JP7051094B2 - 窒化アルミニウム結晶の製造方法 - Google Patents
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または、本発明に係る窒化アルミニウム結晶の製造方法は、Alを含む合金の融液の表面に、窒素原子を含む気体を接触させることにより、前記融液の表面に窒化アルミニウム結晶を成長させることを特徴とし、(1)式で表される前記窒化アルミニウム(AlN)結晶形成の反応が平衡しているときのAlNの活量をa eq. AlN 、前記融液中のAlの活量をa eq. Al 、窒素の分圧をp eq. N2 とし、前記気体中の窒素の分圧をp N2 、前記(1)式の平衡定数をKとすると、前記窒化アルミニウム結晶の成長中、前記融液を、前記合金の液相線温度以上、(3)式で表される前記窒化アルミニウム結晶の成長の駆動力Δμの値が正となる温度以下に保つことを特徴とする。
2Al(l)+N 2 (g)→2AlN(s) (1)
本発明の実施の形態の窒化アルミニウム結晶の製造方法は、Alを含む合金の融液の表面に、窒素原子を含む気体を接触させることにより、その融液の表面に窒化アルミニウム結晶を成長させる。
2Al(l)+N2(g)→2AlN(s) (1)
図2に示す反応装置10を用いて、AlN結晶の製造を行った。図2に示すように、反応装置10は、反応容器11と1対の高周波コイル12と超伝導磁石13と加熱用レーザー14とハーフミラー15と高速度カメラ16と窒素ガス導入管17とガス排気管18と雰囲気ガス導入管19と放射温度計20とを有している。反応容器11は、上部と下部に、内部を視認可能に設けられた強化ガラスから成る窓11a,11bを有している。
10 反応装置
11 反応容器
11a,11b 窓
12 高周波コイル
13 超伝導磁石
14 加熱用レーザー
15 ハーフミラー
16 高速度カメラ
17 窒素ガス導入管
18 ガス排気管
19 雰囲気ガス導入管
20 放射温度計
Claims (7)
- Alを含む合金の融液の表面に、窒素原子を含む気体を接触させることにより、前記融液の表面に窒化アルミニウム結晶を成長させることを特徴とし、
前記窒化アルミニウム結晶の成長中、前記融液を前記合金の液相線温度以上で、前記窒化アルミニウムの解離温度または融点より低い温度に保つことを
特徴とする窒化アルミニウム結晶の製造方法。 - Alを含む合金の融液の表面に、窒素原子を含む気体を接触させることにより、前記融液の表面に窒化アルミニウム結晶を成長させることを特徴とし、
(1)式で表される前記窒化アルミニウム(AlN)結晶形成の反応が平衡しているときのAlNの活量をa eq. AlN 、前記融液中のAlの活量をa eq. Al 、窒素の分圧をp eq. N2 とし、前記気体中の窒素の分圧をp N2 、前記(1)式の平衡定数をKとすると、
前記窒化アルミニウム結晶の成長中、前記融液を、前記合金の液相線温度以上、(3)式で表される前記窒化アルミニウム結晶の成長の駆動力Δμの値が正となる温度以下に保つことを
特徴とする窒化アルミニウム結晶の製造方法。
2Al(l)+N 2 (g)→2AlN(s) (1)
- 前記駆動力Δμの値がゼロになる温度をT0とすると、前記窒化アルミニウム結晶の成長中、前記融液をT0より低く、T0-350K以上の温度に保つことを特徴とする請求項2記載の窒化アルミニウム結晶の製造方法。
- 前記融液の表面に、前記気体を吹き付けて接触させることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の窒化アルミニウム結晶の製造方法。
- 前記合金は、前記Alと、前記Alよりも窒化物を形成しにくく、融点が窒化アルミニウムの解離温度または融点より低い元素とを、主成分として含んでいることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の窒化アルミニウム結晶の製造方法。
- 前記合金は、前記Alと、Ni、Cu、Fe、Coのうちの少なくとも1つの元素とを、主成分として含んでいることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の窒化アルミニウム結晶の製造方法。
- 前記窒化アルミニウム結晶の成長中、前記融液の表面の一部を局所的に加熱して、前記窒化アルミニウム結晶の解離温度または融点以上の温度に保つことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の窒化アルミニウム結晶の製造方法。
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