JP7042990B1

JP7042990B1 - リニア搬送装置

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Publication number: JP7042990B1
Application number: JP2021563170A
Authority: JP
Inventors: 拓馬中村; 伸酒井; 正興岩瀬; 一彦福島
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2021-06-17
Filing date: 2021-06-17
Publication date: 2022-03-28
Anticipated expiration: 2041-06-17
Also published as: DE112021005863T5; JPWO2022264371A1; US11926492B2; WO2022264371A1; US20230322275A1

Abstract

リニア搬送装置は、搬送台車（１００）と、搬送台車（１００）から第１の方向に沿って延びる第１の回転軸（４）を中心に回転する第１のローラ（２）と、搬送台車（１００）から延びて第１の回転軸（４）となす角が鋭角となる第２の回転軸（７）を中心に回転する第２のローラ（６）と、第１のローラ（２）と第２のローラ（６）とに挟まれて搬送台車（１００）が移動する軌道に沿って延びるレール（１０）と、を備える。レール（１０）は、第１のローラ（２）に当接してレール（１０）が延びる方向および第１の方向に垂直な第２の方向への搬送台車（１００）の移動を規制する第１の当接部（１３）と、第２のローラ（６）に当接して第２の回転軸（７）と平行な第２の当接部（１４）と、を有し、レール（１０）には、搬送台車（１００）が移動する軌道の曲率が他の部分と異なる部分が含まれる。

Description

本開示は、レールが規定する軌道に沿って搬送台車を移動させるリニア搬送装置に関する。

リニア搬送装置は、レールが規定する軌道に沿って搬送台車が移動する装置である。レールは例えば基台に固定されている。基台に設けられた固定子と、搬送台車に設けられた可動子とがリニアモータを構成する。搬送台車は、固定子または可動子への通電制御によって可動子に発生する推力によって軌道に沿って移動する。

リニア搬送装置では、搬送台車の自重支持、固定子と可動子との位置関係の維持、搬送台車の軌道に沿った方向以外への移動の規制を目的として、搬送台車から延びる回転軸を中心に回転するローラでレールを挟み込んだ構成が採用される。

リニア搬送装置では、搬送台車が移動する軌道の曲率が変化する場合がある。例えば、軌道には、搬送台車が直線的に移動する直線軌道部および搬送台車が曲線的に移動する曲線軌道部が含まれる。また、曲線軌道部のなかでも曲率が異なる場合がある。

例えば直線軌道部と曲線軌道部のように曲率の異なる部分でレールの幅を一定にすると、ローラとレールとの間に隙間が生じる箇所が出てくることが知られている。この結果、搬送台車ががたつき、軌道に沿って正確に移動させることができなくなる。

特許文献１には、ローラを移動可能としてローラ同士の距離を可変としつつローラをレールに押し付ける付勢手段を設けることで、ローラとレールとの間にすき間が生じないようにした構成が開示されている。

特開平０７－０４８０３０号公報

特許文献１に開示された技術では、搬送台車に付勢手段およびローラの移動を可能とする機構を取付ける必要があり、搬送台車の重量が増加してしまう。一方、軌道の曲率に合わせてレールの幅を変化させた場合には、レールおよび基台の設計、製造、組立、検査が難しくなる。

本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、レール幅を変えずに曲線軌道を含む軌道で搬送台車を移動させ、かつ搬送台車の重量の増加を抑えることができるリニア搬送装置を得ることを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本開示にかかるリニア搬送装置は、搬送台車と、搬送台車から第１の方向に沿って延びる第１の回転軸を中心に回転する第１のローラと、搬送台車から延びて第１の回転軸となす角が鋭角となる第２の回転軸を中心に回転する第２のローラ、第１のローラと第２のローラとに挟まれて搬送台車が移動する軌道に沿って延びるレールと、を備える。レールは、第１のローラに当接してレールが延びる方向および第１の方向に垂直な第２の方向への搬送台車の移動を規制する第１の当接部と、第２のローラに当接して第２の回転軸と平行な第２の当接部と、を有し、レールには、搬送台車が移動する軌道の曲率が他の部分と異なる部分が含まれる。

本開示によれば、レール幅を変えずに曲線軌道を含む軌道で搬送台車を移動させ、かつ搬送台車の重量の増加を抑えることができるリニア搬送装置を得ることができるという効果を奏する。

本開示の実施の形態１にかかるリニア搬送装置の概略構成を示す断面図図１に示したリニア搬送装置の斜視図直線軌道部と曲線軌道部のレール幅の違いを概念的に説明するための図実施の形態１にかかるリニア搬送装置の断面図実施の形態１の変形例１にかかるリニア搬送装置の断面図比較例にかかるリニア搬送装置の断面図実施の形態１の変形例２にかかるリニア搬送装置の断面図実施の形態１の変形例３にかかるリニア搬送装置の断面図実施の形態１の変形例４にかかるリニア搬送装置の断面図

以下に、本開示の実施の形態にかかるリニア搬送装置を図面に基づいて詳細に説明する。

実施の形態１．
図１は、本開示の実施の形態１にかかるリニア搬送装置の概略構成を示す断面図である。以下の説明における上下左右の表現は、図１の紙面における上下左右を示すものとする。リニア搬送装置３００は、基台２００、搬送台車１００、レール１０を備える。基台２００は、後述するレール１０が固定されている。基台２００の側面には固定子１１が設けられている。基台２００には、位置検出器１２が設けられている。

レール１０は、基台２００に固定されている。レール１０は、後述するメインローラ２，３と傾斜ローラ６とに挟まれて搬送台車１００が移動する軌道に沿って延びている。

図２は、図１に示したリニア搬送装置の斜視図である。図２では、基台、可動子、位置検出ターゲットを省略して示している。図２に示すように、レール１０は、軌道に沿って延びる形状で形成されている。レール１０は、軌道が直線となる直線軌道部１０１と、軌道が曲線となる曲線軌道部１０２とを有する。

図１に戻って、レール１０には、後述するメインローラ２，３が嵌まる溝１３が形成されている。溝１３は、軌道に沿って延びている。溝１３の内面は、メインローラ２，３が当接する第１の当接部となる。レール１０には、後述する傾斜ローラ６が当接する傾斜面１４が形成されている。傾斜面１４は、軌道に沿って延びている。傾斜面１４は、傾斜ローラ６が当接する第２の当接部となり、レール１０が延びる方向および第１の方向である上下方向に垂直な第２の方向への搬送台車１００の移動を規制する。

搬送台車１００は、主構造体１を備える。主構造体１には、軌道に沿って移動させたい対象物が載置されたり固定されたりする。主構造体１には、第１の方向に沿って延びる前方メインローラ軸４が設けられている。主構造体１には、前方メインローラ軸４を中心に回転する前方メインローラ２が設けられている。第１の方向は主構造体１から下に向かう方向である。前方メインローラ２は、円錐台の底面同士を接合させた形状となっており、レール１０に形成された溝１３に嵌まる。搬送台車１００が軌道に沿って移動する際には、前方メインローラ２は溝１３の内面上を回転する。溝１３の内面は、前方メインローラ２が転動する転動面である。

主構造体１には、主構造体１から第１の方向に沿って延びる後方メインローラ軸５が設けられている。主構造体１には、後方メインローラ軸５を中心に回転する後方メインローラ３が設けられている。後方メインローラ３は、円錐台の底面同士を接合させた形状となっており、レール１０に形成された溝１３に嵌まる。搬送台車１００が軌道に沿って移動する際には、後方メインローラ３は溝１３の内面上を回転する。溝１３の内面は、後方メインローラ３が転動する転動面である。

前方メインローラ２と後方メインローラ３とが溝１３に嵌まることで、搬送台車１００の上下方向への移動が規制される。また、前方メインローラ２と後方メインローラ３とが溝１３の内面に当接することで搬送台車１００の左方への移動が規制される。なお、前方メインローラ２および後方メインローラ３の形状は図１，２に示した形状に限られず、溝１３に嵌まって搬送台車１００の上下方向への移動を規制することができるものであればよい。また、前方メインローラ２と後方メインローラ３とを区別せずに単にメインローラ２，３とも称する。また、前方メインローラ軸４と後方メインローラ軸５とを区別せずに単にメインローラ軸４，５とも称する。メインローラ２，３は第１のローラである。メインローラ軸４，５は第１の回転軸である。メインローラ２，３が当接する溝１３の内面の上下方向に沿った位置はレール１０上で一定である。

ここで、後方メインローラ３から前方メインローラ２に向かう方向、すなわち図１における紙面奥に向かう方向を前方とし、前方メインローラ２から後方メインローラ３に向かう方向、すなわち図１における紙面手前に向かう方向を後方とする。

主構造体１には、主構造体１から延びてメインローラ軸４，５となす角βが鋭角となる傾斜ローラ軸７が設けられている。主構造体１には、傾斜ローラ軸７を中心に回転する傾斜ローラ６が設けられている。傾斜ローラ６は、レール１０の傾斜面１４に当接する。傾斜ローラ軸７と、傾斜ローラ６の側面と、傾斜面１４は互いに平行となっている。傾斜ローラ軸７は第２の回転軸である。傾斜ローラ６は第２のローラである。傾斜面１４は、傾斜ローラ６が当接する第２の当接部である。傾斜ローラ６が傾斜面１４に当接することで搬送台車１００の右方への移動が規制される。

主構造体１には、基台２００に設けられた固定子１１と対向する位置に可動子８が設けられている。可動子８と固定子１１は磁石またはコイルであり、可動子８と固定子１１とでリニアモータが構成される。可動子８または固定子１１への通電によって可動子８を軌道に沿って移動させる電磁気力が発生し、可動子８が設けられた搬送台車１００が軌道に沿って移動する。

主構造体１には、位置検出ターゲット９が設けられる。位置検出ターゲット９を基台２００に設けられた位置検出器１２で検知することによって、搬送台車１００の軌道上の位置が検出される。搬送台車１００の位置に応じて可動子８と固定子１１からなるリニアモータから発生する電磁気力を調整して、搬送台車１００の速度および位置などの駆動制御が可能となる。なお、位置検出ターゲット９と位置検出器１２とが設けられる位置は入れ替わっていてもよい。

図３は、直線軌道部と曲線軌道部のレール幅の違いを概念的に説明するための図である。図３では、レール１０の幅について理解しやすいように、直線軌道部１０１と、曲線軌道部１０２よりも幅の広い仮想曲線軌道部１０２Ａとを平面的に重ねて表示している。また、直線軌道部１０１を破線で示し、仮想曲線軌道部１０２Ａを実線で示している。また、直線軌道部１０１の幅ｄは、傾斜面１４のうち傾斜ローラ６の最も上端部が接する位置１４ａと、溝１３の底部となる位置１３ａとの距離とする。直線軌道部１０１の幅ｄは、傾斜面１４のうち傾斜ローラ６の最も上端部が接する位置１４Ａと、溝１３の底部となる位置１３Ａとの距離とする。

直線軌道部１０１において、メインローラ２，３と傾斜ローラ６は、幅ｄのレール１０（直線軌道部１０１）に当接している。一方、仮想曲線軌道部１０２Ａは、メインローラ２，３と傾斜ローラ６とに側面を当接しているが、仮想曲線軌道部１０２Ａの幅ｄ´が直線軌道部１０１の幅ｄよりも大きくなっている。したがって、軌道の曲率が異なる直線軌道部１０１と曲線軌道部とでレール１０の幅を同じにしてしまうと、曲線軌道部で各ローラとガイドレール間に隙間が生じてしまう。したがって、軌道の曲率が変化する場合に、メインローラ２，３と傾斜ローラ６とに側面を当接させるためにレール１０の幅を直線軌道部１０１と曲線軌道部１０２とで変化させる必要がある。

また、図２に示した直線軌道部１０１と曲線軌道部１０２の結合部分付近では、その移行中に前方メインローラ２が曲線軌道部１０２に当接し、後方メインローラ３が直線軌道部１０１に当接しているという移行過程が存在する。移行過程では前方メインローラ２、後方メインローラ３、および傾斜ローラ６とレール１０との間の交差を維持するためのレール１０の幅は一定ではなく、搬送台車１００の位置によって連続的に変化する。

また、直線軌道部１０１と曲線軌道部１０２の移行過程のように軌道の曲率に変化がある場合、曲率変化に伴って衝撃的な遠心力およびモーメント荷重が搬送台車１００に加わる場合がある。このような遠心力およびモーメント荷重を緩和するため、クロソイド曲線などの緩衝曲線を利用して軌道曲率を滑らかに変化させる場合がある。このような場合にもレール１０の幅は連続的に変化する。

レール１０の幅が軌道上で異なると、レール１０および基台２００の設計、製造、組立、検査が難しくなる。通常、レール１０は分割して設計、製造され、分割して製造された複数のパーツが基台２００上で結合するように組み立てられる。例えば、図２に示した直線軌道部１０１と曲線軌道部１０２とが分割されて製造される。

搬送台車１００の円滑な移動のためには、複数のパーツの結合部分において転動面に大きな段差が生じてはならず、結合箇所の転動面公差の管理が重要である。レール１０の幅が軌道上で異なる場合、各位置での公差の指定、製造・組立後のレール１０の幅の検査、検査用の治具の構成などが複雑になってしまう。

特に、リニア搬送装置３００においては搬送台車１００を小型かつ軽量にするために２～９個の部品は主構造体１に密集配置される。このため、基台２００においても１０～１２の部品が搬送台車１００に対向する面内に密集配置される必要がある。レール１０の幅が一定でない場合、基台２００における搬送台車１００に対向する面内で密集配置される部品の配置設計、組立、検査は制約が多く、複雑になる。

また、軌道の曲率の変化に応じてレール１０の幅を変化させる場合、レールの幅は軌道の曲率によって一意に定まり、レール１０の設計自由度は低下する。メインローラ２，３および傾斜ローラ６とレール１０との間の交差を維持しつつ、軌道の曲率変化とは独立してレール１０の幅を設計できれば、設計自由度が向上する。

図４は、実施の形態１にかかるリニア搬送装置の断面図である。図４では、曲線軌道部１０２が直線軌道部１０１と共通する部分を互いに線が交差しないハッチングで示し、曲線軌道部１０２が直線軌道部１０１と異なる部分を網目のハッチングで示している。また、直線軌道部１０１にある搬送台車１００を破線で示し、曲線軌道部１０２にある搬送台車１００を実線で示している。また、メインローラ２，３の図示を省略している。

本実施の形態１にかかるリニア搬送装置３００では、傾斜ローラ軸７の傾斜角αを利用して、レール１０の幅を変化させずに、曲線軌道部１０２において上下方向に沿った傾斜面１４の位置をΔｈ変化させている。これにより、曲線軌道部１０２で生じうる傾斜ローラ６を傾斜面１４との隙間Δｘ（＝｜ｄ′－ｄ｜）を埋めて、傾斜ローラ６を傾斜面１４に当接させることができ、メインローラ２，３および傾斜ローラ６とレール１０との間の交差が維持できる。

したがって、搬送台車１００にメインローラ２，３および傾斜ローラ６を移動させるような機構を設けることなく、メインローラ２，３および傾斜ローラ６とレール１０との間の交差を維持しつつ、レール１０の幅を搬送台車１００の軌道とは独立に設計でき、レール１０の幅を全ての軌道上で同一にすることができる。

ここで、隙間Δｘと、上下方向に沿った傾斜面１４の位置の変化量Δｈとは、傾斜ローラ軸７の傾斜角αを用いて次式で表すことができる。
Δｈ＝Δｘ・ｔａｎα ・・・（１）

なお、傾斜角αは、水平面と傾斜ローラ軸７とがなす角度であり、メインローラ軸４，５と傾斜ローラ軸７とのなす角βを用いると、α＝９０－βとなる。なお、図４に示す例では、傾斜面１４を含めたレール１０の上面全体の上下方向に沿った位置を異ならせている。これにより、傾斜面１４よりもメインローラ軸４，５側に設けられた領域の搬送台車１００が移動する軌道と垂直かつ上下方向と垂直な第２の方向に沿った長さがレール１０上で一定となっている。

レール１０の設計方法について説明する。まず、搬送台車１００の軌道の曲率変化に応じて軌道上の隙間Δｘの履歴が得られる。そして、隙間Δｘと傾斜ローラ軸７の傾斜角αと上記数式（１）から計算される上下方向に沿った傾斜面１４の位置の変化量Δｈの履歴が得られ、その変化量Δｈに基づいてレール１０が設計される。

本実施の形態１によればレール１０の幅が一定であるため、レール１０の設計、組立、検査の容易化が図られる。搬送台車１００にメインローラ２，３および傾斜ローラ６を移動させるような機構を設ける必要がないため、搬送台車１００の重量の増加を抑えることができる。

また、前述の通り、リニア搬送装置３００においては搬送台車１００を小型かつ軽量にするため、基台２００においてもレール１０、固定子１１、位置検出器１２の部品を搬送台車１００に対向する面内に密集配置する必要がある。レール１０の幅が一定でない場合、基台２００上の部品配置できる領域が予測しにくく、部品の密集配置設計、組立、検査が複雑になるが、レール１０の幅が一定であれば、基台２００上で部品配置できる領域が予測しやすく、設計、組立、検査が容易となる。

図５は、実施の形態１の変形例１にかかるリニア搬送装置の断面図である。図５に示すように、傾斜面１４以外の領域ではレール１０の上下方向に沿った高さを直線軌道部１０１と曲線軌道部１０２で一定にしてもよい。変形例１にかかるリニア搬送装置３００でも、レール１０の幅に加えて、一部では高さも一定となるので、レール１０等の設計、製造、組立、検査のさらなる容易化を図ることができる。

図６は、比較例にかかるリニア搬送装置の断面図である。比較例では、搬送台車の位置によっては傾斜ローラ６の一部が傾斜面１４からはみ出して傾斜面１４に当接していない。この場合、傾斜ローラ６のうち傾斜面１４に当接する部分のほうが早く摩耗して、傾斜面１４と傾斜ローラ６との間にがたつき等が生じ、搬送台車１００の円滑な移動が阻害されてしまう場合がある。一方、図４に示した例のように、傾斜ローラ６の全体を常に傾斜面１４に当接させることで、傾斜ローラ６の部分的な摩耗を防いで、搬送台車１００の円滑な移動の維持を図ることができる。

また、傾斜ローラ軸７の傾斜角αが小さいほど、上下方向に沿った傾斜面１４の位置の変化量Δｈを小さくすることができる。一方で、傾斜面１４の上下方向に沿った高さ寸法の各種公差の設定、および上下・左右方向への搬送台車１００の支持剛性の調整などの点では傾斜角αは一定以上大きくしたほうがよい。傾斜角αはこれらの条件を勘案して決定されればよい。

また、本実施の形態１では、メインローラ２，３を円錐台の底面を接合させ溝１３に嵌まる部分の断面形状、および溝１３の断面形状をＶ字形状としているがこれに限られない。メインローラ２，３のうち溝１３に嵌まる部分の断面形状、および溝１３の断面形状をＵ字形状としてよい。または、メインローラ２，３を平ローラとし、メインローラ２，３が当接する部分を平レールとしてもよい。平ローラおよび平レールとした場合には、上下方向への支持剛性が無くなるため、メインローラ２，３のうち溝１３に嵌まる部分の断面形状および溝１３の断面形状をＶ字またはＵ字とした場合よりも傾斜ローラ軸７の傾斜角αを小さくしなければならない。

本実施の形態１では、全軌道において搬送台車１００の上下方向に沿った位置も一定とできるため、可動子８と固定子１１との上下方向に沿った位置関係、位置検出ターゲット９と位置検出器１２との上下方向のギャップを全ての軌道上で一定にすることができる。これにより、搬送台車１００の全軌道において安定したリニアモータの電磁気学的特性、位置検出精度が得られる。

図７は、実施の形態１の変形例２にかかるリニア搬送装置の断面図である。変形例２にかかるリニア搬送装置３００では、傾斜面１４の上下方向に沿った位置は一定とし、溝１３の上下方向に沿った位置を軌道上で変化させている。溝１３の上下方向に沿った位置の変化量は、図４で示した変化量Δｈと同一であるが、その変化方向は上下が逆となる。

本変形例２では、全ての軌道におけるレール１０の断面変化は溝１３が形成される位置のみであり、レール１０自体の幅、高さ、傾斜面１４の位置といった外部形状寸法は全ての軌道上で同一となる。これにより、リニア搬送装置３００の設計、製造、組立、検査の作業がさらに容易になる。

本変形例２では、溝１３の上下方向に沿った位置の変化に伴い、搬送台車１００の上下方向に沿った位置も軌道上で変化する。この結果、可動子８と固定子１１の上下方向に沿った位置関係、位置検出ターゲット９と位置検出器１２とのギャップが、搬送台車１００の軌道上での位置によって変化する。これらの変化量によってはリニアモータの電磁気学的特性が低下したり、搬送台車１００の位置検出精度が低下したりする可能性がある。この場合、リニアモータの電磁気学的特性の変化および搬送台車１００の位置検出精度の変化も考慮して、傾斜角αを決定すればよい。

図８は、実施の形態１の変形例３にかかるリニア搬送装置の断面図である。図８に示すように、位置検出ターゲット９および位置検出器１２を位置検出ターゲット９と位置検出器１２とのギャップがレール１０上で変化しないように基台２００と搬送台車１００とが対向する側面、すなわち搬送台車１００が移動する軌道の接線方向と平行な面に配置されていてもよい。

図９は、実施の形態１の変形例４にかかるリニア搬送装置の断面図である。本変形例４では、メインローラ２，３が平ローラであり、溝に嵌まる形状ではない。この場合、上下方向に沿ったメインローラ２，３の位置が変化量Δｈで移動しても、メインローラ２，３が当接するようにレール１０の側面の高さとメインローラ２，３の上下方向に沿った長さを設定しておけば、メインローラ２，３および傾斜ローラ６とレール１０との間の交差を維持することが可能となる。本変形例４では、レール１０の断面形状を全ての軌道において同一とできるので、リニア搬送装置３００の設計、製造、組立、検査の作業のさらなる容易化を図ることができる。

以上の実施の形態に示した構成は、一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。

１主構造体、２前方メインローラ、３後方メインローラ、４前方メインローラ軸、５後方メインローラ軸、６傾斜ローラ、７傾斜ローラ軸、８可動子、９位置検出ターゲット、１０レール、１１固定子、１２位置検出器、１３溝、１４傾斜面、１００搬送台車、１０１直線軌道部、１０２曲線軌道部、１０２Ａ仮想曲線軌道部、２００基台、３００リニア搬送装置。

Claims

搬送台車と、
前記搬送台車から第１の方向に沿って延びる第１の回転軸を中心に回転する第１のローラと、
前記搬送台車から延びて前記第１の回転軸となす角が鋭角となる第２の回転軸を中心に回転する第２のローラと、
前記第１のローラと前記第２のローラとに挟まれて前記搬送台車が移動する軌道に沿って延びるレールと、を備え、
前記レールは、
前記第１のローラに当接して前記レールが延びる方向および前記第１の方向に垂直な第２の方向への前記搬送台車の移動を規制する第１の当接部と、
前記第２のローラに当接して前記第２の回転軸と平行な第２の当接部と、を有し、
前記レールには、前記搬送台車が移動する軌道の曲率が他の部分と異なる部分が含まれ、
前記第２の当接部は、曲率の異なる部分同士では前記第１の方向に沿った位置が異なることを特徴とするリニア搬送装置。
前記第１の方向に沿った前記第１の当接部の位置は前記レール上で一定であることを特徴とする請求項１に記載のリニア搬送装置。
前記レールのうち前記第２の当接部よりも前記第１の回転軸側に設けられた領域は前記第２の方向に沿った長さが前記レール上で一定であることを特徴とする請求項１または２に記載のリニア搬送装置。
搬送台車と、
前記搬送台車から第１の方向に沿って延びる第１の回転軸を中心に回転する第１のローラと、
前記搬送台車から延びて前記第１の回転軸となす角が鋭角となる第２の回転軸を中心に回転する第２のローラと、
前記第１のローラと前記第２のローラとに挟まれて前記搬送台車が移動する軌道に沿って延びるレールと、を備え、
前記レールは、
前記第１のローラに当接して前記レールが延びる方向および前記第１の方向に垂直な第２の方向への前記搬送台車の移動を規制する第１の当接部と、
前記第２のローラに当接して前記第２の回転軸と平行な第２の当接部と、を有し、
前記レールには、前記搬送台車が移動する軌道の曲率が他の部分と異なる部分が含まれ、
前記第１の方向に沿った前記第１の当接部の位置が前記レール上で変化することを特徴とするリニア搬送装置。
前記第２のローラは前記第２の回転軸に沿った方向の全体で、前記レール上において前記第２の当接部に当接することを特徴とする請求項１から４のいずれか１つに記載のリニア搬送装置。
前記レールが載置される基台と、
前記搬送台車に設けられる可動子と、
前記基台に設けられて前記可動子とともにリニアモータを構成する固定子と、
前記基台および前記搬送台車の一方に設けられる位置検出器と、
前記基台および前記搬送台車の他方に設けられて前記位置検出器に位置が検出される位置検出ターゲットと、をさらに備え、
前記可動子、前記固定子、前記位置検出器、前記位置検出ターゲットは、前記基台と前記搬送台車とが互いに対向する側面であって、前記第１の回転軸および前記レールの接線方向と平行な面に設けられることを特徴とする請求項１から５のいずれか１つに記載のリニア搬送装置。