JP6962502B1 - 赤外線センサ装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施の形態1に係る赤外線センサ装置を示す図である。赤外線センサ装置1は、例えばエアコンに取り付けられ、室内の温度又は室内での人間の所在場所を赤外線で検出する。赤外線センサ装置1は、絶縁基板2と、絶縁基板2に接合材3により接合されたセンサチップ4と、絶縁基板2に形成されたASIC5とを有する。ASIC5はセンサチップ4の赤外線検出結果を外部に出力する。電源6からセンサチップ4とASIC5に電力が供給される。
図8は、実施の形態2に係る赤外線センサ装置の内部構成を示す図である。本実施の形態ではセンサチップ4の面内において画素部8の周囲に発熱機構11を複数配置している。ASIC5は、複数の発熱機構11にそれぞれ供給する電流量を個別に制御する。
図9は、実施の形態3に係る赤外線センサ装置の内部構成を示す図である。本実施の形態ではセンサチップ4の面内において画素部8の周囲に発熱機構11とチップ温度検出部10のペアを複数配置している。これにより、チップ面内の温度分布を検知することができる。そして、制御部14は、対応するチップ温度検出部10の出力に応じて複数の発熱機構11の各々に供給する電流量を個別に制御する。これにより、チップ面内の温度ばらつきを緩和して赤外線センサ装置の出力が安定するまでの時間を更に短縮することができる。
図10は、実施の形態4に係る赤外線センサ装置の内部構成を示す図である。外気温度変化、絶縁基板2の発熱、又は直射日光の当たり方の変化等があった場合、センサチップ4よりも先に絶縁基板2の温度が変化する。そこで、本実施の形態では、絶縁基板2の温度を検出する基板温度検出部39を絶縁基板2に設けている。制御部14は、基板温度検出部39の出力に応じて発熱機構11に供給する電流量を制御する。これにより、外気温度等が急峻に変化した場合でも、センサチップ4の温度変化を予測して発熱機構11に供給する電流量を制御することができる。従って、赤外線センサ装置の出力が安定するまでの時間を更に短縮することができる。
図11は、実施の形態5に係る赤外線センサ装置の内部構成を示す図である。実施の形態1では画素出力を読み出す端子と温度情報を読み出す端子の二つが必要である。そこで、本実施の形態では、読出回路9は、画素部8の画素出力を読み出して制御部14に提供するだけでなく、チップ温度検出部10の出力も読み出して制御部14に提供する。
図12は、実施の形態6に係る赤外線センサ装置の内部構成を示す図である。本実施の形態では、チップ温度検出部10は、シリコン基板19から中空断熱されていないダイオード又は抵抗であり、画素部8の内部又は外周部に配置されている。具体的には、図4の構造において空洞20が無い構造である。
図15は、実施の形態7に係る赤外線センサ装置の内部構成を示す図である。図16は、実施の形態7に係る発熱機構の電流量又は発熱量を示す図である。本実施の形態では、制御部14は電源6から電力が供給されてからの時間をタイマにより計測し、所定時間、例えば数秒から数十秒程度において発熱機構11に供給する電流量を大きくする。所定時間経過後は発熱機構11に供給する電流量を小さくする。このため、電源投入から所定時間だけ発熱機構11の発熱量が大きくなる。
図18は、実施の形態8に係る赤外線センサ装置の内部構成を示す図である。実施の形態1〜7ではセンサチップ4に発熱機構11が集積されていたが、本実施の形態では画素部8が発熱機構を兼ねている。
Claims (7)
- 絶縁基板と、
前記絶縁基板に接合材により接合され、赤外線を検出する画素部を有するセンサチップと、
前記センサチップに集積された発熱機構と、
前記絶縁基板に設けられ、前記発熱機構に供給する電流量を制御する制御部とを備え、
前記発熱機構はダイオードであり、
前記センサチップの面内において前記画素部の周囲に前記発熱機構が複数配置され、
前記制御部は、複数の前記発熱機構にそれぞれ供給する電流量を個別に制御し、
赤外線センサ装置の立ち上げ時に、前記制御部は、前記制御部の近くに配置された発熱機構に供給する電流量よりも、前記制御部の遠くに配置された発熱機構に供給する電流量を大きくすることを特徴とする赤外線センサ装置。 - 前記発熱機構は、前記センサチップの半導体基板から中空断熱されていない前記ダイオードであることを特徴とする請求項1に記載の赤外線センサ装置。
- 前記センサチップの温度を検出するチップ温度検出部を更に備え、
前記制御部は、前記チップ温度検出部の出力に応じて前記発熱機構に供給する電流量を制御することを特徴とする請求項1又は2に記載の赤外線センサ装置。 - 前記制御部は、前記チップ温度検出部の出力が基準値を下回る場合に前記発熱機構に電流を供給し、前記チップ温度検出部の出力が基準値を超えると前記発熱機構への電流の供給を止めることを特徴とする請求項3に記載の赤外線センサ装置。
- 前記絶縁基板の温度を検出する基板温度検出部を更に備え、
前記制御部は、前記基板温度検出部の出力に応じて前記発熱機構に供給する電流量を制御することを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の赤外線センサ装置。 - 前記センサチップと前記制御部は電源から電力の供給を受け、
前記制御部は、前記電源から電力が供給され始めてから所定時間において前記発熱機構に供給する電流量を大きくすることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の赤外線センサ装置。 - 絶縁基板と、
前記絶縁基板に接合材により接合され、赤外線を検出する複数の画素を有するセンサチップと、
前記センサチップの温度を検出するチップ温度検出部と、
前記絶縁基板に設けられ、前記複数の画素を制御する制御部とを備え、
前記複数の画素は行列状に配置されたダイオードであり、
前記制御部は、赤外線検出結果を出力する場合には、選択した列の画素のみに電流を流し、選択した行の画素の電流値を読み出し、
前記制御部は、前記チップ温度検出部の出力が基準値を下回る場合には、前記複数の画素の全てに電流を流すことを特徴とする赤外線センサ装置。
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Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5756999A (en) * | 1997-02-11 | 1998-05-26 | Indigo Systems Corporation | Methods and circuitry for correcting temperature-induced errors in microbolometer focal plane array |
JP2001215152A (ja) * | 2000-02-03 | 2001-08-10 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線固体撮像素子 |
JP2003254824A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-10 | Seiko Epson Corp | 赤外線センサ装置、非接触型測温計および非接触型体温計 |
JP2008524621A (ja) * | 2004-12-21 | 2008-07-10 | ユリス | 特に赤外線電磁放射を検出する構成部品 |
JP2010054486A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Toshiba Lighting & Technology Corp | 赤外線センサ装置 |
JP2010283514A (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-16 | Renesas Electronics Corp | 赤外線撮像装置 |
JP2012173156A (ja) * | 2011-02-22 | 2012-09-10 | Panasonic Corp | 赤外線センサモジュール |
JP2012528302A (ja) * | 2009-05-26 | 2012-11-12 | インストゥルメント・システムズ・オプティシェ・メステクニーク・ゲーエムベーハー | 校正用光源 |
JP2014506669A (ja) * | 2011-01-21 | 2014-03-17 | エクセリタス テクノロジーズ シンガポール プライヴェート リミテッド | センサ用ヒータ、加熱される放射センサ及び放射検知方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002310783A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-23 | Mitsubishi Electric Corp | ボロメータ型赤外センサアレイ |
JP2003185496A (ja) * | 2001-12-13 | 2003-07-03 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線検出アレイおよびその製造方法 |
JP2009168611A (ja) * | 2008-01-16 | 2009-07-30 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線固体撮像素子 |
JP5741830B2 (ja) | 2011-04-18 | 2015-07-01 | 三菱マテリアル株式会社 | 赤外線センサ装置 |
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5756999A (en) * | 1997-02-11 | 1998-05-26 | Indigo Systems Corporation | Methods and circuitry for correcting temperature-induced errors in microbolometer focal plane array |
JP2001215152A (ja) * | 2000-02-03 | 2001-08-10 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線固体撮像素子 |
JP2003254824A (ja) * | 2002-03-05 | 2003-09-10 | Seiko Epson Corp | 赤外線センサ装置、非接触型測温計および非接触型体温計 |
JP2008524621A (ja) * | 2004-12-21 | 2008-07-10 | ユリス | 特に赤外線電磁放射を検出する構成部品 |
JP2010054486A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Toshiba Lighting & Technology Corp | 赤外線センサ装置 |
JP2012528302A (ja) * | 2009-05-26 | 2012-11-12 | インストゥルメント・システムズ・オプティシェ・メステクニーク・ゲーエムベーハー | 校正用光源 |
JP2010283514A (ja) * | 2009-06-03 | 2010-12-16 | Renesas Electronics Corp | 赤外線撮像装置 |
JP2014506669A (ja) * | 2011-01-21 | 2014-03-17 | エクセリタス テクノロジーズ シンガポール プライヴェート リミテッド | センサ用ヒータ、加熱される放射センサ及び放射検知方法 |
JP2012173156A (ja) * | 2011-02-22 | 2012-09-10 | Panasonic Corp | 赤外線センサモジュール |
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