JP7098812B2 - 放電ランプ用カソード部品、放電ランプ、および放電ランプ用カソード部品の製造方法 - Google Patents
放電ランプ用カソード部品、放電ランプ、および放電ランプ用カソード部品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7098812B2 JP7098812B2 JP2021502027A JP2021502027A JP7098812B2 JP 7098812 B2 JP7098812 B2 JP 7098812B2 JP 2021502027 A JP2021502027 A JP 2021502027A JP 2021502027 A JP2021502027 A JP 2021502027A JP 7098812 B2 JP7098812 B2 JP 7098812B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thorium
- discharge lamp
- particle size
- less
- tungsten
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 146
- ZSLUVFAKFWKJRC-IGMARMGPSA-N 232Th Chemical compound [232Th] ZSLUVFAKFWKJRC-IGMARMGPSA-N 0.000 claims description 87
- 229910052776 Thorium Inorganic materials 0.000 claims description 87
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 81
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 70
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 62
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 62
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 55
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 51
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 36
- 230000001186 cumulative effect Effects 0.000 claims description 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 15
- 238000001887 electron backscatter diffraction Methods 0.000 claims description 14
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 13
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 13
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 claims description 10
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 8
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000002050 diffraction method Methods 0.000 claims 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 50
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 18
- ZCUFMDLYAMJYST-UHFFFAOYSA-N thorium dioxide Chemical compound O=[Th]=O ZCUFMDLYAMJYST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 229910003452 thorium oxide Inorganic materials 0.000 description 16
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 5
- 238000005242 forging Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 4
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000005482 strain hardening Methods 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 238000003848 UV Light-Curing Methods 0.000 description 3
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 3
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 2
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 239000011362 coarse particle Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 2
- 239000010865 sewage Substances 0.000 description 2
- 238000007873 sieving Methods 0.000 description 2
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 2
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- VGBPIHVLVSGJGR-UHFFFAOYSA-N thorium(4+);tetranitrate Chemical compound [Th+4].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O VGBPIHVLVSGJGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 240000002989 Euphorbia neriifolia Species 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 1
- 238000013480 data collection Methods 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000007561 laser diffraction method Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/04—Electrodes; Screens; Shields
- H01J61/06—Main electrodes
- H01J61/067—Main electrodes for low-pressure discharge lamps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/04—Electrodes; Screens; Shields
- H01J61/06—Main electrodes
- H01J61/073—Main electrodes for high-pressure discharge lamps
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/02—Manufacture of electrodes or electrode systems
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Discharge Lamp (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Description
タングステン源粉末とトリウム源粉末とを混合して混合粉末を形成した。表1は、タングステン源粉末とトリウム源粉末とを説明するための表である。タングステン源粉末は、第1のピークを有する頻度分布グラフを示す粒度分布を有する第1のタングステン粉末と、第2のピークを有する頻度分布グラフを示す粒度分布を有する第2のタングステン粉末と、の混合タングステン粉末である。表1は、混合タングステン粉末中の第1のタングステン粉末の含有量と第2のタングステン粉末の含有量と、第1および第2のタングステン粉末のピーク粒径およびピーク頻度とを示す。混合粉末は、硝酸トリウムとタングステン粉末とを含有する溶液から液体成分を蒸発させ、大気雰囲気中で400℃以上900℃以下の温度で加熱してトリウム成分を酸化トリウムに分解することにより形成した。トリウム源粉末の含有量は、ThO2換算である。トリウム源粉末は、3μm以下の平均粒径を有する。
囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施できる。
Claims (12)
- 線径2mm以上35mm以下の胴体部と、前記胴体部から先細る先端部と、を具備する放電ランプ用カソード部品であって、
前記放電ランプ用カソード部品は、ThO2換算で0.5質量%以上3質量%以下のトリウムを含有するタングステン合金を含み、
前記胴体部の中心を通るとともに前記胴体部の長さ方向に沿う断面における、前記中心を含むとともに90μm×90μmの単位面積を有する領域の電子線後方散乱回折分析を行う場合、前記電子線後方散乱回折分析により得られる結晶粒マップは、タングステンを含むタングステン結晶粒と、トリウムを含むトリウム結晶粒と、を有し、
前記トリウム結晶粒は、前記結晶粒マップにおいて、連続する2点以上の測定点の結晶方位角差のそれぞれが-5度以上+5度以下であるとともに前記トリウムを含むトリウム結晶領域により定義され、
前記トリウム結晶粒の粒径は、前記結晶粒マップにおいて、前記トリウム結晶領域の円相当径により定義され、
前記結晶粒マップの複数の前記トリウム結晶粒の粒度分布の累積分布グラフにおいて、累積頻度が90%である粒径は、3.0μm以上である、放電ランプ用カソード部品。 - 前記累積分布グラフにおいて、累積頻度が50%である粒径は、1.8μm以上である、請求項1に記載の放電ランプ用カソード部品。
- 前記トリウム結晶粒の粒度分布の頻度分布グラフは、2μm以上3μm以下の粒径の範囲に極小点を有する、請求項1に記載の放電ランプ用カソード部品。
- 前記頻度分布グラフの前記極小点の頻度と、前記極小点に最も近接する極大点の頻度との差は、10%以内である、請求項3に記載の放電ランプ用カソード部品。
- 前記タングステン結晶粒の平均粒径は、20μm以下である、請求項1に記載の放電ランプ用カソード部品。
- 前記放電ランプ用カソード部品は、再結晶組織を有していない、請求項1に記載の放電ランプ用カソード部品。
- 請求項1に記載の前記放電ランプ用カソード部品を具備する、放電ランプ。
- デジタルシネマ用放電ランプである、請求項7に記載の放電ランプ。
- 第1のピークと第2のピークとを含む頻度分布グラフを示す粒度分布を有するタングステン源粉末と、3μm以下の平均粒径を有するトリウム源粉末と、を混合して混合粉末を形成する工程と、
前記混合粉末を用いて5mm以上50mm以下の直径を有する成形体を形成する工程と、
前記成形体を1250℃以上1500℃以下の温度で予備焼結により焼結して予備焼結体を形成する工程と、
前記予備焼結体を2100℃以上2500℃以下の温度で通電焼結により焼結する工程と、
を具備する、放電ランプ用カソード部品の製造方法。 - 前記第1のピークと前記第2のピークとの間のピーク間距離は、10μm以上である、請求項9に記載の方法。
- 前記第1のピークの頻度および前記第2のピークの頻度のそれぞれは、2%以上である、請求項9に記載の方法。
- 前記第1のピークの粒径は、10μm未満であり、
前記第2のピークの粒径は、10μm以上である、請求項9に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019026651 | 2019-02-18 | ||
JP2019026651 | 2019-02-18 | ||
PCT/JP2020/006284 WO2020171065A1 (ja) | 2019-02-18 | 2020-02-18 | 放電ランプ用カソード部品、放電ランプ、および放電ランプ用カソード部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020171065A1 JPWO2020171065A1 (ja) | 2021-09-13 |
JP7098812B2 true JP7098812B2 (ja) | 2022-07-11 |
Family
ID=72144328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021502027A Active JP7098812B2 (ja) | 2019-02-18 | 2020-02-18 | 放電ランプ用カソード部品、放電ランプ、および放電ランプ用カソード部品の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7098812B2 (ja) |
CN (1) | CN112262454B (ja) |
WO (1) | WO2020171065A1 (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011108288A1 (ja) | 2010-03-05 | 2011-09-09 | パナソニック株式会社 | 放電ランプ用電極、高圧放電ランプ、ランプユニットおよび投射型画像表示装置 |
WO2013122081A1 (ja) | 2012-02-15 | 2013-08-22 | 株式会社 東芝 | 放電ランプ用カソード部品 |
WO2014006779A1 (ja) | 2012-07-03 | 2014-01-09 | 株式会社 東芝 | タングステン合金部品、ならびにそれを用いた放電ランプ、送信管およびマグネトロン |
WO2014021154A1 (ja) | 2012-07-31 | 2014-02-06 | 東芝マテリアル株式会社 | 放電ランプ用陰極およびその製造方法 |
JP2014063655A (ja) | 2012-09-21 | 2014-04-10 | Orc Manufacturing Co Ltd | 放電ランプ用電極の製造方法 |
WO2018213858A2 (de) | 2017-05-23 | 2018-11-29 | Plansee Se | Kathodenwerkstoff |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19738574A1 (de) * | 1997-09-04 | 1999-03-11 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Elektrode und Verfahren sowie Vorrichtung zur Herstellung derselben |
JP4486163B1 (ja) * | 2008-12-08 | 2010-06-23 | 株式会社アライドマテリアル | タングステン電極材料およびタングステン電極材料の製造方法 |
WO2020105644A1 (ja) * | 2018-11-19 | 2020-05-28 | 株式会社 東芝 | 放電ランプ用カソード部品および放電ランプ |
-
2020
- 2020-02-18 JP JP2021502027A patent/JP7098812B2/ja active Active
- 2020-02-18 CN CN202080003268.4A patent/CN112262454B/zh active Active
- 2020-02-18 WO PCT/JP2020/006284 patent/WO2020171065A1/ja active Application Filing
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011108288A1 (ja) | 2010-03-05 | 2011-09-09 | パナソニック株式会社 | 放電ランプ用電極、高圧放電ランプ、ランプユニットおよび投射型画像表示装置 |
WO2013122081A1 (ja) | 2012-02-15 | 2013-08-22 | 株式会社 東芝 | 放電ランプ用カソード部品 |
WO2014006779A1 (ja) | 2012-07-03 | 2014-01-09 | 株式会社 東芝 | タングステン合金部品、ならびにそれを用いた放電ランプ、送信管およびマグネトロン |
WO2014021154A1 (ja) | 2012-07-31 | 2014-02-06 | 東芝マテリアル株式会社 | 放電ランプ用陰極およびその製造方法 |
JP2014063655A (ja) | 2012-09-21 | 2014-04-10 | Orc Manufacturing Co Ltd | 放電ランプ用電極の製造方法 |
WO2018213858A2 (de) | 2017-05-23 | 2018-11-29 | Plansee Se | Kathodenwerkstoff |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2020171065A1 (ja) | 2021-09-13 |
CN112262454B (zh) | 2024-04-09 |
WO2020171065A1 (ja) | 2020-08-27 |
CN112262454A (zh) | 2021-01-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1481418B1 (de) | Kurzbogen-hochdruckentladungslampe | |
EP1193733B1 (en) | Short arc discharge lamp | |
EP2871666A1 (en) | Tungsten alloy part, and discharge lamp, transmitting tube and magnetron using same | |
US9834830B2 (en) | Tungsten alloy, tungsten alloy part, discharge lamp, transmitting tube, and magnetron | |
JP6972383B2 (ja) | 放電ランプ用カソード部品および放電ランプ | |
CN103987864B (zh) | 钨合金、以及使用该钨合金的钨合金部件、放电灯、发射管和磁控管 | |
US9030100B2 (en) | Cathode component for discharge lamp | |
JP7098812B2 (ja) | 放電ランプ用カソード部品、放電ランプ、および放電ランプ用カソード部品の製造方法 | |
CN103998634B (zh) | 钨合金部件、以及使用该钨合金部件的放电灯、发射管和磁控管 | |
JP7043680B2 (ja) | 放電ランプ用カソード部品および放電ランプ | |
JP7176121B2 (ja) | 放電ランプ用カソード部品および放電ランプ | |
JP2000106131A (ja) | 放電灯用電極に使用されるタングステン材、放電灯用電極およびそれを用いた放電灯 | |
JP6219280B2 (ja) | 放電ランプ用陰極およびその製造方法 | |
JP5823770B2 (ja) | ショートアーク高圧放電ランプ | |
JP2002110089A (ja) | 電極とそれを用いた放電ランプおよび光学装置 | |
KR100533666B1 (ko) | 쇼트 아크 방전 램프 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210125 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220307 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220531 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220629 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7098812 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |