JP7044372B2 - 金属粒子を含むカーボンナノチューブ混合物から金属粒子を除去する除去方法、除去装置、および、それらによって得られるカーボンナノチューブと中空炭素粒子との複合体 - Google Patents
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Description
火炎合成法により合成した直径0.8~2 nm程度、平均直径約1 nmの単層カーボンナノチューブを含む混合物10としてのカーボンナノチューブ凝集体を試料に用いた。カーボンナノチューブ凝集体10を石英ガラス管11内に設置し、石英ガラス(図示せず)で固定した。25 vol% H2/Ar を流通させながら800~1000℃まで昇温後、1 vol% Cl2/Ar を全圧760 Torr で60分間流通させた後、Arガスを流通させながら急冷した。カーボンナノチューブ凝集体10を塩素処理して製造したカーボンナノチューブ2および中空炭素粒子3を含む複合体1は、走査型電子顕微鏡(SEM)-エネルギー分散X線分光(EDS)により組成を、レーザー顕微ラマン分光(Raman)により結晶性を、透過電子顕微鏡(TEM)で構造をそれぞれ分析した。
実施形態に係る混合物10として、アーク放電法により合成した直径1~2 nmの単層カーボンナノチューブを試料に用いた。製造条件は、処理温度を変化させた場合の評価については実施例1と同様であり、Cl2分圧を変化させた場合の評価については、Cl2分圧を0.05 Torr~1.0 Torrまで変化させ、処理時間を変化させた場合の評価については、処理時間を10分間および30分間とした。
実施形態に係る混合物10として、CVD法により合成した直径10~30 nm、平均直径約20 nmの多層カーボンナノチューブを試料に用いた。製造条件は、処理温度を変化させた場合および処理時間を変化させた場合の評価については実施例2と同様であり、Cl2分圧を変化させた場合の評価については、Cl2分圧を0.05 Torr~7.6 Torrまで変化させた。
実施例4は、混合物10から金属粒子5を除去する本発明の除去装置として機能する製造装置4’で、カーボンナノチューブ2および中空炭素粒子3を含む複合体1を製造したものである。実際に使用した縦型反応器19の構成の概略図を図31に示す。混合物10としてのカーボンナノチューブ凝集体には、TUBALL(登録商標)単層カーボンナノチューブ(OCSiAl社)を使用した。反応器21として石英ガラス管42を使用した。石英ガラス管42は、内径4mmの太径部43を上下に有し、縮径された縮径部44を中心部に有する。石英ガラス管42の上方から導入されたカーボンナノチューブ凝集体10は、縮径部44を通過できないため、上方の太径部43の底に堆積される。石英ガラス管42の内径を細くすることで、ガス流路を狭くし、カーボンナノチューブ凝集体10の全体に対し、エッチングガス20が均一に接触するようにした。
2 カーボンナノチューブ(CNT)
3 中空炭素粒子
5 金属粒子
6 炭素殻
10 カーボンナノチューブ凝集体(混合物)
13,22 加熱機構
19 縦型反応器
20 エッチングガス(ハロゲン元素含有ガス、ハロゲンガス、塩素ガス、臭素ガス)
21 反応器
23 混合物供給機構
24 ガス供給機構
25 複合体回収機構
27 キャリアガス供給機構
Claims (11)
- カーボンナノチューブ(CNT)と炭素殻に覆われた金属粒子とを含む混合物を、加熱して臭素ガスと接触させ、前記金属粒子を除去する、CNTと炭素殻に覆われた金属粒子とを含む混合物から金属粒子を除去する除去方法であって、
供給される前記臭素ガスの分圧が0.05 Torr以上であり、
前記混合物を600℃以上に加熱し、
前記混合物を前記臭素ガスと接触させる前に前記混合物を酸化する工程を経ずに、
前記金属粒子を除去する除去方法。 - 前記混合物を、前記臭素ガスと接触させる前および接触させた後の少なくとも一方に、水素ガスに接触させる請求項1に記載の除去方法。
- 湿式工程を含まないことを特徴とする請求項1または2に記載の除去方法。
- 前記混合物を縦型反応器内に保持し、前記臭素ガスを前記縦型反応器内で上方より下方に向かって流れるように前記縦型反応器内に供給することにより、前記混合物に前記臭素ガスを接触させることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の除去方法。
- 前記混合物を前記縦型反応器に上方から充填する充填工程と、
前記臭素ガスおよび水素ガスの少なくとも一方を上方から供給して下方から排出することで前記金属粒子を除去して、カーボンナノチューブと、前記金属粒子が除去されて中空状で閉じた形状を有する中空炭素粒子とを含む複合体を得る金属粒子除去工程と、
を含むことを特徴とする請求項4に記載の除去方法。 - さらに、
前記縦型反応器の下方から上方にキャリアガスを流して前記複合体を前記縦型反応器から取り出し回収する工程、
を含むことを特徴とする請求項5に記載の除去方法。 - 前記金属粒子が除去されたカーボンナノチューブと中空炭素粒子との複合体を製造する製造方法であることを特徴とする請求項1~6のいずれか1項に記載の除去方法。
- 反応器と、
前記反応器および前記反応器内へ供給するガスの少なくともいずれかを加熱する加熱機構と、
カーボンナノチューブ(CNT)と炭素殻に覆われた金属粒子とを含む混合物を前記反応器へ供給する混合物供給機構と、
不活性ガスおよび臭素ガスを前記反応器へ供給するガス供給機構と、
を備えるCNTと炭素殻に覆われた金属粒子とを含む混合物から金属粒子を除去する除去装置であって、
前記除去装置は、前記反応器が垂直方向に設置され、前記ガス供給機構は前記不活性ガスおよび前記臭素ガスを前記反応器内で上方より下方に向かって流れるように前記反応器内に供給する除去装置であって、
カーボンナノチューブと、前記金属粒子が除去されて中空状で閉じた形状を有する中空炭素粒子とを含む複合体を、前記反応器から回収するために同伴させるキャリアガスを前記反応器へ供給する、キャリアガス供給機構をさらに備え、前記キャリアガス供給機構は前記キャリアガスを前記反応器内で下方より上方に向かって流れるように前記反応器内に供給し、
前記ガス供給機構は、前記臭素ガスを0.05 Torr以上の分圧で供給し、
前記加熱機構は、前記混合物を600℃以上に加熱することを特徴とする除去装置。 - 前記金属粒子が除去されたカーボンナノチューブと中空炭素粒子とを含む複合体を製造する製造装置であることを特徴とする請求項8に記載の除去装置。
- かさ密度が0.001~0.2g/cm3であり、ハロゲン含有率が0.01~3質量%であり、金属含有率が10質量%以下であること特徴とする、炭素殻を残したまま金属粒子が除去されたカーボンナノチューブと、炭素殻を残したまま金属粒子が除去されて中空状で閉じた形状を有する中空炭素粒子との複合体。
- カーボンナノチューブ(CNT)と炭素殻に覆われた金属粒子とを含む混合物を、加熱してハロゲン元素含有ガスと接触させ、前記金属粒子を除去する、CNTと炭素殻に覆われた金属粒子とを含む混合物から金属粒子を除去する除去方法であって、
供給される前記ハロゲン元素含有ガスの分圧が0.05 Torr以上であり、
前記混合物を600℃以上に加熱し、
前記混合物を前記ハロゲン元素含有ガスと接触させる前に前記混合物を酸化する工程を経ずに、
前記混合物を、前記ハロゲン元素含有ガスと接触させた後に、水素ガスに接触させて、
前記金属粒子を除去する除去方法。
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