JP7011384B2 - 真空処理装置及び希ガス回収装置 - Google Patents
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- 真空チャンバと、この真空チャンバ内を所定圧力に真空排気する真空排気手段と、排気ガス中に含まれる特定の希ガスを捕捉する第1捕捉体を備える希ガス回収手段とを備える真空処理装置において、
前記第1捕捉体が、前記真空チャンバから前記真空排気手段に通じる排気ガス通路に設けられ、前記真空チャンバ内の圧力に応じて前記希ガスの蒸気圧曲線から定まる第1温度に冷却されて当該希ガスを凝集させて捕捉するものであり、
前記希ガス回収手段は、前記排気ガス通路内で前記第1捕捉体の上流側に配置される第2捕捉体と、前記第1捕捉体を冷却する第1冷却手段と、前記第2捕捉体を冷却する第2冷却手段とを更に備え、第2捕捉体が、前記第2冷却手段により、第1温度より高く、前記排気ガス中に含まれる水及び二酸化炭素が凝集し且つ前記希ガスが凝集しない第2温度に冷却されることを特徴とする真空処理装置。 - 前記希ガス回収手段は、前記第1捕捉体が配置される前記排気ガス通路の部分を選択的に密閉する開閉バルブと、当該排気ガス通路の部分に接続される希ガス回収通路と、前記開閉バルブの下流側に配置される昇圧ポンプと、前記第1捕捉体を加熱する加熱部とを更に備えることを特徴とする請求項1記載の真空処理装置。
- 前記第1捕捉体は、前記排気ガス通路の部分を流れる排気ガスが接触した後、下流側への排気ガスの流出を許容する冷却パネルで構成されることを特徴とする請求項1または請求項2記載の真空処理装置。
- 前記真空排気手段は、冷却パネルを有する高真空用ポンプを有し、この冷却パネルを前記第1捕捉体として用いることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項記載の真空処理装置。
- 前記高真空用ポンプは、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ及びディフュージョンポンプから選択されることを特徴とする請求項4記載の真空処理装置。
- 特定の希ガスを含む混合ガスを真空排気する真空排気手段と、排気ガス中に含まれる特定の希ガスを捕捉する第1捕捉体を備える希ガス回収手段とを備える希ガス回収装置において、
前記第1捕捉体が、前記真空排気手段に通じる排気ガス通路の前記真空排気手段の上流側に設けられ、前記排気ガス通路内の第1捕捉体の下流側の圧力に応じて前記希ガスの蒸気圧曲線から定まる第1温度に冷却されて当該希ガスを凝集させて捕捉するものであり、
前記希ガス回収手段は、前記排気ガス通路内で前記第1捕捉体の上流側に配置される第2捕捉体と、前記第2捕捉体の上流側に配置され、前記第2捕捉体が配置される排気ガス通路の圧力を調整するコンダクタンス可変バルブと、前記第1捕捉体を冷却する第1冷却手段と、前記第2捕捉体を冷却する第2冷却手段とを更に備え、第2捕捉体が、前記第2冷却手段により、第1温度より高く、前記排気ガス中に含まれる水及び二酸化炭素が凝集し且つ前記希ガスが凝集しない第2温度に冷却されることを特徴とする希ガス回収装置。 - 前記希ガス回収手段は、前記第1捕捉体が配置される前記排気ガス通路の部分を選択的に密閉する開閉バルブと、当該排気ガス通路の部分に接続される希ガス回収通路と、前記第1捕捉体を加熱する加熱部とを更に備えることを特徴とする請求項6記載の希ガス回収装置。
- 前記第1捕捉体は、前記排気ガス通路の部分を流れる排気ガスが接触した後、下流側への排気ガスの流出を許容する冷却パネルで構成されることを特徴とする請求項6または請求項7記載の希ガス回収装置。
- 前記真空排気手段は、冷却パネルを有する高真空用ポンプを有し、この冷却パネルを前記第1捕捉体として用いることを特徴とする請求項6~8のいずれか1項記載の希ガス回
収装置。 - 前記高真空用ポンプは、ターボ分子ポンプ、クライオポンプ及びディフュージョンポンプから選択されることを特徴とする請求項9記載の希ガス回収装置。
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