JP7076907B2 - 研削ホイール - Google Patents

Description

本発明は、研削基台の凹部にＲＦＩＤタグを有する研削ホイールに関する。

ＩＣ（integrated circuit）、ＬＳＩ（large-scale integrated circuit）等のデバイスが表面側に形成されたウェーハは、分割装置により個々のデバイスに分割される前に、ウェーハの裏面側が研削装置により研削され所定の厚みに加工される。

研削装置は、通常、ウェーハ等の被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、チャックテーブルの上方に配置され、研削基台の下面に研削砥石が固定された研削ホイールと、研削ホイールを回転させるスピンドルとを備える。

このような研削装置として、被加工物を粗く研削するための粗研削ホイールと、被加工物を仕上げ研削するための仕上げ研削ホイールとがそれぞれ装着される１組のスピンドルを備える研削装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

当該研削装置においては、作業者が手作業で各スピンドルの先端に研削ホイールを装着するので、研削ホイールの誤装着が生じ得る。例えば、粗研削用のスピンドルの先端に仕上げ研削用の研削ホイールを装着し、仕上げ研削用のスピンドルの先端に粗研削用の研削ホイールを装着する等の誤装着が生じ得る。

仮に、研削ホイールが誤装着された場合、粗研削及び仕上げ研削を予定した順序で行えないので問題となる。そこで、この誤装着を防止するべく、研削ホイールの研削基台の外周側面に各研削ホイールの種類の情報を有するＩＣタグ等を貼付することが知られている（例えば、特許文献２参照）。

ところで、作業者が研削ホイールの情報を研削装置に誤入力した場合にも問題が生じる。例えば、研削ホイールの研削砥石の特性及び使用履歴等を誤入力すると、研削砥石が破損した場合、又は、研削により被加工物に損傷を与えた場合に、その原因を事後的に検証することが困難になる。

そこで、研削ホイールの情報が研削装置に誤入力されることを防止するべく、研削砥石の情報を記録できる無線ＩＣタグ（ＲＦＩＤタグとも呼ばれる場合がある）を研削ホイールの研削基台内に設けることが知られている（例えば、特許文献３参照）。

特開２０００－２８８８８１号公報 特開２０１５－２２６９４５号公報 特開２００６－５１５９６号公報

しかしながら、研削基台の外周側面に無線ＩＣタグ等を貼付した場合には、研削ホイールを回転させると遠心力により無線ＩＣタグが研削基台から外れて飛散する恐れがある。また、研削基台は通常、金属材料で形成されており、金属材料の外周側面で覆われた状態で研削基台内に無線ＩＣタグが設けられた場合、情報読出／書込装置を研削基台の外周側面に近接させても、無線ＩＣタグとの無線信号が研削基台の金属材料により遮断されて、信号の通信ができないという問題がある。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、研削ホイールを回転させてもＲＦＩＤタグが研削基台から外れて飛散せず、且つ、研削基台に設けられたＲＦＩＤタグと情報読出／書込装置との間で無線信号のやり取りが可能である構造の研削ホイールを提供することを目的とする。

本発明の一態様によれば、第１面側が研削装置のスピンドルに装着される環状基台と、該環状基台の該第１面とは反対側の第２面に環状に配列された研削砥石と、を有する研削ホイールであって、該環状基台の外周側面の一部に開口部を有する凹部と、該凹部内に設けられており、該研削ホイールの情報が格納されるＲＦＩＤタグと、該ＲＦＩＤタグを該凹部内に封止する非導電材料と、を有し、該凹部は、該凹部の側面及び底面の少なくともいずれかに設けられ、該非導電材料の該環状基台からの剥離を防止するアンカー部を有し、該アンカー部は、該開口部の中心を通り且つ該環状基台の該外周側面に直交する中心直線と該外周側面の外側で交わる様に、該アンカー部の中心軸が傾いて配置された円柱形状の空間の一部に対応し、該アンカー部は、該凹部の該側面の一部に設けられ、且つ、該凹部の該開口部から該凹部の該底面へと向かうにつれて該中心直線から離れる向きへ傾く斜面を有する側面アンカー部を含み、該側面アンカー部の該斜面は、該中心直線を通る該アンカー部の断面において、該開口部に位置する第１端部と、該第１端部よりも該凹部の深い位置において該中心直線からの距離が該第１端部よりも大きい第２端部と、を含み、該第２端部から該第１端部までにおいて該中心直線からの距離が連続的に変化する研削ホイールが提供される。

また、本発明の一態様において、該アンカー部は、該凹部の該底面の一部を構成する底面アンカー部を含む。

本発明の研削ホイールによると、環状基台の凹部は、非導電材料が環状基台から剥離することを防止するアンカー部を有するので、ＲＦＩＤタグが研削基台から外れて飛散することを防止できる。また、環状基台の凹部内に設けられたＲＦＩＤタグは、非導電材料により封止されており、環状基台の外周側面において金属材料で覆われていないので、ＲＦＩＤタグと情報読出／書込装置との間で無線信号のやり取りが可能である。

本発明に係る研削装置の斜視図である。 図２（Ａ）は、本発明の第１実施形態に係るホイール基台の側面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）のＡ－Ａ断面図である。 図３（Ａ）は、ホイール基台の外周側面における凹部の拡大図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のＢ－Ｂ断面図であり、図３（Ｃ）は、図３（Ａ）のＣ－Ｃ断面図である。 図３（Ｂ）において、非導電材料及びＲＦＩＤタグを配置した図である。 図５（Ａ）は、本発明の第２実施形態に係るホイール基台の外周側面における凹部の拡大図であり、図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のＤ－Ｄ断面図である。 本発明の第３実施形態に係る凹部の断面図である。 図７（Ａ）は、本発明の第４実施形態に係るホイール基台の外周側面における凹部の拡大図であり、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）のＥ－Ｅ断面図である。 図８（Ａ）は、アンカー部の配置の第１変形例を示す図であり、図８（Ｂ）は、アンカー部の配置の第２変形例を示す図である。 図９（Ａ）は、本発明の第５実施形態に係るホイール基台の外周側面における凹部の拡大図であり、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）のＦ－Ｆ断面図であり、図９（Ｃ）は、図９（Ａ）のＧ－Ｇ断面図である。

図１は、本発明に係る研削ホイール２０が装着される研削装置１２の斜視図である。研削装置１２は、円盤状の被加工物１１を吸引保持するチャックテーブル（保持手段）１４を備えている。このチャックテーブル１４は、モータ等の回転機構（不図示）と連結されており、Ｚ軸方向に概ね平行な回転軸１４ｃの周りに回転する。

なお、本明細書の説明に用いられるＸ軸方向、Ｙ軸方向、及びＺ軸方向は、互いに垂直であるものとする。また、上、下、底等は、構成要素の位置を特定するための便宜的な表現に過ぎず、必ずしも重力方向と平行な方向を指すのではない点に留意されたい。

チャックテーブル１４の上面は、被加工物１１の表面側を吸引保持する保持面となっている。保持面には、チャックテーブル１４の内部に形成された流路を通じて吸引源の負圧が作用し、被加工物１１の表面側を吸引する吸引力が発生する。被加工物１１は、代表的には、半導体ウェーハ、樹脂基板、セラミックス基板等であるが、その他の板状の基板等であってもよい。

被加工物１１の表面側は、例えば、接着剤等を介して保護部材２１に固定されている。本実施形態の被加工物１１は、保護部材２１を介して保持面に吸引保持されている。保護部材２１は、被加工物１１と略同形の円盤状に形成されている。この保護部材２１としては、例えば、樹脂基板、粘着テープ等を用いることができる。

チャックテーブル１４により保持された被加工物１１の裏面１１ｂ側に対向するように、チャックテーブル１４の上方には研削機構が配置されている。研削機構は、Ｚ軸方向に概ね平行な回転軸２０ｃの周りに回転するスピンドル１６を備えている。このスピンドル１６は、昇降機構（不図示）で昇降される。スピンドル１６の下端側には、円盤状のホイールマウント１８が固定されている。

ホイールマウント１８の下面には、ホイールマウント１８と略同径の研削ホイール２０が装着されている。研削ホイール２０は、アルミニウム又はステンレス鋼等の金属材料で形成された環状のホイール基台（環状基台）２２を備えている。

ホイール基台２２の上面（第１面）２２ａ側が、ホイールマウント１８に固定されることで、ホイール基台２２はスピンドル１６に装着されている。また、ホイール基台２２の上面２２ａとは反対側の下面（第２面）２２ｃには複数の研削砥石（砥石チップ）２４が設けられている。

ホイール基台２２の上面２２ａは、固定端面とも呼ばれ、下面２２ｃは、自由端面とも呼ばれる。なお、自由端面には上述のように研削砥石２４が設けられるので、自由端面の自由とは、端面に常に何も設けられていないという意味ではない点に留意されたい。

下面２２ｃに設けられた各々の研削砥石２４は略直方体形状を有しており、環状の下面２２ｃの全周において、隣り合う研削砥石２４同士の間に間隙が設けられる態様で環状に配列されている。

研削砥石２４は、例えば、金属、セラミックス、樹脂等の結合材に、ダイヤモンド、ＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒を混合して形成される。ただし、結合材や砥粒に制限はなく、研削砥石２４の仕様に応じて適宜選択できる。

研削装置１２で被加工物１１を研削するときには、チャックテーブル１４とスピンドル１６とを、それぞれ所定の方向に回転させつつ、スピンドル１６を下降させ、被加工物１１の裏面１１ｂ側に研削砥石２４を押し当てる。これにより、被加工物１１を研削加工できる。

ホイール基台２２の上面２２ａと下面２２ｃとをつなぐように、外周側面２２ｂと内周側面２２ｄとが設けられている。また、外周側面２２ｂの一部には、凹部３０が設けられている。凹部３０は、例えば、ホイール基台２２となる環状部材の外周側面２２ｂの一部を所定深さまで除去することにより形成されており、外周側面２２ｂから研削ホイール２０の回転軸２０ｃ（スピンドル１６と同じ回転軸）に向かって窪んだ空間である。

凹部３０内には、研削ホイール２０の情報が格納されるＲＦＩＤタグ４０（図４にて示す）が設けられている。さらに、凹部３０内には、このＲＦＩＤタグ４０を凹部３０内に封止する非導電材料３８が設けられている。それゆえ、凹部３０の外周側面２２ｂには非導電材料３８が露出している。

次に、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）を用いて、本発明の第１実施形態に係るホイール基台２２の概要を説明し、図３（Ａ）、図３（Ｂ）及び図３（Ｃ）を用いて、ホイール基台２２における凹部３０の詳細を説明する。

図２（Ａ）は、本発明の第１実施形態に係るホイール基台２２の側面図であり、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）のＡ－Ａ断面図である。図３（Ａ）は、ホイール基台２２の外周側面２２ｂにおける凹部３０－１の拡大図であり、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）のＢ－Ｂ断面図であり、図３（Ｃ）は、図３（Ａ）のＣ－Ｃ断面図である。

なお、図２（Ａ）、図２（Ｂ）、図３（Ａ）、図３（Ｂ）、及び図３（Ｃ）においては、凹部３０内に設けられる非導電材料３８及びＲＦＩＤタグ４０を省略している。また、図面の見易さを考慮して、上述の図１以外の図では、ホイール基台２２の下面２２ｃに設けられる研削砥石２４を省略している点に留意されたい。

ホイール基台２２の外周側面２２ｂに設けられる凹部３０は、その底面３０ｂがオーバルトラック(oval track)形状である略柱状の空間である。この凹部３０の内側は、ホイール基台２２の外周側面２２ｂにおいてオーバルトラック形状の開口部３４ｃを有する空間の主要部３４となる。なお、主要部３４の開口部３４ｃは、凹部３０が外周側面２２ｂに露出する部分であるので、凹部３０の開口部でもある。

主要部３４は、オーバルトラック形状の上下面を有する柱状の空間であり、当該柱状の空間の側面３４ａは、凹部３０の側面３０ａと概ね一致する。ただし、主要部３４の側面３４ａと、凹部３０の側面３０ａとが一致しない部分には、主要部３４の側面３４ａから凹部３０の外側に突出するアンカー部３２が設けられている。

本実施形態では、１つの凹部３０につき一対のアンカー部３２が、ホイール基台２２の外周側面２２ｂの周方向において、主要部３４を挟むように設けられている。一対のアンカー部３２はそれぞれ、傾いた円柱形状の一部により形成される空間である。

即ち、この概略円柱形状のアンカー部３２の中心軸３２ｃは、凹部３０の内側に傾いている。より具体的には、一対のアンカー部３２の中心軸３２ｃは、開口部３４ｃの中心３０ｃを通り外周側面２２ｂに対して直交する直線と略平行である中心直線３０ｅと一点で交わる（図２（Ｂ）を参照。なお、図２（Ｂ）では、図面の見易さを考慮して凹部３０内の詳細な断面構造を省略している）。

アンカー部３２の中心軸３２ｃは、上述の中心直線３０ｅと交わっており、アンカー部３２の中心軸３２ｃと中心直線３０ｅとは、０度より大きく９０度未満の角度を有する所定の鋭角を成す。本実施形態において、当該鋭角の角度は２５度であるが、この角度に限定されるものではない。

また、本実施形態のアンカー部３２は、より正確には、傾いた円柱形状とオーバルトラック形状の柱状の主要部３４との重なり部分を、当該円柱形状から除いた空間である。それゆえ、アンカー部３２は、主要部３４の側面３４ａに隣接し、当該側面３４ａから凹部３０の外側に突出している側面アンカー部３２Ａを有する。

側面アンカー部３２Ａは、凹部３０の側面３０ａに設けられており、側面アンカー部３２Ａの斜面の一部３２ｓは、凹部３０の開口部（即ち、主要部３４の開口部３４ｃ）から凹部３０の底面３０ｂへと向かうにつれて凹部３０の外側へと向かう方向に傾いている。当該斜面は、円柱側面の一部である凸型の曲面であり、当該斜面の一部３２ｓは、図３（Ｂ）において斜めの直線により示されている。

当該斜面の一部３２ｓは、凹部３０の開口部の中心３０ｃを通り、ホイール基台２２の上面２２ａ及び下面２２ｃに平行なＢ－Ｂ断面（図３（Ｂ）参照）において、開口部３４ｃの上端部３０ｄと、当該上端部３０ｄよりも凹部３０の深い位置において上端部３０ｄよりも外側に突出した外側端部３２ｄとの間に連続的に設けられる。それゆえ、中心直線３０ｅから上端部３０ｄまでの距離Ｌ_Ａは、中心直線３０ｅから外側端部３２ｄまでの距離Ｌ_Ｂよりも小さくなる。

また、アンカー部３２は、主要部３４の底面３４ｂよりも凹部３０の深さ方向に突出し、凹部３０の底面３０ｂに設けられた底面アンカー部３２Ｂを含む。図３（Ｂ）に示すように、底面アンカー部３２Ｂは、アンカー部３２において最も深い位置に設けられた底端部３２ｅと、凹部３０の底面３０ｂ及び主要部３４の底面３４ｂと同じ深さ位置に設けられ、アンカー部３２において凹部３０の最も内側に位置する内側端部３２ｆとを含む。

ただし、上述の様に、アンカー部３２は、主要部３４の側面３４ａの全体を囲むように設けられてはおらず、側面３４ａの一部よりも凹部３０の外側に突出するように設けられている。それゆえ、Ｂ－Ｂ断面とは別のＣ－Ｃ断面（図３（Ｃ）参照）においては、アンカー部３２は存在しない。

凹部３０の底面３０ｂには、円柱状の空間であるタグ収容部３６がさらに設けられている。タグ収容部３６は、アンカー部３２の内側端部３２ｆよりも凹部３０の内側に位置する。タグ収容部３６は、主要部３４の底面３４ｂと同じ深さ位置に円形状の開口部３６ｃを有し、主要部３４の底面３４ｂよりも研削ホイール２０の回転軸２０ｃ側に突出した位置に底面３６ｂを有する。

タグ収容部３６の底面３６ｂは、凹部３０の底面３０ｂの一部でもある。なお、本実施形態のタグ収容部３６の形状は円柱形状であるが、タグ収容部３６の形状は、例えば縦横が数ｍｍであり高さが１ｍｍ程度である形状のＲＦＩＤタグ４０を収容できる形状であればよく、特に円柱形状には限定されない。

本実施形態において、タグ収容部３６の開口部３６ｃの中心は、凹部３０の開口部（即ち、開口部３４ｃ）の中心３０ｃとも一致しており、ともにＸ軸方向と平行な中心直線３０ｅ上にある（図３（Ａ）及び図３（Ｂ）参照）。ただし、タグ収容部３６の開口部３６ｃの中心は、凹部３０の中心３０ｃからずれていてもよい。

本実施形態においては、一対のアンカー部３２から等しい距離に位置し、凹部３０の開口部の縦及び横方向の中央位置を凹部３０の開口部の中心３０ｃと定めるが、中心３０ｃの位置は、これに限定されず、主要部３４、タグ収容部３６及びアンカー部３２における形状及び配置等に応じて適宜変更してもよい。

なお、図２（Ｂ）に示すように、本実施形態のホイール基台２２は４つの凹部３０を有し、各凹部３０は、ホイール基台２２の回転軸２０ｃに対して線対称な位置に設けられている。各凹部３０の深さ方向は、Ｘ軸方向又はＹ軸方向と概ね平行であり、回転軸２０ｃを挟んで対向する凹部３０－１及び凹部３０－３の深さ方向がＸ軸方向と概ね平行であり、回転軸２０ｃを挟んで対向する凹部３０－２及び凹部３０－４の深さ方向がＹ軸方向と概ね平行である。

本実施形態においては、４つの凹部３０のうち１つの凹部３０－１に非導電材料３８及びＲＦＩＤタグ４０を設けて、残りの３つの凹部３０－２、３０－３及び３０－４には非導電材料３８及びＲＦＩＤタグ４０のいずれも設けない。それゆえ、凹部３０－１の内部は、凹部３０－２、３０－３及び３０－４の内部に比べて重くなる。

ただし、上面２２ａの凹部３０－１近傍、又は、上面２２ａ及び内周側面２２ｄが交わる部分の凹部３０－１近傍に、ホイール基台２２となる環状部材の一部を除去した窪みを設けることで、凹部３０－１近傍のホイール基台２２の重量を減らす。これにより、回転軸２０ｃに対するホイール基台２２のバランスを調節し、研削ホイール２０の回転を安定させることができる。

図４は、図３（Ｂ）において、非導電材料３８及びＲＦＩＤタグ４０を配置した図である。なお、本実施形態の非導電材料３８は、紫外線硬化樹脂である。ただし、非導電材料３８は、紫外線以外の可視光等の照射により硬化する光硬化性樹脂であってよく、熱により硬化する熱硬化性樹脂であってもよい。また、主剤と硬化剤とが混ぜ合わされることにより硬化する自然硬化性樹脂であってもよい。

ＲＦＩＤタグ４０は、タグ収容部３６内に設けられている。ＲＦＩＤタグ４０は、アンテナとＩＣとを含み、無線通信により情報読出／書込装置が情報を読み出すこと、及び、情報を書き込むことができるタグである。ＲＦＩＤタグ４０は、ＩＣタグ、電子タグ、無線タグ、無線ＩＣタグとも呼ばれる。ＲＦＩＤタグ４０は、パッシブタイプであってよく、アクティブタイプであってもよい。

なお、ＲＦＩＤタグ４０が格納する研削ホイール２０の情報としては、研削砥石２４及びホイール基台２２の寸法、研削砥石２４の砥石成分、研削砥石２４の使用履歴、研削砥石２４をドレッシングするための条件、研削ホイール２０の使用制限、研削ホイール２０の使用回転数、製品ロットナンバー、研削水供給用の穴の有無、オートセットアップの使用可否等がある。

ＲＦＩＤタグ４０を凹部３０－１に封止する封止手順について簡単に説明すると、まず、タグ収容部３６の底部３６ｂにＲＦＩＤタグ４０を配置する。次に、例えば、凹部３０－１の深さ方向が重力方向と略平行となるように凹部３０－１のオーバルトラック形状の開口部を上向きに配置した状態で、当該開口部から凹部３０－１内に紫外線硬化樹脂を注入する。ただし、凹部３０－１内に隙間なく紫外線硬化樹脂を充填できれば、凹部３０－１の深さ方向と重力方向とが完全に平行でなくてもよい。

硬化前の紫外線硬化樹脂は流動性を有するので、紫外線硬化樹脂は、アンカー部３２を含む凹部３０－１の全体に行き渡る。なお、図４において、本実施形態のＲＦＩＤタグ４０は、タグ収容部３６の底面３６ｂと側面とに接するように配置されているが、図４の紙面奥行き方向又は手前方向において、タグ収容部３６の側面とＲＦＩＤタグ４０との間に隙間があり、紫外線硬化樹脂はこの隙間も埋めることができる。

紫外線硬化樹脂は、底面アンカー部３２Ｂ及びタグ収容部３６が位置する凹部３０－１の底面３０ｂ側から、側面アンカー部３２Ａ及び主要部３４が位置する凹部３０－１の開口部（即ち、主要部３４の開口部３４ｃ）側に向けて、徐々に埋まる。

本実施形態においては、底面アンカー部３２Ｂの内側端部３２ｆから底端部３２ｅまでにおいて、凹部３０－１の中心直線３０ｅからの距離が連続的に変化する。また、底面アンカー部３２Ｂの底端部３２ｅから側面アンカー部３２Ａの外側端部３２ｄまで、及び、側面アンカー部３２Ａの外側端部３２ｄから上端部３０ｄまでにおいても、凹部３０－１の中心直線３０ｅからの距離が連続的に変化する。

それゆえ、まず、底面アンカー部３２Ｂ及びタグ収容部３６が樹脂で埋められ、次に、側面アンカー部３２Ａ及び主要部３４も樹脂で徐々に埋められるので、樹脂で埋められていない空間（即ち、ボイド（void）又は気泡）がアンカー部３２に残ることを抑制又は防止できる。ボイド（void）又は気泡の残留を抑制又は防止することで、非導電材料３８とホイール基台２２との接着力を向上させることができる。

紫外線硬化樹脂の注入後に、凹部３０－１の開口部に向けて紫外線を照射して樹脂を硬化させることにより非導電材料３８を固める。紫外線硬化樹脂を用いることで、数秒間の紫外線照射により樹脂を硬化できる。これにより、非導電材料３８及びＲＦＩＤタグ４０は、ホイール基台２２内の凹部３０－１において固定される。

このように、凹部３０－１においては、ＲＦＩＤタグ４０が、ホイール基台２２の外周側面２２ｂにおいて非導電材料３８により封止されており、ホイール基台２２の外周側面２２ｂにおいて金属材料で覆われていないので、金属材料により電磁波がシールドされることなく、ＲＦＩＤタグ４０と情報読出／書込装置との間で無線信号のやり取りが可能である。

また、凹部３０－２のタグ収容部３６の底部３６ｂにバランス部材を配置して、凹部３０－２内に樹脂を注入し、その後、紫外線を照射する。凹部３０－３及び３０－４にもいても、同様の手順を実行する。

上述のように、凹部３０は、凹部３０の所定の深さ位置において凹部３０の開口部よりも外側に突出しているアンカー部３２を有するので、非導電材料３８のホイール基台２２からの剥離を防止できる。それゆえ、ＲＦＩＤタグ４０又はバランス部材がホイール基台２２から外れて飛散することを防止できる。

なお、本実施形態のＲＦＩＤタグ４０は、タグ収容部３６の底面３６ｂと側面とに少なくとも部分的に接して固定されるので、仮に、非導電材料３８が剥離した場合であっても、ＲＦＩＤタグ４０が外れて飛散する可能性を低減できる。つまり、アンカー部３２、非導電材料３８、及びタグ収容部３６を一体的に備えることにより、タグ収容部３６を設けない場合に比べて、より効果的にＲＦＩＤタグ４０の飛散を防止できる。

なお、タグ収容部３６の周囲に位置する凹部３０の底面３０ｂには、凹部３０の深さ方向に突出する溝がさらに設けられてもよい。当該溝は、例えば、タグ収容部３６の周囲を囲むように離散的又は連続的に設けられる。これにより、ホイール基台２２と非導電材料３８との接触面積をさらに増加させることができるので、ホイール基台２２と非導電材料３８との接着力を向上させることができる。

図５（Ａ）は、本発明の第２実施形態に係る、ホイール基台２２の外周側面２２ｂにおける凹部３０－１の拡大図である。図５（Ｂ）は、図５（Ａ）のＤ－Ｄ断面図である。Ｄ－Ｄ断面は、凹部３０－１の開口部の中心３０ｃを通り、ホイール基台２２の上面２２ａ及び下面２２ｃに平行な断面である。

第２実施形態のアンカー部３２は、凹部３０の側面３０ａのみに設けられており、底面３０ｂには設けられていない。第２実施形態のアンカー部３２は、側面３０ａに設けられた複数の三角柱状の溝で構成された噛合い部であり、当該三角柱状の溝の高さ方向は、ホイール基台２２の高さ方向（即ち、上面２２ａから下面２２ｃに向かう方向）と略平行である。

また、複数の溝は、凹部３０の深さ方向において配列されている。つまり、アンカー部３２は、凹部３０の深さ方向において交互に配置された山３２ａ及び谷３２ｂを含む凹凸を有している。

なお、山３２ａは、噛合い部を構成する凸部であり、図５（Ｂ）において主要部３４の側面３４ａに一致する。山３２ａは、凹部３０の中心３０ｃを通る中心直線３０ｅと直交する方向において、当該中心直線３０ｅから相対的に近くに位置する。これに対して、谷３２ｂは、噛合い部を構成する凹部であり、中心直線３０ｅと直交する方向において、当該中心直線３０ｅから相対的に遠くに位置する。

このように、第２実施形態においては、山３２ａから谷３２ｂに至る斜面の一部３２ｓが、凹部３０の開口部（即ち、主要部３４の開口部３４ｃ）から凹部３０の底面３０ｂへと向かうにつれて凹部３０の外側へと向かう方向に傾いており、また、凹部３０の深さ方向において当該斜面の一部３２ｓは離散的に配列されている。

第２実施形態においては、谷３２ｂがホイール基台２２の外周側面２２ｂに位置しないように、噛合い部は構成されており、ホイール基台２２の外周側面２２ｂには、噛合い部の山３２ａが配置されている。ただし、外周側面２２ｂには、必ずしも山３２ａが設けられなくてもよく、山３２ａと谷３２ｂとの間の部分が設けられてもよい。

このような噛合い部の構成により、中心直線３０ｅと直交する方向において、外周側面２２ｂにおける凹部３０の上端部３０ｄ（山３２ａ）から中心直線３０ｅまでの距離Ｌ_Ａは、中心直線３０ｅから最も離れた噛合い部の谷３２ｂまでの距離Ｌ_Ｂよりも小さくなる。従って、第２実施形態においても、第１実施形態と同様の有利な効果を得ることができる。

なお、第２実施形態のアンカー部３２は複数の三角柱状の溝で構成された噛合い部であるが、変形例において、アンカー部３２は、複数のピラミッド状（四角錐状）の溝がホイール基台２２の高さ方向及び凹部３０の深さ方向に配列された噛合い部であってもよい。

当該変形例におけるアンカー部３２は、ホイール基台２２の高さ方向及び凹部３０の深さ方向において交互に配置された山３２ａ及び谷３２ｂを含む凹凸を有する。ただし、当該変形例においても、ホイール基台２２の外周側面２２ｂには谷３２ｂではなく山３２ａが位置する。これにより、上述の距離Ｌ_Ａを距離Ｌ_Ｂよりも小さくできる。

図６は、本発明の第３実施形態に係る凹部３０－１の断面図である。図６は、図３（Ｂ）のＢ－Ｂ断面図に対応する断面図である。第３実施形態の凹部３０は、タグ収容部３６を有さず、凹部３０の底面３０ｂに接してＲＦＩＤタグ４０が設けられる。第３実施形態は、係る点で第１実施形態と異なるが、他の点は第１実施形態と同じである。

第３実施形態においても第１実施形態と同様の有利な効果を得ることができるが、第３実施形態においてはタグ収容部３６が設けられていないので、当業者であれば、非導電材料３８及びＲＦＩＤタグ４０の剥離・飛散の防止効果は、第１実施形態の方が第３実施形態よりも高いことは合理的に理解できるであろう。

図７（Ａ）は、本発明の第４実施形態に係るホイール基台２２の外周側面２２ｂにおける凹部３０－１の拡大図であり、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）のＥ－Ｅ断面図である。Ｅ－Ｅ断面は、凹部３０－１の開口部の中心３０ｃ及びアンカー部３２を通り、ホイール基台２２の高さ方向に平行な断面である。

図７（Ａ）、図７（Ｂ）、図８（Ａ）、及び図８（Ｂ）に示すアンカー部３２は、第１実施形態と同様に、中心軸３２ｃが凹部３０の中心３０ｃ側に傾いた円柱形状の一部である。図７（Ａ）及び図７（Ｂ）に示す第４実施形態においては、一対のアンカー部３２が、ホイール基台２２の外周側面２２ｂの周方向ではなくホイール基台２２の高さ方向において、主要部３４を外側から挟むように設けられている。

当該第４実施形態においても、凹部３０の中心直線３０ｅから上端部３０ｄまでの距離Ｌ_Ａ１は、凹部３０の中心直線３０ｅから外側端部３２ｄまでの距離Ｌ_Ｂ１よりも小さくなる。第４実施形態においても、第１実施形態と同等の有利な効果を奏することができる。

図８（Ａ）は、アンカー部３２の配置の第１変形例を示す図である。図８（Ａ）においては、一対のアンカー部３２が、ホイール基台２２の外周側面２２ｂの周方向において外側から主要部３４を挟むように設けられ、且つ、さらにもう一対のアンカー部３２が、ホイール基台２２の高さ方向において外側から主要部３４を挟むように設けられている。

図８（Ｂ）は、アンカー部３２の配置の第２変形例を示す図である。図８（Ｂ）においては、側面アンカー部３２Ａがホイール基台２２の上面２２ａと平行な主要部３４の側面３４ａに接するように１つのアンカー部３２が設けられ、側面アンカー部３２Ａがホイール基台２２の下面２２ｃと平行な主要部３４の側面３４ａに接するように２つのアンカー部３２が設けられている。

ただし、当該１つのアンカー部３２は、凹部３０の中心３０ｃを通りホイール基台２２の回転軸２０ｃと平行な直線（図８（Ａ）及び図８（Ｂ）において破線で示す）に対して線対称に設けられており、当該２つのアンカー部３２も、当該直線に対して線対称に設けられている。

図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に示す変形例においても、距離Ｌ_Ａ２は距離Ｌ_Ｂ２よりも小さくなり、距離Ｌ_Ａ３は距離Ｌ_Ｂ３よりも小さくなる。それゆえ、図８（Ａ）及び図８（Ｂ）に示す変形例においても、第１実施形態と同等の有利な効果を奏することができる。

なお、上述の第１から第４実施形態及びこれらの種々の変形例において、凹部３０の外周側面２２ｂにおける開口の形状はオーバルトラック形状であるが、開口の形状はこれに限定されず、円形状としてもよい。例えば、研削ホイール２０の回転軸２０ｃに対して線対称に設けられた４つの凹部３０のうち、対向する一組の凹部３０の開口の形状をオーバルトラック形状とし、残りの一組の凹部３０の開口の形状を円形状としてもよい。

また、更なる変形例において、アンカー部３２は、凹部３０内の側面３０ａには設けられず、底面３０ｂにのみ設けられてもよい。つまり、アンカー部３２は、主要部３４の底面３４ｂよりも凹部３０の深さ方向に突出した底面アンカー部３２Ｂのみを有してもよい。

底面３０ｂのみにアンカー部３２を有する当該変形例においても、第１実施形態と同様の有利な効果を得ることができるが、非導電材料３８及びＲＦＩＤタグ４０の剥離・飛散の防止効果は、凹部３０の側面３０ａ及び底面３０ｂの両方にアンカー部３２を設ける第１実施形態の方が底面３０ｂのみに設ける場合に比べてより高いことは、当業者であれば合理的に理解できる。

図９（Ａ）は、本発明の第５実施形態に係るホイール基台２２の外周側面２２ｂにおける凹部３０－１の拡大図であり、図９（Ｂ）は、図９（Ａ）のＦ－Ｆ断面図であり、図９（Ｃ）は、図９（Ａ）のＧ－Ｇ断面図である。

なお、図９（Ａ）、図９（Ｂ）及び図９（Ｃ）では、図３（Ａ）、図３（Ｂ）及び図３（Ｃ）と同様に、凹部３０－１内に設けられる非導電材料３８及びＲＦＩＤタグ４０を省略している。

第５実施形態の凹部３０－１の主要部３４は、その底面３０ｂがオーバルトラック形状ではなく円形状である。つまり、第５実施形態の主要部３４は、略円柱状の空間である。係る点が、第１実施形態と異なるが、他の点は第１実施形態と同じであり、本実施形態においても、第１実施形態と同様の有利な効果を得ることができる。

なお、本実施形態と、上述の第２から第４実施形態及びこれらの種々の変形例とを組み合わせてもよい。その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１１ 被加工物
１１ｂ 裏面
１２ 研削装置
１４ チャックテーブル（保持手段）
１４ｃ 回転軸
１６ スピンドル
１８ ホイールマウント
２０ 研削ホイール
２０ｃ 回転軸
２１ 保護部材
２２ ホイール基台（環状基台）
２２ａ 上面（第１面）
２２ｂ 外周側面
２２ｃ 下面（第２面）
２２ｄ 内周側面
２４ 研削砥石（砥石チップ）
３０，３０－１，３０－２，３０－３，３０－４ 凹部
３０ａ 側面
３０ｂ 底面
３０ｃ 中心
３０ｄ 上端部
３０ｅ 中心直線
３２ アンカー部
３２Ａ 側面アンカー部
３２Ｂ 底面アンカー部
３２ａ 山
３２ｂ 谷
３２ｃ 中心軸
３２ｄ 外側端部
３２ｅ 底端部
３２ｆ 内側端部
３２ｓ 斜面の一部
３４ 主要部
３４ａ 側面
３４ｂ 底面
３４ｃ 開口部
３６ タグ収容部
３６ｂ 底面
３６ｃ 開口部
３８ 非導電材料
４０ ＲＦＩＤタグ

Claims (2)

1. 第１面側が研削装置のスピンドルに装着される環状基台と、該環状基台の該第１面とは反対側の第２面に環状に配列された研削砥石と、を有する研削ホイールであって、
   該環状基台の外周側面の一部に開口部を有する凹部と、
   該凹部内に設けられており、該研削ホイールの情報が格納されるＲＦＩＤタグと、
   該ＲＦＩＤタグを該凹部内に封止する非導電材料と、
   を有し、
   該凹部は、該凹部の側面及び底面の少なくともいずれかに設けられ、該非導電材料の該環状基台からの剥離を防止するアンカー部を有し、
   該アンカー部は、該開口部の中心を通り且つ該環状基台の該外周側面に直交する中心直線と該外周側面の外側で交わる様に、該アンカー部の中心軸が傾いて配置された円柱形状の空間の一部に対応し、
   該アンカー部は、該凹部の該側面の一部に設けられ、且つ、該凹部の該開口部から該凹部の該底面へと向かうにつれて該中心直線から離れる向きへ傾く斜面を有する側面アンカー部を含み、
   該側面アンカー部の該斜面は、該中心直線を通る該アンカー部の断面において、該開口部に位置する第１端部と、該第１端部よりも該凹部の深い位置において該中心直線からの距離が該第１端部よりも大きい第２端部と、を含み、該第２端部から該第１端部までにおいて該中心直線からの距離が連続的に変化することを特徴とする研削ホイール。
2. 該アンカー部は、該凹部の該底面を構成する底面アンカー部を含むことを特徴とする請求項１に記載の研削ホイール。
   

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