JP7010803B2 - 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 - Google Patents

光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7010803B2
JP7010803B2 JP2018216955A JP2018216955A JP7010803B2 JP 7010803 B2 JP7010803 B2 JP 7010803B2 JP 2018216955 A JP2018216955 A JP 2018216955A JP 2018216955 A JP2018216955 A JP 2018216955A JP 7010803 B2 JP7010803 B2 JP 7010803B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
burner
base material
glass base
porous glass
clad
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2018216955A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2020083675A (ja
Inventor
良薦 永嶋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Original Assignee
Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shin Etsu Chemical Co Ltd filed Critical Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority to JP2018216955A priority Critical patent/JP7010803B2/ja
Priority to US16/684,559 priority patent/US11230488B2/en
Priority to CN201911118574.8A priority patent/CN111196674B/zh
Priority to KR1020190148704A priority patent/KR20200059174A/ko
Publication of JP2020083675A publication Critical patent/JP2020083675A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7010803B2 publication Critical patent/JP7010803B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413—Reactant delivery systems
    • C03B37/0142—Reactant deposition burners
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01807—Reactant delivery systems, e.g. reactant deposition burners
    • C03B37/01815—Reactant deposition burners or deposition heating means
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01406—Deposition reactors therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413—Reactant delivery systems
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/018—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD] by glass deposition on a glass substrate, e.g. by inside-, modified-, plasma-, or plasma modified- chemical vapour deposition [ICVD, MCVD, PCVD, PMCVD], i.e. by thin layer coating on the inside or outside of a glass tube or on a glass rod
    • C03B37/01853—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/42—Assembly details; Material or dimensions of burner; Manifolds or supports
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00—Glass deposition burners
    • C03B2207/50—Multiple burner arrangements

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Description

本発明は、光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法に関する。
光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法には、複数の合成用バーナを用いて、光ファイバ用多孔質ガラス母材のコア相当部とクラッド相当部とを同時に形成するVAD法（Vapor-phase Axial Deposition Method：気相軸付け法）がある（特許文献１参照）。また、合成用バーナの近傍にリング状のガラス板を配置・固定し、VAD法の反応容器内で発生する熱を遮熱する技術がある（特許文献２参照）。
特開2013-234078号公報 特開2006-096642号公報
特許文献１に記載された製造方法によると、ガラス微粒子の堆積初期に多孔質ガラス母材に割れが生じる場合があった。また、特許文献２に記載された製造方法によると、バーナに遮熱板からの応力が掛かりバーナを損傷する場合があった。
そこで本発明は、ガラス微粒子の堆積初期における多孔質ガラス母材の割れを防止し、かつバーナの損傷を防止することのできる光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法を提供する。
本発明の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法は、反応容器内に垂下した種棒にガラス微粒子を付着堆積させて光ファイバのコアに相当するコア部を形成し、前記コア部にガラス微粒子を付着堆積させて光ファイバのクラッドの少なくとも一部に相当するクラッド部を形成する多孔質ガラス母材の製造方法であって、前記クラッド部の表面側を形成するクラッド形成用バーナの傾きを、定常時の傾きよりも水平に対して下向きの角度から堆積を始め、ガラス微粒子を堆積させながら定常時の角度へと変化させることを特徴とし、前記クラッド部の表面側を形成するクラッド形成用バーナの傾きを水平に対して下向き１０°の角度に設定して堆積を始め、定常時の傾きを水平に対して上向き５°とし、電動ゴニオステージを用いて変化させるのが好ましい。
前記クラッド部の表面側を形成するクラッド形成用バーナを反応容器内に挿入する開口部と該クラッド形成用バーナとの隙間に、繊維状素材からなるシール部材を充填し、前記シール部材の材質を鉄含有量が１PPM以下の石英ウール材とし、該シール部材の厚さを5mm以上とするのが好ましい。
本発明によれば、クラッド部の表面側を形成するクラッド形成用バーナの傾きを、水平方向を基準にして定常時の傾きよりも下向きの状態から、ガラス微粒子を堆積させながら定常時の角度へと変化させることで、ガラス微粒子の堆積初期における多孔質ガラス母材の割れを防止することができる。さらに、反応容器内にバーナを挿入する開口部とバーナとの隙間に石英製のウール材を詰めることで外部への遮熱を保つことができる。これにより、バーナの損傷を防止することができ、かつ電動ゴニオステージを用いてのバーナの角度変更を容易とする。
実施例１で用いた多孔質ガラス母材の製造装置の概略を示す模式図である。 クラッド部の表面側を形成するクラッド部形成用バーナを挿入する開口部周辺の遮熱構造を拡大して示す概略図である。
本発明は、クラッド部の表面側を形成するクラッド形成用バーナの傾きを、水平方向を基準にして定常時の傾きよりも下向きの角度から堆積を始め、ガラス微粒子を堆積させながら定常時の角度へと変化させることを特徴としている。クラッド部の表面側を形成するクラッド形成用バーナの傾きは、堆積初期においては、水平に対して下向き１０°の角度に設定して堆積を始め、堆積の進行とともにバーナの傾きを徐々に上向きに変化させ、水平に対して上向き５°に達した時点で定常時の傾きとするものである。
これにより、ガラス微粒子の堆積初期における多孔質ガラス母材の割れを防止することができる。
図１は、本発明で用いたVAD法による多孔質ガラス母材の製造装置の構造を示す概略模式図であり、図２は、クラッド部形成用バーナを挿入する開口部から外部に放射される熱に対する遮熱構造を拡大して示す概略図である。
図１に示されるように、反応容器１内には、シャフト２の下端に把持された種棒３が垂下されている。シャフト２は、種棒３を垂下した状態で鉛直な回転軸の周りに回転し、かつ、種棒３とともに昇降可能に設置されている。さらに、反応容器１は、コア部形成用バーナ４、コア側クラッド部形成用バーナ５、表面側クラッド部形成用バーナ６を備えている。
これにより、ガラス微粒子を付着させるターゲットとしての種棒３を多孔質ガラス母材の成長に伴って引き上げて、目標の長さの多孔質ガラス母材を製造することができる。
コア部形成用バーナ４、コア側クラッド部形成用バーナ５、表面側クラッド部形成用バーナ６のそれぞれには、ガラス原料である四塩化ケイ素、オクタメチルシクロテトラシロキサン等の原料ガスが供給され、酸水素火炎に吹き込んでガラス微粒子を合成する。コア形成用バーナ４は、主に、種棒３の先端と、種棒３の先端から下方に成長するコア部とに合成したガラス微粒子を堆積させる。多孔質ガラス母材において、コア部は、最終的に光ファイバにおいてコアとなるため、コア部形成用バーナ４には、屈折率を上昇させるドーパントとなる酸化ゲルマニウムの原料として、四塩化ゲルマニウム等が原料ガスに添加される。
コア側クラッド部形成用バーナ５は、主に、コア部形成用バーナ４が堆積させたコア相当部の側周面に対して、合成したガラス微粒子を堆積させる。また、表面側クラッド部形成用バーナ６は、主に、コア側クラッド部形成用バーナ５が堆積させたクラッド部の一部に対して、合成したガラス微粒子を更に堆積させる。このようにして形成された多孔質ガラス母材９は、後工程において加熱炉で脱水および透明化されてガラス母材となる。
多孔質ガラス母材９のクラッド部は、最終的に、光ファイバのクラッド部となる。クラッド部の体積は、コア部の体積と比較して著しく大きいため、クラッド部の形成に複数のクラッド部合成用バーナを用いる場合がある。
図示の例では、製造装置（反応容器）１に、コア側クラッド部形成用バーナ５と、表面側クラッド部形成用バーナ６とが設けられている。コア側クラッド部形成用バーナ５は、コア部に隣接するクラッド部の内側部分を形成する。表面側クラッド形成用バーナ６は、コア側クラッド部形成用バーナに隣接して配され、クラッド部の表面側部分を形成する。コア側クラッド部形成用バーナが形成したクラッド部の一部と、表面側クラッド部形成用バーナ６が形成したクラッド部の一部とは、完成した多孔質ガラス母材において、一体のクラッド部となる。
コア側クラッド部形成用バーナ５および表面側クラッド部形成用バーナ６には、屈折率を変化させるドーパントを添加せずに、ガラス原料としての四塩化ケイ素、可燃性ガスとしての水素ガス、助燃性ガスとしての酸素ガス、シールガスとしてのアルゴンガス等が供給される。また、クラッド部の屈折率を調整する目的で、これらのガスに四塩化ゲルマニウムガス、四フッ化ケイ素ガス等を加えることがある。
さらに、製造装置（反応容器）１には、バーナホルダ１１、電動ゴニオステージ１２、さらに表面側クラッド部形成用バーナ６と開口部との隙間を埋めるようにシール部材１０が配され、これらを覆うように封止部材７が設置されている。これにより、反応容器１内部から外部への熱を遮熱し、バーナホルダ１１ならびに電動ゴニオステージ１２が過熱するのを防ぐことができる。
バーナホルダ１１は、表面側クラッド部形成用バーナ６の後端近傍を保持するとともに、電動ゴニオステージ１２により支持されている。これにより、堆積時間もしくはシャフト２の引上げ距離に応じて電動ゴニオステージ１２を動作させ、表面側クラッド部形成用バーナ６の傾きを変化させる。これにより表面側クラッド部形成用バーナ６の傾き制御の自動化が容易となる。
ここで、表面側クラッド部形成用バーナ６は、電動ゴニオステージ１１により規定された仮想の回転軸を中心に回転して、バーナの傾きを変化させる。このとき、表面側クラッド部形成用バーナ６を挿入する開口部に近い位置に電動ゴニオステージ１１の仮想回転軸があるように設置すると、反応容器１の挿入口の位置における表面側クラッド部形成用バーナ６の傾きを変化させる際に生じる変位を小さくできるので好ましい。
反応容器１の開口部において、反応容器１の外側から表面側クラッド部形成用バーナ６の周囲を覆うように設置された封止カバー７により気密に封止される。封止カバー７は、全体としてドーム型の筒状の形状を有し、一端が反応容器１の外面に密着し、中心側他端が表面側クラッド部形成用バーナ６の外周面に密着している。
封止カバー７は、例えばシリコーンゴムのような、耐熱温度が高く可撓性を有する材料を用いて形成するのが好ましい。これにより、傾きが変化して表面側クラッド部形成用バーナ６の反応容器１に対する相対位置が変化した場合であっても、封止部材７が反応容器１の気密性を維持した状態で変形することによって、反応容器１の内部は、外部雰囲気から遮断される。
なお、シール部材１０は、繊維状素材を表面側クラッド部形成用バーナ６の外面ならびに反応容器１の内周に沿うように設置される。バーナ角度が変わって開口部付近のバーナ位置が変化した場合にも、充填された繊維状素材が緩衝材として作用するため、バーナに過度の応力がかからず、バーナの損傷を防ぐことができる。
繊維状素材としては、石英ウールを用いると、耐熱性ならびに遮熱性に優れるので好ましい。また、炭素繊維を用いることもでき、この場合、シール部材の周囲に不活性ガスを流して酸化雰囲気にならないようにすると良い。
バーナに供給するガラス原料ガスとして四塩化ケイ素などの塩素含有材料を用いる場合には、反応容器内部が塩化水素含有雰囲気となりやすい。そのためシール部材として用いる石英ウールに金属不純物が含まれていると、これと反応して金属塩化物を生じる可能性があるため、石英ウール中の鉄などの金属不純物含有量をできる限り少なくするのが好ましい。含有量は１ppm以下が好ましく、0.2ppm以下ならば更に好ましい。石英ウールの原料として合成石英を用いるのが良い。
シール部材１０の厚さ（バーナの軸方向の厚さ）は、遮熱効果を考慮すると５mm以上とするのが好ましい。５mm未満だと外部への遮熱効果が小さい。
上記のような製造装置を用いた多孔質ガラス母材の製造において、コア側クラッド部形成用バーナ５により合成されたガラス微粒子の一部は、コア側クラッド部形成用バーナ５自身の火炎の外側で多孔質ガラス母材に付着して低密度部を形成する場合がある。こうして形成された低密度部は、シャフト２の引き上げにより多孔質ガラス母材が図中上方に移動した場合に、表面側クラッド部形成用バーナ６の火炎により加熱されて高密度化される。
例えば、コア側クラッド部形成用バーナ５の火炎の外側で形成された、すなわち低温で形成された低密度部が表面側クラッド形成用バーナ６の火炎で加熱された場合に、多孔質ガラス母材に割れが生じる場合がある。このような多孔質ガラス母材の割れは、種棒３にガラス微粒子の堆積を開始した初期に発生する場合が多く、初期割れと呼ばれる。初期割れが生じた場合は、多孔質ガラス母材の製造を最初からやり直さなければならず、歩留りおよび生産性が低下する。
また、初期割れが発生することなく多孔質ガラス母材の製造が進行した場合であっても製造初期の段階では、多孔質ガラス母材の外径が安定しない場合がある。多孔質ガラス母材の外径が変動した場合は、多孔質ガラス母材におけるコア部とクラッド部との割合が安定しないので、光ファイバ用母材として用いることができない。このため、安定した目標外径の多孔質ガラス母材を連続的に製造できる状態に至るまでに時間がかり、多孔質ガラス母材の生産性が低下する。
本発明によれば、表面側クラッド部形成用バーナ６の傾きを変化させて堆積することができるため、多孔質ガラス母材の外径が目標外径で安定するまでの間、バーナの傾きを変化させて表面側クラッド部形成用バーナ６の設置条件を適切に維持し、初期割れおよび外径変動を抑制することができる。
図１に示した装置を用いて、光ファイバ用多孔質ガラス母材を製造した。反応容器１の表面側クラッド部形成用バーナ６を挿入する開口部とバーナ６との間には、石英ウール（信越石英製）で形成されたシール部材を充填し、厚さを７mmとした。
表面側クラッド部形成用バーナ６を水平に対して下向き10°の角度に設定し、コア側クラッド部形成用バーナ５と、表面側クラッド部形成用バーナ６のそれぞれの酸水素火炎中にガラス原料ガスを流してガラス微粒子を生成させ、それを種棒に堆積させ始めた。
コア部の堆積成長に合わせて種棒を回転させつつ引き上げ、100 mm引き上げた時点から徐々に表面側クラッド部形成用バーナ６の角度を上向きに変えた。引上げ距離が200 mmに達した時点で表面側クラッド部形成用バーナ６の角度は上向き５°に達し、この角度を定常状態の角度として堆積を続け、直胴部1400mm、外径250mmの多孔質ガラス母材を作製した。
この条件で５０本の多孔質ガラス母材を製造したが、表面側クラッド部形成用バーナ６の角度を変化させた効果により、多孔質ガラス母材の初期割れは発生しなかった。また、繊維状素材のシール部材を充填した効果により、表面側クラッド部形成用バーナ６の角度を下向き１０°から上向き５°まで変化させる過程で、バーナが反応容器の開口部に接触することなく、バーナに過度な応力負荷がかからなかったため、バーナに損傷は認められなかった。さらに、シール部材により、反応容器内で発生した熱が効果的に遮熱されたため、バーナホルダ１１や電動ゴニオステージ１２の過熱が防がれ、バーナの角度変更が円滑になされた。
１． 反応容器、
２．シャフト、
３． 種棒、
４．コア部堆積用バーナ、
５．コア側クラッド部形成用バーナ、
６．表面側クラッド部形成用バーナ、
７．封止カバー、
８．遮熱板、
９．多孔質ガラス堆積体、
１０．シール部材、
１１． バーナホルダ、
１２． ゴニオステージ。

Claims (7)

  1. 反応容器内に垂下した種棒にガラス微粒子を付着堆積させて光ファイバのコアに相当するコア部を形成し、前記コア部にガラス微粒子を付着堆積させて光ファイバのクラッドの少なくとも一部に相当するクラッド部を形成する多孔質ガラス母材の製造方法であって、前記クラッド部の表面側を形成するクラッド形成用バーナの傾きを、定常時の傾きよりも水平に対して下向きの角度から堆積を始め、ガラス微粒子を堆積させながら定常時の角度へと変化させることを特徴とする光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
  2. 前記クラッド部の表面側を形成するクラッド形成用バーナの傾きを水平に対して下向き１０°の角度に設定して堆積を始め、定常時の傾きを水平に対して上向き５°とする請求項１に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
  3. 前記クラッド部の表面側を形成するクラッド形成用バーナの傾きを電動ゴニオステージを用いて変化させる請求項１又は２に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
  4. 前記クラッド部の表面側を形成するクラッド形成用バーナを反応容器内に挿入する開口部と該クラッド形成用バーナとの隙間に、繊維状素材からなるシール部材を充填してなる請求項１乃至３のいずれかに記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
  5. 前記シール部材の材質が石英ウール材である請求項４に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
  6. 前記石英ウール材の鉄含有量が１ppm以下である請求項５に記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
  7. 前記シール部材が厚さ5mm以上である請求項４乃至６のいずれかに記載の光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法。
JP2018216955A 2018-11-20 2018-11-20 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法 Active JP7010803B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018216955A JP7010803B2 (ja) 2018-11-20 2018-11-20 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法
US16/684,559 US11230488B2 (en) 2018-11-20 2019-11-14 Apparatus for manufacturing porous glass soot body
CN201911118574.8A CN111196674B (zh) 2018-11-20 2019-11-15 多孔质玻璃堆积体制造装置
KR1020190148704A KR20200059174A (ko) 2018-11-20 2019-11-19 다공질 유리 퇴적체 제조 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018216955A JP7010803B2 (ja) 2018-11-20 2018-11-20 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020083675A JP2020083675A (ja) 2020-06-04
JP7010803B2 true JP7010803B2 (ja) 2022-02-10

Family

ID=70728670

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2018216955A Active JP7010803B2 (ja) 2018-11-20 2018-11-20 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11230488B2 (ja)
JP (1) JP7010803B2 (ja)
KR (1) KR20200059174A (ja)
CN (1) CN111196674B (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022121254A (ja) * 2021-02-08 2022-08-19 古河電気工業株式会社 光ファイバ母材の製造装置及び製造方法
WO2024166883A1 (ja) * 2023-02-06 2024-08-15 信越化学工業株式会社 多孔質光ファイバ母材の製造装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006508884A (ja) 2002-12-05 2006-03-16 ネクストロム ホールディング エス．アー． 光ファイバの製造方法
JP2009107874A (ja) 2007-10-29 2009-05-21 Sumitomo Electric Ind Ltd ガラス微粒子堆積体の製造方法
JP2014009142A (ja) 2012-07-02 2014-01-20 Sumitomo Electric Ind Ltd ガラス微粒子堆積体の製造方法および製造装置
JP2014122127A (ja) 2012-12-21 2014-07-03 Tohos Sgm Kk 高純度石英ガラスウールおよびその製造方法
JP2016117616A (ja) 2014-12-22 2016-06-30 信越化学工業株式会社 光ファイバ用母材の製造装置
JP2018177611A (ja) 2017-04-20 2018-11-15 古河電気工業株式会社 光ファイバ用多孔質母材の製造方法、光ファイバ用多孔質母材及び光ファイバの製造方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57167734U (ja) * 1981-04-17 1982-10-22
JPS58204833A (ja) * 1982-05-25 1983-11-29 Showa Electric Wire & Cable Co Ltd 光フアイバプリフオ−ムの製造方法
JPH0986948A (ja) * 1995-09-25 1997-03-31 Fujikura Ltd 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法
JP3196629B2 (ja) * 1996-01-08 2001-08-06 信越化学工業株式会社 シリカガラスの製造方法及び製造装置
JP2001019439A (ja) * 1999-07-01 2001-01-23 Shin Etsu Chem Co Ltd ガラス微粒子堆積体の製造装置
JP4427425B2 (ja) 2004-09-30 2010-03-10 信越化学工業株式会社 光ファイバ母材の製造方法及び装置
US20130025326A1 (en) * 2011-07-29 2013-01-31 Dabby Franklin W Methods for manufacturing low water peak optical waveguide
JP5697165B2 (ja) 2012-05-02 2015-04-08 信越化学工業株式会社 光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法
JP6505188B1 (ja) * 2017-10-13 2019-04-24 信越化学工業株式会社 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法および製造装置

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006508884A (ja) 2002-12-05 2006-03-16 ネクストロム ホールディング エス．アー． 光ファイバの製造方法
JP2009107874A (ja) 2007-10-29 2009-05-21 Sumitomo Electric Ind Ltd ガラス微粒子堆積体の製造方法
JP2014009142A (ja) 2012-07-02 2014-01-20 Sumitomo Electric Ind Ltd ガラス微粒子堆積体の製造方法および製造装置
JP2014122127A (ja) 2012-12-21 2014-07-03 Tohos Sgm Kk 高純度石英ガラスウールおよびその製造方法
JP2016117616A (ja) 2014-12-22 2016-06-30 信越化学工業株式会社 光ファイバ用母材の製造装置
JP2018177611A (ja) 2017-04-20 2018-11-15 古河電気工業株式会社 光ファイバ用多孔質母材の製造方法、光ファイバ用多孔質母材及び光ファイバの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN111196674A (zh) 2020-05-26
KR20200059174A (ko) 2020-05-28
CN111196674B (zh) 2023-03-03
JP2020083675A (ja) 2020-06-04
US11230488B2 (en) 2022-01-25
US20200156988A1 (en) 2020-05-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102545712B1 (ko) 광섬유용 다공질 유리 모재의 제조 방법 및 제조 장치
US8375749B2 (en) Method for fabricating porous silica preform
JP7010803B2 (ja) 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法
US11577984B2 (en) Method for manufacturing optical fiber preform, optical fiber preform, method for manufacturing optical fiber, and optical fiber
RU2284968C2 (ru) Способ изготовления оптического стекла
US7992413B2 (en) Process for producing synthetic quartz glass
JP7115095B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
US20190112216A1 (en) Fabrication apparatus and fabrication method for porous glass base material
CN108083629A (zh) 一种管外法制备抗弯曲低水峰单模光纤的装置及其方法
JP6545925B2 (ja) 光ファイバ用ガラス母材の製造方法
JP6839586B2 (ja) 光ファイバ多孔質母材の製造装置及び製造方法
JP6784016B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
JP2018177611A (ja) 光ファイバ用多孔質母材の製造方法、光ファイバ用多孔質母材及び光ファイバの製造方法
JP7205216B2 (ja) 光ファイバ用母材の製造方法
WO2022065482A1 (ja) 光ファイバ母材の製造方法および製造設備
JP2003212561A (ja) ガラス母材の製造方法および製造装置
JP4420082B2 (ja) ガラス母材の製造方法
JPH0524854A (ja) ガラス物品の製造方法
JPH0692648A (ja) 合成石英ガラス部材の製造方法
JPH0624783A (ja) 光ファイバ母材の製造方法
JP2010202478A (ja) ガラス母材の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20201124

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20211008

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211013

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211210

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220105

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220113

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7010803

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150