JP7034678B2 - キャパシター及び実装基板 - Google Patents
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Description
101 本体
105 トレンチ
110 基板
111、112 誘電層
121、122 第1及び第2電極層
141、142 第1及び第2開口部
151、152 第1及び第2連結電極層
181 第1絶縁層
182 第2絶縁層
191、192 第1及び第2外部電極
Claims (18)
- 複数のトレンチを含み、容量部、及び前記容量部の周囲に配置される第1及び第2マージン部を有する基板と、
前記基板の一面に配置され、且つ前記複数のトレンチを充填するように配置される誘電層と、
前記誘電層の一面に配置され、前記容量部から前記第1マージン部に引き出される第1引き出し部を含む複数の第1電極層と、
前記誘電層を挟んで前記複数の第1電極層と対向するように前記誘電層の一面に配置され、前記容量部から前記第2マージン部に引き出される第2引き出し部を含む複数の第2電極層と、を含み、
前記複数の第1電極層の前記第1引き出し部及び前記複数の第2電極層の前記第2引き出し部は、前記第1及び第2マージン部から前記容量部の方向に傾いた階段状に積層され、
前記複数の第1電極層と連結される第1連結電極層及び前記複数の第2電極層と連結される第2連結電極層を含み、
前記第1連結電極層の少なくとも一部が前記第1マージン部に配置され、前記第2連結電極層の少なくとも一部が前記第2マージン部に配置される、キャパシター。 - 前記誘電層、前記複数の第1電極層、及び前記複数の第2電極層を覆うように配置される第1絶縁層をさらに含み、
前記第1絶縁層は、前記第1引き出し部に対応する位置に配置される第1開口部と、前記第2引き出し部に対応する位置に配置される第2開口部と、を含む、請求項1に記載のキャパシター。 - 前記第1開口部及び前記第2開口部は前記容量部と前記第1及び第2マージン部との境界に対応するように長く配置される、請求項2に記載のキャパシター。
- 前記第1連結電極層は前記第1マージン部の前記第1絶縁層上に配置されて、前記第1開口部を介して前記複数の第1電極層と連結される、
前記第2連結電極層は前記第2マージン部の前記第1絶縁層上に配置されて、前記第2開口部を介して前記複数の第2電極層と連結される、請求項2または3に記載のキャパシター。 - 前記第1連結電極層及び前記第2連結電極層は単層である、請求項4に記載のキャパシター。
- 前記第1連結電極層及び前記第2連結電極層上に配置され、前記第1連結電極層及び前記第2連結電極層を部分的に露出させる第2絶縁層をさらに含む、請求項4に記載のキャパシター。
- 露出した前記第1連結電極層及び前記第2連結電極層を覆うように形成された第1外部電極及び第2外部電極をさらに含む、請求項6に記載のキャパシター。
- 基板に配置された複数のトレンチを含み、前記複数のトレンチが位置する容量部、及び前記容量部の周囲に配置される第1及び第2マージン部を有する複数のセル(cell)を含むキャパシターであって、
前記複数のセルは、前記容量部に配置され、前記複数のトレンチを充填するように配置される誘電層と、前記誘電層を挟んで交互に配置される第1電極層及び第2電極層と、を含み、
前記第1電極層は前記容量部から前記第1マージン部に引き出される第1引き出し部を含み、前記第2電極層は前記容量部から前記第2マージン部に引き出される第2引き出し部を含み、
前記第1電極層の前記第1引き出し部及び前記第2電極層の前記第2引き出し部は、前記第1及び第2マージン部から前記容量部の方向に傾いた階段状に積層され、
複数の前記第1電極層と連結される第1連結電極層及び複数の前記第2電極層と連結される第2連結電極層を含み、
前記第1連結電極層の少なくとも一部が前記第1マージン部に配置され、前記第2連結電極層の少なくとも一部が前記第2マージン部に配置される、キャパシター。 - 前記誘電層、前記第1電極層、及び前記第2電極層を覆うように配置される第1絶縁層をさらに含み、
前記第1絶縁層は、前記第1マージン部に配置される第1開口部と、前記第2マージン部に配置される第2開口部と、を含む、請求項8に記載のキャパシター。 - 前記第1開口部及び前記第2開口部は前記容量部と前記第1及び第2マージン部との境界に対応するように長く配置される、請求項9に記載のキャパシター。
- 前記第1連結電極層は前記第1マージン部の前記第1絶縁層上に配置されて、前記第1開口部を介して前記第1引き出し部と連結され、
前記第2連結電極層は前記第2マージン部の前記第1絶縁層上に配置されて、前記第2開口部を介して前記第2引き出し部と連結される、請求項9または10に記載のキャパシター。 - 前記第1連結電極層及び前記第2連結電極層は単層である、請求項11に記載のキャパシター。
- 前記第1連結電極層及び前記第2連結電極層上に配置され、前記第1連結電極層及び前記第2連結電極層を部分的に露出させる第2絶縁層をさらに含む、請求項11に記載のキャパシター。
- 露出した前記第1連結電極層及び前記第2連結電極層を覆うように形成された第1外部電極及び第2外部電極をさらに含む、請求項12に記載のキャパシター。
- 基板と、
前記基板の一面に配置される半導体チップと、
前記基板の他面に配置されるキャパシターと、を含む実装基板であって、
前記キャパシターは、
複数のトレンチを含み、容量部、及び前記容量部の周囲に配置される第1及び第2マージン部を有する基板と、
前記基板の一面に配置され、且つ前記複数のトレンチを充填するように配置される誘電層と、
前記誘電層の一面に配置され、前記容量部から前記第1及び第2マージン部に引き出される第1引き出し部を含む複数の第1連結電極層と、
前記誘電層を挟んで前記複数の第1連結電極層と対向するように前記誘電層の一面に配置され、前記容量部から前記第1マージン部に引き出される第2引き出しを含む複数の第2連結電極層と、を含み、
前記複数の第1連結電極層の前記第1引き出し部及び前記複数の第2連結電極層の前記第2引き出し部は、前記第2マージン部から前記容量部の方向に傾いた階段状に積層され、
複数の第1電極層と連結される第1連結電極層及び複数の第2電極層と連結される第2連結電極層を含み、
前記第1連結電極層の少なくとも一部が前記第1マージン部に配置され、前記第2連結電極層の少なくとも一部が前記第2マージン部に配置される、実装基板。 - 前記キャパシターは前記半導体チップと対向する位置の基板の他面に配置される、請求項15に記載の実装基板。
- 前記キャパシターはLSC(Land-side Capacitor)である、請求項15または16に記載の実装基板。
- 前記実装基板は半田ボールをさらに含み、
前記キャパシターは前記半田ボールよりも厚さが薄い、請求項17に記載の実装基板。
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