JP7089858B2 - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
図1は、不揮発性半導体記憶装置の全体構成を示すブロック図である。本構成例の不揮発性半導体記憶装置は、メモリアレイ10と、Xデコーダ20と、Yデコーダ30と、センスアンプ40と、コントローラ50と、を有する。
以下では、メモリアレイ10の実施形態を説明するに先立ち、これと対比される比較例について簡単に説明しておく。図2~図4は、それぞれ、メモリアレイ10の比較例を示す平面図、縦断面図(=図2のα1-α2断面図)、及び、等価回路図である。
次に、上記課題を解消することのできるメモリアレイ10の実施形態に詳述する。図6~図8は、それぞれ、メモリアレイ10の実施形態を示す平面図、縦断面図(=図6のα1-α2断面図)、及び、等価回路図である。なお、本実施形態のメモリアレイ10は、先出の比較例(図2~図4)をベースとしつつ、素子分離層ISOを用いることなく、ダミーゲートDGを用いてセルトランジスタの素子分離を行う点に特徴を有する。そこで、比較例と同様の構成要素については、図2~図4と同一の符号を付すことにより重複した説明を割愛し、以下では、本実施形態の特徴部分について重点的な説明を行う。
上記の比較例及び実施形態では、トランジスタペアを形成する一対のセルトランジスタがドレインDを共有しており、それぞれに書き込まれるデータに応じて、ソースSとソース線SLとの接続有無を設定していたが、ドレインDとソースSとの関係を互いに入れ替えることもできる。
図11は、スマートフォンの外観図である。スマートフォンXは、そのシステムファームウェアなどを不揮発的に記憶するための手段として、これまでに説明してきた不揮発性半導体記憶装置1を搭載する電子機器の一例である。
なお、本明細書中に開示されている種々の技術的特徴は、上記実施形態のほか、その技術的創作の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更を加えることが可能である。すなわち、上記実施形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきであり、本発明の技術的範囲は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内に属する全ての変更が含まれると理解されるべきである。
10 メモリアレイ
20 Xデコーダ
30 Yデコーダ
40 センスアンプ
50 コントローラ
CELL メモリセル
G1~Gm ゲート線
BL1~BLn ビット線
SL ソース線
T11~T14、T21~T24 セルトランジスタ
N11~N16、N21~N26 不純物拡散層
CONT コンタクト
VIA ビア
MTL1、MTL2 メタル
A11、A12、A21、A22、A1、A2 活性領域
Psub 半導体基板
ISO 素子分離層
DT11、DT12 ダミートランジスタ
DG ダミーゲート
X スマートフォン(電子機器)
Claims (7)
- ビット線またはソース線に接続された第1ノードを共有する一対のセルトランジスタを含む複数のセルトランジスタペアと、
前記セルトランジスタのゲート線と平行に敷設されてセルトランジスタペア間のダミートランジスタにオフ電圧を印加するダミーゲート線と、
を有し、
前記セルトランジスタには、コンタクト方式のマスクプログラミングにより、データが書き込まれており、
前記セルトランジスタの第2ノードは、前記データに応じて前記ソース線または前記ビット線との接続有無が設定されており、
前記セルトランジスタの第2ノードに相当する不純物拡散層と前記ソース線または前記ビット線に相当する上側配線層との間には、ビアを介して前記上側配線層と導通する下側配線層が設けられており、
前記データに応じて、前記下側配線層にメタルを形成するか否かにより、前記セルトランジスタの第2ノードと前記ソース線または前記ビット線との接続有無が設定されている、不揮発性半導体記憶装置。 - 前記ゲート線と前記ダミーゲート線は、等間隔で敷設されていることを特徴とする請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記セルトランジスタの第1ノード及び第2ノードに相当する複数の不純物拡散層は、一連の活性領域に等間隔で形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 共通のビット線に接続された複数のセルトランジスタは、途切れのない一直線の活性領域に形成されていることを特徴とする請求項3に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記セルトランジスタは、Nチャネル型MOS[metal oxide semiconductor]電界効果トランジスタであることを特徴とする請求項1~請求項4のいずれか一項に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記ゲート線を駆動するXデコーダと、
前記ビット線を駆動するYデコーダと、
前記ビット線を介してデータを読み出すセンスアンプと、
装置各部を制御するコントローラと、
をさらに有することを特徴とする請求項1~請求項5のいずれか一項に記載の不揮発性半導体記憶装置。 - 請求項1~請求項6のいずれか一項に記載の不揮発性半導体記憶装置を有することを特徴とする電子機器。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017212061A JP7089858B2 (ja) | 2017-11-01 | 2017-11-01 | 不揮発性半導体記憶装置 |
US16/177,635 US10700076B2 (en) | 2017-11-01 | 2018-11-01 | Nonvolatile semiconductor storage device with cell transistors |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017212061A JP7089858B2 (ja) | 2017-11-01 | 2017-11-01 | 不揮発性半導体記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019087551A JP2019087551A (ja) | 2019-06-06 |
JP7089858B2 true JP7089858B2 (ja) | 2022-06-23 |
Family
ID=66243274
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017212061A Active JP7089858B2 (ja) | 2017-11-01 | 2017-11-01 | 不揮発性半導体記憶装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10700076B2 (ja) |
JP (1) | JP7089858B2 (ja) |
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2017
- 2017-11-01 JP JP2017212061A patent/JP7089858B2/ja active Active
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- 2018-11-01 US US16/177,635 patent/US10700076B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US10700076B2 (en) | 2020-06-30 |
US20190131311A1 (en) | 2019-05-02 |
JP2019087551A (ja) | 2019-06-06 |
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