JP6989546B2 - エンコーダ及びその製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、エンコーダ及びその製造方法に関する。
従来、モータ等の回転電機の回転角度位置や回転速度、又はモータによって駆動する直動軸の変位や変位速度を測定するための手段として、該モータの回転軸に接続されたロータリーエンコーダや、該直動軸に接続されたリニアエンコーダが知られている(例えば特許文献1参照)。また、エンコーダの組立性の向上や、組立後の部材間の相対位置の調整のために、構成要素の1つとしてバネ等の弾性部材を使用することも知られている(例えば特許文献2−3参照)。
一方で、電子機器モジュールにおいて、コネクタ同士の嵌合の際にそれらの位置ずれを吸収するフローティングコネクタを使用することが知られている(例えば特許文献4参照)。
特開2018−113771号公報 特開平09−269242号公報 特開平10−227661号公報 特開2018−125095号公報
従来のエンコーダは、回転スリット等の可動部と、該可動部の変位を測定するためのセンサ部とを有するが、電動機の回転位置等に関する正確な信号を得るためには、可動部とセンサ部との間の光学的な位置調整が必要となる。従来、この位置調整をした後は、センサ部をはんだ付けによって固定するが、その場合はエンコーダの製造工程が増える(製造ラインが伸びる)という問題がある。
一方、はんだ付けを不要とするために、センサ部をコネクタで固定することも考えられるが、その場合は光学的な位置調整を行うために、該コネクタを軟質素材から作製する等、該コネクタを可撓性のものとする必要がある。しかしこの場合は、コネクタの強度が低下するという問題が生じる。
本開示の一態様は、軸線回りに回転可能な可動部と、前記可動部の位置を測定するためのセンサ部と、フランジと、前記フランジに固定された第1のコネクタと、前記センサ部に実装されるとともに、前記第1のコネクタに接続された第2のコネクタと、を有し、前記第1のコネクタ及び前記第2のコネクタの少なくとも一方は、前記軸線に垂直な任意の方向についての変位を吸収可能なフローティングコネクタであり、前記フローティングコネクタを複数有し、前記複数のフローティングコネクタは、それぞれのフローティングコネクタにおいて吸収可能な主たる変位方向が互いに異なるように配置される、エンコーダである。
本開示の他の態様は、軸線回りに回転可能な可動部と、前記可動部の位置を測定するためのセンサ部と、フランジと、を有するエンコーダの製造方法であって、前記フランジに第1のコネクタを固定することと、前記センサ部に第2のコネクタを実装することと、前記第1のコネクタに前記第2のコネクタを接続することと、前記センサ部を前記フランジに固定することと、を含み、前記第1のコネクタ及び前記第2のコネクタの少なくとも一方は、前記軸線に垂直な任意の方向についての変位を吸収可能なフローティングコネクタであり、前記エンコーダに前記フローティングコネクタを複数設け、前記複数のフローティングコネクタを、それぞれのフローティングコネクタにおいて吸収可能な主たる変位方向が互いに異なるように配置することをさら含む、製造方法である。
本開示によれば、フローティングコネクタの使用によってセンサ部のはんだ付けが不要となり、エンコーダの生産性が向上する。また剛性のコネクタを使用できるようになるので、エンコーダの強度向上を図ることもできる。
好適な実施形態に係るロータリーエンコーダの構成例を示す斜視図である。 プリント板の形状の一例を示す平面図である。 プリント板の形状の他の例を示す平面図である。
図1は、好適な実施形態に係るエンコーダとして、ロータリーエンコーダの一構成例を示す斜視図である。ロータリーエンコーダ10は、可動部(ここでは軸線12回りに回転可能な回転スリット(板))14と、回転スリット14の回転変位(位置)を測定するためのセンサ部(ここでは発光素子及び受光素子等が配置されたプリント板(基板))16と、プリント板16の位置決め(後述)後にプリント板16が固定されるフランジ18と、フランジ18に固定された第1のコネクタ20と、プリント板16に実装されるとともに、第1のコネクタ20に接続された第2のコネクタ22と、を有し、第1のコネクタ20及び第2のコネクタ22の少なくとも一方(ここでは第2のコネクタ22)は、少なくとも軸線12に垂直な方向についての変位を吸収可能な構造を備えたフローティングコネクタである。
フランジ18は、概略図示したサーボモータ等の電動機(回転電機)24(の筐体)に取り付けられ、回転スリット14は、電動機24の回転軸26に接続される。また回転スリット14には、プリント板16に配置された検知部(図示せず)により検知可能なスリット(図示せず)が形成されている。よって回転軸26の回転に伴って回転スリット14が回転すると、検知部は回転スリット14のスリットを検知して、検知信号を出力する。この検知信号に基づいて、回転軸26の回転角度位置や、回転速度を検出することができる。このようなロータリーエンコーダ10の基本機能は従来のものと同様でよいので、詳細な説明は省略する。なおフランジ18の、電動機24に取り付けられる側(図示例では下側)と反対側(図示例では上側)には、プリント板16等を外部から保護するためのカバー(図示せず)を取り付けることができる。
フローティングコネクタ(ここでは第2のコネクタ)22は、第1のコネクタ20に対して変位可能に接続される。フローティングコネクタ22は、任意の方向に変位可能に構成することができ、プリント板16はフランジ18に対して、フローティングコネクタ22の仕様に応じた所定の方向に変位可能である。但し、後述する光学的な微調整を円滑に行うためには、フローティングコネクタ22は、軸線12の方向をZ方向とした場合、少なくとも、X−Y面に沿った任意の方向の変位を吸収できることが好ましい。
またフローティングコネクタ22は、プリント板16に実装された検知部等の電子部品(図示せず)と、上述の検知信号に基づいて回転軸26の回転角度位置や回転速度を求める演算処理装置(図示せず)とを電気的に接続する。
本実施形態では、フローティングコネクタ22自体は周知のものでもよいが、ロータリーエンコーダ10におけるフランジ18とプリント板16との接続にフローティングコネクタ22を使用することにより、ロータリーエンコーダの製造工程において、従来は必要であったはんだ付け工程を省略することができる。よってロータリーエンコーダの製造ラインの全長を従来よりも短くできるとともに、製造時間及び製造コストを低減することができる。
また、フローティングコネクタ自体に変位を吸収する機能があるので、フローティングコネクタに係合するコネクタ(本実施形態では第1のコネクタ20)を、軟質素材から作製する等、可撓性のものとする必要はなく、故に第1のコネクタ20は剛性の(例えば剛性材料のみからなる)コネクタとすることができる。一般に剛性のコネクタは安価で高強度なので、剛性のコネクタの使用により、信頼性の高いロータリーエンコーダを構成することができる。
ここで、ロータリーエンコーダ10の製造工程(製造方法)のうち、プリント板16の位置決め及び固定について説明する。先ずロボット(後述する図2及び図3に、ロボットハンド32のみ概略図示)等の産業機械を用いてプリント板16を保持し、第1のコネクタ20と第2のコネクタ22とが係合するようにロボット等を動作させる。本実施形態では第2のコネクタ22はフローティングコネクタなので、この段階ではロボットに高い位置決め精度は要求されない。
次に、プリント板16と回転スリット14との光学的な位置調整(微調整)を行う。そして微調整が完了したら、他のロボットやネジ締め装置等を用いてプリント板16をフランジ18に固定する。例えば、プリント板16に形成された孔28にネジ(図示せず)を挿入し、フランジ18(図示例ではフランジ18上に設けられた隆起部30)に形成されたタップ穴に該ネジを螺合することにより、微調整後のプリント板16をフランジ18に固定することができる。なお、微調整量を吸収するために、プリント板16の孔28の内径はネジ径よりいくらか大きくしておくことが好ましい。このように、プリント板16の位置決め及び固定は、ロボットやネジ締め装置等を用いて自動で行うことができるが、上記製造工程の少なくとも一部を作業者等が手動で行うこともできる。
本実施形態では、上述のようなプリント板16の位置決め・固定工程において、フローティングコネクタ22の変位機能の影響により、プリント板16の微調整(光学的位置調整)の難易度が上がることがある。そこで後述するように、プリント板16を単純な円盤状ではない形状にすることにより、その位置調整を容易にすることができる。
図2は、プリント板16の平面図を、プリント板16を把持可能なロボットハンド32(一部のみ概略図示)とともに示す図である。プリント板16は、ロボットハンド32等の組立用機械によって保持可能な被保持部として、平面視で、略円形の一部を直線状に切除してなる位置調整用領域34を有し、つまり位置調整用領域34は、軸線12の方向についてのプリント板16の径方向外側の端面に相当し、平面部36を含む。また位置調整用領域34(平面部36)は複数設けられることが好ましく、特に、軸線12について180度の回転対称位置に形成されることが好ましい。これにより、例えば平坦部38を備えた把持式のロボットハンド32によって、プリント板16を正確に把持することができる。また平面部36を設けることにより、ロボットハンドに限らず、種々の把持装置による位置決め・把持が容易になり、ロータリーエンコーダの製造工程の自動化に大きく貢献する。
またプリント板16は、ロボットハンド32等で把持されたときに、ハンド32に対して平面部36の面方向に位置ずれする(いわゆる把持ずれが生じる)ことを防止するために、位置調整用領域34の一部に切り欠き等の凹部40を備えてもよい。その場合、ロボットハンド32に、凹部40に係合可能な(より具体的には凹部40に対して相補的な形状を有する)突起42を設けることにより、上記面方向(図1ではY方向、図2では上下方向)の位置ずれも防止することができる。
図3は、プリント板16の構造の他の例を示す図である。図3の例は図2の例と比較して、プリント板16の位置調整用領域34が凸部44を有し、一方、ロボットハンド32が、凸部44に係合可能な(より具体的には凸部44に対して相補的な形状を有する)窪み(切り欠き)46を有する点で相違し、他の部分は同様でよい。よって図3の例でも、ロボットハンド32は、プリント板16を位置ずれなく把持することができる。このように、プリント板16の径方向端面の一部を平面とし、該端面に凹部又は凸部を設け、一方、ロボットハンド側の一部を平坦部とし、さらに上記凹部又は凸部に相補的な形状を有する突起又は窪みを形成することにより、プリント板16を位置ずれなく正確に把持平することができ、上述の微調整も正確に行うことができるようになる。
なお本開示において、フローティングコネクタは1つでもよいが、図1に示すように、複数(図示例では2つ)のフローティングコネクタを設けてもよい。この場合、複数のフローティングコネクタは、それぞれのフローティングコネクタにおいて吸収可能な主たる変位方向が互いに異なるように配置されることが好ましい。例えば、主たる変位方向がX方向のみであるフローティングコネクタを使用する場合に、2つのフローティングコネクタを軸線12について互いに180度離れた位置に同じ向きで配置すると、プリント板16はX方向には容易に変位可能となるが、Y方向には変位し難くなる。そこで図1に示すように、2つのフローティングコネクタを異なる向きに配置すれば、X方向及びY方向のいずれに対しても、所望の変位量が得られるようになる。
上述のように本開示では、フローティングコネクタをエンコーダに適用することにより、他の電子機器に適用した場合では奏されない特有の効果が得られる。またセンサ部(プリント板16)の被保持部に位置調整用領域34を形成することにより、ロボット等の自動組立用機械による把持及び位置決めを高精度に行うことができるので、その後のネジ締め(プリント板16の固定)も含め、エンコーダの製造工程の自動化も容易となる。なお本開示に係るエンコーダは、インクリメンタル型及びアブソリュート型のいずれに対しても適用可能である。
また本開示に係るエンコーダは、回転電機等の種々の回転体に適用可能だが、特に、ロボットの各軸を駆動するサーボモータ、又は工作機械の主軸や送り軸を駆動するモータ等に対して好適に使用可能である。
なお上述の実施形態では光学式のロータリーエンコーダを説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、上述の特徴的構成は、例えば磁気式のロータリーエンコーダ、光学式のリニアエンコーダ、磁気式のリニアエンコーダ等の、種々のエンコーダにも適用可能である。また例えば、光学式のリニアエンコーダでは、上述の可動部はリニアスケールに相当し、磁気式のロータリーエンコーダ又は磁気式のリニアエンコーダでは、可動部は磁気リング又は磁気スケールにそれぞれ相当し、さらにセンサ部は磁気センサ又は該磁気センサが実装されたプリント板に相当し得る。
10 ロータリーエンコーダ
12 軸線
14 回転スリット
16 プリント板
18 フランジ
20 第1のコネクタ
22 第2のコネクタ
24 電動機
26 回転軸
32 ロボットハンド
34 位置調整用領域
36 平面部
40 凹部
44 凸部

Claims (5)

  1. 軸線回りに回転可能な可動部と、
    前記可動部の位置を測定するためのセンサ部と、
    フランジと、
    前記フランジに固定された第1のコネクタと、
    前記センサ部に実装されるとともに、前記第1のコネクタに接続された第2のコネクタと、を有し、
    前記第1のコネクタ及び前記第2のコネクタの少なくとも一方は、前記軸線に垂直な任意の方向についての変位を吸収可能なフローティングコネクタであり、
    前記フローティングコネクタを複数有し、前記複数のフローティングコネクタは、それぞれのフローティングコネクタにおいて吸収可能な主たる変位方向が互いに異なるように配置される、エンコーダ。
  2. 前記センサ部は、組立用機械によって保持可能な被保持部として、平面部を含む位置調整用領域を有する、請求項1に記載のエンコーダ。
  3. 前記位置調整用領域は凹部又は凸部を有する、請求項2に記載のエンコーダ。
  4. 前記第1のコネクタ及び前記第2のコネクタの一方が前記フローティングコネクタであり、前記第1のコネクタ及び前記第2のコネクタの他方が剛性のコネクタである、請求項1〜のいずれか1項に記載のエンコーダ。
  5. 軸線回りに回転可能な可動部と、前記可動部の位置を測定するためのセンサ部と、フランジと、を有するエンコーダの製造方法であって、
    前記フランジに第1のコネクタを固定することと、
    前記センサ部に第2のコネクタを実装することと、
    前記第1のコネクタに前記第2のコネクタを接続することと、
    前記センサ部を前記フランジに固定することと、を含み、
    前記第1のコネクタ及び前記第2のコネクタの少なくとも一方は、前記軸線に垂直な任意の方向についての変位を吸収可能なフローティングコネクタであり、
    前記エンコーダに前記フローティングコネクタを複数設け、前記複数のフローティングコネクタを、それぞれのフローティングコネクタにおいて吸収可能な主たる変位方向が互いに異なるように配置することをさら含む、製造方法。
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Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09269242A (ja) 1996-03-29 1997-10-14 Canon Inc ロータリーエンコーダ及び電気基板を有した筐体
JP3486518B2 (ja) 1997-02-15 2004-01-13 キヤノン株式会社 回転変位情報検出装置
JP3660925B2 (ja) * 2002-10-23 2005-06-15 ファナック株式会社 エンコーダ用回転ディスク
JP4751211B2 (ja) * 2006-02-16 2011-08-17 矢崎総業株式会社 接続構造
JP2010003933A (ja) * 2008-06-20 2010-01-07 Fanuc Ltd フレキシブルプリント基板及びこれを電子機器内に保持する方法
JP6016816B2 (ja) * 2012-01-31 2016-10-26 コーデンシ株式会社 エンコーダ用センサ取り付け体、ドラムディスク型エンコーダ及びこれらを用いたエンコーダ付きモータ
JP2014223889A (ja) 2013-05-17 2014-12-04 日本精工株式会社 電動パワーステアリング装置
JP6639962B2 (ja) 2016-03-09 2020-02-05 日立オートモティブシステムズ株式会社 電動駆動装置及び電動パワーステアリング装置
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