JP6952793B2 - ガラス化ボンドおよびフィラーを有する研磨粒 - Google Patents
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Description
これまで特定形状の研磨粒を製造するのに利用されてきた3つの基本技術は、溶融、焼結、化学セラミックである。溶融プロセスにおいては、研磨粒は、面に対する彫り込みの有無は問わないが、チルロール、または溶融材料が注入されるモールド、または酸化アルミニウムの融液に浸したヒートシンク材料によって形成される。例えば、米国特許第3,377,660号を参照されたい。焼結プロセスにおいては、研磨粒は、直径が10マイクロメートルまでの粒子サイズを持つ耐火粉末から形成される。粉末に対しては、潤滑剤や適切な溶媒とともにバインダーを添加し、混合物を形成する。混合物は、様々な長さや直径のプレートレットやロッド状に成形される。例えば、米国特許第3,079,242号を参照されたい。化学セラミック技術は、セラミック物質を得るため、コロイド分散系、つまりハイドロゾル(ゾルとも呼ばれる)をゲル状、または成分の可動性を抑制する他の物理状態に変化させる処理、乾燥処理、及び焼成処理を含む。例えば、米国特許第4,744,802号、及び米国特許第4,848,041号を参照されたい。
図1は、本明細書中で開示する実施形態による研磨粒を示す。図1に示すように、研磨粒10は、本体11とそれを覆うコーティング12を有することができる。コーティング12は、アモルファス物質13と少なくとも1種のフィラー15を含むことができる。フィラー15は、アモルファス物質13とは異なる1つ以上の相であってもよい。一態様によれば、フィラー15は、コーティング12の中に部分的に包含される。他の態様によれば、フィラー15は、コーティング12の中に完全に包含される。
本体と前記本体を覆うコーティングとを備える研磨粒であって、前記コーティングがアモルファス物質と前記アモルファス物質に含まれる少なくとも1種のフィラーとを有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記少なくとも1種のフィラーが、前記アモルファス物質とは異なる少なくとも1つの相を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記本体がアルミナとジルコニアを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記本体がアルミナとジルコニアから実質的に構成される研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記本体がアルミナから実質的に構成される研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記本体が、前記本体の総重量の75wt%以下の、または70wt%以下の、または65wt%以下の、または60wt%以下の、または59wt%以下の、または58wt%以下の、または57wt%以下の、または56wt%以下の、または55wt%以下の、または54wt%以下の、または53wt%以下の、または52wt%以下の、または51wt%以下の、または50wt%以下の、または49wt%以下の、または48wt%以下の、または47wt%以下の、または46wt%以下の、または45wt%以下の、または44wt%以下の、または43wt%以下の、または42wt%以下の、または40wt%以下のアルミナを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記本体が、前記本体の総重量の少なくとも35wt%の、または少なくとも40wt%の、または少なくとも42wt%の、または少なくとも43wt%の、または少なくとも44wt%の、または少なくとも45wt%の、または少なくとも46wt%の、または少なくとも47wt%の、または少なくとも48wt%の、または少なくとも49wt%の、または少なくとも50wt%の、または少なくとも51wt%の、または少なくとも52wt%の、または少なくとも53wt%の、または少なくとも54wt%の、または少なくとも55wt%の、または少なくとも56wt%の、または少なくとも57wt%の、または少なくとも58wt%の、または少なくとも59wt%の、または少なくとも60wt%の、または少なくとも65wt%の、または少なくとも70wt%のアルミナを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記本体が、前記本体の総重量の60wt%以下の、または50wt%以下の、または49wt%以下の、または48wt%以下の、または47wt%以下の、または46wt%以下の、または45wt%以下の、または44wt%以下の、または43wt%以下の、または42wt%以下の、または41wt%以下の、または40wt%以下の、または39wt%以下の、または38wt%以下の、または37wt%以下の、または36wt%以下の、または35wt%以下の、または34wt%以下の、または33wt%以下の、または32wt%以下の、または31wt%以下の、または30wt%以下のジルコニアを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記本体が、前記本体の総重量の少なくとも20wt%の、または少なくとも30wt%の、または少なくとも31wt%の、または少なくとも32wt%の、または少なくとも33wt%の、または少なくとも34wt%の、または少なくとも35wt%の、または少なくとも36wt%の、または少なくとも37wt%の、または少なくとも38wt%の、または少なくとも39wt%の、または少なくとも40wt%の、または少なくとも41wt%の、または少なくとも42wt%の、または少なくとも43wt%の、または少なくとも44wt%の、または少なくとも45wt%の、または少なくとも46wt%の、または少なくとも47wt%の、または少なくとも48wt%の、または少なくとも49wt%の、または少なくとも50wt%のジルコニアを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記本体が、窒化物、ホウ化物、またはそれらの組み合わせを実質的に含まない研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記本体が、金属、合金、またはそれらの組み合わせを実質的に含まない研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記本体が、40000μm以下の、または30000μm以下の、または20000μm以下の、または10000μm以下の、または5000μm以下の、または4000μm以下の、または3000μm以下の、または2000μm以下の、または1000μm以下の、または500μm以下の、または200μm以下の、または100μm以下の、または80μm以下の、または50μm以下の、または40μm以下の、または20μm以下の、または10μm以下の中央粒径(D50)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記本体が、少なくとも1μmの、または少なくとも5μmの、または少なくとも10μmの、または少なくとも20μmの、または少なくとも40μmの、または少なくとも50μmの、または少なくとも80μmの、または少なくとも100μmの、または少なくとも200μmの、または少なくとも500μmの、または少なくとも1000μmの、または少なくとも2000μmの、または少なくとも3000μmの、または少なくとも4000μmの、または少なくとも5000μmの、または少なくとも10000μmの、または少なくとも20000μmの、または少なくとも30000μmの中央粒径(D50)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、前記本体の外面の99%以下、または98%以下、または97%以下、または96%以下、または95%以下、または90%以下、または85%以下、または80%以下、または75%以下、または70%以下、または65%以下、または60%以下、または55%以下、または50%以下、または45%以下、または40%以下、または35%以下、または30%以下、または25%以下、または20%以下、または15%以下、または10%以下を覆う研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、前記本体の外面の少なくとも1%、または少なくとも2%、または少なくとも3%、または少なくとも4%、または少なくとも5%、または少なくとも10%、または少なくとも15%、または少なくとも20%、または少なくとも25%、または少なくとも30%、または少なくとも35%、または少なくとも40%、または少なくとも45%、または少なくとも50%、または少なくとも55%、または少なくとも60%、または少なくとも65%、または少なくとも70%、または少なくとも75%、または少なくとも80%、または少なくとも85%、または少なくとも90%、または少なくとも95%、または少なくとも96%、または少なくとも97%、または少なくとも98%、または少なくとも99%を覆う研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが前記本体の外面の大部分を覆う研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングの重量が、前記本体と前記コーティングとを含む前記研磨粒の総重量の10wt%以下、または9wt%以下、または8wt%以下、または7wt%以下、または6wt%以下、または5wt%以下、または4wt%以下、または3wt%以下、または2wt%以下、または1.5wt%以下、または1wt%以下である研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングの重量が、前記本体と前記コーティングとを含む前記研磨粒の総重量の少なくとも0.1wt%、または少なくとも0.5wt%、または少なくとも1wt%、または少なくとも1.5wt%、または少なくとも2wt%、または少なくとも2.5wt%、または少なくとも3wt%、または少なくとも4wt%、または少なくとも5wt%、または少なくとも6wt%、または少なくとも7wt%、または少なくとも8wt%、または少なくとも9wt%である研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、700℃以下の、または690℃以下の、または680℃以下の、または670℃以下の、または660℃以下の、または650℃以下の、または640℃以下の、または630℃以下の、または620℃以下の、または610℃以下の、または600℃以下の、または590℃以下の、または580℃以下の、または570℃以下の、または560℃以下の、または550℃以下の、または540℃以下の、または530℃以下の、または520℃以下の、または510℃以下の、または500℃以下の、または490℃以下の、または480℃以下の、または470℃以下の、または460℃以下の、または450℃以下の軟化点を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、少なくとも400℃の、または少なくとも410℃の、または少なくとも420℃の、または少なくとも430℃の、または少なくとも440℃の、または少なくとも450℃の、または少なくとも460℃の、または少なくとも470℃の、または少なくとも480℃の、または少なくとも490℃の、または少なくとも500℃の、または少なくとも510℃の、または少なくとも520℃の、または少なくとも530℃の、または少なくとも540℃の、または少なくとも550℃の、または少なくとも560℃の、または少なくとも570℃の、または少なくとも580℃の、または少なくとも590℃の、または少なくとも600℃の、または少なくとも610℃の、または少なくとも620℃の、または少なくとも630℃の、または少なくとも640℃の、または少なくとも650℃の、または少なくとも660℃の、または少なくとも670℃の、または少なくとも680℃の、または少なくとも690℃の軟化点を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、400℃から700℃以下の範囲内の軟化点を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングがケイ素を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングがホウ素を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが亜鉛を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが鉄を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングがナトリウムを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングがカリウムを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングがリチウムを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質がケイ素を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質がホウ素を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が亜鉛を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が鉄を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質がナトリウムを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質がカリウムを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質がリチウムを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングがケイ酸塩を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングがホウケイ酸塩を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが酸化亜鉛を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが酸化鉄を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが酸化ナトリウムを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが酸化カリウムを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが酸化リチウムを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、酸化アルミニウム、酸化コバルト、酸化マグネシウム、酸化スズ、及び酸化カルシウムのうちの少なくとも1つ、またはそれらの組み合わせを実質的に含まない研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質がケイ酸塩を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質がホウケイ酸塩を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が酸化亜鉛を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が酸化鉄を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が酸化ナトリウムを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が酸化カリウムを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が酸化リチウムを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、酸化アルミニウム、酸化コバルト、酸化マグネシウム、酸化スズ、及び酸化カルシウムのうちの少なくとも1つ、またはそれらの組み合わせを実質的に含まない研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、酸化アルミニウム、酸化コバルト、酸化マグネシウム、酸化スズ、酸化カルシウム、酸化ジルコニウム、酸化バリウム、及び酸化ビスマスのうちのいずれか1つを、10wt%以下の、または8wt%以下の、または6wt%以下の、または4wt%以下の、または2wt%以下の、または1wt%以下の、または0.5wt%以下の量で含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、酸化アルミニウム、酸化コバルト、酸化マグネシウム、酸化スズ、酸化カルシウム、酸化ジルコニウム、酸化バリウム、及び酸化ビスマスのうちの組み合わせを、10wt%以下の、または8wt%以下の、または6wt%以下の、または4wt%以下の、または2wt%以下の、または1wt%以下の、または0.5wt%以下の量で含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、酸化アルミニウム、酸化コバルト、酸化マグネシウム、酸化スズ、酸化カルシウム、酸化ジルコニウム、酸化バリウム、及び酸化ビスマスのうちの少なくとも1つ、またはそれらの組み合わせを実質的に含まない研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、少なくとも0.8:1の、または少なくとも0.9:1の、または少なくとも1:1の、または少なくとも1.1:1の、または少なくとも1.2:1の、または少なくとも1.3:1の、または少なくとも1.4:1の、または少なくとも1.5:1の、または少なくとも1.6:1の、または少なくとも1.7:1の、または少なくとも1.8:1の、または少なくとも1.9:1の、または少なくとも2:1の、または少なくとも2.2:1の、または少なくとも2.4:1の、または少なくとも2.5:1の、または少なくとも2.6:1の、または少なくとも2.8:1の、または少なくとも3:1の、または少なくとも3.5:1の、または少なくとも4:1の、または少なくとも5:1の、または少なくとも6:1の、または少なくとも7:1の、または少なくとも8:1の、または少なくとも9:1の、または少なくとも10:1の、または少なくとも12:1の、または少なくとも15:1の、または少なくとも20:1の、または少なくとも30:1のホウ素対ケイ素の重量比(B:Si)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、40:1以下の、または30:1以下の、または20:1以下の、または15:1以下の、または12:1以下の、または10:1以下の、または9:1以下の、または8:1以下の、または7:1以下の、または6:1以下の、または5:1以下の、または4:1以下の、または3.5:1以下の、または3:1以下の、または2.8:1以下の、または2.6:1以下の、または2.5:1以下の、または2.4:1以下の、または2.2:1以下の、または2:1以下の、または1.9:1以下の、または1.8:1以下の、または1.7:1以下の、または1.6:1以下の、または1.5:1以下の、または1.4:1以下の、または1.3:1以下の、または1.2:1以下の、または1.1:1以下の、または1:1以下の、または0.9:1以下のホウ素対ケイ素の重量比(B:Si)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、少なくとも1:1の、または少なくとも1.1:1の、または少なくとも1.2:1の、または少なくとも1.3:1の、または少なくとも1.4:1の、または少なくとも1.5:1の、または少なくとも1.6:1の、または少なくとも1.7:1の、または少なくとも1.8:1の、または少なくとも1.9:1の、または少なくとも2:1の、または少なくとも2.2:1の、または少なくとも2.4:1の、または少なくとも2.5:1の、または少なくとも2.6:1の、または少なくとも2.8:1の、または少なくとも3:1の、または少なくとも3.5:1の、または少なくとも4:1の、または少なくとも5:1の酸化ホウ素対二酸化ケイ素(B2О3:SiO2)の比(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、20:1以下の、または15:1以下の、または12:1以下の、または10:1以下の、または9:1以下の、または8:1以下の、または7:1以下の、または6:1以下の、または5:1以下の、または4:1以下の、または3.5:1以下の、または3:1以下の、または2.8:1以下の、または2.6:1以下の、または2.5:1以下の、または2.4:1以下の、または2.2:1以下の、または2:1以下の、または1.9:1以下の、または1.8:1以下の、または1.7:1以下の、または1.6:1以下の、または1.5:1以下の、または1.4:1以下の、または1.3:1以下の、または1.2:1以下の酸化ホウ素対二酸化ケイ素(B2О3:SiO2)の比(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の少なくとも7.5wt%の、または少なくとも8wt%の、または少なくとも8.5wt%の、または少なくとも9wt%の、または少なくとも9.5wt%の、または少なくとも10wt%の、または少なくとも10.5wt%の、または少なくとも11wt%の、または少なくとも11.5wt%の、または少なくとも12wt%のケイ素を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の15wt%以下の、または14wt%以下の、または12.5wt%以下の、または12wt%以下の、または11.5wt%以下の、または11wt%以下の、または10.5wt%以下の、または10wt%以下の、または9.5wt%以下の、または9wt%以下の、または8.5wt%以下のケイ素を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、前記コーティングの総重量の少なくとも15wt%の、または少なくとも16wt%の、または少なくとも17wt%の、または少なくとも18wt%の、または少なくとも19wt%の、または少なくとも20wt%の、または少なくとも21wt%の、または少なくとも22wt%の、または少なくとも23wt%の、または少なくとも24wt%の二酸化ケイ素を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、前記コーティングの総重量の30wt%以下の、または28wt%以下の、または25wt%以下の、または24wt%以下の、または23wt%以下の、または22wt%以下の、または21wt%以下の、または20wt%以下の、または19wt%以下の、または18wt%以下の、または17wt%以下の二酸化ケイ素を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の少なくとも10wt%の、または少なくとも10.7wt%の、または少なくとも11.4wt%の、または少なくとも12wt%の、または少なくとも12.7wt%の、または少なくとも13.4wt%の、または少なくとも14wt%の、または少なくとも14.7wt%の、または少なくとも15.4wt%の、または少なくとも16wt%の、または少なくとも16.7wt%のホウ素を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の20wt%以下の、または19.4wt%以下の、または18.7wt%以下の、または18wt%以下の、または17.4wt%以下の、または16.7wt%以下の、または16wt%以下の、または15.4wt%以下の、または14.7wt%以下の、または14wt%以下の、または13.3wt%以下の、または12.7wt%以下の、または12wt%以下の、または11.4wt%以下の、または10.7wt%以下のホウ素を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、前記コーティングの総重量の少なくとも30wt%の、または少なくとも32wt%の、または少なくとも34wt%の、または少なくとも36wt%の、または少なくとも38wt%の、または少なくとも40wt%の、または少なくとも42wt%の、または少なくとも44wt%の、または少なくとも46wt%の、または少なくとも48wt%の、または少なくとも50wt%の酸化ホウ素を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、前記コーティングの総重量の60wt%以下の、または58wt%以下の、または56wt%以下の、または54wt%以下の、または52wt%以下の、または50wt%以下の、または48wt%以下の、または46wt%以下の、または44wt%以下の、または42wt%以下の、または40wt%以下の、または38wt%以下の、または36wt%以下の、または34wt%以下の、または32wt%以下の酸化ホウ素を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化リチウム、及びそれらの組み合わせから成る群から選択されるアルカリ金属を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、ナトリウム、カリウム、リチウム、及びそれらの組み合わせから成る群から選択されるアルカリ酸化物を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、少なくとも1:1の、または少なくとも1.1:1の、または少なくとも1.2:1の、または少なくとも1.3:1の、または少なくとも1.4:1の、または少なくとも1.5:1の、または少なくとも1.6:1の、または少なくとも1.7:1の、または少なくとも1.8:1の、または少なくとも1.9:1の、または少なくとも2:1の、または少なくとも2.2:1の、または少なくとも2.4:1の、または少なくとも2.5:1の、または少なくとも2.6:1の、または少なくとも2.8:1の、または少なくとも3:1の、または少なくとも3.5:1の、または少なくとも4:1の、または少なくとも5:1の、または少なくとも6:1の、または少なくとも7:1の、または少なくとも8:1の、または少なくとも9:1の、または少なくとも10:1のケイ素対アルカリ金属の重量比(Si:X)を有し、Xとは前記アモルファス物質におけるアルカリ金属の総含有量を指す研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、11:1以下の、または10:1以下の、または9:1以下の、または8:1以下の、または7:1以下の、または6:1以下の、または5:1以下の、または4:1以下の、または3.5:1以下の、または3:1以下の、または2.8:1以下の、または2.6:1以下の、または2.5:1以下の、または2.4:1以下の、または2.2:1以下の、または2:1以下の、または1.9:1以下の、または1.8:1以下の、または1.7:1以下の、または1.6:1以下の、または1.5:1以下の、または1.4:1以下の、または1.3:1以下の、または1.2:1以下のケイ素対アルカリ金属の重量比(Si:X)を有し、Xとは前記アモルファス物質におけるアルカリ金属の総含有量を指す研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、二酸化ケイ素対アルカリ酸化物(SiO2:X2O)の比(wt%)を有しており、X2Oとはアルカリ酸化物の総含有量を指し、二酸化ケイ素対アルカリ酸化物(SiO2:X2O)の前記比(wt%)が、少なくとも1:1、または少なくとも1.1:1、または少なくとも1.2:1、または少なくとも1.3:1、または少なくとも1.4:1、または少なくとも1.5:1、または少なくとも1.6:1、または少なくとも1.7:1、または少なくとも1.8:1、または少なくとも1.9:1、または少なくとも2:1、または少なくとも2.2:1、または少なくとも2.4:1、または少なくとも2.5:1、または少なくとも2.6:1、または少なくとも2.8:1、または少なくとも3:1、または少なくとも3.5:1、または少なくとも4:1、または少なくとも5:1である研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、二酸化ケイ素対アルカリ酸化物(SiO2:X2O)の比(wt%)を有しており、X2Oとはアルカリ酸化物の総含有量を指し、二酸化ケイ素対アルカリ酸化物(SiO2:X2O)の前記比(wt%)が、6:1以下、または5:1以下、または4:1以下、または3.5:1以下、または3:1以下、または2.8:1以下、または2.6:1以下、または2.5:1以下、または2.4:1以下、または2.2:1以下、または2:1以下、または1.9:1以下、または1.8:1以下、または1.7:1以下、または1.6:1以下、または1.5:1以下、または1.4:1以下、または1.3:1以下、または1.2:1以下である研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の少なくとも4wt%の、または少なくとも4.5wt%の、または少なくとも5wt%の、または少なくとも5.5wt%の、または少なくとも6wt%の、または少なくとも6.5wt%の、または少なくとも7wt%の、または少なくとも7.5wt%の、または少なくとも8wt%の、または少なくとも8.5wt%の、または少なくとも9wt%の、または少なくとも9.5wt%の、または少なくとも10wt%の、または少なくとも10.5wt%の、または少なくとも11wt%の、または少なくとも11.5wt%の、または少なくとも12wt%のアルカリ金属の総含有量を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の13wt%以下の、または12wt%以下の、または11.5wt%以下の、または11wt%以下の、または10.5wt%以下の、または10wt%以下の、または9.5wt%以下の、または9wt%以下の、または8.5wt%以下の、または8wt%以下の、または7.5wt%以下の、または7wt%以下の、または6.5wt%以下の、または6wt%以下の、または5.5wt%以下の、または5wt%以下のアルカリ金属の総含有量を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、前記コーティングの総重量の少なくとも8wt%の、または少なくとも9wt%の、または少なくとも10wt%の、または少なくとも11wt%の、または少なくとも12wt%の、または少なくとも13wt%の、または少なくとも14wt%の、または少なくとも15wt%の、または少なくとも16wt%のアルカリ酸化物の総含有量を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記コーティングが、前記コーティングの総重量の20wt%以下の、または19wt%以下の、または18wt%以下の、または17wt%以下の、または16wt%以下の、または15wt%以下の、または14wt%以下の、または13wt%以下の、または12wt%以下の、または11wt%以下の、または10wt%以下のアルカリ酸化物の総含有量を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、ナトリウム含有量(wt%)がリチウム含有量(wt%)より大きく、カリウム含有量(wt%)がリチウム含有量(wt%)より大きい研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、酸化ナトリウム含有量(wt%)が酸化リチウム含有量(wt%)より大きく、酸化カリウム含有量(wt%)が酸化リチウム含有量(wt%)より大きい研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記コーティングの総重量の少なくとも1wt%の、または少なくとも1.5wt%の、または少なくとも2wt%の、または少なくとも2.5wt%の、または少なくとも3wt%の、または少なくとも3.5wt%の、または少なくとも4wt%の、または少なくとも4.5wt%の、または少なくとも5wt%のナトリウム含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の6wt%以下の、または5wt%以下の、または4.5wt%以下の、または4wt%以下の、または3.5wt%以下の、または3wt%以下の、または2.5wt%以下の、または2wt%以下のナトリウム含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記コーティングの総重量の少なくとも2wt%の、または少なくとも3wt%の、または少なくとも4wt%の、または少なくとも5wt%の、または少なくとも6wt%の酸化ナトリウム含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の10wt%以下の、または9wt%以下の、または8wt%以下の、または7wt%以下の、または6wt%以下の、または5wt%以下の、または4wt%以下の酸化ナトリウム含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記コーティングの総重量の少なくとも1.5wt%の、または少なくとも2wt%の、または少なくとも2.5wt%の、または少なくとも3wt%の、または少なくとも3.5wt%の、または少なくとも4wt%の、または少なくとも4.5wt%の、または少なくとも5wt%の、または少なくとも5.5wt%のカリウム含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記コーティングの総重量の7wt%以下の、または6wt%以下の、または5.5wt%以下の、または5wt%以下の、または4.5wt%以下の、または4wt%以下の、または3.5wt%以下の、または3wt%以下のカリウム含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記コーティングの総重量の少なくとも2wt%の、または少なくとも3wt%の、または少なくとも4wt%の、または少なくとも5wt%の、または少なくとも6wt%の酸化カリウム含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記コーティングの総重量の10wt%以下の、または9wt%以下の、または8wt%以下の、または7wt%以下の、または6wt%以下の、または5wt%以下の、または4wt%以下の酸化カリウム含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の少なくとも0.3wt%の、または少なくとも0.7wt%の、または少なくとも1wt%の、または少なくとも1.1wt%の、または少なくとも1.2wt%の、または少なくとも1.3wt%の、または少なくとも1.4wt%の、または少なくとも1.5wt%の、または少なくとも1.6wt%の、または少なくとも1.7wt%の、または少なくとも1.8wt%の、または少なくとも1.9wt%の、または少なくとも2wt%の、または少なくとも2.1wt%の、または少なくとも2.2wt%の、または少なくとも2.3wt%の、または少なくとも2.4wt%の、または少なくとも2.5wt%のリチウム含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の3wt%以下の、または2.5wt%以下の、または2.4wt%以下の、または2.3wt%以下の、または2.2wt%以下の、または2.1wt%以下の、または2wt%以下の、または1.9wt%以下の、または1.8wt%以下の、または1.7wt%以下の、または1.6wt%以下の、または1.5wt%以下の、または1.4wt%以下の、または1.3wt%以下の、または1.2wt%以下の、または1.1wt%以下の、または1wt%以下の、または0.7wt%以下のリチウム含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の少なくとも1wt%の、または少なくとも2wt%の、または少なくとも3wt%の、または少なくとも4wt%の酸化リチウム含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の6wt%以下の、または5wt%以下の、または4wt%以下の、または3wt%以下の、または2wt%以下の酸化リチウム含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、少なくとも0.7:1の、または少なくとも0.9:1の、または少なくとも1.1:1の、または少なくとも1.2:1の、または少なくとも1.3:1の、または少なくとも1.4:1の、または少なくとも1.5:1の、または少なくとも1.6:1の、または少なくとも1.7:1の、または少なくとも1.8:1の、または少なくとも1.9:1の、または少なくとも2:1の、または少なくとも2.2:1の、または少なくとも2.4:1の、または少なくとも2.5:1の、または少なくとも2.6:1の、または少なくとも2.8:1の、または少なくとも3:1の、または少なくとも3.5:1の、または少なくとも4:1の、または少なくとも5:1のケイ素対鉄(Si:Fe)の重量比を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、6:1以下の、または5:1以下の、または4:1以下の、または3.5:1以下の、または3:1以下の、または2.8:1以下の、または2.6:1以下の、または2.5:1以下の、または2.4:1以下の、または2.2:1以下の、または2:1以下の、または1.9:1以下の、または1.8:1以下の、または1.7:1以下の、または1.6:1以下の、または1.5:1以下の、または1.4:1以下の、または1.3:1以下の、または1.2:1以下の、または1.1:1以下の、または1:1以下の、または0.9:1以下のケイ素対鉄(Si:Fe)の比(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、少なくとも1:1の、または少なくとも1.1:1の、または少なくとも1.2:1の、または少なくとも1.3:1の、または少なくとも1.4:1の、または少なくとも1.5:1の、または少なくとも1.6:1の、または少なくとも1.7:1の、または少なくとも1.8:1の、または少なくとも1.9:1の、または少なくとも2:1の、または少なくとも2.2:1の、または少なくとも2.4:1の、または少なくとも2.5:1の、または少なくとも2.6:1の、または少なくとも2.8:1の、または少なくとも3:1の、または少なくとも3.5:1の、または少なくとも4:1の、または少なくとも5:1の酸化ケイ素対酸化鉄(SiO2:Fe2O3)の重量比を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、6:1以下の、または5:1以下の、または4:1以下の、または3.5:1以下の、または3:1以下の、または2.8:1以下の、または2.6:1以下の、または2.5:1以下の、または2.4:1以下の、または2.2:1以下の、または2:1以下の、または1.9:1以下の、または1.8:1以下の、または1.7:1以下の、または1.6:1以下の、または1.5:1以下の、または1.4:1以下の、または1.3:1以下の、または1.2:1以下の酸化ケイ素対酸化鉄(SiO2:Fe2O3)の比(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の少なくとも5.3wt%の、または少なくとも6wt%の、または少なくとも6.7wt%の、または少なくとも7.4wt%の、または少なくとも8wt%の、または少なくとも8.7wt%の鉄含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の12wt%以下の、または10wt%以下の、または9.3wt%以下の、または8.7wt%以下の、または8wt%以下の、または7.3wt%以下の、または6.7wt%以下の、または6wt%以下の鉄含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の少なくとも8wt%の、または少なくとも9wt%の、または少なくとも10wt%の、または少なくとも11wt%の、または少なくとも12wt%の、または少なくとも13wt%の酸化鉄含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の18wt%以下の、または15wt%以下の、または14wt%以下の、または13wt%以下の、または12wt%以下の、または11wt%以下の、または10wt%以下の、または9wt%以下の酸化鉄含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の少なくとも1wt%の、または少なくとも2wt%の、または少なくとも3wt%の、または少なくとも4wt%の、または少なくとも5wt%の、または少なくとも6wt%の亜鉛含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の10wt%以下の、または9wt%以下の、または8wt%以下の、または7wt%以下の、または6wt%以下の、または5wt%以下の、または4wt%以下の、または3wt%以下の亜鉛含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の少なくとも1wt%の、または少なくとも2wt%の、または少なくとも3wt%の、または少なくとも4wt%の、または少なくとも5wt%の、または少なくとも6wt%の酸化亜鉛含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記アモルファス物質が、前記アモルファス物質の総重量の10wt%以下の、または9wt%以下の、または8wt%以下の、または7wt%以下の、または6wt%以下の、または5wt%以下の、または4wt%以下の、または3wt%以下の酸化亜鉛含有量(wt%)を有する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記少なくとも1種のフィラーが粒状物質を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記少なくとも1種のフィラーが多結晶粒状物質を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記少なくとも1種のフィラーが、酸化物、フッ化物、硫化物、リン酸塩、炭酸塩、及びハロゲン化物から成る群、またはそれらの組み合わせから選択される少なくとも1つの化合物を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記少なくとも1種のフィラーが、Fe、Co、Ti、Ni、V、Cr、Sb、Mn、及びZnから成る群から選択される少なくとも1つの元素、またはそれらの組み合わせを有する少なくとも1つの酸化物化合物を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記フィラーが、Fe2O、Na3AlF6、Co2O3、TiO2、Ni2O3、及びCr2O3から成る群、またはそれらの組み合わせから選択される少なくとも1つの化合物を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記少なくとも1種のフィラーが、Na3AlF6、KNaAlF6、NaSiF6、KSiF6、NaBF4、K3AlF6、KBF4、Cr3C2、及びCaF2から成る群、またはそれらの組み合わせから選択されるフッ素含有化合物を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記少なくとも1種のフィラーが、Na、K、Mg、Ca、Al、Mn、Cu、Sn、Fe、Ti、Sb、Zn、及びBiから成る群から選択される少なくとも1つの元素、またはそれらの組み合わせを含む少なくとも1つのハロゲン含有化合物を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記少なくとも1種のフィラーが、前記コーティングに含まれる第1フィラーと前記コーティングに含まれる第2フィラーとを有し、前記第1フィラー及び前記第2フィラーが、酸化物、フッ化物、硫化物、リン酸塩、炭酸塩、及びハロゲン化物から成る群、またはそれらの組み合わせから選択される互いに異なる化合物である研磨粒。
実施形態110に記載の研磨粒であって、前記第1フィラーがFe2O3を含み、前記第2フィラーがNa3AlF6を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記少なくとも1種のフィラーが、前記本体の中央粒径(D50)未満の中央粒径を有する粒状物質を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記少なくとも1種のフィラーが、50μm以下の、または40μm以下の、または30μm以下の、または25μm以下の、または20μm以下の、または15μm以下の、または10μm以下の、または8μm以下の、または6μm以下の、または4μm以下の、または2μm以下の、またはμm1.5以下の、または1μm以下の、または0.8μm以下の、または0.6μm以下の、または0.4μm以下の、または0.2μm以下の、または0.1μm以下の中央粒径(D50)を有する粒状物質を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記少なくとも1種のフィラーが、少なくとも0.1μmの、または少なくとも0.2μmの、または少なくとも0.4μmの、または少なくとも0.6μmの、または少なくとも0.8μmの、または少なくとも1μmの、または少なくとも1.5μmの、または少なくとも2μmの、または少なくとも4μmの、または少なくとも6μmの、または少なくとも8μmの、または少なくとも10μmの、または少なくとも15μmの、または少なくとも20μmの、または少なくとも25μmの、または少なくとも30μmの、または少なくとも40μmの中央粒径(D50)を有する粒状物質を含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記少なくとも1種のフィラーが、前記研磨粒の総重量の10wt%以下の、または8wt%以下の、または6wt%以下の、または4wt%以下の、または3wt%以下の、または2.5wt%以下の、または2wt%以下の、または1.5wt%以下の、または1wt%以下の、または0.8wt%以下の、または0.5wt%以下の、または0.2wt%以下の、または0.1wt%以下の量で存在する研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記少なくとも1種のフィラーが、前記研磨粒の総重量の少なくとも0.01wt%の、または少なくとも0.1wt%の、または少なくとも0.2wt%の、または少なくとも0.5wt%の、または少なくとも0.8wt%の、または少なくとも1wt%の、または少なくとも1.5wt%の、または少なくとも2wt%の、または少なくとも2.5wt%の、または少なくとも3wt%の、または少なくとも4wt%の、または少なくとも6wt%の、または少なくとも8wt%の量で存在する研磨粒。
実施形態1の研磨粒を含む複数の研磨粒を有する固定研磨品。
固定研磨品を形成する方法であって、本体を有する粒状物質と、コーティング前駆体物質と、少なくとも1種のフィラーとを含む混合物を作製するステップと、前記本体を覆うアモルファス物質と前記少なくとも1種のフィラーとを含むコーティングを有する被覆粒状物質を前記混合物から形成するステップとを含む方法。
実施形態118の方法であって、前記被覆粒状物質の前記形成ステップが、前記混合物を少なくとも400℃で700℃以下の温度に加熱することを含む方法。
実施形態118の方法であって、前記混合物がさらに、ろう、ポリ酢酸ビニル(PVA)、ポリエチレングリコール(PEG)、及び水から成る群、またはそれらの組み合わせから選択される少なくとも1種のバインダーを含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の総重量の少なくとも約0.2wt%の、または少なくとも約0.5wt%の、または少なくとも約0.7wt%の、または少なくとも約1.0wt%の、または少なくとも約1.3wt%の、または少なくとも約1.5wt%の、または少なくとも約1.7wt%の、または少なくとも約2.0wt%の、または少なくとも約2.3wt%の量のクロム(Cr)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の総重量の約20wt%以下の、または約15wt%以下の、または約10wt%以下の、または約7.0wt%以下の、または約5.0wt%以下の、または約2.5wt%以下の、または約2.4wt%以下の、または約2.3wt%以下の、または約2.2wt%以下の、または約2.1wt%以下の量のクロム(Cr)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の総重量の少なくとも約0.01wt%の、または少なくとも約0.05wt%の、または少なくとも約0.1wt%の、または少なくとも約0.2wt%の、または少なくとも約0.3wt%の、または少なくとも約0.4wt%の、または少なくとも約0.5wt%の量のナトリウム(Na)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の総重量の約6.0wt%以下の、または約5.0wt%以下の、または約4.0wt%以下の、または約3.0wt%以下の、または約2.0wt%以下の、または約1.0wt%以下の、または約0.9wt%以下の、または約0.8wt%以下の、または約0.7wt%以下の量のナトリウム(Na)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の総重量の少なくとも約0.05wt%の、または少なくとも約0.1wt%の、または少なくとも約0.2wt%の、または少なくとも約0.3wt%の、または少なくとも約0.4wt%の、または少なくとも約0.5wt%の量のカルシウム(Ca)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の総重量の約7.0wt%以下の、または約6.0wt%1.1wt%以下の、または約5.0wt%以下の、または約4.0wt%以下の、または約3.0wt%以下の、または約2.0wt%以下の、または約1.0wt%以下の、または約0.9wt%以下の量のカルシウム(Ca)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の総重量の少なくとも約0.01wt%の、または少なくとも約0.05wt%の、または少なくとも約0.1wt%の、または少なくとも約0.2wt%の、または少なくとも約0.3wt%の、または少なくとも約0.4wt%の、または少なくとも約0.5wt%の量のカリウム(K)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の総重量の約10wt%以下の、または約9.0wt%以下の、または約8.0wt%以下の、または約7.0wt%以下の、または約6.0wt%以下の、または約5.0wt%以下の、または約4.0wt%以下の、または約3.0wt%以下の、または約2.0wt%以下の、または約1.0wt%以下の、または約0.9wt%以下の量のカリウム(K)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の重量の少なくとも約0.2、または少なくとも約0.5、または少なくとも約0.7、または少なくとも約1.0、または少なくとも約1.3、または少なくとも約1.5、または少なくとも約1.7、または少なくとも約2.0、または少なくとも約2.3重量パーセントのクロム(Cr)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の重量の約20以下の、または約15以下の、または約10以下の、または約7.0以下の、または約5.0以下の、または約2.5以下の、または約2.4以下の、または約2.3以下の、または約2.2以下の、または約2.1以下の重量パーセントのクロム(Cr)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の重量の少なくとも約0.01、または少なくとも約0.05、または少なくとも約0.1、または少なくとも約0.2、または少なくとも約0.3、または少なくとも約0.4、または少なくとも約0.5重量パーセントのナトリウム(Na)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の重量の約6.0以下の、または約5.0以下の、または約4.0以下の、または約3.0以下の、または約2.0以下の、または約1.0以下の、または約0.9以下の、または約0.8以下の、または約0.7以下の重量パーセントのナトリウム(Na)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の重量の少なくとも約0.05、または少なくとも約0.1、または少なくとも約0.2、または少なくとも約0.3、または少なくとも約0.4、または少なくとも約0.5重量パーセントのカルシウム(Ca)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の重量の約7.0以下の、または約6.0 1.1以下の、または約5.0以下の、または約4.0以下の、または約3.0以下の、または約2.0以下の、または約1.0以下の、または約0.9以下の重量パーセントのカルシウム(Ca)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の重量の少なくとも約0.01、または少なくとも約0.05、または少なくとも約0.1、または少なくとも約0.2、または少なくとも約0.3、または少なくとも約0.4、または少なくとも約0.5重量パーセントのカリウム(K)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
実施形態1に記載の研磨粒であって、前記研磨粒の重量の約10以下の、または約9.0以下の、または約8.0以下の、または約7.0以下の、または約6.0以下の、または約5.0以下の、または約4.0以下の、または約3.0以下の、または約2.0以下の、または約1.0以下の、または約0.9以下の重量パーセントのカリウム(K)を前記コーティングにおいて含む研磨粒。
Claims (14)
- 本体および該本体を覆うコーティングを備える研磨粒であって、前記コーティングが、ホウケイ酸塩のアモルファス物質および該ホウケイ酸塩のアモルファス物質中に含まれる少なくとも1種のフィラーを有し、
前記コーティングの重量が、前記本体および前記コーティングを有する前記研磨粒の総重量の0.1wt%〜10wt%である、研磨粒。 - 前記少なくとも1種のフィラーが、前記アモルファス物質とは異なる少なくとも1つの相を有する、請求項1に記載の研磨粒。
- 前記本体がアルミナおよびジルコニアを含む、請求項1に記載の研磨粒。
- 前記本体がアルミナおよびジルコニアから構成される、請求項1に記載の研磨粒。
- 前記本体がアルミナから構成される、請求項1に記載の研磨粒。
- 前記本体が、前記本体の総重量の35wt%〜75wt%のアルミナを含む、請求項1に記載の研磨粒。
- 前記本体が、前記本体の総重量の20wt%〜60wt%のジルコニアを含む、請求項1に記載の研磨粒。
- 前記本体が、窒化物、ホウ化物又はそれらの組み合わせを含まない、請求項1に記載の研磨粒。
- 前記本体が、金属、合金又はそれらの組み合わせを含まない、請求項1に記載の研磨粒。
- 前記本体が、5μm〜40000μmの中央粒径(D50)を有する、請求項1に記載の研磨粒。
- 前記コーティングが、前記本体の外面の1%〜99%の面積を覆う、請求項1に記載の研磨粒。
- 前記コーティングが、400℃から700℃以下の範囲の軟化点を有する、請求項1に記載の研磨粒。
- 前記コーティングが、亜鉛、鉄、ナトリウム、カリウム、リチウム、又はそれらの組み合わせを含む、請求項1に記載の研磨粒。
- 固定研磨品を形成する方法であって、
本体を有する粒状物質、コーティング前駆体物質、および少なくとも1種のフィラーを含む混合物を作製するステップと、
前記混合物から被覆粒状物質を形成するステップであって、該被覆粒状物質は、前記本体を覆うホウケイ酸塩のアモルファス物質およびコーティングに含まれる前記少なくとも1種のフィラーを含む前記コーティングを有する、前記混合物から被覆粒状物質を形成するステップと、を含み、
前記コーティングの重量が、前記本体および前記コーティングを有する前記被覆粒状物質の総重量の0.1wt%〜10wt%である、方法。
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