JP7085682B1 - 弾性シート搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】弾性シートの目的位置への配置が容易な弾性シート搬送装置を提供すること。
【解決手段】第１弾性シート搬送装置５の搬送機構５６は、吸着面７１および吸気口７２を備える吸着部７３と、吸気口７２に連通する吸気機構７４と、吸着部７３および吸気機構７４を移動させる吸着部移動機構７５と、吸気機構７４、吸着部移動機構７５を駆動制御する搬送制御部１２３を備える。搬送制御部１２３は、吸着部移動機構７５を駆動制御して吸着部７３の吸着面７１を供給位置Ｄに配置された弾性シート２に対向させ、吸気機構７４を駆動して弾性シート２を吸い上げて、吸着面７１に吸着する。その後、搬送制御部１２３は、吸着部移動機構７５を駆動して吸着部７３を第１打抜き位置Ａに対向させ、吸気機構７４の駆動を停止する。これにより、弾性シート２を吸着面７１から落下させて、第１打抜き位置Ａに配置する。
【選択図】図７

Description

本発明は、弾性シートを所定の目的位置に精度よく搬送する弾性シート搬送装置に関する。また、弾性シート用搬送機構によって搬送された弾性シートを弾性シート打抜き装置で打抜いてシール材などを製造する弾性シート打抜きシステムに関する。

シール材として用いられるＯリングの中には、エラストマー製の弾性シートを打抜いて製造されるものがある。特許文献１には、環状の製品部とバリ部とを一体に成形した弾性シートをダイの表面に配置し、パンチで製品部を打抜いてＯリングを製造するＯリングの製造方法が記載されている。

実開平０６－７４３１２号公報

ここで、弾性シートは、撓みやすい。従って、弾性シートを搬送機構の吸着部の吸着面に吸着する際に吸着面を弾性シートに押し付けると、弾性シートの変形や、破れが発生する。また、弾性シートを搬送機構の吸着部の吸着面に吸着する際に吸着面を弾性シートに押し付けると、弾性シートが第１吸着面に貼り付く。さらに、弾性シートを搬送機構の吸着部の吸着面に吸着する際に吸着面を弾性シートに押し付けると、摩擦などにより、弾性シートが帯電する。

本発明の課題は、弾性シートを搬送機構の吸着部の吸着面に吸着する際に、吸着面を弾性シートに押し付けることがない弾性シート搬送装置を提供することにある。

上記の課題を解決するために、本発明の弾性シート搬送装置は、第１位置にある弾性シートを吸着して移動させ、吸着の解除によって前記第１位置とは異なる第２位置に配置する搬送機構を有し、前記搬送機構は、第１吸着面および当該第１吸着面に設けられた第１吸気口を備える第１吸着部と、前記第１吸気口に連通する第１吸気機構と、前記第１吸着部を移動させる第１吸着部移動機構と、前記第１吸気機構および前記第１吸着部移動機構を駆動制御する第１搬送制え御部と、を備え、前記第１搬送制御部は、前記第１位置に前記弾性シートが配置されると、前記第１吸着面を前記弾性シートに隙間を開けて対向させて前記第１吸気機構を駆動して当該第１吸着面に前記弾性シートを吸着し、前記第１吸着部を移動させて前記第１吸着面を前記第２位置に対向させ、しかる後に、前記第１吸気機構を停止させることを特徴とする。

本発明では、搬送機構の第１吸着部は、第１吸着面を弾性シートに押し付けた状態で当該弾性シートを第１吸着面に吸引するのではなく、第１吸着面を弾性シートから離間させた状態で、弾性シートを上方に吸引して、第１吸着面に吸着する。従って、弾性シートを吸着する際に、第１吸着面を弾性シートに押し付けることがない。よって、弾性シートの変形や、破れを防止或いは抑制できる。また、弾性シートが第１吸着面に貼り付くことを防止できる。さらに、摩擦などにより、弾性シートが帯電することを防止或いは抑制できる。従って、帯電により弾性シートが第１吸着面に貼り付くことを防止できる。よって、
第１吸気機構を停止したときに、弾性シートが第１吸着面から離間させることが容易であり、弾性シートを第２位置に配置することが容易となる。

また、本発明は、前記第１吸気機構は、前記第１吸気口に連通する空気流入口を有する
エジェクターを備える。エジェクターでは、空気流入口から吸い込む空気の単位時間当たりの吸込量を大きくすることが容易である。従って、空気流入口が第１吸気口に連通するエジェクターを用いて第１吸着部の第１吸気口から空気を吸い込めば、第１吸着部は、第１吸着面を弾性シートから離間させた状態でテーブル表面にある弾性シートを上方に吸引して、吸着することが容易となる。本発明において、前記弾性シートは、エラストマー製である。

本発明において、前記第１吸着面は、前記弾性シートを吸着したときに当該弾性シートの外周縁に接触する枠状部分を備え、前記第１吸気口は、前記枠状部分の内周側に位置し、前記枠状部分の表面は、粗面であり、十点平均粗さをＲとした場合に、以下の条件式を満たすものとすることができる。
８μｍ ≦ Ｒ
このようにすれば、第１吸着面の枠状部分が粗面なので、エジェクターの駆動によって第１吸着部が第１吸着面に弾性シートを吸着しているときに、第１吸着面の枠状部分と、この枠状部分に接触する弾性シートの外周縁との間を、空気が流れる。すなわち、第１吸着面に弾性シートが吸着されているときに、第１吸着面と弾性シートとの間に、弾性シートの外周側から、第１吸気口が存在する枠状部分の内周側に向かう気流が発生する。これにより、第１吸着面と弾性シートとが密着状態となることがないので、エジェクターの駆動を停止したときに、第１吸着面から弾性シートが離間しやすい。よって、弾性シートを第２位置に配置することが容易となる。ここで、条件式を満たせば、エジェクターの駆動によって第１吸着部が第１吸着面に弾性シートを吸着したときに、第１吸着面と弾性シートとの間に空気を流すことが容易となる。言い換えれば、第１吸着面の十点平均粗さの値が条件式の下限値を下回った場合には、第１吸着面と弾性シートとの間を空気が流れ難くなる。

本発明において、前記第１吸着面は、導電性の金属からなる金属部分を備えるものとすることができる。このようにすれば、弾性シートが静電気などによって帯電している場合でも、その電荷を金属部分から第１吸着部の側に逃がすことができる。

本発明の弾性シート搬送装置によれば、搬送機構の第１吸着部は、第１吸着面を弾性シートに押し付けた状態で当該弾性シートを第１吸着面に吸引するのではなく、第１吸着面を弾性シートから離間させた状態で、弾性シートを上方に吸引して、第１吸着面に吸着する。従って、弾性シートを吸着する際に、第１吸着面を弾性シートに押し付けることがない。よって、弾性シートの変形や、破れを防止或いは抑制できる。また、弾性シートが第１吸着面に貼り付くことを防止できる。さらに、摩擦などにより、弾性シートが帯電することを防止或いは抑制できる。従って、帯電により弾性シートが第１吸着面に貼り付くことを防止できる。よって、第１吸気機構を停止したときに、弾性シートが第１吸着面から離間させることが容易であり、弾性シートを第２位置に配置することが容易となる。

弾性シート打抜きシステムの正面図である。 弾性シート打抜きシステムを上方から見た場合の平面図である。 弾性シートの平面図、および断面図である。 供給機構の説明図である。 弾性シート移動機構および搬送機構の説明図である。 テーブルおよび位置決め機構の斜視図である。 第２弾性シート搬送装置の説明図である。 弾性シート打抜きシステムの動作のフローチャートである。 位置決め機構による弾性シートの位置決め動作の説明図である。 変形例の吸着部の説明図である。

以下に図面を参照して、本発明を適用した弾性シート打抜きシステムを説明する。

（全体構成）
図１は、弾性シート打抜きシステムの正面図である。図２は、所定の高さから下方に向かって弾性シート打抜きシステムを見た場合の説明図である。図２は、図１のＪ－Ｊ線の高さ位置から下方を見た場合である。図３（ａ）は、弾性シートの平面図である。図３（ｂ）は、図３（ａ）のＫ－Ｋ線断面図である。本例の弾性シート打抜きシステム１は、弾性シート２を、２台の弾性シート打抜き装置３、４で順番に打抜いてＯリングなどの環状のシール材を製造する。

図１に示すように、弾性シート打抜きシステム１は、弾性シート２を打抜くための第１弾性シート打抜き装置３と、第１弾性シート打抜き装置３が打抜いた弾性シート２を更に打抜くための第２弾性シート打抜き装置４を有する。また、弾性シート打抜きシステム１は、弾性シート２を第１弾性シート打抜き装置３に供給する第１弾性シート搬送装置５と、弾性シート２を第１弾性シート打抜き装置３から第２弾性シート打抜き装置４に搬送する第２弾性シート搬送装置６と、を有する。さらに、弾性シート打抜きシステム１は、第１弾性シート打抜き装置３、第２弾性シート打抜き装置４、第１弾性シート搬送装置５、第２弾性シート搬送装置６を連携して駆動させる制御部７を有する。

第１弾性シート打抜き装置３は、第１プレート部１１および第１プレート部１１から下方に突出する第１パンチ部１２を備える第１パンチプレート１３と、第１パンチプレート１３の下方に配置された第１ダイプレート１８と、を備える。第１ダイプレート１８は、上下方向から見た場合に第１パンチ部１２と重なる位置に第１パンチ部１２の先端部分を受け入れ可能な第１穴部１９を備える。第１ダイプレート１８のダイプレート表面１８ａには、第１打抜き位置Ａが設定されている。

また、第１弾性シート打抜き装置３は、第１パンチプレート１３を昇降させる第１昇降機構２１と、第１昇降機構２１を駆動制御する第１打抜き制御部２２を備える。第１打抜き制御部２２は、弾性シート打抜きシステム１の制御部７と一体、または通信可能に設けられている。第１打抜き制御部２２は、打抜き対象の弾性シート２が第１打抜き位置Ａに配置されると、第１パンチプレート１３を上方から第１ダイプレート１８に接近させる。これにより、第１弾性シート打抜き装置３は、第１パンチ部１２により弾性シート２を打抜いて、第１パンチ部１２の先端部分を第１穴部１９に挿入する。また、第１打抜き制御部２２は、弾性シート２の打抜きが完了すると、第１パンチプレート１３を第１ダイプレート１８から上方に離間させる。第１パンチ部１２によって打抜かれた弾性シート２の打抜き部分は、第１穴部１９の下方に位置する第１回収箱２４に回収される。

第２弾性シート打抜き装置４は、第１弾性シート打抜き装置３が打抜いた弾性シート２を打抜く。第２弾性シート打抜き装置４は、第１弾性シート打抜き装置３と対応する構成を備える。従って、第２弾性シート打抜き装置４の説明では、第２弾性シート打抜き装置４と対応する対応する構成には、同一の符号を付し、その説明を省略する。

第２弾性シート打抜き装置４は、第２プレート部１１および第２プレート部１１から下方に突出する第２パンチ部１２を備える第２パンチプレート３３と、第２パンチプレート１３の下方に配置された第２ダイプレート１８と、を備える。第２パンチ部１２と第１弾性シート打抜き装置３の第１パンチ部１２とは、上下方向から見た場合の輪郭形状が相違する。第２ダイプレート１８は、上下方向から見た場合に第２パンチ部１２と重なる位置に第２パンチ部１２の先端部分を受け入れ可能な第２穴部１９を備える。第２ダイプレート１８のダイプレート表面１８ａには、第２打抜き位置Ｂが設定されている。

また、第２弾性シート打抜き装置４は、第２パンチプレート１３を昇降させる第２昇降機構２１と、第２昇降機構２１を駆動制御する第２打抜き制御部２２と、を備える。第２打抜き制御部２２は、弾性シート打抜きシステム１の制御部７と一体、または通信可能に設けられている。第２打抜き制御部２２は、弾性シート２が第２打抜き位置Ｂに配置されると、第２パンチプレート１３を上方から第２ダイプレート１８に接近させる。これにより、第２弾性シート打抜き装置４は、第２パンチ部１２により弾性シート２を打抜いて、第２パンチ部１２の先端部分を第２穴部１９に挿入する。また、第２打抜き制御部２２は、弾性シート２の打抜きが完了すると、第２パンチプレート１３を第２ダイプレート１８から上方に離間させる。第２パンチ部１２によって打抜かれた弾性シート２の打抜き部分は、第２穴部１９の下方に位置する第２回収箱２４に回収される。

第１弾性シート搬送装置５は、テーブル５１と、弾性シート２をテーブル５１のテーブル表面５１ａに設定された載置領域Ｃに供給する供給機構５２を備える。図２に示すように、供給機構５２は、予め設定した滞留位置Ｅにおいて、弾性シート２を積層した状態で保持するストッカー５３を備える。また、供給機構５２は、ストッカー５３からテーブル５１に弾性シート２を移動させる弾性シート移動機構５４を備える。

また、第１弾性シート搬送装置５は、テーブル表面５１ａの載置領域Ｃに配置された弾性シート２を載置領域Ｃ内の供給位置（第１位置）Ｄに位置決めする位置決め機構５５を備える。さらに、第１弾性シート搬送装置５は、供給位置Ｄに位置決めされた弾性シート２を吸着して移動させ、吸着の解除によって第１弾性シート打抜き装置３の第１打抜き位置Ａに配置する搬送機構５６を有する。

第２弾性シート搬送装置６は、第１弾性シート打抜き装置３の第１打抜き位置Ａにある弾性シート２を吸着して移動させ、吸着の解除によって第２弾性シート打抜き装置４の第２打抜き位置Ｂに配置する。第２弾性シート搬送装置６により搬送される弾性シート２は、第１弾性シート打抜き装置３によって打抜かれた打抜き済みの弾性シート２である。

図１に示すように、テーブル５１、第１弾性シート打抜き装置３、および第２弾性シート打抜き装置４は、この順番で一方向に配列されている。図２に示すように、テーブル５１と、滞留位置Ｅにあるストッカー５３とは、テーブル５１、第１弾性シート打抜き装置３、および第２弾性シート打抜き装置４の配列方向と直交する方向に配列されている。以下では、テーブル５１、第１弾性シート打抜き装置３、および第２弾性シート打抜き装置４の配列方向をＸ方向とする。テーブル５１およびストッカー５３の配列方向をＹ方向とする。また、上下方向をＺ方向とする。Ｘ方向、Ｙ方向、およびＺ方向は、互いに直交する方向である。また、Ｘ方向において、第２弾性シート打抜き装置４が位置する側をＸ１方向、その反対方向をＸ２方向とする。Ｙ方向において、ストッカー５３が位置する側をＹ１方向、その反対方向をＹ２方向とする。また、下方をＺ１方向、上方をＺ２方向とする。

（弾性シート）
図３に示すように、弾性シート２は、その厚み方向から見た場合の輪郭形状が、正方形
である。弾性シート２の輪郭は、互いに対向して平行に延びる第１辺５８ａおよび第２辺５８ｂと、互いに対向して第１辺５８ａおよび第２辺５８ｂと直交する方向に平行に延びる第３辺５８ｃおよび第４辺５８ｄを備える。なお、弾性シート２は、６角形形状を備える場合もある。この場合、弾性シート２は、互いに対向して平行に延びる第１辺５８ａおよび第２辺５８ｂと、互いに対向して第１辺５８ａおよび第２辺５８ｂと直交する方向に平行に延びる第３辺５８ｃおよび第４辺５８ｄと、第１辺５８ａおよび第３辺５８ｃと交差する方向に延びて第１辺５８ａおよび第３辺５８ｃを接続する第５辺と、第５辺と対向して第２辺５８ｂと第４辺５８ｄとを接続する第６辺と、を備える。

また、弾性シート２は、環状のシール材となる複数の環状製品部６０と、複数の環状製品部６０を除いたバリ部６１と、を備える。複数の環状製品部６０は、弾性シート２の中央部分にマトリックス状に配列されている。各環状製品部６０は、厚み方向から見た場合に円環状である。各環状製品部６０の周方向の一部分を厚み方向に切断した断面は、円形である。

バリ部６１は、弾性シート２の外周縁に沿って全周に渡って設けられた枠状バリ部分６１ａを備える。枠状バリ部分６１ａは、一定幅で設けられている。複数の環状製品部６０は、枠状バリ部分６１ａの内周側に位置する。また、バリ部６１は、各環状製品部６０の内側に位置する内側バリ部分６１ｂと、枠状バリ部分６１ａの内周側において各環状製品部６０の外側に位置する外側バリ部分６１ｃと、を備える。内側バリ部分６１ｂは、環状製品部６０と隣接する位置にＺ１方向およびＺ２方向に突出する環状の内側突部を備える。内側突部の断面形状は、矩形であり、Ｚ１方向およびＺ２方向に向かって先細りとなる。外側バリ部分６１ｃは、枠状バリ部分６１ａの内周側で連続するとともに、枠状バリ部分６１ａに連続する。外側バリ部分６１ｃは、環状製品部６０と隣接する位置にＺ１方向およびＺ２方向に突出する環状の外側突部を備える。外側突部の断面形状は、矩形であり、Ｚ１方向およびＺ２方向に向かって先細りとなる。

ここで、第１弾性シート打抜き装置３は、弾性シート２から内側バリ部分６１ｂを打抜く。第２弾性シート打抜き装置４は、内側バリ部分６１ｂが打抜かれた弾性シート２から環状製品部６０を打抜く。第２弾性シート打抜き装置４により打抜かれた環状製品部６０は、環状のシール材となる。本例では、シール材は、Ｏリングである。

弾性シート２は、エラストマー製である。本例では、弾性シート２は、熱硬化性エラストマーからなる。熱硬化性エラストマーは、弾性があり、撓みやすい。また、熱硬化性エラストマーは、粘着性を備える。熱硬化性エラストマーの線膨張係数は、１×１０^－４／℃～３×１０^－４／℃である。熱硬化性エラストマーの線膨張係数は、鉄の線膨張係数と比較して、１０～４０倍大きい。ここで、弾性シート２は、ラバーインジェクション成型機により製造される。すなわち、弾性シート２は、熱硬化性エラストマーを所定の成形温度とした金型に注入し、圧力をかけて成形される。弾性シート２は、熱硬化性エラストマーと同様の性質を備える。すなわち、弾性シート２は、弾性および粘着性を備える。また、弾性シート２は、鉄と比較して、線膨張係数が１０～４０倍大きい。

（第１弾性シート搬送装置）
（供給機構）
図４は、供給機構５２の説明図である。図５（ａ）は、弾性シート移動機構５４の吸着部の断面図である。図５（ｂ）は、弾性シート移動機構５４の吸着部をＺ１方向から見た場合の斜視図である。図５（ａ）では、吸着部に弾性シート２が吸着されている状態を模式的に示す。図４に示すように、ストッカー５３内において、弾性シート２は、Ｚ方向に積み重ねられている。弾性シート移動機構５４は、ストッカー５３の一番上の弾性シート２をテーブル５１のテーブル表面５１ａに設定した載置領域Ｃ（図２参照）に移動させる
。

図４に示すように、ストッカー５３は、角筒部６５と、角筒部６５の下端開口を封鎖する底板部６６と、を備える。角筒部６５は、Ｘ方向で対向する側板のそれぞれにＺ方向に延びるスリット６７を備える。弾性シート２は、角筒部６５の内側に積層されている。底板部６６は、昇降機構６８により、角筒部６５の内側をＺ方向に昇降可能である。昇降機構６８は、弾性シート移動機構５４が弾性シート２を１枚移動させる毎に、底板部６６を所定距離だけ上昇させる。弾性シート２は、第１辺５８ａおよび第２辺５８ｂをＸ方向に向け、第３辺５８ｃおよび第４辺５８ｄをＹ方向に向けた姿勢でストッカー５３に収容されている。ここで、図２に示すように、滞留位置Ｅは、槽内の温度調節を行う温度調節機構７０ａを有する温度槽７０内に設定されている。従って、ストッカー５３は温度槽７０内に位置する。弾性シート２は、温度槽７０内で滞留する。

次に、弾性シート移動機構５４は、図１、図４に示すように、吸着面７１（第２吸着面）および当該吸着面７１に設けられた吸気口７２（第２吸気口）を備える吸着部７３（第２吸着部）と、吸気口７２に連通する吸気機構７４（第２吸気機構）と、吸着部７３および吸気機構７４を移動させる吸着部移動機構７５（第２吸着部移動機構）と、を備える。また、図１に示すように、弾性シート移動機構５４は、吸着面７１に複数枚の弾性シート２が吸着されたことを検出するための第１センサー７６を備える。

図４に示すように、吸着部７３は、Ｚ方向から見た場合の形状が矩形の吸引プレート８１を備える。吸引プレート８１は、その中央部分からＺ２方向に突出する筒部８２を備える。また、吸引プレート８１は、図５に示すように、下面の中央部分に正方形形状の凹部８３を備える。凹部８３をＺ方向から見た場合の大きさは、弾性シート２よりも小さい。凹部８３の中心部分には、吸引プレート８１をＺ方向に貫通する連通口８４が設けられている。連通口８４は筒部８２に連通する。

吸引プレート８１の下面には、シート状の網部材８５が固定されている。網部材８５は、矩形であり、凹部８３を下方から封鎖する。また、網部材８５の外周縁には、シート状の枠体８６が貼り付けられている。本例では、網部材８５は、金網であり、導電性を備える。枠体８６は、クレープ紙を基材とする。より具体的には、枠体８６は、クレープ紙からなる基材および基材の一方面に設けられた粘着層を備えるテープを、網部材８５の外周縁に枠状に貼り付けることにより構成されている。テープの表面、すなわち、枠体８６の下面は、粗面である。ここで、枠体８６の下面、および網部材８５の下面は、弾性シート２を吸着するための吸着面７１を構成する。従って、吸着面７１は、粗面部分を備える。また、吸着面７１は、導電性の金属部分を備える。吸着面７１に設けられた吸気口７２は、網部材８５が備える多数の開口である。

枠体８６からなる吸着面７１の枠状部分７１ａは、吸着面７１に弾性シート２を吸着したときに弾性シート２の外周縁に接触する。枠状部分７１ａの表面は、十点平均粗さをＲとした場合に、次の条件式を満たす。
８μｍ ≦ Ｒ
本例では、Ｒ＝５０μｍである。

図４に示すように、吸気機構７４は、エジェクター８８を備える。エジェクター８８は、空気流入口８８ａと、ディフューザーと、ディフューザーと空気流入口８８ａとを連通させるボディと、ボディに駆動流体を流入させて空気流入口８８ａからディフューザーに向かう気流を発生させる気流発生機構と、を備える周知のものである。エジェクター８８は、空気流入口８８ａが吸引プレート８１の筒部８２に接続されている。これにより、エジェクター８８の空気流入口８８ａは、吸引プレート８１の筒部８２、連通口８４、およ
び凹部８３を介して、網部材８５の開口である吸気口７２に連通する。

図１に示すように、吸着部移動機構７５は、吸着部７３を支持する支持部９１と、支持部９１をＹ方向およびＺ方向に移動させる支持部移動機構９２と、を備える。支持部移動機構９２は、モータなどの駆動源を備える。図２に示すように、吸着部移動機構７５は、予め設定した所定の搬送経路Ｇ１に沿って、吸着部７３を移動させる。

ここで、図１に示すように、供給機構５２は、吸気機構７４および弾性シート移動機構５４を駆動制御する搬送制御部９３（第２搬送制御部）を備える。搬送制御部９３は、弾性シート打抜きシステム１の制御部７と一体、または通信可能に設けられている。搬送制御部９３は、弾性シート２をストッカー５３からテーブル５１に供給する際に、まず、吸着部移動機構７５を駆動制御して吸着部７３を移動させ、その吸着面７１をストッカー５３に積層された弾性シート２に隙間を開けて対向させる。次に、搬送制御部９３は、吸気機構７４を駆動して弾性シート２を吸い上げて、吸着面７１に吸着するとともに、吸着部移動機構７５を駆動して吸着部７３を所定の搬送経路Ｇ１に従ってＹ２方向に移動させる。その後、搬送制御部９３は、吸着部７３を、その吸着面７１がテーブル表面５１ａの載置領域Ｃに対向する位置に配置する。しかる後に、搬送制御部９３は、吸気機構７４の駆動を停止する。これにより、弾性シート２を吸着面７１から落下させて、載置領域Ｃに供給する。

第１センサー７６は、吸着部７３が移動する搬送経路Ｇ１の下方を当該搬送経路Ｇ１と交差する方向に横断する検査光を射出する検査光射出部７６ａを備える。第１センサー７６は、搬送経路Ｇ１の検査光射出部７６ａとは反対側で検査光を受光する受光部７６ｂを備える。搬送制御部９３は、受光部７６ｂからの出力に基づいて、吸着部７３に複数枚の弾性シート２が吸引されているか、否かを判定する。

（テーブルおよび位置決め機構）
図６は、テーブル５１および位置決め機構の説明図である。図２に示すように、テーブル５１は、ストッカー５３のＹ２方向に位置する。テーブル５１は、金属製であり、水平なテーブル表面５１ａを備える。図６に示すように、テーブル表面５１ａには、フッ素樹脂を含有するコーティング層９９が設けられている。本例では、コーティング層９９が含有するフッ素樹脂は、ＰＴＦＥである。テーブル表面５１ａの中央部分には、供給機構５２から供給される弾性シート２が載置される載置領域Ｃが設定されている。載置領域Ｃは、弾性シート２を厚み方向から見た場合の平面形状よりも広い領域である。また、載置領域Ｃの中央部分には、弾性シート２を位置決めするための供給位置Ｄが設定されている。供給位置Ｄは、弾性シート２の平面形状と対応する形状および大きさを備える領域である。載置領域Ｃには、複数の通気口１０１が設けられている。複数の通気口１０１は、マトリックス状に配列されている。本例では、複数の通気口１０１は、供給位置Ｄを含む矩形の領域に設けられている。ここで、本例では、供給機構５２は、弾性シート２を、載置領域Ｃにおける供給位置Ｄからズレた位置に供給する。

テーブル５１には、弾性シート２がテーブル表面５１ａに供給されたことを検出する第２センサー１０３が設けられている。第２センサー１０３は、発光部と、受光部と、センシング部１０３ａと、を備える。発光部と、受光部とは、光ファイバーにより接続されている。センシング部１０３ａは、光ファイバーにおける発光部と受光部との間に設けられている。センシング部１０３ａはテーブル表面５１ａの中央に設けられている。発光部と受光部とは、テーブル５１の下方に配置されている。第２センサー１０３は、弾性シート打抜きシステム１の制御部７に接続される。弾性シート２がテーブル表面５１ａに供給されると、受光部の受光量が変動する。これにより受光部からの出力が変化する。従って、制御部７は、第２センサー１０３からの出力に基づいて、テーブル表面５１ａに弾性シー
ト２が存在することを検出できる。

位置決め機構５５は、弾性シート２が載置領域Ｃに載置されると、弾性シート２を供給位置Ｄに位置決めする。位置決め機構５５は、テーブル表面５１ａにおける載置領域Ｃに設けられた通気口１０１から空気を噴出させて弾性シート２をテーブル表面５１ａから浮上させる浮上機構１０５と、浮上した弾性シート２をテーブル表面５１ａに沿って移動させて供給位置ＤのＺ２方向に位置する浮上位置Ｆに配置する配置機構１０６と、を有する。供給位置Ｄおよび浮上位置Ｆは、弾性シート２と平面形状に対向する形状の領域である。

浮上機構１０５は、不図示のコンプレッサーおよび送気ポンプを備える。送気ポンプは、通気口１０１に連通しており、コンプレッサーからの圧縮空気を通気口１０１から噴き出す。ここで、浮上機構１０５により弾性シート２がテーブル表面５１ａから浮上した状態には、弾性シート２の全体がテーブル表面５１ａから離間しておらず、弾性シート２の一部分がテーブル表面５１ａに接触している状態が含まれる。従って、弾性シート２が浮上位置Ｆに配置された状態には、弾性シート２の一部分がテーブル表面５１ａに接触している状態が含まれる。

配置機構１０６は、載置領域Ｃで浮上する弾性シート２の外周縁にＸ１方向から当接可能な第１配置部材１１１、載置領域Ｃで浮上する弾性シート２の外周縁にＸ２方向から当接可能な第２配置部材１１２、載置領域Ｃで浮上する弾性シート２の外周縁にＹ１方向から当接可能な第３配置部材１１３、および載置領域Ｃで浮上する弾性シート２の外周縁にＹ２方向から当接可能な第４配置部材１１４を備える。第１配置部材１１１、および第２配置部材１１２は、それぞれテーブル表面５１ａから起立してＹ方向に延びる板状の部材である。第３配置部材１１３、および第４配置部材１１４は、それぞれテーブル表面５１ａから起立してＸ方向に延びる板状の部材である。

また、配置機構１０６は、テーブル５１のＺ１方向に、第１配置部材１１１を載置領域ＣのＸ１方向に離間する第１離間位置Ｈ１と浮上位置Ｆとの間でＸ方向に移動させる第１配置部材移動機構１１５、第２配置部材１１２を載置領域ＣのＸ２方向に離間する第２離間位置Ｈ２と浮上位置Ｆとの間でＸ方向に移動させる第２配置部材移動機構１１６と、第３配置部材１１３を載置領域ＣのＹ１方向に離間する第３離間位置Ｈ３と浮上位置Ｆとの間でＹ方向に移動させる第３配置部材移動機構１１７、および第４配置部材１１４を載置領域ＣのＹ２方向に離間する第４離間位置Ｈ４と浮上位置Ｆとの間でＹ方向に移動させる第４配置部材移動機構１１８を備える。各配置部材移動機構１１５～１１８は、テーブル表面５１ａに設けられたスリット１１９に沿って各配置部材１１１～１１４を移動させる。

ここで、図１に示すように、位置決め機構５５は、浮上機構１０５、第１配置部材移動機構１１５、第２配置部材移動機構１１６、第３配置部材移動機構１１７、および第４配置部材移動機構１１８を駆動制御して弾性シート２を供給位置Ｄに位置決めする位置決め制御部１２０を備える。より具体的には、位置決め制御部１２０は、浮上機構１０５を駆動制御する浮上機構制御部１２１と、第１配置部材移動機構１１５、第２配置部材移動機構１１６、第３配置部材移動機構１１７、および第４配置部材移動機構１１８を駆動制御する移動制御部１２２と、を有する。位置決め制御部１２０は、弾性シート打抜きシステム１の制御部７と一体、または通信可能に設けられている。

位置決め制御部１２０は、弾性シート２が載置領域Ｃに供給されると、浮上機構１０５を駆動して弾性シート２をテーブル表面５１ａから浮上させるとともに、第１配置部材移動機構１１５、第２配置部材移動機構１１６、第３配置部材移動機構１１７、および第４
配置部材移動機構１１８を駆動して、第１離間位置Ｈ１にある第１配置部材１１１、第２離間位置Ｈ２にある第２配置部材１１２、第３離間位置Ｈ３にある第３配置部材１１３、および第４離間位置Ｈ４にある第４配置部材１１４を、同時に、浮上位置Ｆに向かって移動させる。これにより、弾性シート２は、各配置部材１１１～１１４に接触して供給位置Ｄに移動する。弾性シート２が浮上位置Ｆに配置されると、浮上機構制御部１２１は、浮上機構１０５を停止させる。これにより、弾性シート２は、浮上位置Ｆから下降して、供給位置Ｄに配置される。弾性シート２が供給位置Ｄに配置されると、移動制御部１２２は、第１配置部材移動機構１１５、第２配置部材移動機構１１６、第３配置部材移動機構１１７、および第４配置部材移動機構１１８を駆動して、浮上位置Ｆにある第１配置部材１１１、第２配置部材１１２、第３配置部材１１３、および第４配置部材１１４のそれぞれを、第１離間位置Ｈ１、第２離間位置Ｈ２、第３離間位置Ｈ３、および第４離間位置Ｈ４に戻す。

なお、位置決め制御部１２０は、弾性シート２が載置領域Ｃに供給される前に、浮上機構１０５を駆動してテーブル表面５１ａの通気口１０１から空気を噴出させてもよい。

（搬送機構）
搬送機構５６は、供給位置Ｄに位置決めされた弾性シート２を、第１弾性シート打抜き装置３の第１ダイプレート１８に設定された第１打抜き位置Ａに搬送する。搬送機構５６は、供給機構５２の弾性シート移動機構５４と同様の構成を備える。従って、搬送機構５６の説明では、弾性シート移動機構５４と対応する構成には、同一名称および同一符号を付して、詳細な説明を省略する。

図１に示すように、搬送機構５６は、吸着面７１（第１吸着面）および当該吸着面７１に設けられた吸気口７２（第１吸気口）を備える吸着部７３（第１吸着部）と、吸気口７２に連通する吸気機構７４（第１吸気機構）と、吸着部７３および吸気機構７４を移動させる吸着部移動機構７５（第１吸着部移動機構）と、を備える。図５（ａ）に示すように、吸着部７３は、吸引プレート８１を備える。吸引プレート８１は、その中央部分からＺ２方向に突出する筒部８２を備える。また、吸引プレート８１は、下面の中央部分に正方形形状の凹部８３を備える。凹部８３の中心部分には、吸引プレート８１をＺ方向に貫通する連通口８４が設けられている。連通口８４は筒部８２に連通する。

図５（ｂ）に示すように、吸引プレート８１の下面には、凹部８３を下方から封鎖するシート状の網部材８５が固定されている。網部材８５の外周縁には、シート状の枠体８６が貼り付けられている。網部材８５は、金網であり、導電性を備える。枠体８６の下面は、粗面である。枠体８６の下面、および網部材８５の下面は、弾性シート２を吸着するための吸着面７１を構成する。従って、吸着面７１は、粗面部分を備える。また、吸着面７１は、導電性の金属部分を備える。吸着面７１に設けられた吸気口７２は、網部材８５が備える多数の開口である。枠体８６からなる吸着面７１の枠状部分７１ａは、吸着面７１に弾性シート２を吸着したときに弾性シート２の外周縁に接触する。枠状部分７１ａの表面は、十点平均粗さをＲとした場合に、Ｒ＝５０であり、上記の条件式を満たす。

図５（ａ）に示すように、吸気機構７４は、エジェクター８８を備える。エジェクター８８の空気流入口８８ａは、吸引プレート８１の筒部８２、連通口８４、および凹部８３を介して、網部材８５の開口である吸気口７２に連通する。図１に示すように、吸着部移動機構７５は、吸着部７３を支持する支持部１２５と、支持部１２５をＸ方向およびＺ方向に移動させる支持部移動機構１２６と、を備える。支持部移動機構１２６は、モータなどの駆動源を備える。

ここで、図１に示すように、搬送機構５６は、吸気機構７４および吸着部移動機構７５
を駆動制御する搬送制御部１２３（第１搬送制御部）を備える。搬送制御部１２３は、弾性シート打抜きシステム１の制御部７と一体、または通信可能に設けられている。搬送制御部１２３は、テーブル５１上で弾性シート２が供給位置Ｄに位置決めされると、吸着部移動機構７５を駆動制御して吸着部７３を移動させて、その吸着面７１を供給位置Ｄに配置された弾性シート２に隙間を開けて対向させる。次に、搬送制御部１２３は、吸気機構７４を駆動して弾性シート２を吸い上げて、吸着面７１に吸着するとともに、吸着部移動機構７５を駆動して吸着部７３を所定の搬送経路Ｇ２に従ってＹ２方向に移動させる。その後、搬送制御部１２３は、吸着部７３を、第１弾性シート打抜き装置３の第１ダイプレート１８に設定された第１打抜き位置Ａに対向させる。しかる後に、搬送制御部１２３は、吸気機構７４の駆動を停止する。これにより、弾性シート２を吸着面７１から落下させて、第１打抜き位置Ａに配置する。

（第２弾性シート搬送装置）
図７（ａ）は、第２弾性シート搬送装置６の吸着部７３の断面図である。図７（ｂ）は、第２弾性シート搬送装置６の吸着部７３をＺ１方向から見た場合の斜視図である。図７（ａ）では、吸着部に弾性シート２が吸着されている状態を模式的に示す。第２弾性シート搬送装置６は、第１弾性シート打抜き装置３の第１打抜き位置Ａに配置された弾性シート２を、第２弾性シート打抜き装置４の第２ダイプレート１８に設定された第２打抜き位置Ｂに搬送する。第２弾性シート搬送装置６は、第１弾性シート搬送装置５の弾性シート移動機構５４および搬送機構５６と対応する構成を備える。従って、第２弾性シート搬送装置６の説明では、弾性シート移動機構５４および搬送機構５６と対応する構成には、同一名称および同一符号を付して、詳細な説明を省略する。

図１に示すように、第２弾性シート搬送装置６は、吸着面７１（第３吸着面）および当該吸着面７１に設けられた吸気口７２（第３吸気口）を備える吸着部７３（第３吸着部）と、吸気口７２に連通する吸気機構７４（第３吸気機構）と、吸着部７３および吸気機構７４を移動させる吸着部移動機構７５（第３吸着部移動機構）と、を備える。図７に示すように、吸着部７３は、吸引プレート８１を備える。吸引プレート８１は、その中央部分からＺ２方向に突出する筒部８２を備える。また、吸引プレート８１は、下面の中央部分に正方形形状の凹部８３を備える。凹部８３の中心部分には、吸引プレート８１をＺ方向に貫通する連通口８４が設けられている。連通口８４は筒部８２に連通する。

吸引プレート８１の下面には、凹部８３を下方から封鎖するシート状の網部材８５が固定されている。網部材８５の外周縁には、シート状の枠体８６が貼り付けられている。また、網部材８５における枠体８６の内周側には、シート状の矩形体８７が貼り付けられている。矩形体８７および枠体８６の下面は、粗面である。径方向で矩形体８７と枠体８６とは離間しており、矩形体８７と枠体８６との間の隙間からは、網部材８５が下方に露出する。網部材８５において矩形体８７と枠体８６との間の隙間から露出する枠状の網部分８５ａは、吸着部７３が弾性シート２を吸着する際に、弾性シート２の枠状バリ部分６１ａと対向する。網部材８５において矩形体８７と枠体８６との間の隙間から露出する枠状の網部分８５ａの複数の開口は、吸気口７２である。

矩形体８７の下面、枠体８６の下面、および、網部材８５において矩形体８７と枠体８６との間の隙間から露出する枠状の網部分８５ａの下面は、弾性シート２を吸着するための吸着面７１を構成する。従って、吸着面７１は、導電性の金属部分を備える。ここで、枠体８６および矩形体８７からなる吸着面７１の枠状部分７１ａおよび矩形部分７１ｂは、吸着面７１に弾性シート２を吸着したときに、弾性シート２の中央部分および外周縁に接触する。枠状部分７１ａの表面および矩形部分７１ｂの表面は、十点平均粗さをＲとした場合に、Ｒ＝５０であり、上記の条件式を満たす。

吸気機構７４は、エジェクター８８を備える。エジェクター８８の空気流入口８８ａは、吸引プレート８１の筒部８２、連通口８４、および凹部８３を介して、網部材８５の開口である吸気口７２に連通する。

図１に示すように、吸着部移動機構７５は、吸着部７３を支持する支持部１２７と、支持部１２５をＸ方向およびＺ方向に移動させる支持部移動機構１２８と、を備える。支持部移動機構１２８は、モータなどの駆動源を備える。本例では、搬送機構５６の支持部移動機構１２６は、第２弾性シート搬送装置６の支持部移動機構１２８を兼ねる。すなわち、本例では、Ｘ方向において、供給位置Ｄ、第１打抜き位置Ａ、第２打抜き位置Ｂは、等間隔で設定されている。また、テーブル表面５１ａ、第１ダイプレート表面、および第２ダイプレート表面は、同じ高さに設定されている。これにより、搬送機構５６の支持部移動機構１２６は、搬送機構５６の支持部１２５と第２弾性シート搬送装置６の支持部１２５とを一定間隔で同時に移動させることにより、供給位置Ｄから第１打抜き位置Ａへの弾性シート２の移動と、第１打抜き位置Ａから第２打抜き位置Ｂへの弾性シート２の移動とを並行して行うことができる。

ここで、第２弾性シート搬送装置６は、吸気機構７４および吸着部移動機構７５を駆動制御する搬送制御部１２４（第３搬送制御部）を備える。搬送制御部１２４は、弾性シート打抜きシステム１の制御部７と一体、または通信可能に設けられている。搬送制御部１２４は、第１弾性シート打抜き装置３において弾性シート２の内側バリ部分６１ｂの打抜き動作が完了すると、吸着部移動機構７５を駆動制御して吸着部７３を移動させて、吸着面７１を第１ダイプレート表面１８ａの第１打抜き位置Ａにある弾性シート２に隙間を開けて対向させる。次に、搬送制御部１２４は、吸気機構７４を駆動して、弾性シート２をＺ２方向に吸い上げて、吸着面７１に吸着する。また、搬送制御部１２４は、吸着部移動機構７５を駆動して吸着部７３を所定の搬送経路Ｇ３に従ってＸ１方向に移動させる。その後、搬送制御部１２４は、吸着部７３を、第２弾性シート打抜き装置４の第２ダイプレート１８に設定された第２打抜き位置Ｂに対向させる。しかる後に、搬送制御部１２４は、吸気機構７４の駆動を停止する。これにより、弾性シート２を吸着面７１から落下させて、第２打抜き位置Ｂに配置する。

（弾性シート打抜きシステムの動作）
図８は、弾性シート打抜きシステム１の動作のフローチャートである。図８に示すように、シール材を製造する際には、まず、弾性シート２をストッカー５３に保持して滞留位置Ｅに配置する。これにより、弾性シート２を温度槽７０内で滞留させる（ステップＳＴ１）。次に、弾性シート打抜きシステム１は、ストッカー５３からテーブル５１へ弾性シート２を搬送し（ステップＳＴ２）、テーブル５１において、弾性シート２を供給位置Ｄに位置決めする（ステップＳＴ３）。その後、弾性シート打抜きシステム１は、弾性シート２を供給位置Ｄから第１弾性シート打抜き装置３の第１打抜き位置Ａに搬送し（ステップＳＴ４）、第１弾性シート打抜き装置３により弾性シート２の内側バリ部分６１ｂを打抜く（ステップＳＴ５）。しかる後に、弾性シート打抜きシステム１は、弾性シート２を第１打抜き位置Ａから第２弾性シート打抜き装置４の第２打抜き位置Ｂへ搬送し（ステップＳＴ６）、第１弾性シート打抜き装置３により弾性シート２の環状製品部６０を打抜く（ステップＳＴ７）。これにより、シール材の製造が完了する。

（弾性シートの温度槽内での滞留）
ラバーインジェクション成型機により製造された弾性シート２は、ストッカー５３に積載されて温度槽７０内の滞留位置Ｅに配置される。これにより、弾性シート２は、所定時間以上、温度槽７０内に滞留させられる。

ここで、製造時の温度条件および圧力条件に起因して、弾性シート２の寸法には、製造
ロット毎に、バラツキが発生している場合がある。従って、製造ロットによっては、弾性シート２の寸法が、設計寸法に合致していないことがある。かかる問題に対して、本例では、温度槽７０の槽内の温度を調節して、ストッカー５３に収容された弾性シート２の寸法を変化させて、設計寸法に合致させる。

弾性シート２の寸法を変化させる場合には、槽内の温度を、－５０℃～６０℃の範囲で調節する。槽内の温度を１０℃上昇させたときに、弾性シート２の寸法は０．１％～０．３％大きくなる。なお、弾性シート２によっては、槽内の温度を調節することにより、弾性シート２の粘度を上昇させて、弾性シート２の剛性を高める場合がある。また、弾性シート２が静電気を帯びている場合に、槽内の温度を０℃以下とする場合もある。槽内の温度を０℃以下とした場合には、弾性シート２を温度槽７０から外に搬送したときに、弾性シート２表面に結露が発生する。これにより、静電気が除去される。

弾性シート２の寸法を設計寸法とすれば、ステップＳＴ３において、弾性シート２を、テーブル５１上で精度よく位置決めすることができる。また、弾性シート２の寸法を設計寸法としておけば、ステップＳＴ５、ステップＳＴ７において、弾性シート２を第１弾性シート打抜き装置３の第１打抜き位置Ａおよび第２弾性シート打抜き装置４の第２打抜き位置Ｂに精度よく配置することができるので、弾性シート２の所望の部分を精度よく打抜くことができる。

（ストッカーからテーブルへの弾性シートの搬送）
シール材を製造する際には、搬送制御部９３は、供給機構５２の吸気機構７４および弾性シート移動機構５４を駆動制御して、ストッカー５３にある弾性シート２を吸着部７３の吸着面７１に吸着し、吸着部７３を所定の搬送経路Ｇ１（図２参照）に沿って移動させ、吸着の解除によってテーブル５１に設定された載置領域Ｃに供給する。

ここで、吸着面７１の吸気口７２から空気を吸い込む吸気機構７４は、吸い込む空気の単位時間当たりの吸込量が大きいエジェクター８８を備える。従って、搬送制御部９３は、吸着部７３の吸着面７１を弾性シート２と隙間を開けて対向させた後に、吸気機構７４を駆動して弾性シート２を吸い上げて吸着面７１に吸着させることができる。これにより、吸着面７１を弾性シート２に押し付けずに弾性シート２を吸着面７１に吸引できるので、弾性シート２を吸着面７１に吸着する際に、弾性シート２が変形したり、破れたりすることを防止できる。

この一方、エジェクター８８は、吸着面７１の吸気口７２から吸い込む空気の単位時間当たりの吸込量が大きいので、吸着面７１には、複数枚の弾性シート２が吸着される場合がある。この場合、吸着面７１の側に位置する一枚目の弾性シート２と、１枚目の弾性シート２の吸着面７１とは反対側に位置する２枚目の弾性シート２とは、吸着面７１の面内方向でズレて吸着される。従って、２枚目の弾性シート２は、吸着面７１から下方に垂れ下がる垂れ下がり部分を備えるものとなる。ここで、吸着部７３が所定の搬送経路Ｇ１を移動しているときに２枚目の弾性シート２の垂れ下がり部分は、搬送経路Ｇ１の下方を横切る第１センサー７６の検査光を遮光する。よって、第１センサー７６の受光部７６ｂに検査光が届かない場合に、搬送制御部９３は、吸着面７１に複数枚の弾性シート２が吸着されているものと判定できる。これにより、弾性シート打抜きシステム１は、弾性シート２のテーブル５１への供給にエラーが発生したことを知得できる。

また、吸着面７１は、弾性シート２を吸着したときに弾性シート２の外周縁に接触する枠状部分７１ａを備え、吸気口７２は、枠状部分７１ａの内周側に位置する。枠状部分７１ａは、粗面である。従って、エジェクター８８の駆動によって吸着部７３が吸着面７１に弾性シート２を吸着しているときに、吸着面７１の枠状部分７１ａと、この枠状部分７
１ａに接触する弾性シート２の外周縁との間を、空気が流れる。言い換えれば、吸着面７１に弾性シート２が吸着されているときに、吸着面７１と弾性シート２との間に、弾性シート２の外周側から、吸気口７２が存在する枠状部分７１ａの内周側に向かう気流が発生する。これにより、吸着面７１と弾性シート２とが密着状態となることがないので、エジェクター８８の駆動を停止したときに、吸着面７１から弾性シート２が離間しやすい。よって、弾性シート２をテーブル５１の載置領域Ｃに配置することが容易である。

さらに、枠状部分７１ａの表面は、十点平均粗さをＲとした場合に、Ｒ＝５０μｍであり、以下の条件式を満たす。
８μｍ ≦ Ｒ

従って、エジェクター８８の駆動によって吸着部７３が吸着面７１に弾性シート２を吸着しているときに、吸着面７１と弾性シート２との間を空気が流れやすくなる。すなわち、十点平均粗さＲが条件式の下限値を下回った場合には、吸着面７１と弾性シート２との間を空気が流れ難くなる。

また、吸着面７１は、導電性の金属からなる金属部分を備える。従って、弾性シート２が静電気などによって帯電している場合でも、その電荷を金属部分から吸着部７３の側に逃がすことができる。

（テーブルに供給された弾性シートの位置決め）
図９は、弾性シート２がテーブル５１上で位置決めされる動作の説明図である。図９の一番上の図に示すように弾性シート２がテーブル５１上に供給されると、位置決め制御部１２０は、第２センサー１０３からの出力により、弾性シート２が載置領域Ｃに配置されたことを取得する。弾性シート２が載置領域Ｃに配置されると、図９の上から２番目の図に示すように、位置決め制御部１２０は、浮上機構１０５を駆動してテーブル表面５１ａの通気口１０１から空気を噴出させて、弾性シート２をテーブル表面５１ａから浮上させる。また、位置決め制御部１２０は、これと並行して、第１配置部材移動機構１１５、第２配置部材移動機構１１６、第３配置部材移動機構１１７、および第４配置部材移動機構１１８を駆動して、第１離間位置Ｈ１にある第１配置部材１１１、第２離間位置Ｈ２にある第２配置部材１１２、第３離間位置Ｈ３にある第３配置部材１１３、および第４離間位置Ｈ４にある第４配置部材１１４を、同時に、浮上位置Ｆに向かって移動させる。

本例では、供給機構５２は、弾性シート２を、載置領域Ｃの供給位置Ｄからズレた位置に供給する。図９では、供給機構５２は、弾性シート２を第１離間位置Ｈ１にある第１配置部材１１１よりも、第２離間位置Ｈ２にある第２配置部材１１２に近い位置に供給している。従って、図９の上から３番目の図に示すように、第１配置部材１１１、第２配置部材１１２、第３配置部材１１３、および第４離間位置Ｈ４は、時間差で弾性シート２に接触して、弾性シート２を供給位置Ｄに向かって移動させる。その後、図９の上から４番目の図に示すように、第１配置部材１１１、第２配置部材１１２、第３配置部材１１３、および第４離間位置Ｈ４が供給位置Ｄに達すると、弾性シート２は、供給位置Ｄの上方に位置する浮上位置Ｆに配置される。第１配置部材１１１、第２配置部材１１２、第３配置部材１１３、および第４離間位置Ｈ４が供給位置Ｄに達すると、位置決め制御部１２０は、浮上機構１０５を停止させる。これにより、図９の一番下の図に示すように、弾性シート２は、浮上位置Ｆから下降して、テーブル表面５１ａの供給位置Ｄに配置される。

ここで、第１配置部材１１１、第２配置部材１１２、第３配置部材１１３、および第４配置部材１１４は、浮上している弾性シート２に時間差で当接する。従って、弾性シート２がテーブル表面５１ａの載置領域Ｃに供給されたときに、Ｚ方向から見た場合の弾性シート２の姿勢に角度ズレが発生している場合でも、弾性シート２の姿勢の角度ズレを是正
できる。

また、テーブル表面５１ａには、フッ素樹脂を含有するコーティング層９９が設けられている。従って、載置領域Ｃに供給された弾性シート２がテーブル表面５１ａに貼り付いてしまうことを防止或いは抑制できる。よって、テーブル表面５１ａに供給された弾性シート２を浮上させることが容易となる。

ここで、弾性シート２がテーブル表面５１ａから浮上した状態には、弾性シート２の全体がテーブル表面５１ａから離間しておらず、弾性シート２の一部分がテーブル表面５１ａに接触している状態が含まれる。弾性シート２の一部分がテーブル表面５１ａに接触している場合でも、弾性シート２が浮上しているので、弾性シート２はスティックスリップすることなくテーブル５１上を移動する。また、弾性シート２の一部分がテーブル表面５１ａに接触している場合でも、テーブル表面５１ａにフッ素樹脂を含有するコーティング層９９が設けられているので、弾性シート２がテーブル５１上を移動しやすい。

その後、弾性シート２が供給位置Ｄに配置されると、位置決め制御部１２０は、第１配置部材移動機構１１５、第２配置部材移動機構１１６、第３配置部材移動機構１１７、および第４配置部材移動機構１１８を駆動して、供給位置Ｄにある第１配置部材１１１、第２配置部材１１２、第３配置部材１１３、および第４配置部材１１４のそれぞれを、第１離間位置Ｈ１、第２離間位置Ｈ２、第３離間位置Ｈ３、および第４離間位置Ｈ４に戻す。

（供給位置から第１弾性シート打抜き装置への弾性シートの搬送）
弾性シート２がテーブル表面５１ａの供給位置Ｄに位置決めされると、搬送制御部１２３は、搬送機構５６の吸気機構７４および吸着部移動機構７５を駆動制御して、弾性シート２を吸着部７３の吸着面７１に吸着し、吸着部７３を所定の搬送経路Ｇ２（図２参照）に沿って移動させ、吸着の解除によって第１打抜き位置Ａに配置する。

ここで、搬送機構５６において、吸着面７１の吸気機構７４から空気を吸い込む吸気機構７４は、吸い込む空気の単位時間当たりの吸込量が大きいエジェクター８８を備える。従って、搬送制御部１２３は、吸着部７３の吸着面７１を弾性シート２と隙間を開けて対向させた後に、吸気機構７４を駆動して弾性シート２を吸い上げて吸着面７１に吸着させることができる。これにより、吸着面７１を弾性シート２に押し付けずに弾性シート２を吸着面７１に吸引できるので、弾性シート２を吸着面７１に吸着する際に、弾性シート２が変形することを防止できる。

また、吸着面７１は、弾性シート２を吸着したときに弾性シート２の外周縁に接触する枠状部分７１ａを備える。吸気機構７４は、枠状部分７１ａの内周側に位置する。枠状部分７１ａの表面は、十点平均粗さをＲとした場合に、Ｒ＝５０であり、上記の条件式を満たす。従って、エジェクター８８の駆動によって吸着部７３が吸着面７１に弾性シート２を吸着しているときに、吸着面７１の枠状部分７１ａと、この枠状部分７１ａに接触する弾性シート２の外周縁との間を、空気が流れる。これにより、吸着面７１と弾性シート２とが密着状態となることがないので、エジェクター８８の駆動を停止して吸着を解除したときに、吸着面７１から弾性シート２が離間しやすい。よって、弾性シート２を第１打抜き位置Ａに配置することが容易である。従って、弾性シート２を第１打抜き位置Ａに正確に配置できる。

さらに、吸着面７１は、導電性の金属からなる金属部分を備える。従って、弾性シート２が静電気などによって帯電している場合でも、その電荷を金属部分から吸着部７３の側に逃がすことができる。

（第１弾性シート打抜き装置による内側バリ部分の打抜き）
弾性シート２が第１ダイプレート１８のダイプレート表面１８ａに設定された第１打抜き位置Ａに配置されると、第１打抜き制御部２２は、第１パンチプレート１３をＺ２方向から第１ダイプレート１８に接近させる。これにより、第１弾性シート打抜き装置３は、第１パンチ部１２により弾性シート２を打抜いて、第１パンチ部１２の先端部分を第１穴部１９に挿入する。また、第１打抜き制御部２２は、弾性シート２の打抜きが完了すると、第１パンチプレート１３を第１ダイプレート１８からＺ２方向に離間させる。第１パンチ部１２によって打抜かれた弾性シート２の打抜き部分である内側バリ部分６１ｂは、第１穴部１９の下方に位置する第１回収箱２４（図１参照）に回収される。

本例では、弾性シート２は、ストッカー５３から第１打抜き位置Ａに搬送される前に、テーブル５１に載置されて、テーブル５１上で供給位置Ｄに位置決めされる。その後、供給位置Ｄに位置決めされた弾性シート２は、搬送機構５６によって吸着されて移動し、吸着の解除によって第１打抜き位置Ａに配置される。従って、弾性シート２は、テーブル５１上の供給位置Ｄで位置決めされた位置決めの精度と同様な精度で、第１打抜き位置Ａに配置される。よって、弾性シート２を第１打抜き位置Ａに精度よく配置できる。この結果、第１弾性シート打抜き装置３は、弾性シート２の内側バリ部分６１ｂを正確に打抜くことができる。

ここで、弾性シート２は、撓みやすく、その粘着性によって互いが密着しやすい。従って、弾性シート２を、一旦、ストッカー５３に収容すると、その後に弾性シート２の姿勢を修正することが困難である。従って、弾性シート２をストッカー５３に整然と重ねて収容する作業は、手間がかかる。しかし、弾性シート２をストッカー５３に整然と積載しておかなければ、弾性シート２が吸着部７３に吸着される際に、吸着面７１上で弾性シート２の位置が変動する。従って、弾性シート２をストッカー５３から第１打抜き位置Ａに搬送したときに、弾性シート２を第１打抜き位置Ａに正確に配置することができないという問題がある。

このような問題に対して、本例では、弾性シート２は、ストッカー５３から第１打抜き位置Ａに搬送される途中で、一旦、テーブル５１上に配置されて、テーブル５１上で供給位置Ｄに位置決めされる。そして、弾性シート２は、位置決めされた後に、搬送機構５６の吸着部７３に吸着されて、第１打抜き位置Ａに搬送される。従って、供給機構５２のストッカー５３内に弾性シート２が整然と積層されていなくても、弾性シート２を第１打抜き位置Ａに正確に供給できる。よって、ストッカー５３に弾性シート２を積載する作業の手間を軽減できる。

（第１弾性シート打抜き装置から第２弾性シート打抜き装置への弾性シートの搬送）
第１弾性シート打抜き装置３による弾性シート２の打抜きが完了すると、搬送制御部１２４は、第２弾性シート搬送装置６の吸気機構７４および吸着部移動機構７５を駆動制御して、弾性シート２を、吸着部７３の吸着面７１に吸着し、吸着部７３を所定の搬送経路Ｇ３（図２参照）に沿って移動させ、吸着の解除によって第２打抜き位置Ｂに配置する。

ここで、図７に示すように、第２弾性シート搬送装置６の吸着部７３は、吸着面７１において弾性シート２の枠状バリ部分６１ａと対向する枠状の対向領域に吸引口７２を備える。これにより、吸着部７３は、弾性シート２の外周縁部分を全周に渡って吸着面７１に吸引できる。従って、弾性シート２における枠状バリ部分６１ａの内周側に第１弾性シート打抜き装置３が打抜いた孔が形成されていても、吸着部７３は弾性シート２を吸着できる。また、吸着部７３が弾性シート２の外周縁部分を全周に渡って吸引するので、吸着された弾性シート２に撓みが発生することを防止或いは抑制できる。従って、弾性シート２をダイプレート表面３８ａの第２打抜き位置Ｂに正確に配置できる。

また、第２弾性シート搬送装置６において、吸着面７１の第３吸気口から空気を吸い込む吸気機構７４は、吸い込む空気の単位時間当たりの吸込量が大きいエジェクター８８を備える。従って、搬送制御部１２４は、吸着部７３の吸着面７１を弾性シート２と隙間を開けて対向させた後に、吸気機構７４を駆動して弾性シート２を吸い上げて吸着面７１に吸着させることができる。また、吸着面７１は、弾性シート２を吸着したときに弾性シート２の外周縁に接触する枠状部分７１ａと、弾性シート２の枠状バリ部分６１ａよりも内周側に接触する矩形部分７１ｂを備える。枠状部分７１ａおよび矩形部分７１ｂは、粗面である。従って、吸着面７１に弾性シート２が吸着されているときに、吸着面７１と弾性シート２との間に、気流が発生する。これにより、吸着面７１と弾性シート２とが密着状態となることがないので、エジェクター８８の駆動を停止したときに、吸着面７１から弾性シート２が離間しやすい。よって、弾性シート２を第２打抜き位置Ｂに配置することが容易である。従って、弾性シート２を第２打抜き位置Ｂに正確に配置できる。

また、枠状部分７１ａの表面および矩形部分７１ｂの表面は、十点平均粗さをＲとした場合に、Ｒ＝５０であり、上記の条件式を満たす。従って、エジェクター８８の駆動によって吸着部７３が吸着面７１に弾性シート２を吸着しているときに、吸着面７１と弾性シート２との間を空気が流れやすい。

また、吸着面７１は、導電性の金属からなる金属部分を備える。従って、弾性シート２が静電気などによって帯電している場合でも、その電荷を金属部分から吸着部７３の側に逃がすことができる。

（第２弾性シート打抜き装置による環状製品部の打抜き）
弾性シート２が第２ダイプレート１８のダイプレート表面１８ａに設定された第２打抜き位置Ｂに配置されると、第２打抜き制御部２２は、第２パンチプレート１３をＺ２方向から第２ダイプレート１８に接近させる。これにより、第２弾性シート打抜き装置４は、第２パンチ部１２により弾性シート２を打抜いて、第２パンチ部１２の先端部分を第２穴部１９に挿入する。また、第２打抜き制御部２２は、弾性シート２の打抜きが完了すると、第２パンチプレート１３を第２ダイプレート１８からＺ２方向に離間させる。ここで、第２パンチ部１２によって打抜かれた弾性シート２の打抜き部分である環状製品部６０は、第２穴部１９の下方に位置する第２回収箱２４に回収される（図１参照）。これにより、シール材の製造が完了する。

（位置決め制御部の制御動作の変形例）
位置決め制御部１２０の移動制御部１２２は、弾性シート２が載置領域Ｃに配置されると、第１離間位置Ｈ１にある第１配置部材１１１および第３離間位置Ｈ３にある第３配置部材１１３をそれぞれ浮上位置Ｆに移動させ、しかる後に、第２離間位置Ｈ２にある第２配置部材１１２および第４離間位置Ｈ４にある第４配置部材１１４をそれぞれ浮上位置Ｆに移動させるものとしてもよい。このようにすれば、弾性シート２がテーブル表面５１ａの載置領域Ｃに供給されたときに弾性シート２の姿勢に角度ズレが発生している場合に、第１配置部材１１１および第３配置部材１１３と、第２配置部材１１２および第４配置部材１１４とを時間差で弾性シート２に当接するので、弾性シート２の姿勢の角度ズレを是正できる。この場合には、供給機構５２は、テーブル表面５１ａに供給する弾性シート２を載置領域Ｃに供給する際に、意図して供給位置Ｄからズレた位置に供給する必要はない。

（吸着部の変形例）
図１０（ａ）は、変形例の吸着部の断面図である。図１０（ｂ）は、変形例の吸着部をＺ１方向から見た場合の斜視図である。図１０（ａ）では、吸着部に弾性シート２が吸着
されている状態を模式的に示す。図１０に示す変形例の吸着部は、第１弾性シート搬送装置５の弾性シート移動機構５４の吸着部７３および搬送機構５６の吸着部７３として、用いることができる。本例の吸着部７３は、網部材８５および枠体８６に換えて、導電性の板金部材１３０を備える。本例の吸着部７３は、網部材８５および枠体８６に換えて、導電性の板金部材１３０を備える。図１０に示すように、板金部材１３０は、吸引プレート８１の下面に固定されて凹部８３を下方から封鎖する。また、板金部材１３０は、Ｚ方向から見た場合に凹部８３と重なる位置に当該凹部８３に連通する複数の吸気口７２を備える。複数の吸気口７２はマトリックス状に形成される。板金部材１３０において複数の吸気口７２が形成されている領域は、Ｚ方向から見た場合に、凹部８３よりも小さい。吸気口７２は、凹部８３、連通口８４、および筒部８２を介してエジェクター８８に連通する。板金部材１３０の下面は、粗面とする。

ここで、板金部材１３０の下面は、吸着面７１である。弾性部材において、複数の吸気口７２が形成されている領域の外側の領域は、吸着面７１に弾性シート２を吸着した時に弾性シート２の外周縁が接触する枠状部分７１ａである。枠状部分７１ａは、粗面である。このようにしても、弾性シート移動機構５４の吸着部７３、および搬送機構５６の吸着部７３と同様の作用効果を得ることができる。また、かかる変形例の吸着部７３において、弾性シート２を吸着したときに、枠状バリ部分６１ａと対応する対向領域にのみ吸気口７２を設ければ、第２搬送シート搬送装置の吸着部７３に替えて用いることができる。図示を省略するが、この場合、凹部８３を封鎖する板金部材１３０は、吸着面７１の中央に吸気口７２を備えない矩形部分を備え、矩形部分の外周側に吸気口７２を備えない枠状部分を備え、矩形部分と枠状部分との間の矩形の領域に凹部８３に連通する吸気口７２を備えるものとする。矩形部分および枠状部分は、粗面である。このようにすれば、吸着部７３は、第２弾性シート搬送装置６の吸着部７３と同様の作用効果を得ることができる。

Claims (3)

1. 第１位置にある弾性シートを吸着して移動させ、吸着の解除によって前記第１位置とは異なる第２位置に配置する搬送機構を有し、
   前記搬送機構は、第１吸着面および当該第１吸着面に設けられた第１吸気口を備える第１吸着部と、前記第１吸気口に連通する第１吸気機構と、前記第１吸着部を移動させる第１吸着部移動機構と、前記第１吸気機構および前記第１吸着部移動機構を駆動制御する第１搬送制御部と、を備え、
   前記第１搬送制御部は、前記第１位置に前記弾性シートが配置されると、前記第１吸着面を前記弾性シートに隙間を開けて対向させて前記第１吸気機構を駆動して当該第１吸着面に前記弾性シートを吸着し、前記第１吸着部を移動させて前記第１吸着面を前記第２位置に対向させ、しかる後に、前記第１吸気機構を停止させ、
   前記第１吸気機構は、前記第１吸気口に連通する空気流入口を有するエジェクターを備え、
   前記弾性シートは、エラストマー製であることを特徴とする弾性シート搬送装置。
2. 前記第１吸着面は、前記弾性シートを吸着したときに当該弾性シートの外周縁に接触する枠状部分を備え、
   前記第１吸気口は、前記枠状部分の内周側に位置し、
   前記枠状部分の表面は、粗面であり、十点平均粗さをＲとした場合に、以下の条件式を満たすことを特徴とする請求項１に記載の弾性シート搬送装置。
   ８μｍ ≦ Ｒ
3. 前記第１吸着面は、導電性の金属からなる金属部分を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の弾性シート搬送装置。

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