JP6348051B2 - レーザ加工方法、レーザ加工装置、およびレーザ加工品 - Google Patents
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Description
22 第2工程
23 基材
24 硬質炭素膜
25 改質部
26 加工部位
L 加工用パルスレーザ光
L1 パルスレーザ光
W 加工対象物
Claims (7)
- 基材上に形成された硬質炭素膜にパルス幅が1ps以上の加工用パルスレーザ光を照射して硬質炭素膜を加工するレーザ加工方法であって、
前記加工用パルスレーザ光の照射領域の硬質炭素膜の表面乃至内部を、加工用パルスレーザ光を照射した際に、基材乃至基材と硬質炭素膜の間に介在された中間層に損傷を与えず、基材と硬質炭素膜との結合が破壊されなくなる改質部に成形する第1工程と、
前記改質部に、前記加工用パルスレーザ光を照射する第2工程とを備え、
前記第1工程では、加工用パルスレーザ光の照射強度よりも弱くかつパルス幅が1ps以上であって、基材の加工閾値未満のパルスレーザ光を照射することによって、前記改質部を成形することを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記第2工程で用いる加工用パルスレーザ光が、その集光点での空間的な照射エネルギー密度分布の中に、前記改質部の加工が可能な照射エネルギー密度と未改質状態の前記硬質炭素膜を前記改質部へと改質可能な照射エネルギー密度を併せ持ち、前記パルスレーザ光照射による改質部の加工と同時にこの加工部周辺の硬質炭素膜自身の表面ないし内部に新規改質部を形成し、その後、さらに次のパルスレーザ光照射による加工部が既設の新規改質部形成領域に含まれるようにパルスレーザ集光点と加工対象物を相対的に移動させ照射することで、加工領域を連続的に拡張することを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工方法。
- 照射するパルスレーザ光の集光点での照射エネルギー密度が時間的に変調され、パルス列内において前記第1工程と第2工程とを含んでいることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のレーザ加工方法。
- 第2工程では、加工闘値近傍の照射強度の加工用パルスレーザを照射し、この加工用パルスレーザ光の照射部分をオーバーラップさせながら走査して、グレーティング状の表面微細周期構造を自己組織的に形成することを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載のレーザ加工方法。
- 請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のレーザ加工方法により得られることを特徴とするレーザ加工品。
- 基材上に形成された硬質炭素膜にパルス幅が1ps以上の加工用パルスレーザ光を照射して硬質炭素膜を加工するレーザ加工装置であって、
前記加工用パルスレーザ光の照射領域の硬質炭素膜の表面乃至内部を、基材乃至基材と硬質炭素膜の間に介在された中間層に損傷を与えず、基材と硬質炭素膜との結合が破壊されなくなる改質部に成形するレーザ光の照射と、前記改質部に加工用パルスレーザ光の照射とを行うものであり、前記改質部に成形するレーザ光は、加工用パルスレーザ光の照射強度よりも弱くかつパルス幅が1ps以上であって、基材の加工閾値未満のパルスレーザ光であることを特徴とするレーザ加工装置。 - 請求項6に記載のレーザ加工装置により得られることを特徴とするレーザ加工品。
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