JP6953668B2 - 基板 - Google Patents
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- G02F2202/04—Materials and properties dye
Description
a=b=R
a≠b=R or b≠a=R
a=b<R
a≠b<R
実施例または比較例でコラムスペーサーの製造に使用される各UV樹脂をPET(poly(ethylene terephthalate))フィルムまたはPC(polycarbonate)フィルムなどのような基材層または前記基材層上に形成された透明層(ex.ITO(indium tin oxide)、FTO(fluorine doped tin oxide)等)上に層を形成するように塗布し紫外線を照射(波長:約365nm、紫外線照射量:2,200〜4,400mJ/cm2)して硬化させて厚さが12μm程度の層を形成する。
図13に示したような形態の遮光層が含まれたインプリンティングマスクを製造し、それを使用して半球状ブラックスペーサーを製造した。前記インプリンティングマスクは図13に示した形態にしたがって、PET(poly(ethylene terephthalate))本体9にインプリンティングモールド901を通じて凹部9011を形成し、凹部9011が形成されていない面に黒色層(AlOxNy)902を形成した後に、前記黒色層902と凹部9011上に離型層を形成して製造した。この時、凹部は幅が略24μm〜26μmの範囲内であり、高さは略9μm〜10μm程度の半球状に形成した。また、スペーサーの配置が図17に記載された不規則度が約70%程度となるように前記凹部を形成した。
ブラックUV樹脂製造時にカーボンブラック(carbon black)の比率を約2重量%程度に調節したことを除いては、実施例1と同じ方式でスペーサーを製作した。前記ブラックUV樹脂材料の光学密度を前記言及された方式で測定した時に、略1.3程度であった。図20は、前記のような方式で製造された半球状のスペーサーの写真である。図19の場合のように、図20の半球状のスペーサーも前記インプリンティングマスクの形(半球)を反映する部分(Replica領域)とインプリンティング走行を反映する残膜(Residual layer)を含む。前記半球状のスペーサーは略10.5μm〜12μm程度の高さ(Replica領域+残膜領域)分布(平均:11.26μm)と約23μm〜25.5μm程度の直径分布(平均:24.1μm)を示した。
図21に示したような公知の平面フォトマスクを使用してブラックコラムスペーサーを製造した。前記遮光層が含まれたフォトマスクとしては、図21に示した通り、ポリエステルフィルムである本体1000の一面に遮光層2000が形成され、引き続き保護層3000が形成された製品であって、コアリンク社の商用製品を適用した。前記フォトマスクの露出パターンは直径が略(25±2)μm程度の円形である。
実施例または比較例で製造された基板のブラックコラムスペーサーが形成された面に粘着テープ(Nichiban Tape、CT−24)(剥離力:3.72〜4.16N/10mm、剥離角度:180度、JIS Z 1522規格)を、幅が略24mm、長さが略40mmである長方形の付着面積で付着した。前記付着時にはローラを使用して粘着テープ上に約200g程度の荷重を印加して付着した。その後、引張試験機を使用して約30mm/sの剥離速度および180度の剥離角度で前記粘着テープを長さ方向に剥離した。図24は実施例1に対して剥離前後にスペーサーの消失の有無を確認した図面であって、左側が剥離前の図面、右側が剥離後の図面である。図25は実施例2に対して剥離前後にスペーサーの消失の有無を確認した図面であって、左側が剥離前の図面、右側が剥離後の図面である。図面から実施例1と2の場合、両者共にスペーサーの消失が発生しないことを確認することができ、実際に確認した結果、消失率は0%であった。
実施例1および2で製造した基板上に公知の配向膜を形成し、配向膜が形成されたそれぞれの基板を使用して光の透過率を調節できる通常の液晶セルを構成した後、印加電圧による透過率変化を観察した。その結果、実施例1および2で製造された基板は共に液晶セルの内部で半球状ブラックスペーサーの形状が維持されつつ、駆動電圧の増加にしたがって透過率の変化を示したし、ブラック表示時に光漏れも抑制された。
Claims (13)
- 基材層、および
前記基材層上に形成されており、厚さ12μmあたりの光学密度(Optical Density)が1.1〜4の範囲内であり、上部が半球状であるブラックコラムスペーサー
を含み、
スペーサーの下部には、その断面の軌跡が、曲率中心が前記断面の外部に形成される曲線形態であるテーパー部が形成されていて、
基材層のスペーサーが形成された面にニチバンテープCT−24を、幅が24mm、長さが40mmである長方形の付着面積で付着し、前記ニチバンテープCT−24を30mm/sの剥離速度および180度の剥離角度で長さ方向に剥離して測定したスペーサーの消失率が15%以下である、
基板。 - ブラックコラムスペーサーは、顔料または染料を含む、
請求項1に記載の基板。 - ブラックコラムスペーサーは、金属酸化物、金属窒化物、金属酸窒化物、カーボンブラック、黒鉛、アゾ系顔料、フタロシアニン顔料または炭素系物質を含む、
請求項1または2に記載の基板。 - 基材層は無機基材層または有機基材層である、
請求項1から3のいずれか一項に記載の基板。 - 基材層とブラックコラムスペーサーの間に電極層がさらに存在し、
前記ブラックコラムスペーサーは前記電極層に接している、
請求項1から4のいずれか一項に記載の基板。 - 半球部の断面軌跡の最大曲率が2,000mm−1以下である、
請求項1から5のいずれか一項に記載の基板。 - 半球部の断面軌跡は曲率が0mm−1である軌跡を含まない、
請求項6に記載の基板。 - 半球部の高さは1μm〜20μmの範囲内であり、
幅は2μm〜40μmの範囲内である、請求項1から7のいずれか一項に記載の基板。 - 基材層のスペーサーが形成された面に付着した保護用粘着フィルムをさらに含む、
請求項1から8のいずれか一項に記載の基板。 - 基材層上に厚さ12μmあたりの光学密度(Optical Density)が1.1〜4の範囲内であり、上部が半球状であるブラックコラムスペーサーを含む基板を製造する方法であって、
前記基材層上に形成された前記ブラックコラムスペーサーを形成する光硬化性材料を、遮光層が含まれたインプリンティングマスクで圧着した状態で前記光硬化性材料を硬化させる段階を含み、
前記遮光層が含まれたインプリンティングマスクは、光透過性本体の一表面に窪んだ半球状が形成されており、前記半球状が形成されていない本体の表面に遮光膜が形成されている形態であり、
前記硬化させる段階は、前記窪んだ半球状が形成されている表面を前記光硬化性材料に密着させた状態で前記光硬化性材料を硬化させる段階を含む、
基板の製造方法。 - 基材層上には電極層が形成されており、
光硬化性材料が前記電極層上に形成される、
請求項10に記載の基板の製造方法。 - 請求項1から9のいずれか一項に記載された基板および
前記基板と対向配置されており、前記基板のスペーサーによって前記基板との間隔が維持された第2基板
を含む、
光学デバイス。 - 基板の間の間隔には液晶物質が存在する、
請求項12に記載の光学デバイス。
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JP2001033790A (ja) * | 1999-07-19 | 2001-02-09 | Toshiba Corp | 液晶表示装置及び液晶表示装置の製造方法 |
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KR101086476B1 (ko) * | 2004-04-14 | 2011-11-25 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시패널 및 그 제조방법 |
US7785501B2 (en) * | 2004-12-28 | 2010-08-31 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Black resin composition for display device, and member for display device |
TW200702850A (en) * | 2005-03-11 | 2007-01-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | Protrusion for controlling liquid crystal alignment, substrate for liquid crystal device, method for producing thereof, photosensitive resin composition, liquid crystal element, liquid crystal display device |
JP4901134B2 (ja) * | 2005-06-03 | 2012-03-21 | エルジー ディスプレイ カンパニー リミテッド | 液晶表示装置及びその製造方法 |
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KR101695415B1 (ko) * | 2010-01-25 | 2017-01-12 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 기판 및 이의 제조 방법 |
JP2013050498A (ja) * | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Kyocera Corp | 液晶表示装置 |
US20120050653A1 (en) * | 2010-08-30 | 2012-03-01 | Kyocera Corporation | Liquid crystal display device |
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KR101848094B1 (ko) * | 2011-12-02 | 2018-04-12 | 엘지디스플레이 주식회사 | 스페이서용 레진조성물 및 이를 이용한 씨오티 구조 어레이기판의 제조방법 |
KR20140006178A (ko) * | 2012-06-27 | 2014-01-16 | 연세대학교 산학협력단 | 물장구치기 운동기구 |
KR102020937B1 (ko) * | 2012-11-14 | 2019-09-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치와 이의 제조방법 |
KR101977227B1 (ko) * | 2013-01-11 | 2019-05-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시장치 및 그 제조방법 |
KR101658374B1 (ko) | 2013-01-25 | 2016-09-22 | 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 | 컬럼 스페이서 및 블랙 매트릭스를 동시에 구현할 수 있는 착색 감광성 수지 조성물 |
CN103149752B (zh) * | 2013-02-20 | 2016-01-06 | 北京京东方光电科技有限公司 | 一种液晶显示面板及其制造方法、显示装置 |
WO2014165151A1 (en) * | 2013-03-13 | 2014-10-09 | Cabot Corporation | Coatings having filler-polymer compositions with combined low dielectric constant, high resistivity, and optical density properties and controlled electrical resistivity, devices made therewith, and methods for making same |
KR20150083956A (ko) * | 2014-01-10 | 2015-07-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시장치 및 이의 제조방법 |
KR102185102B1 (ko) | 2014-01-10 | 2020-12-02 | 삼성디스플레이 주식회사 | 어레이 기판, 이를 갖는 액정 표시 패널 및 이의 제조방법 |
JP6750188B2 (ja) * | 2014-12-25 | 2020-09-02 | デクセリアルズ株式会社 | マスターフィルム付きナノ構造フィルム及びその製造方法 |
WO2017086590A1 (en) * | 2015-11-19 | 2017-05-26 | Rohm And Haas Electronic Materials Korea Ltd. | Method for preparing column spacer |
KR101755318B1 (ko) * | 2015-11-19 | 2017-07-10 | 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 | 컬럼 스페이서의 제조방법 |
KR20170086399A (ko) | 2016-01-18 | 2017-07-26 | 롬엔드하스전자재료코리아유한회사 | 흑색 감광성 수지 조성물 및 이로부터 제조된 블랙 컬럼 스페이서 |
CN106873238A (zh) * | 2017-04-28 | 2017-06-20 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种对向基板、显示面板、显示装置及制作方法 |
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