JP6975972B2 - Yf3成膜体の製造方法 - Google Patents
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- 不活性ガスの雰囲気中でYF3を蒸発させる蒸発工程と、
前記蒸発工程で蒸発させたYF3を含む前記不活性ガスを超音速のガス流になるように加速させる加速工程と、
前記加速工程で加速された前記ガス流を被成膜体に噴出させ、前記被成膜体の表面にYF3の膜を形成する成膜工程と、
を備えたYF3成膜体の製造方法。
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