JP7005579B2 - 弾性波素子、アンテナデュプレクサ、ダイプレクサ及び通信機器 - Google Patents
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Description
ρM≧ρTi (1)
0.141×exp(-0.075ρM)λ≦hM≦0.134λ (2)
h=hM/λ (3)
0.141×exp(-0.075ρM)≦h≦0.134 (4)
y=14.102×exp(-0.075x) (5)
10°≦φ≦50° (6)
-90°-0.5×(-0.2234ρM 2+6.9119ρM-8.928)°≦θ≦
-90°+0.5×(-0.2234ρM 2+6.9119ρM-8.928)° (7)
-111°≦θ≦-69° (8)
θlow≦θ≦θhigh (9)
y=-0.2234x2+6.9119x-8.928 (10)
-16°≦ψ≦-2.5° (11)
0.08λ≦hS≦0.55λ (12)
0≦hT≦hM (13)
(-371.81hS 2+36.92hS+3.53)°≦ψ≦
(-371.81hS 2+36.92hS+13.53)° (14)
ψ=-371.81x2+36.92x+3.5256 (15)
Claims (17)
- 弾性波素子であって、
第1成分φが10°≦φ≦50°を満たし、第2成分θが-90°-0.5×(-0.2234ρM 2+6.9119ρM-8.928)°≦θ≦-90°+0.5×(-0.2234ρM 2+6.9119ρM-8.928)°を満たすオイラー角(φ,θ,ψ)を有するタンタル酸リチウム基板と、
前記タンタル酸リチウム基板の上に設けられて波長λの主要弾性波を励振させる電極と、
前記タンタル酸リチウム基板とは逆の温度係数を有する絶縁層と
を含み、
ここでρMは前記電極の密度を表し、
前記電極の密度ρM(g/cm3)は、ρTiがチタン(Ti)の密度(g/cm3)を表す場合にρM≧ρTiを満たし、
前記電極の規格化厚さhM/λは、0.141×exp(-0.075ρM)≦hM/λ≦0.134を満たし、
前記絶縁層は、前記タンタル酸リチウム基板及び前記電極を覆い、
第3成分ψが(-371.81(hS/λ)2+36.92(hS/λ)+3.53)°≦ψ≦(-371.81(hS/λ)2+36.92(hS/λ)+13.53)°を満たし、
ここでhS/λは前記絶縁層の規格化厚さを表し、
前記第3成分ψは、前記電極がタングステン(W)の場合に、共振パワーフロー角度及び反共振パワーフロー角度の少なくとも一方がゼロになるように構成される弾性波素子。 - 前記絶縁層は二酸化ケイ素から作られる請求項1の弾性波素子。
- 前記絶縁層の規格化厚さhS/λは、0.08≦hS/λ≦0.55を満たす請求項2の弾性波素子。
- 前記絶縁層は、周波数温度係数を増加させるべく前記電極の電極指の延伸方向と直交する方向の断面において前記電極の上方に設けられた突起を含む請求項1の弾性波素子。
- 前記突起の規格化高さhT/λ及び前記電極の規格化厚さhM/λは0≦hT/λ≦hM/λを満たす請求項4の弾性波素子。
- アンテナデュプレクサであって、
第1周波数を通過させるべく構成された受信フィルタと、
第2周波数を通過させるべく構成された送信フィルタと
を含み、
前記受信フィルタ及び前記送信フィルタの少なくとも一方が請求項1の弾性波素子を含むアンテナデュプレクサ。 - ダイプレクサであって、
第1周波数帯域を受信するべく構成された第1受信フィルタと、
前記第1周波数帯域とは異なる第2周波数帯域を受信するべく構成された第2受信フィルタと
を含み、
前記第1受信フィルタ及び前記第2受信フィルタの少なくとも一方が請求項1の弾性波素子を含むダイプレクサ。 - 請求項6のアンテナデュプレクサ及び請求項7のダイプレクサの一方を含む通信機器。
- 前記通信機器は携帯電話である請求項8の通信機器。
- 前記電極は、インターディジタル電極指を有するIDT電極である請求項1の弾性波素子。
- 前記IDT電極は、チタン、モリブデン、タングステン及び白金からなる群から選択された一つの金属を含む請求項10の弾性波素子。
- 前記IDT電極の上にアルミニウム層が設けられる請求項11の弾性波素子。
- 前記IDT電極の規格化厚さhM/λは、前記IDT電極の規格化厚さ及び前記アルミニウム層の規格化厚さを含む請求項12の弾性波素子。
- 第2成分θが-111°≦θ≦-69°を満たす請求項11の弾性波素子。
- 前記IDT電極はタングステンを含む請求項14の弾性波素子。
- 前記第3成分ψが-16°≦ψ≦-2.5°を満たす請求項1の弾性波素子。
- 弾性波素子であって、
第1成分φが10°≦φ≦50°を満たし、第3成分ψが-16°≦ψ≦-2.5°を満たすオイラー角(φ,θ,ψ)を有するタンタル酸リチウム基板と、
前記タンタル酸リチウム基板の上に設けられて波長λの主要弾性波を励振させる電極と、
前記タンタル酸リチウム基板とは逆の温度係数を有する絶縁層と
を含み、
前記電極は、ρTiがチタン(Ti)の密度(g/cm3)を表す場合にρM≧ρTiを満たす密度ρM(g/cm3)を有し、
前記電極の規格化厚さhM/λは、0.141×exp(-0.075ρM)≦hM≦0.134を満たし、
前記絶縁層は、前記タンタル酸リチウム基板及び前記電極を覆い、
第3成分ψが(-371.81(hS/λ)2+36.92(hS/λ)+3.53)°≦ψ≦(-371.81(hS/λ)2+36.92(hS/λ)+13.53)°を満たし、
ここでhS/λは前記絶縁層の規格化厚さを表し、
前記第3成分ψは、前記電極がタングステン(W)の場合に、共振パワーフロー角度及び反共振パワーフロー角度の少なくとも一方がゼロになるように構成される弾性波素子。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201562132046P | 2015-03-12 | 2015-03-12 | |
US62/132,046 | 2015-03-12 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016048065A Division JP2016171571A (ja) | 2015-03-12 | 2016-03-11 | 弾性波素子、アンテナデュプレクサ及び電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020061742A JP2020061742A (ja) | 2020-04-16 |
JP7005579B2 true JP7005579B2 (ja) | 2022-02-04 |
Family
ID=55524240
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016048065A Pending JP2016171571A (ja) | 2015-03-12 | 2016-03-11 | 弾性波素子、アンテナデュプレクサ及び電子機器 |
JP2019217819A Active JP7005579B2 (ja) | 2015-03-12 | 2019-12-02 | 弾性波素子、アンテナデュプレクサ、ダイプレクサ及び通信機器 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016048065A Pending JP2016171571A (ja) | 2015-03-12 | 2016-03-11 | 弾性波素子、アンテナデュプレクサ及び電子機器 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10097159B2 (ja) |
EP (1) | EP3068049B1 (ja) |
JP (2) | JP2016171571A (ja) |
KR (1) | KR102526570B1 (ja) |
CN (1) | CN105978524A (ja) |
SG (1) | SG10201601943WA (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10308522B2 (en) | 2016-05-31 | 2019-06-04 | Skyworks Solutions, Inc. | High Q modified barium magnesium tantalate for high frequency applications |
WO2018092470A1 (ja) * | 2016-11-17 | 2018-05-24 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
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US10483942B2 (en) | 2017-01-24 | 2019-11-19 | Skyworks Solutions, Inc. | Acoustic wave device with acoustically separated multi-channel feedback |
JP7068835B2 (ja) | 2018-01-26 | 2022-05-17 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ |
CN116671012A (zh) * | 2021-01-12 | 2023-08-29 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
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WO2013118532A1 (ja) | 2012-02-06 | 2013-08-15 | 株式会社村田製作所 | フィルタ装置 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002176333A (ja) * | 2000-12-07 | 2002-06-21 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波フィルタ |
JP4127170B2 (ja) * | 2003-01-07 | 2008-07-30 | 株式会社村田製作所 | 表面波装置 |
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-
2016
- 2016-03-10 EP EP16159654.9A patent/EP3068049B1/en active Active
- 2016-03-11 CN CN201610137318.3A patent/CN105978524A/zh active Pending
- 2016-03-11 JP JP2016048065A patent/JP2016171571A/ja active Pending
- 2016-03-11 KR KR1020160029454A patent/KR102526570B1/ko active IP Right Grant
- 2016-03-11 US US15/067,304 patent/US10097159B2/en active Active
- 2016-03-14 SG SG10201601943WA patent/SG10201601943WA/en unknown
-
2019
- 2019-12-02 JP JP2019217819A patent/JP7005579B2/ja active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016171571A (ja) | 2016-09-23 |
CN105978524A (zh) | 2016-09-28 |
JP2020061742A (ja) | 2020-04-16 |
US20160268997A1 (en) | 2016-09-15 |
US10097159B2 (en) | 2018-10-09 |
EP3068049A3 (en) | 2016-11-30 |
KR102526570B1 (ko) | 2023-04-26 |
KR20160110243A (ko) | 2016-09-21 |
SG10201601943WA (en) | 2016-10-28 |
EP3068049A2 (en) | 2016-09-14 |
EP3068049B1 (en) | 2018-06-13 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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