边缘部324包括下厚度减薄部3252。由此，该掩模板可设置任意数量的交替设置的第一掩模片和第二掩模片，从而可形成不同尺寸的掩模板。需要说明的是，上述的第一延伸方向是指第一掩模片在长度上延长、伸展的方向；上述的第二延伸方向是指第二掩模片在长度上延长、伸展的方向；第一延伸方向和第二延伸方向可为相同的方向。

例如，在本实施例一示例提供的掩模板中，第一掩模片的第一周边区域和第二掩模片的第二周边区域的厚度相同，交叠设置的第一掩模片的上厚度减薄部与第二掩模片的下厚度减薄部的整体厚度与第一周边区域或第二周边区域的厚度相同。由此，该掩模板中交替设置的第一掩模片和第二掩模片的平坦度较高，从而可进一步提高沉积或蒸镀到待沉积或蒸镀的基板上图案的精度。

例如，在本实施例一示例提供的掩模板中，上厚度减薄部和下厚度减薄部的横截面形状包括阶梯形或梯形。具体可参见实施例一中的相关描述，本实施例在此不再赘述。

图10示出了根据本实施例的一种的掩模板的平面示意图。如图10所示，该掩模板还包括框架500，具有一个开口(图中未示出)；多个支撑条400，各支撑条400的两端固定在框架500上。第一掩模片200和第二掩模片300交替设置在支撑条400上，并且固定设置在框架500上并将开口完全遮挡。由此，第一掩模片和第二掩模片可在框架上处于张开或紧绷状态。

例如，在本实施例一示例提供的掩模板中，如图10所示，支撑条400具有第三延伸方向，第三延伸方向垂直于第一延伸方向和第二延伸方向。

例如，在本实施例一示例提供的掩模板中，如图10所示，支撑条400在第一掩模片200的正投影落入第一掩模片200的第一周边区域220；支撑条400在第一掩模片300的正投影落入第一掩模片300的第二周边区域320。也就是说，支撑条400起到支撑第一掩模片200和第二掩模片300的作用，不会对第一掩模片200上的第一掩模图案210和第二掩模片300上的第二掩模图案310进行遮挡。

例如，在本实施例一示例提供的掩模板中，框架500包括一支撑条安装面540，支撑条400的两端固定在支撑条安装面540上。由此，框架上不针对每个支撑条设置凹槽，由此，支撑条可根据掩模片的尺寸和参数(例如掩模片上掩模图案的位置和数量)进行设置。一个框架可用于多种掩模板的组装，从而可提高框架的利用率。

图11示出了根据本实施例的一种的支撑条安装面的示意图。如图11所示，支撑条安装面540为凹入框架500表面的面，支撑条安装面540凹入的深度h可根据支撑条400的厚度设置，例如相等，也就是说，当支撑条的两端固定在支撑条安装面上时，支撑条与框架本体的表面可处于同一水平面。当然，支撑条安装面凹入的深度也可不根据支撑条的厚度设置，本实用新型实施例在此不作限制。

在本实施例提供的掩模板中，可不设置沿第一延伸方向并位于相邻的第一掩模片和第二掩模片之间的覆盖条。由此，一方面可减少掩模板的成本，另一方面可减少掩模板的整体的焊接的节拍时间，提高掩模板的组装效率。另外，由于该掩模板不设置覆盖条，第一掩模片和第二掩模片与待沉积或蒸镀的基板之间的距离可设置地较小，也就是说第一掩模片和第二掩模片与待沉积或蒸镀的基板的贴合程度可设置地较高，从而可提高沉积或蒸镀到待沉积或蒸镀的基板上图案的精度。

实施例三

本实施例提供一种掩模板的组装方法，该掩模板包括第一掩模片和第二掩模片；第一掩模片包括至少一个第一掩模区域以及围绕第一掩模区域的第一周边区域，第一掩模片位于第一周边区域的至少一个边缘部包括上厚度减薄部；第二掩模片包括至少一个第二掩模区域以及围绕第二掩模区域的第二周边区域，第二掩模片位于第二周边区域的至少一个边缘部包括上厚度减薄部，如图12所示，该组装方法包括步骤S301和步骤S302。

步骤S301：间隔安装第一掩模片。

步骤S302：在第一掩模片的旁边安装第二掩模片，第二掩模片的下厚度减薄部至少部分覆盖第一掩模片的上厚度减薄部。

由此，相邻的第一掩模片和第二掩模片的上厚度减薄部和下厚度减薄部至少部分交叠设置。因此，该掩模板可不设置覆盖条，一方面可减少掩模板的成本，另一方面可减少掩模板的整体的焊接的节拍时间，提高掩模板的组装效率。另外，由于该掩模板不设置覆盖条，第一掩模片和第二掩模片与待沉积或蒸镀的基板之间的距离可设置地较小，也就是说第一掩模片和第二掩模片与待沉积或蒸镀的基板的贴合程度可设置地较高，从而可提高沉积或蒸镀到待沉积或蒸镀的基板上图案的精度。并且，由于先设置了具有上厚度减薄部的第一掩模片，然后在安装具有上厚度减薄部的第二掩模片，因此可降低该掩模板的组装难度。

例如，在本实施例一示例提供的掩模板的组装方法中，掩模板还包括框架和多个支撑条，框架包括一开口，该组装方法还可包括：将各支撑条的两端固定安装在框架上；以及将第一掩模片和第二掩模片交替安装在支撑条上，并固定在框架上以将开口完全遮挡。

例如，在本实施例一示例提供的掩模板的组装方法中，框架包括一支撑条安装面，该组装方法包括：根据第一掩模片的第一掩模区域的位置和第二掩模片上第二掩模区域的位置安装支撑条以使支撑条在第一掩模片上的正投影落入第一掩模片的第一周边区域，支撑条在第二掩模片上的正投影落入第二掩模片的第二周边区域。由此，一方面，支撑条起到支撑第一掩模片和第二掩模片的作用，不会对第一掩模片上的第一掩模图案和第二掩模片上的第二掩模图案进行遮挡。并且，支撑条可根据掩模片的尺寸和参数(例如掩模片上掩模图案的位置和数量)进行设置。一个框架可用于多种掩模板的组装，从而可提高框架的利用率。

例如，在本实施例一示例提供的掩摸板的组装方法中，间隔安装第一掩模片的步骤包括：从所述框架的中间向两侧依次间隔安装，例如焊接第一掩模片。

有以下几点需要说明：

(1)本实用新型实施例附图中，只涉及到与本实用新型实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计。

(2)在不冲突的情况下，本实用新型同一实施例及不同实施例中的特征可以相互组合。

以上所述，仅为本公开的具体实施方式，但本公开的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本公开揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本公开的保护范围之内。因此，本公开的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (13)

1.一种掩模片，其特征在于，包括：

至少一个掩模区域；以及

围绕所述掩模区域的周边区域，

其中，所述掩模片位于所述周边区域的至少一个边缘部包括厚度减薄部。

2.根据权利要求1所述的掩模片，其特征在于，所述掩模片具有一延伸方向，所述至少一个边缘部包括沿所述延伸方向延伸的第一边缘部和第二边缘部，所述第一边缘部和所述第二边缘部包括所述厚度减薄部。

3.根据权利要求1或2所述的掩模片，其特征在于，所述厚度减薄部包括上厚度减薄部或下厚度减薄部，所述上厚度减薄部为从所述掩模片的上表面去除部分厚度得到的，所述下厚度减薄部为从所述掩模片的下表面去除部分厚度得到的。

4.根据权利要求1或2所述的掩模片，其特征在于，所述厚度减薄部的横截面形状包括阶梯形或梯形。

5.一种掩模板，其特征在于，包括：

第一掩模片，包括至少一个第一掩模区域以及围绕所述第一掩模区域的第一周边区域，所述第一掩模片位于所述第一周边区域的至少一个边缘部包括上厚度减薄部；以及

第二掩模片，包括至少一个第二掩模区域以及围绕所述第二掩模区域的第二周边区域，所述第二掩模片位于所述第二周边区域的至少一个边缘部包括下厚度减薄部，

其中，所述第一掩模片和所述第二掩模片交替设置，且相邻的所述第一掩模片和所述第二掩模片的所述上厚度减薄部和所述下厚度减薄部至少部分交叠设置。

6.根据权利要求5所述的掩模板，其特征在于，所述第一掩模片具有第一延伸方向，所述第一掩模片包括位于所述第一周边区域且沿所述第一延伸方向延伸的第一边缘部和第二边缘部，所述第一边缘部和所述第二边缘部包括所述上厚度减薄部；

所述第二掩模片具有第二延伸方向，所述第二掩模片包括位于所述第二周边区域且沿所述第二延伸方向延伸的第三边缘部和第四边缘部，所述第三边缘部和所述第四边缘部包括所述下厚度减薄部。

7.根据权利要求5所述的掩模板，其特征在于，所述第一周边区域和所述第二周边区域的厚度相同，交叠设置的所述上厚度减薄部与所述下厚度减薄部的整体厚度与所述第一周边区域和/或所述第二周边区域的厚度相同。

8.根据权利要求5所述的掩模板，其中，所述上厚度减薄部和所述下厚度减薄部的横截面形状包括阶梯形、或梯形。

9.根据权利要求6所述的掩模板，其特征在于，还包括：

框架，包括一开口；

多个支撑条，各所述支撑条的两端固定设置在所述框架上，

其中，所述第一掩模片和所述第二掩模片交替设置在所述支撑条上，并固定设置在所述框架上以将所述开口完全遮挡。

10.根据权利要求9所述的掩模板，其特征在于，所述支撑条在所述第一掩模片上的正投影落入所述第一掩模片的所述第一周边区域，所述支撑条在所述第二掩模片上的正投影落入所述第二掩模片的所述第二周边区域。

11.根据权利要求9所述的掩模板，其特征在于，所述框架包括支撑条安装面，各所述支撑条的两端固定设置在所述支撑条安装面上。

12.根据权利要求9所述的掩模板，其特征在于，所述第一延伸方向和所述第二延伸方向垂直于所述支撑条的第三延伸方向。

13.根据权利要求6所述的掩模板，其特征在于，所述掩模板不设置沿所述第一延伸方向并位于相邻的所述第一掩模片和所述第二掩模片之间的覆盖条。