JP7020099B2 - 貫通孔形成方法及び貫通孔を有するガラス基板の製造方法 - Google Patents
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Description
(比較例1)
厚みが400μmのガラス基板を複数枚準備した。次にレーザ光を照射し、各ガラス基板に改質部を形成する。レーザ光源には、波長535nm、パルス幅20psのレーザ光源を使用し、100μJの出力で、ガラス基板に照射した。これにより、ガラス基板の表面側から裏面側にわたって加工寸法径約5μmの改質部が複数形成された。
(比較例2)
比較例1と同様に、ガラス基板に複数の改質部が形成された後、同様のエッチング液を用いてエッチング量100μmのエッチングを行い、貫通孔を有するガラス基板の形成を行った。
(実施例1)
厚みが400μmのガラス基板を複数枚準備した。エッチング液として、フッ化水素酸濃度は4wt%、無機酸濃度は10.0wt%のフッ化水素溶液でクラックの除去とともに、エッチング量30μmのエッチングを行った後、比較例1と同様の条件でガラス基板の表面側から裏面側にわたって加工寸法径約5μmの改質部が複数形成された。その後、同様のエッチング液を用いてエッチング量70μmのエッチングを行い、貫通孔を有するガラス基板の形成を行った。
(実施例2)
実施例1と同様に、先ずはガラス基板にエッチング量40μmのエッチングを行った後、ガラス基板に複数の加工寸法径約6μmの改質部が形成された。その後、同様のエッチング液を用いてエッチング量60μmのエッチングを行い、貫通孔を有するガラス基板の形成を行った。
(実施例3)
実施例1と同様に、先ずはガラス基板にエッチング量50μmのエッチングを行った後、ガラス基板に複数の加工寸法径約7μmの改質部が形成された。その後、同様のエッチング液を用いてエッチング量50μmのエッチングを行い、貫通孔を有するガラス基板の形成を行った。
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明と同等の記載を付記する。
[1]
ガラス基板に貫通孔を形成する貫通孔形成方法において、
前記ガラス基板をエッチング液でエッチングする第1の工程と、
前記ガラス基板の貫通孔形成箇所にレーザを照射して、前記ガラス基板の表面側から裏面側にわたって改質部を形成する第2の工程と、
前記改質部を有するガラス基板をエッチング液でエッチングすることにより、前記改質部を除去し、前記貫通孔を形成する第3の工程と、
を備えている貫通孔形成方法。
[2]
前記第1の工程における前記エッチング液は、硝酸、塩酸及び硫酸からなる群から選ばれる1種以上の無機酸を含み、フッ化水素酸濃度は1.0~6.0wt%であり、無機酸濃度は1.0~20.0wt%のフッ化水素溶液である[1]に記載の貫通孔形成方法。
[3]
前記第2の工程における前記レーザの波長は355nm以上535nm以下、パルス幅は1ps~1000psの範囲であり、前記ガラス基板の厚みd2に対し、d2/2となる位置にレーザ光を集光させる[1]に記載の貫通孔形成方法。
[4]
前記第3の工程におけるエッチング液は、硝酸、塩酸及び硫酸からなる群から選らばれる1種以上の無機酸を含み、フッ化水素酸濃度は1.0~6.0wt%であり、無機酸濃度は1.0~20.0wt%のフッ化水素溶液である[1]に記載の貫通孔形成方法。
[5]
前記貫通孔は、前記ガラス基板の厚み方向でテーパー状となり、表面側と裏面側に最大開口径を有し、ガラス基板の中央に最小開口径を有し、前記貫通孔の内壁面が貫通方向に対する勾配角度は60°以上、85°以下である[1]に記載の貫通孔形成方法。
[6]
前記第1の工程は、前記ガラス基板の厚みをd1からd2に調整し、
前記第3の工程は、前記ガラス基板の厚みをd2からd3に調整すると共に、前記貫通孔の最大開口径をd2-d3とする[1]に記載の貫通孔形成方法。
[7]
前記ガラス基板に対し、[1]~[6]のいずれか1に記載の貫通孔形成方法により前記貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔に、貫通電極を形成する工程と、
前記貫通電極を含む位置に配線を形成する工程と、
を備えている貫通孔を有するガラス配線基板の製造方法。
Claims (6)
- ガラス基板に貫通孔を形成する貫通孔形成方法において、
前記ガラス基板をエッチング液でエッチングする第1の工程と、
前記ガラス基板の貫通孔形成箇所にレーザを照射して、前記ガラス基板の表面側から裏面側にわたって改質部を形成する第2の工程と、
前記改質部を有する前記ガラス基板をエッチング液でエッチングすることにより、前記改質部を除去し、前記貫通孔を形成する第3の工程と、
を備え、
前記第1の工程における前記エッチング液は、硝酸、塩酸及び硫酸からなる群から選ばれる1種以上の無機酸を含み、フッ化水素酸濃度は2.0~5.0wt%であり、無機酸濃度は3.0~16.0wt%のフッ化水素溶液であり、
前記第1の工程は、前記ガラス基板の厚みをd1からd2に調整し、
d1とd2との厚みの差は、30μm~50μmである、貫通孔形成方法。 - 前記第2の工程における前記レーザの波長は355nm以上535nm以下、パルス幅は1ps~1000psの範囲であり、前記ガラス基板の厚みd2に対し、d2/2となる位置にレーザ光を集光させる請求項1に記載の貫通孔形成方法。
- 前記第3の工程における前記エッチング液は、硝酸、塩酸及び硫酸からなる群から選らばれる1種以上の無機酸を含み、フッ化水素酸濃度は1.0~6.0wt%であり、無機酸濃度は1.0~20.0wt%のフッ化水素溶液である請求項1に記載の貫通孔形成方法。
- 前記貫通孔は、前記ガラス基板の厚み方向でテーパー状となり、表面側と裏面側に最大開口径を有し、前記ガラス基板の中央に最小開口径を有し、前記貫通孔の内壁面が貫通方向に対する勾配角度は60°以上、85°以下である請求項1に記載の貫通孔形成方法。
- 前記第3の工程は、前記ガラス基板の厚みをd2からd3に調整すると共に、前記貫通孔の最大開口径をd2-d3とする請求項1に記載の貫通孔形成方法。
- 前記ガラス基板に対し、前記請求項1~5のいずれか1項に記載の貫通孔形成方法により前記貫通孔を形成する工程と、
前記貫通孔に、貫通電極を形成する工程と、
前記貫通電極を含む位置に配線を形成する工程と、
を備えている貫通孔を有するガラス配線基板の製造方法。
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JP2017242528A JP7020099B2 (ja) | 2017-12-19 | 2017-12-19 | 貫通孔形成方法及び貫通孔を有するガラス基板の製造方法 |
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