JP6971826B2 - 固体撮像装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図4〜図8は第1実施形態の固体撮像装置の製造方法を説明するための図、図9及び図10は第1実施形態の固体撮像装置を示す図である。以下、固体撮像装置の製造方法を説明しながら、固体撮像装置の構造について説明する。
図12は第2実施形態の固体撮像装置の製造方法を示す図、図13は第2実施形態の固体撮像装置を示す図である。
Claims (9)
- 底板部と、前記底板部の周縁に立設する側壁部とを備えた容器と、
前記容器の側壁部の上面の外周に形成され、前記側壁部の上面よりも低い場所に位置する段差面及び前記側壁部の上面と前記段差面とをつなぐ側面を有する段差部と、
前記容器の底板部の上に搭載された固体撮像素子と、
前記容器の側壁部の上面に第1接着層を介して接着されたガラス蓋と、
前記側壁部と前記ガラス蓋の外周面とに、第2接着層を介して接着されたカバー枠体と、
を有し、
前記カバー枠体は、前記側壁部の段差部に配置され、前記段差部の側面と前記ガラス蓋の外周面とに、前記第2接着層を介して接着されていることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記第2接着層は、前記第1接着層とは特性の異なる材料であることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記第1接着層は、紫外線・熱硬化併用型の接着材料であることを特徴とする請求項2に記載の固体撮像装置。
- 前記第2接着層は、熱硬化性の接着材料であることを特徴とする請求項3に記載の固体撮像装置。
- 前記カバー枠体は、上端から内側に突出する突出枠部を有し、
前記カバー枠体の突出枠部の下面が前記ガラス蓋の上面に接着されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の固体撮像装置。 - 前記カバー枠体の上面は、前記ガラス蓋の上面と同じ高さ位置に配置されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の固体撮像装置。
- 前記カバー枠体は、耐熱性プラスチック、金属又はセラミックスから形成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の固体撮像装置。
- 底板部と、前記底板部の周縁に立設する側壁部と、を備えた容器を用意する工程と、
前記容器の底板部の上に固体撮像素子を搭載する工程と、
前記容器の側壁部の上面に、第1接着層を介してガラス蓋を接着する工程と、
カバー枠体を用意し、前記側壁部と前記ガラス蓋の外周面とに、第2接着層を介して前記カバー枠体を接着する工程と、
を有し、
前記容器は、前記側壁部の上面の外周に形成され、前記側壁部の上面よりも低い場所に位置する段差面及び前記側壁部の上面と前記段差面とをつなぐ側面を有する段差部を備え、
前記カバー枠体は、前記側壁部の段差部に対応し、
前記カバー枠体を接着する工程では、前記段差部の側面と前記ガラス蓋の外周面とに、前記第2接着層を介して前記カバー枠体を接着することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記ガラス蓋を接着する工程は、
前記容器の側壁部の上面に紫外線・熱硬化併用型の接着材料を介して前記ガラス蓋を搭載する工程と、
前記接着材料に紫外線を照射して前記接着材料を半硬化させ、前記ガラス蓋を仮固定する工程と、
前記ガラス蓋を位置合わせする工程と、
前記接着材料を加熱処理により硬化させる工程と
を有することを特徴とする請求項8に記載の固体撮像装置の製造方法。
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