JP6979908B2 - 汚染除去装置 - Google Patents

Description

本発明は、汚染除去装置に関するものである。

例えば、特許文献１や特許文献２には、レーザ光を照射することによって、物体に付着した汚染物質を除去する装置が開示されている。このような特許文献１及び特許文献２に開示された装置によれば、汚染物質がレーザ光の照射によって汚染物質を例えば粉塵化させることによって除去する。このようにして粉塵化された汚染物質は、例えば、特許文献３に開示されたような粉塵回収ノズルによって回収される。

特開２００２−３０１４３９号公報 特開２００７−１８１８３０号公報 特開２０００−３４６９９２号公報

ところで、上述のようなレーザ光によって汚染物質を除去する装置を、放射性物質を除去する除染に適用することが考えられる。このような場合には、線量が高い環境での作業になることが想定されることから、例えば遠隔操作式のロボットにレーザ光を照射する機能を搭載した装置とすることが考えられる。

一方で、周知のように除染作業を行う場所は、一般的な製品を製造する工場等とは異なり、配管や機器等が乱雑に配置されている。このため、遠隔操作式のロボットによって除染作業を行う場合には、レーザ光を射出する射出ヘッドを回動可能として、様々な方向からレーザ光を照射可能とする必要がある。しかしながら、射出ヘッドを回動可能とするために、射出ヘッドや射出ヘッドの直近にモータ等の動力源を設置すると、射出ヘッドあるいはその周辺部位が大型化し、狭い空間での作業が困難となる。また、射出ヘッドやその周辺部位が大型化すると、周囲の監視カメラ等によるレーザ光の照射箇所の視認が困難となる。

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、レーザ光を照射することによって除染を行う汚染除去装置において、レーザ光を射出する射出ヘッドを回動可能とすることにより射出ヘッドや射出ヘッドの周辺が大型化することを防止することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決するための手段として、以下の構成を採用する。

第１の発明は、レーザ光を除染対象物に照射する汚染除去装置であって、長尺状の基部と、上記レーザ光を射出すると共に基部に対して回動可能に支持された射出ヘッドと、上記射出ヘッドを回動させる動力を生成すると共に上記基部の長手方向に沿った方向にて上記射出ヘッドと離間した位置で上記基部に固定される動力発生源と、上記動力発生源で生成された上記動力を上記射出ヘッドに伝達する動力伝達部とを備えるという構成を採用する。

第２の発明は、上記第１の発明において、上記射出ヘッドの回動角度を検出する角度センサを備えるという構成を採用する。

第３の発明は、上記第１または第２の発明において、上記射出ヘッドが上記基部の長手方向と直交する方向に突出して設けられ、上記動力発生源が上記基部から上記射出ヘッドと同一方向に向けて突出して設けられているという構成を採用する。

第４の発明は、上記第１〜第３いずれかの発明において、上記射出ヘッドに固定されると共に上記射出ヘッドから射出された上記レーザ光の光路を囲うフード部と、上記フード部に接続された吸引ホースと、上記吸引ホースを介して上記フード部の内部を排気する排気装置とを備えるという構成を採用する。

第５の発明は、上記第４の発明において、上記フード部と上記射出ヘッドとの間に介在されたロードセルを備えるという構成を採用する。

第６の発明は、上記第４または第５の発明において、上記吸引ホースが、上記基部と反対側から上記フード部に対して接続されているという構成を採用する。

第７の発明は、上記第４〜第６いずれかの発明において、上記フード部が透明材料によって形成されているという構成を採用する。

第８の発明は、上記第１〜第７いずれかの発明において、上記レーザ光の射出口に向けて気体を噴出するパージ機構を備えるという構成を採用する。

第９の発明は、上記第１〜第８いずれかの発明において、上記基部に固定されると共にロボットアームに対して脱着可能なツールチェンジャを備え、上記ツールチェンジャに対する上記ロボットアームの着脱方向から見て、上記ツールチェンジャと上記射出ヘッドとが重ねて配置されているという構成を採用する。

第１０の発明は、上記第１〜第９いずれかの発明において、上記動力伝達部が、上記基部の内部に収容されているという構成を採用する。

本発明によれば、レーザ光を射出する射出ヘッドが長尺状の基部に対して回動可能に支持され、この長尺状の基部の長手方向に沿った方向にて射出ヘッドから離間した位置に、射出ヘッドを回動させる動力を発生する動力発生源が設けられている。このため、射出ヘッド及びその直近に動力発生源を設置する必要がなく、射出ヘッド及びその周辺部位が大型することを防止できる。したがって、本発明によれば、レーザ光を照射することによって除染を行う汚染除去装置において、レーザ光を射出する射出ヘッドを回動可能とすることにより射出ヘッドや射出ヘッドの周辺が大型化することを防止することが可能となる。

本発明の一実施形態における汚染除去装置の概略構成を示す斜視図である。 本発明の一実施形態における汚染除去装置が備えるレーザ光射出ユニットの拡大斜視図である。 本発明の一実施形態における汚染除去装置が備える射出ヘッドの動作を説明するための説明図である。 本発明の一実施形態における汚染除去装置が備えるロードセルの配置を説明するための模式図である。 本発明の一実施形態における汚染除去装置の動作を説明するための吸引フードを含む拡大図である。 本発明の一実施形態における汚染除去装置の動作を説明するための吸引フードを含む拡大図である。 本発明の一実施形態における汚染除去装置の動作を説明するための吸引フードを含む拡大図である。 本発明の一実施形態における汚染除去装置の動作を説明するための吸引フードを含む拡大図である。

以下、図面を参照して、本発明に係る汚染除去装置の一実施形態について説明する。

図１は、本実施形態の汚染除去装置１の概略構成を示す斜視図である。この図に示すように、本実施形態の汚染除去装置１は、搬送台車２と、ロボットアーム３と、レーザ光射出ユニット４と、レーザ光供給部５と、吸引ユニット６と、パージ機構７とを備えている。

搬送台車２は、遠隔操作によって走行可能な台車であり、ロボットアーム３を支持している。この搬送台車２は、外部からの指令に基づいてロボットアーム３と、ロボットアームに３に装着されたレーザ光射出ユニット４を移動させる。ロボットアーム３は、遠隔操作によって走行可能なロボットであり、先端部にレーザ光射出ユニット４が装着され、先端部に装着されたレーザ光射出ユニット４を任意の位置で任意の姿勢とする。

図２は、レーザ光射出ユニット４の拡大斜視図である。この図に示すように、レーザ光射出ユニット４は、基部４ａと、射出ヘッド４ｂと、角度センサ４ｃと、吸引フード４ｄ（フード部）と、ブラシ部４ｅと、モータ４ｆ（動力発生源）と、動力伝達部４ｇと、ツールチェンジャ４ｈと、ロードセル４ｉ（図４参照）とを備えている。

基部４ａは、図２に示すように、長尺状の略直方体形状とされており、内部が中空な箱状とされている。なお、以下の説明では、長尺状の基部４ａが直線状に伸びている方向を長手方向と称する。この基部４ａは、射出ヘッド４ｂを回動可能に支持しており、射出ヘッド４ｂを回動するための動力を伝達する動力伝達部４ｇを内部に収容している。

また、基部４ａは、長手方向における一方側の端面に後述の光ファイバ５ｂを接続するためのコネクタ４ａ１が設けられている。さらに、基部４ａの内部には、光ファイバ５ｂから供給されたレーザ光を射出ヘッド４ｂに導光する導光部が設置されている。なお、以下の説明においては、上記長手方向において、基部４ａのコネクタ４ａ１が設けられている側を後端側、その反対側を先端側と称する。

射出ヘッド４ｂは、レーザ光を射出するレーザ光射出口４ｂ１を有するケーシングと、ケーシング内部に配置されてレーザ光を導光する不図示のレンズ等を有しており、基部４ａの先端側に配置されている。射出ヘッド４ｂは、基部４ａの先端側の側壁面から基部４ａの側方に突出して設けられている。図３は、図２と異なる回動角度とされた射出ヘッド４ｂを示す斜視図である。図２及び図３に示すように、射出ヘッド４ｂは、基部４ａの長手方向と直交する回転軸心を中心として回動可能とされている。また、射出ヘッド４ｂには、角度センサ４ｃやロードセル４ｉからの検出結果を外部に出力する信号線を接続するためのコネクタ４ｂ２が設けられている。

角度センサ４ｃは、射出ヘッド４ｂに固定されており、基部４ａに対する射出ヘッド４ｂの回動角度を検出し、その検出結果を出力する。このような角度センサ４ｃは、上述のコネクタ４ｂ２と接続されている。

吸引フード４ｄは、両端が開放端とされた略円錐状の筒形状とされた部材であり、アクリル材等透明部材によって形成されている。この吸引フード４ｄは、一方の開放端である小径端部から他方の開放端であり小径端部よりも大経の大径端部まで連続的に拡径されており、小径端部がレーザ光射出口４ｂ１を囲うようにして射出ヘッド４ｂに固定されている。このような吸引フード４ｄは、射出ヘッド４ｂから射出されたレーザ光の光路を囲うように配置されている。

ブラシ部４ｅは、吸引フード４ｄの大径端部側の縁部に環状に取り付けられている。このようなブラシ部４ｅは、除染対象物に対して外部から吸引フード４ｄの内部に空気を取り込み可能な状態で、レーザ光が照射されることによって除染対象物から剥離した放射性物質が吸引フード４ｄの外部に漏出することを防止する。このようなブラシ部４ｅは、除染対象物に対して直接的に当接される部位である。

モータ４ｆは、射出ヘッド４ｂを回動させるための回転動力を生成する。このモータ４ｆは、図２に示すように、基部４ａの後端側に配置されている。つまり、本実施形態の汚染除去装置１において、モータ４ｆは、基部４ａの長手方向に沿った方向にて射出ヘッド４ｂと離間した位置で基部４ａに固定されている。また、モータ４ｆは、基部４ａの後端側の側壁面から基部４ａの側方に突出して設けられており、射出ヘッド４ｂと同一方向に向けて突出して設けられている。このような本実施形態の汚染除去装置１においては、基部４ａ、射出ヘッド４ｂ及びモータ４ｆが全体として略Ｕ字状に配置されている。

動力伝達部４ｇは、基部４ａの内部に収容されており、モータ４ｆで生成された動力を射出ヘッド４ｂに伝達する。この動力伝達部４ｇは、例えば、モータ４ｆに固定される駆動スプロケットと、射出ヘッド４ｂに固定される従動スプロケットと、駆動スプロケット及び従動スプロケットとを繋ぐベルトと等を備えている。

ツールチェンジャ４ｈは、基部４ａの後端側に固定されており、基部４ａから射出ヘッド４ｂと同一方向に突出して設けられている。このツールチェンジャ４ｈは、ロボットアーム３に対して容易に脱着可能とされた部位である。例えば、このようなツールチェンジャ４ｈは、基部４ａの長手方向と平行に配置された基準軸がロボットアーム３の先端部の中心軸に位置合わせされた状態で、ロボットアーム３の先端部が基準軸に沿った着脱方向に移動されることによって、ロボットアーム３に対して脱着可能とされている。

また、ツールチェンジャ４ｈは、基準軸に沿った着脱方向（すなわち基部４ａの長手方向に沿った方向）から見て、射出ヘッド４ｂと重なるように配置されている。このようにツールチェンジャ４ｈを配置することによって、ロボットアーム３の先端部の前方に射出ヘッド４ｂが配置されることになるため、ロボットアーム３の制御上において射出ヘッド４ｂの位置合わせが容易となる。特に、ツールチェンジャ４ｈは、基準軸が射出ヘッド４ｂのレーザ光射出口４ｂ１から射出されるレーザ光の光軸と一致するように配置した場合には、ロボットアーム３の先端部の中心軸がレーザ光の光軸とするため、ロボットアーム３の制御上においてレーザ光の位置合わせが容易となる。

図４は、ロードセル４ｉの配置を示す模式図である。ロードセル４ｉは、吸引フード４ｄと射出ヘッド４ｂとの間に介在され、ブラシ部４ｅが除去対象物に当接した際に吸引フード４ｄに作用する荷重を検出し、その検出結果を出力する。このようなロードセル４ｉは、図４に示すように、３つ設けられており、吸引フード４ｄの配置領域に重なるように環状に配列されている。なお、ロードセル４ｉの数は変更が可能である。これらのロードセル４ｉは、射出ヘッド４ｂのコネクタ４ｂ２と接続されている。

このようなロードセル４ｉの検出結果から、ブラシ部４ｅが除染対象物に当接されているか否かを判断することができる。また、このようなロードセル４ｉの検出結果の差分からブラシ部４ｅ及び吸引フード４ｄが傾かずに除染対象物に正対して当接されているか否かを判断することができる。また、ロードセル４ｉの検出結果の絶対値から吸引フード４ｄが受けている荷重、すなわち射出ヘッド４ｂから除染対象物までの距離を判断することができる。

図１に戻り、レーザ光供給部５は、レーザ発振器５ａと、光ファイバ５ｂとを備えており、射出ヘッド４ｂに対してレーザ光を供給する。レーザ発振器５ａは、図１に示すように搬送台車２に設置されており、除染対象物に照射するレーザ光を生成する。このように搬送台車２にレーザ発振器５ａを設置することによって、射出ヘッド４ｂから離間した位置にレーザ発振器５ａを配置することができるため、射出ヘッド４ｂ及びその周囲の部位が大型化することを防止することができる。光ファイバ５ｂは、レーザ発振器５ａとレーザ光射出ユニット４の基部４ａに設けられたコネクタ４ａ１とを接続しており、レーザ発振器５ａで生成されたレーザ光を基部４ａ内部の導光部を介して射出ヘッド４ｂに案内する。

吸引ユニット６は、レーザ光が除染対象物に照射されることによって除染対象物から除去された放射性物質を吸引して回収するものであり、図１に示すように、吸引ホース６ａと、フィルタユニット６ｂと、集塵機６ｃ（排気装置）とを備えている。吸引ホース６ａは、射出ヘッド４ｂの吸引フード４ｄと接続されており、吸引フード４ｄの内部の放射性物質を含む粉塵を空気と共にフィルタユニット６ｂや集塵機６ｃに案内する。この吸引ホース６ａは、射出ヘッド４ｂの回動によって基部４ａに絡まらないように、図２に示すように、基部４ａと反対側から吸引フード４ｄに対して接続されている。

フィルタユニット６ｂは、吸引ホース６ａと接続されており、吸引ホース６ａから供給される空気に含まれる比較的大きな物体を空気中から除去する。集塵機６ｃは、フィルタユニット６ｂに接続されており、吸引ホース６ａを介して吸引フード４ｄの内部の空気を排気するための負圧を形成すると共に、空気中に残存する粉塵を空気中から回収する。

パージ機構７は、射出ヘッド４ｂのレーザ光射出口４ｂ１に向けてパージ空気（気体）を噴射するためのものであり、エアパージライン７ａと、空気供給装置７ｂとを備えている。エアパージライン７ａは、射出ヘッド４ｂの吸引フード４ｄと接続されており、吸引フード４ｄの内部にパージ空気を案内してレーザ光射出口４ｂ１に向けてパージ空気を噴射する。このエアパージライン７ａは、射出ヘッド４ｂの回動によって基部４ａに絡まらないように、図２に示すように、基部４ａと反対側から吸引フード４ｄに対して接続されている。

続いて、このように構成された本実施形態の汚染除去装置１による除染動作について、図５〜図８を参照して説明する。

除染対象物に付着した放射性物質を除去するためには、まず不図示のカメラ等によって除染対象物Ｘの位置を把握したうえで搬送台車２及びロボットアーム３を遠隔操作してレーザ光射出ユニット４を除染対象物に近づける。ここでは、図５に示すように、ブラシ部４ｅが除染対象物Ｘに向けられるように、搬送台車２及びロボットアーム３を遠隔操作する。

続いて、ロボットアーム３を遠隔操作して、図６に示すように、ブラシ部４ｅを除染対象物Ｘに当接させる。このとき、例えばロードセル４ｉの出力結果からブラシ部４ｅが除染対象物Ｘに正しい姿勢で当接されかつ除染対象物Ｘから射出ヘッド４ｂまでの距離が適切であるか否かを判断する。続いて、吸引ユニット６によって吸引フード４ｄの内部の吸引を開始し、パージ機構７によってレーザ光射出口４ｂ１のエアパージを開始し、さらにはレーザ光供給部５から射出ヘッド４ｂにレーザ光を供給する。

図７に示すように、射出ヘッド４ｂに供給されたレーザ光はレーザ光射出口４ｂ１から射出されて除染対象物に対して照射される。このように除染対象物に対してレーザ光が照射されると、除染対象物に付着した放射性物質が粉塵化して除染対象物から除去される。除染対象物から除去された放射性物質は、吸引ユニット６によって吸引され、フィルタユニット６ｂや集塵機６ｃによって回収される。

そして、角度センサ４ｃから出力される射出ヘッド４ｂの回動角度及びロードセル４ｉの検出結果を保つようにして、図８に示すように、射出ヘッド４ｂを除染対象物の表面に沿って移動させ、広い範囲で除染対象物の表面を除染する。

このような本実施形態の汚染除去装置１によれば、レーザ光を射出する射出ヘッド４ｂが長尺状の基部４ａに対して回動可能に支持され、この長尺状の基部４ａの長手方向に沿った方向にて射出ヘッド４ｂから離間した位置に、射出ヘッド４ｂを回動させる動力を発生するモータ４ｆが設けられている。このため、射出ヘッド４ｂ及びその直近にモータ４ｆを設置する必要がなく、射出ヘッド４ｂ及びその周辺部位が大型することを防止できる。したがって、本実施形態の汚染除去装置１によれば、乱雑な場所での除染作業を効率的に実施することができる。

また、本実施形態の汚染除去装置１においては、射出ヘッド４ｂの回動角度を検出する角度センサ４ｃを備えている。このため、射出ヘッド４ｂの回動角度を正確に把握することができる。したがって、例えば、射出ヘッド４ｂを除染対象物の表面に沿って移動するときに、射出ヘッド４ｂの回動角度を容易に維持することが可能となる。

また、本実施形態の汚染除去装置１においては、射出ヘッド４ｂが基部４ａの長手方向と直交する方向に突出して設けられ、モータ４ｆが基部４ａから射出ヘッド４ｂと同一方向に向けて突出して設けられている。このため、レーザ光の射出方向から見て射出ヘッド４ｂとモータ４ｆとが重なって配置され、同方向から見たレーザ光射出ユニット４の投影面積がモータ４ｆによって拡大することを防止することができ、射出ヘッド４ｂ及びその周辺部位が大型することを防止できる。

また、本実施形態の汚染除去装置１においては、射出ヘッド４ｂに固定されると共に射出ヘッド４ｂから射出されたレーザ光の光路を囲う吸引フード４ｄと、吸引フード４ｄに接続された吸引ホース６ａと、吸引ホース６ａを介して吸引フード４ｄの内部を排気する集塵機６ｃとを備えている。このため、除染対象物Ｘから除去した放射性物質を確実に回収することが可能となる。

また、本実施形態の汚染除去装置１においては、吸引フード４ｄと射出ヘッド４ｂとの間に介在されたロードセル４ｉを備えている。このため、ロードセル４ｉの検出結果からブラシ部４ｅが除染対象物に当接されているか否かを正確に判断することができる。また、複数のロードセル４ｉの検出結果の差分からブラシ部４ｅ及び吸引フード４ｄが傾かずに除染対象物に正対して当接されているか否かを正確に判断することができる。また、ロードセル４ｉの検出結果の絶対値から吸引フード４ｄが受けている荷重、すなわち射出ヘッド４ｂから除染対象物までの距離を正確に判断することができる。

また、本実施形態の汚染除去装置１においては、吸引ホース６ａは、基部４ａと反対側から吸引フード４ｄに対して接続されている。このため、射出ヘッド４ｂを回動させた場合に、吸引ホース６ａが基部４ａに絡まることを防止することができる。また、エアパージライン７ａも吸引ホース６ａと同様に基部４ａと反対側から吸引フード４ｄに対して接続されている。このため、射出ヘッド４ｂを回動させた場合に、エアパージライン７ａが基部４ａに絡まることを防止することができる。

また、本実施形態の汚染除去装置１においては、吸引フード４ｄが透明材料によって形成されている。このため、外部からカメラ等によって吸引フード４ｄの内部を視認することが可能となり、レーザ光の照射箇所をカメラ等で確認することが可能となる。

また、本実施形態の汚染除去装置１においては、レーザ光の射出口（レーザ光射出口４ｂ１）に向けてパージ空気を噴出するパージ機構７を備えている。このため、粉塵化した放射性物質が吸引フード４ｄ内に残存してレーザ光を遮ることを防止することが可能となる。

また、本実施形態の汚染除去装置１においては、基部４ａに固定されると共にロボットアーム３に対して脱着可能なツールチェンジャ４ｈを備え、ツールチェンジャ４ｈに対するロボットアーム３の着脱方向から見て、ツールチェンジャ４ｈと射出ヘッド４ｂとが重ねて配置されている。このため、ロボットアーム３の先端部の前方に射出ヘッド４ｂが配置されることになり、ロボットアーム３の制御上において射出ヘッド４ｂの位置合わせが容易となる。

また、本実施形態の汚染除去装置１においては、動力伝達部４ｇが、基部４ａの内部に収容されている。このため、動力伝達部４ｇの配置箇所を基部４ａの外部とする場合と比較して、レーザ光射出ユニット４を小型化することが可能となる。

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されないことは言うまでもない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

例えば、上記実施形態においては、レーザ光射出ユニット４をロボットアーム３に搭載する構成について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、適切に防護された作業員によってハンドリングが可能に構成することも可能である。例えば、レーザ発振器をレーザ光射出ユニット４に組み込み、レーザ光射出ユニット４のみで全体として持ち運びが可能な汚染除去装置とすることも可能である。

また、上記実施形態においては、パージ機構７がパージ空気をレーザ光射出口４ｂ１に対して噴射する構成について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、パージ機構７が窒素ガス等をレーザ光射出口４ｂ１に対して噴射する構成を採用することも可能である。

また、上記実施形態においては、吸引フード４ｄに対してブラシ部４ｅが設けられた構成について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、ブラシ部４ｅを備えない構成や、ブラシ部４ｅに換えて複数の垂下された帯状体からなるカーテン部を備える構成を採用することも可能である。

また、上記実施形態においては、射出ヘッド４ｂを回動させるための動力を発生する動力発生源としてモータ４ｆを用いる構成について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、シリンダ等のアクチュエータを動力発生源として用いることも可能である。

１……汚染除去装置
２……搬送台車
３……ロボットアーム
４……レーザ光射出ユニット
４ａ……基部
４ａ１……コネクタ
４ｂ……射出ヘッド
４ｂ１……レーザ光射出口
４ｂ２……コネクタ
４ｃ……角度センサ
４ｄ……吸引フード
４ｅ……ブラシ部
４ｆ……モータ（動力発生源）
４ｇ……動力伝達部
４ｈ……ツールチェンジャ
４ｉ……ロードセル
５……レーザ光供給部
５ａ……レーザ発振器
５ｂ……光ファイバ
６……吸引ユニット
６ａ……吸引ホース
６ｂ……フィルタユニット
６ｃ……集塵機
７……パージ機構
７ａ……エアパージライン
７ｂ……空気供給装置
Ｘ……除染対象物

Claims (9)

1. レーザ光を除染対象物に照射する汚染除去装置であって、
   長尺状の基部と、
   前記レーザ光を射出すると共に基部に対して回動可能に支持された射出ヘッドと、
   前記射出ヘッドを回動させる動力を生成すると共に前記基部の長手方向に沿った方向にて前記射出ヘッドと離間した位置で前記基部に固定される動力発生源と、
   前記動力発生源で生成された前記動力を前記射出ヘッドに伝達する動力伝達部と
   を備え、
   前記射出ヘッドが前記基部の長手方向と直交する方向に突出して設けられ、
   前記動力発生源が前記基部から前記射出ヘッドと同一方向に向けて突出して設けられている
   ことを特徴とする汚染除去装置。
2. 前記射出ヘッドの回動角度を検出する角度センサを備えることを特徴とする請求項１記載の汚染除去装置。
3. 前記射出ヘッドに固定されると共に前記射出ヘッドから射出された前記レーザ光の光路を囲うフード部と、
   前記フード部に接続された吸引ホースと、
   前記吸引ホースを介して前記フード部の内部を排気する排気装置と
   を備えることを特徴とする請求項１または２記載の汚染除去装置。
4. 前記フード部と前記射出ヘッドとの間に介在されたロードセルを備えることを特徴とする請求項３記載の汚染除去装置。
5. 前記吸引ホースは、前記基部と反対側から前記フード部に対して接続されていることを特徴とする請求項３または４記載の汚染除去装置。
6. 前記フード部が透明材料によって形成されていることを特徴とする請求項３〜５いずれか一項に記載の汚染除去装置。
7. 前記レーザ光の射出口に向けて気体を噴出するパージ機構を備えることを特徴とする請求項１〜６いずれか一項に記載の汚染除去装置。
8. 前記基部に固定されると共にロボットアームに対して脱着可能なツールチェンジャを備え、
   前記ツールチェンジャに対する前記ロボットアームの着脱方向から見て、前記ツールチェンジャと前記射出ヘッドとが重ねて配置されている
   ことを特徴とする請求項１〜７いずれか一項に記載の汚染除去装置。
9. 前記動力伝達部は、前記基部の内部に収容されていることを特徴とする請求項１〜８いずれか一項に記載の汚染除去装置。

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