JP6999407B2

JP6999407B2 - 光学センサ装置

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Publication number: JP6999407B2
Application number: JP2017246260A
Authority: JP
Inventors: 翔吾松永; 啓介戸田
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2017-12-22
Filing date: 2017-12-22
Publication date: 2022-01-18
Anticipated expiration: 2037-12-22
Also published as: JP2019111067A

Description

本発明は、光学センサ装置に関する。

血流等の生体情報を簡単に、かつ高速に測定できる計測センサ等の光学センサ装置が求められている。例えば血流は、光のドップラー効果を利用して計測することができる。血液に光を照射すると、赤血球等の血球細胞で光が散乱される。照射光の周波数と散乱光の周波数とから血球細胞の移動速度が算出される。血流等を計測できる光学センサ装置は、例えば、特許文献１に受光素子と発光素子が収容された基板の上面に透明基板が接合されている。基板の一部が発光素子の一部を覆っている。

特開２０１１－１３４４６３号公報

しかしながら、特許文献１に開示された光学センサ装置では、発光素子の一部と基板の一部が重なってはいるが、平面視において発光している中心部が、基板に覆われておらず、露出している。つまり、特許文献１に開示された技術では、センサから放射されて被計測物に当たる光の角度の調整が困難になる場合があった。

本発明の一実施形態に係る光学センサ装置は、基板と、受光素子と、発光素子と、透明基板と、遮光膜とを備えている。基板は、第１開口部と、第１開口部と間を空けて位置した第２開口部と、平面視において第１開口部と第２開口部との間に位置した壁とを有する。受光素子は、第１開口部に位置している。発光素子は、第２開口部に位置するとともに、受光素子と間を空けて位置している。透明基板は、基板の上面に位置し、第１開口部および第２開口部を塞いで基板と接合されている。遮光膜は、透明基板の下面に位置するとともに、平面視において第１開口部と重なる位置に第１貫通孔と、第２開口部と重なる位置に第２貫通孔とを有する。平面視において、遮光膜は、発光素子の中心と重なっているとともに、第２貫通孔は前記発光素子の中心よりも第１貫通孔の近くに位置しており、遮光膜は、第１貫通孔と第２貫通孔との間に位置する部分における第２貫通孔側の縁部が、第２開口部側の壁の縁部と重なっており、第１貫通孔と第２貫通孔との間に位置する部分が壁に対し第１貫通孔側に偏って位置している。または、遮光膜は、第２開口部と重なる位置において、第２貫通孔と間を空けて位置した第３貫通孔を有している。

本発明の一実施形態に係る光学センサ装置によれば、光の当たる角度を調整することが可能である。

本発明の実施形態に係る光学センサ装置を示す斜視図である。本発明の実施形態に係る光学センサ装置を示す上面図である。本発明の実施形態に係る光学センサ装置の遮光膜を示す上面図である。本発明の実施形態に係る光学センサ装置を示す透視図である。本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置を示す透視図である。図２のＡ－Ａ線で切断した本発明の実施形態に係る光学センサ装置を示す断面図である。図２のＡ－Ａ線で切断した本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置を示す断面図である。図２のＡ－Ａ線で切断した本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置を示す断面図である。本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置を示す断面図である。本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置を示す断面図である。本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置を示す断面図である。

図１は、本発明の実施形態に係る光学センサ装置を示す斜視図である。図２は、本発明の実施形態に係る光学センサ装置を示す上面図である。図３は、本発明の実施形態に係る光学センサ装置の遮光膜を示す上面図である。図４は、本発明の実施形態に係る光学センサ装置を示す透視図である。図５は、本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置を示す透視図である。図６は、図２のＡ－Ａ線で切断した本発明の実施形態に係る光学センサ装置を示す断面図である。図７は、図２のＡ－Ａ線で切断した本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置を示す断面図である。図８は、図２のＡ－Ａ線で切断した本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置を示す断面図である。図９は、本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置を示す断面図である。図１０は、本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置を示す断面図である。図１１は、本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置を示す断面図である。これらの図において光学センサ装置１は、基板２と、透明基板３と、遮光膜４と、発光素子５と、受光素子６とを備えている。

基板２は、平面視において、矩形状であって、複数の誘電体層が積層されて形成されていてもよい。基板２は、例えば、平面視において、大きさが０．５ｍｍ～５ｍｍであって、厚みが０．５ｍｍ～５ｍｍである。基板２は、例えば誘電体層がセラミック材料からなっていてもよく、誘電体層が樹脂絶縁材料からなる有機配線基板であってもよい。

基板２が、セラミック材料による配線基板（セラミック配線基板）の場合、セラミック材料から成る誘電体層に接続パッド、内部配線、信号配線等の各導体が形成される。セラミック配線基板は、複数のセラミック誘電体層を含んでいる。

セラミック配線基板で用いられるセラミック材料としては、例えば、酸化アルミニウム質焼結体、ムライト質焼結体、炭化珪素質焼結体、窒化アルミニウム質焼結体、窒化珪素質焼結体またはガラスセラミックス焼結体等が挙げられる。

また、基板２が、有機材料による配線基板（有機配線基板）の場合、有機材料から成る絶縁層に後述する信号配線等の配線導体が形成される。有機配線基板は、複数の有機誘電体層から形成される。有機配線基板は、例えば、プリント配線基板、ビルドアップ配線基板またはフレキシブル配線基板等の誘電体層が有機材料から成るものであればよい。有機配線基板で用いられる有機材料としては、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂またはフッ素系樹脂等が挙げられる。

また、この基板２には、少なくとも２つの開口部となる凹部が設けられており、２つの凹部のうちの一方は、受光素子６を収容する第１開口部２１であり、２つの凹部のうちの他方は、発光素子５を収容する第２開口部２２である。第１開口部２１および第２開口部２２は、基板２の同一の主面（基板２の第１面）２１に開口するように設けられている。

本発明の実施形態に係る光学センサ装置１は、光のドップラー効果を利用して、血流等の流体の流れを計測する計測センサに好適に用いられる。光のドップラー効果を利用するために、計測センサは、被計測物に光を照射する発光素子と、被計測物によって散乱された光を受光する受光素子とを備える。特に、血流を計測する場合には、例えば手指等の身体の一部に外部から光を照射し、皮膚下の血管を流れる血液に含まれる血球細胞によって
散乱された光を受光して、周波数の変化から血流を測定する。そのため、光学センサ装置１においては、照射光と散乱光の位置関係に基づいて、発光素子５と受光素子６とを所定の間隔で配置する。第１開口部２１および第２開口部２２は、受光素子６および発光素子５との位置関係に応じて設けられる。

第１開口部２１の大きさ、第２開口部２２の大きさは、収容しようとする受光素子６および発光素子５の大きさに応じて適宜設定すればよく、例えば、発光素子５として、垂直共振器面発光レーザ素子（ＶＣＳＥＬ）を用いる場合、第１開口部２１の開口は、その形状が、例えば矩形であっても正方形であってもよく、その大きさは、例えば、縦方向長さが０．３ｍｍ～２．０ｍｍ、横方向長さが０．３ｍｍ～２．０ｍｍであり、深さは、０．３ｍｍ～１．０ｍｍである。また、ＬＥＤ（Light emitting Diode）また、受光素子６として、面入射フォトダイオードを用いる場合、第２開口部２２の開口は、その形状が、例えば矩形であっても正方形であってもよく、その大きさは、例えば、縦方向長さが０．３ｍｍ～２．０ｍｍ、横方向長さが０．３ｍｍ～２．０ｍｍであり、深さは、０．４ｍｍ～１．５ｍｍである。第１開口部２１と第２開口部２２との間（受光素子６と発光素子５との間）は、発光素子が発光した光が受光素子６に直接入射しない程度に離れていればよい。また、第１開口部２１と第２開口部２２との間（受光素子６と発光素子５との間）に遮光性のある壁を設けることで、第１開口部２１と第２開口部２２との間（受光素子６と発光素子５との間）の距離を近づけることができる。

第１開口部２１および第２開口部２２は、開口形状が、例えば、円形状、正方形状、矩形状等であってもよく、その他の形状であってもよい。また、第１開口部２１および第２開口部２２は、基板２の主面に平行な断面の断面形状が深さ方向に一様な形状であってもよいが、所定の深さまでは、断面形状が開口形状と同じで一様であり、所定の深さ以降は、断面形状が小さくなって底部まで一様であるような、段差付きの凹部であってもよい。本発明の一実施形態のように段差付きの凹部である場合は、第１開口部２１の底部に、受光素子６を実装するための実装領域が設けられ、第２開口部２２の底部に、発光素子５を実装するための実装領域が設けられる。また、段差表面には、発光素子５または受光素子６と電気的に接続するための接続パッドが設けられる。

また、基板２には、発光素子５または受光素子６と電気的に接続され、発光素子５に入力される電気信号が伝送され、受光素子６から出力される電気信号が伝送される信号配線があってもよい。この信号配線は、発光素子５または受光素子６と接続する接続部材であるボンディングワイヤと、ボンディングワイヤが接続される接続パッドと、接続パッドに電気的に接続して接続パッドの直下から基板２の下面（基板２の第２面）にまで延びるビア導体と、ビア導体に電気的に接続する外部接続端子とから成っていてもよい。外部接続端子は、基板２の下面に設けられており、光学センサ装置１を備える計測センサが実装される外部実装基板の接続端子とはんだ等の端子接続材料によって電気的に接続される。

外部接続端子は、はんだ等の接合材との濡れ性を向上させ、耐食性を向上させるのがよい。このために、例えば、厚さが０．５μｍ～１０μｍのニッケル層と厚さが０．５μｍ～５μｍの金層とをめっき法によって順次被着させてもよい。

透明基板３は、基板２の上面（基板２の第１面）を覆い、接合材によって基板２の第１面に接合される。透明基板３によって、受光素子６および発光素子５が収容された第１開口部２１および第２開口部２２が塞がれて封止される。透明基板３は、絶縁材料からなる板状部材であり、第２開口部２２に収容される発光素子５から出射される光が透過し、第１開口部２１に収容される受光素子６が受光する光が透過するような光透過性を有する材料で構成されていればよい。

発光素子５は、ＶＣＳＥＬ等の半導体レーザ素子を用いることができ、受光素子６は、シリコンフォトダイオード、ＧａＡｓフォトダイオード、ＩｎＧａＡｓフォトダイオード、ゲルマニウムフォトダイオード等の各種フォトダイオードを用いることができる。発光素子５および受光素子６は、被計測物の種類、計測するパラメータの種類等により適宜選択すればよい。

血流を測定する場合は、例えば、光のドップラー効果を利用して測定するために、発光素子５であるＶＣＳＥＬとして波長が８５０ｎｍのレーザ光を出射可能なものであればよい。その他の測定を行う場合は、測定目的に応じた波長のレーザ光を出射する発光素子５を選択すればよい。受光素子６は、受光する光が発光素子５から出射されるレーザ光から波長の変化が無い場合、発光素子５の出射光を受光できるものであればよく、波長の変化が有る場合、変化後の波長の光を受光できるものであればよい。

発光素子５および受光素子６と接続パッドとは、本実施形態では、例えば、ボンディングワイヤ３２によって電気的に接続されるが、フリップチップ接続、バンプ接続、異方性導電フィルムを用いた接続等他の接続方法であってもよい。

また、透明基板３は、被計測物への照射光および散乱光を透過する必要がある。照射光および散乱光の特性は、搭載する発光素子によって決まるので、少なくとも搭載する発光素子が出射する光が透過するように構成されていればよい。発光素子から出射される光の波長に対して、当該波長の光の透過率が７０％以上、好ましくは９０％以上の透過率を有する絶縁材料で透明基板３を構成すればよい。

透明基板３は、絶縁材料としては、例えばサファイア等の透明セラミック材料、ガラス材料または樹脂材料等を用いることができる。ガラス材料としては、ホウケイ酸ガラス、結晶化ガラス、石英、ソーダガラス等を用いることができる。樹脂材料としては、ポリカーボネート樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、エポキシ樹脂等を用いることができる。また、透明基板３は、平面視において、例えば矩形状であり、大きさは０．５ｍｍ×１ｍｍ～５ｍｍ×５ｍｍである。また、厚みは、０．５ｍｍ～５ｍｍである。

また接合材は、基板２と透明基板３とを接合する。より詳細には、基板２の上面と透明基板３の下面とを、外周部分で接合する。接合材は、基板２の上面に沿って環状に設けられており、基板２の第１開口部２１および第２開口部２２内の気密性および水密性を確保するためのシール材である。第１開口部２１および第２開口部２２に収容される受光素子６および発光素子５は、いずれも水分等に弱く、外部からの水分の進入を防止するために、接合材は、途切れの無い環状に設けられる。

さらに、接合材は遮光性を有していてもよい。接合材が遮光性を有することで、外部からの光が、基板２と透明基板３との間を通って、第１開口部２１内、第２開口部２２内に進入することを低減させることができる。

接合材が有する遮光性は、光の吸収による遮光性であることが好ましい。外部からの光の進入を防ぐ観点からは、反射による遮光性であってもよいが、計測センサの内部で発生した迷光が、接合材で反射してさらに受光素子に受光されてしまうおそれがある。接合材が光を吸収するものであれば、外部からの光を吸収して進入を防ぐとともに、内部で発生した迷光も吸収することができる。

接合材は、このような光の吸収による遮光性を有する材料を含んで構成される。接合材は、例えば、基板２と透明基板３との接合性を有するエポキシ樹脂、導電性シリコン樹脂等の樹脂系接着剤に、光吸収性材料を分散させて得られる。光吸収材料としては、例えば
、無機顔料を用いることができる。無機顔料としては、例えば、カーボンブラックなどの炭素系顔料、チタンブラックなどの窒化物系顔料、Ｃｒ－Ｆｅ－Ｃｏ系、Ｃｕ－Ｃｏ－Ｍｎ系、Ｆｅ－Ｃｏ－Ｍｎ系、Ｆｅ－Ｃｏ－Ｎｉ－Ｃｒ系などの金属酸化物系顔料等を用いることができる。また、導電性接合剤４１は、はんだなどの金属材料で構成されていてもよい。例えば、Ｓｎ－Ａｇ、Ｓｎ－Ａｇ－Ｃｕ、Ａｕ－Ｓｎ、Ａｕ－Ｓｎ－Ａｇ、Ａｕ－Ｓｉなどのろう材を用いることができる。

透明基板３の下面において遮光膜４を有している。遮光膜４は、例えば、Ｃｒ、Ｔｉ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｃｏ、Ａｇ、Ａｕ、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｒｕ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｆｅ、Ｉｎ、Ｎｉ若しくはＷなどの金属又はこれらの合金等の金属材料を蒸着、スパッタ、焼付け等によって形成される。遮光膜４の厚みは、例えば、５０ｎｍ～４００ｎｍである。遮光膜４は、発光素子５と重なって位置している。このとき、重なっているとは、遮光膜４が発光素子５の一部を覆っている状態のことを指す。遮光膜４は、少なくとも発光素子５が発光した光および受光素子６まで届く反射した光が通るように、一部に貫通孔がある。

遮光膜４は、第１貫通孔４１と、第２貫通孔４２とを有している。第１貫通孔４１は、平面視において、第１開口部２１と重なって位置している。また、第２貫通孔４２は、平面視において、第２開口部２２と重なって位置している。第２貫通孔４２は、発光素子５と重なって位置している。なお、第１貫通孔４１は、例えば、円形状、矩形状であり、大きさがΦ５０μｍ～Φ１ｍｍである。また、第２貫通孔４２は、例えば、円形状、矩形状であり、大きさがΦ５μｍ～Φ５００μｍである。

第２貫通孔４２は、発光素子５の中心よりも第１貫通孔４１の近くに位置している。つまり、第２貫通孔４２は、発光素子５の中心軸上には遮光膜４が位置し、受光素子６側にずれた位置に光が透過するようにすることができる。

また、第２開口部２２だけでなく、第１開口部２１においても同様に発光素子５が放射した光を透過させたい箇所のみ遮光膜４を設けず、その他の箇所に設けていてもよい。このことによって、透明基板３の他の箇所から光が漏れ出るのを低減させることができる。その結果、漏れ出ることによって被計測物にて予想外の反射をして受光素子６に光が入射することを低減させることができる。

本発明の実施形態に係る光学センサ装置１では、発光素子５が遮光膜４と重なっており、第２貫通孔４２は、発光素子５の中心よりも第１貫通孔４１の近くに位置している。つまり、発光素子５から照射し、被計測物で反射して、受光素子６へ入射する光路上に第１貫通孔４１および第２貫通孔４２を設けることができる。このことによって、信号光の入射角が一定になり、被計測物の速度算出が可能となる。また、遮光膜４の形成範囲を広くすることで、ノイズへのシールド効果が向上する。

＜光学センサ装置の製造方法＞
光学センサ装置１の製造方法について説明する。まず、基板２を多層配線基板の製造方法と同様にして作製する。基板２が、セラミック配線基板であり、セラミック材料がアルミナである場合は、まずアルミナ（Ａｌ_２Ｏ_３）やシリカ（ＳｉＯ_２）、カルシア（ＣａＯ）、マグネシア（ＭｇＯ）等の原料粉末に適当な有機溶剤、溶媒を添加混合して泥漿状とし、これを周知のドクターブレード法やカレンダーロール法等によってシート状に成形してセラミックグリーンシート（以下、グリーンシートともいう）を得る。その後、グリーンシートを所定形状に打ち抜き加工するとともに、タングステン（Ｗ）とガラス材料等の原料粉末に有機溶剤、溶媒を添加混合して金属ペーストとし、これをグリーンシート表面にスクリーン印刷等の印刷法でパターン印刷する。また、ビア導体は、グリーンシートに貫通孔を設け、スクリーン印刷等によって金属ペーストを貫通孔に充填させる。また、接地導体層５となるメタライズ層は、金属ペーストによって最表面に形成される。こうして得られたグリーンシートを複数枚積層し、これを約１６００℃の温度で同時焼成することによって基板２が作製される。

一方、ガラス材料を、切削、切断等により所定の形状に切り出した透明基板３を準備する。透明基板３の下面に、蒸着、スパッタ、焼付け等によって後述する遮光膜４を形成する。

なお、上記では、ビア導体は、基板２内で上下方向に一直線状に形成される構成としているが、基板２の上面から下面の外部接続端子まで電気的に接続されていれば、一直線状でなく、基板２内で、内層配線や内部接地導体層等によってずれて形成されていてもよい。

＜光学センサ装置の他の実施形態＞
本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置は、透明基板３の上面において、第１開口部２１および第１貫通孔４１と重なる位置には、レンズ１１が取付けられていてもよい。レンズ１１は、平面視において、例えば、大きさがΦ２０μｍ～Φ２ｍｍの、厚みは０．５ｍｍ～２ｍｍである。また、レンズ１１は、例えば、石英ガラス、ホウケイ酸ガラスなどのガラス材料、アクリル、ポリカーボネート、スチレン、ポリオレフィンなどの樹脂材料から成っている。レンズ１１は、発光素子５から放射された光を受光素子６に通すために透過性を有しているのがよい。また、レンズ１１は、集光性を有する、凸レンズ等の光を光軸方向に屈折させる性質をもつものを用いるのがよい。レンズ１１があることによって、発光素子５から照射された拡散光を屈折させ、集束光やコリメータ光にすることで受光素子６への光の集光性を向上させることができる。

このとき、透明基板３の上面において、第２開口部２２および第２貫通孔４２と重なる位置に、さらに第２のレンズ１２が取付けられていてもよい。第２のレンズ１２は、平面視において、例えば、大きさがΦ７０μｍ～Φ２ｍｍの、厚みは５０μｍ～２ｍｍである。また、第２のレンズ１２は、例えば、石英ガラス、ホウケイ酸ガラスなどのガラス材料、アクリル、ポリカーボネート、スチレン、ポリオレフィンなどの樹脂材料から成っている。第２のレンズ１２は、発光素子５から放射された光を通すために透過性を有しているのがよい。また、第２のレンズ１２は、集光性を有する、凸レンズ等の光を光軸方向に屈折させる性質をもつものを用いるのがよい。第２のレンズ１２があることによって、発光素子５から照射された拡散光を屈折させ、集束光やコリメータ光にすることで光の集光性を向上させることができる。

光学センサ装置１は、外部実装基板に実装されて使用される。外部実装基板には、例えば、発光素子５の発光を制御する制御素子、受光素子６の出力信号から血流速度等を算出する演算素子等も実装される。

測定する場合には、被計測物として手指の指先を透明基板３の表面に接触させた状態で、外部実装基板から外部接続端子を介して発光素子制御電流が光学センサ装置１に入力され、ビア導体、接続パッド等を通って発光素子５に入力されて発光素子５から計測用の光が出射される。出射された光が、透明基板３を透過して指先に照射されると、血液中の血球細胞で散乱される。透明基板３を透過した散乱光が、受光素子６で受光されると、受光量に応じた電気信号が受光素子６から出力される。出力された信号は、接続パッド、ビア導体を通り、外部接続端子を介して光学センサ装置１から外部実装基板へと出力される。

外部実装基板では、光学センサ装置１から出力された信号が、演算素子に入力され、例えば、受光素子６が受光した散乱光の周波数毎の強度を解析することにより、血流速度を
算出することができる。

本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置１は、第１開口部２１に、さらに第２の受光素子７が位置していてもよい。このとき、遮光膜４は、第２の受光素子７の上方も一部設けないのがよい。第２の受光素子７に向かって放射される光が透過される領域は空けておくことによって、外乱光を第２の受光素子７に到達させることを低減させることができる。

また、本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置１は、遮光膜４は、第２開口部４２と重なる位置において、第２貫通孔４２と間を空けて位置した第３貫通孔４３を有していてもよい。第３貫通孔４３は、第１貫通孔４１と第２貫通孔４２との間に位置しているのがよい。第３貫通孔４３は、いわゆる参照光用の貫通孔となり、より正確に受光素子６に光が伝わるため、速度算出をより正確にすることができる。このとき、第３貫通孔４３は、第２貫通孔４２よりも小さいのがよい。

また、本発明の他の実施形態に係る光学センサ装置１は、第１開口部２１と第２開口部２２との間において、透明基板３の下面と基板２との間が空いている。つまり、基板２は、第１開口部２１と第２開口部２２との間に遮光性を有する壁があり、その壁の上端の一部が無い状態のことをいう。このようにすることで、参照光を直接的に受光素子６に到達させることができるため、より正確な計測を実現することができる。

なお、本発明は上述の実施形態の例に限定されるものではなく、数値などの種々の変形は可能である。また、本実施形態における各素子の実装方法などは指定されない。また、本発明に係る各実施形態は、その内容に矛盾をきたさない限り、すべてにおいて組合せ可能である。また、本発明の実施形態に係る光学センサ装置は、その用途を脈波血流センサ装置として説明したが、発光素子および受光素子の一対のセンサ素子により動作するその他の装置、例えば近接照度一体型センサ装置、近接センサ装置、測距センサ装置等に応用が可能である。

１光学センサ装置
２基板
３透明基板
４遮光膜
５発光素子
６受光素子
７第２の受光素子
２１第１開口部
２２第２開口部
４１第１貫通孔
４２第２貫通孔
４３第３貫通孔
１１レンズ
１２第２のレンズ

Claims

第１開口部と、前記第１開口部と間を空けて位置した第２開口部と、平面視において前記第１開口部と前記第２開口部との間に位置した壁とを有する基板と、
前記第１開口部に位置した受光素子と、
前記第２開口部に位置するとともに、前記受光素子と間を空けて位置した発光素子と、
前記基板の上面に位置し、前記第１開口部および前記第２開口部を塞いで前記基板と接合された透明基板と、
前記透明基板の下面に位置するとともに、平面視において前記第１開口部と重なる位置に第１貫通孔と、前記第２開口部と重なる位置に第２貫通孔とを有する遮光膜と、を備えており、
平面視において、前記遮光膜は、前記発光素子の中心と重なっているとともに、前記第２貫通孔は前記発光素子の中心よりも前記第１貫通孔の近くに位置しており、
前記遮光膜は、前記第１貫通孔と前記第２貫通孔との間に位置する部分における前記第２貫通孔側の縁部が、前記第２開口部側の前記壁の縁部と重なっており、前記第１貫通孔と前記第２貫通孔との間に位置する部分が、前記壁に対し前記第１貫通孔側に偏って位置していることを特徴とする光学センサ装置。
前記遮光膜は、前記第２開口部と重なる位置において、前記第２貫通孔と間を空けて位置した第３貫通孔を有していることを特徴とする請求項１に記載の光学センサ装置。
第１開口部と、前記第１開口部と間を空けて位置した第２開口部とを有する基板と、
前記第１開口部に位置した受光素子と、
前記第２開口部に位置するとともに、前記受光素子と間を空けて位置した発光素子と、
前記基板の上面に位置し、前記第１開口部および前記第２開口部を塞いで前記基板と接合された透明基板と、
前記透明基板の下面に位置するとともに、平面視において前記第１開口部と重なる位置に第１貫通孔と、前記第２開口部と重なる位置に第２貫通孔とを有する遮光膜と、を備えており、
平面視において、前記遮光膜は、前記発光素子の中心と重なっているとともに、前記第２貫通孔は前記発光素子の中心よりも前記第１貫通孔の近くに位置しており、
前記遮光膜は、前記第２開口部と重なる位置において、前記第２貫通孔と間を空けて位置した第３貫通孔を有していることを特徴とする光学センサ装置。
平面視において、前記受光素子と前記第１貫通孔とは重なっていることを特徴とする請求項１～請求項３のいずれか１つに記載の光学センサ装置。
前記第１開口部と前記第２開口部との間において、前記透明基板の下面と前記基板との間が空いていることを特徴とする請求項１～４のいずれか１つに記載の光学センサ装置。
平面視において、前記透明基板の上面に、前記第２開口部と重なって位置したレンズをさらに備えていることを特徴とする請求項１～５のいずれか１つに記載の光学センサ装置。