JP6950102B2 - 成膜装置 - Google Patents
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- H05K3/34—Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by soldering
Description
例えば、成膜トレイ10をスライドさせることによって、成膜トレイ10とスキージ30を相対的に動かしてもよい。また、成膜トレイ10及びスキージ30の双方をスライドさせることによって、成膜トレイ10とスキージ30を相対的に動かしてもよい。
10 成膜トレイ
12 供給面
14 第1凹部
16 第1開口部
30 スキージ
32 下面
34 第2凹部
36 第2開口部
40 供給口部
42 栓部
50 スライド機構
52 制御装置
54 導電性ペースト
Claims (2)
- 導電性ペーストが載せられる供給面を有する成膜トレイと、
前記成膜トレイの前記供給面に押し付けられる下面を有するスキージと、
前記成膜トレイに設けられ、前記成膜トレイの前記供給面に形成された第1開口部を有し、前記スキージの前記下面で掻き出された導電性ペーストが前記第1開口部を通って入れられるように構成された第1凹部と、
前記スキージに設けられ、前記スキージの前記下面に形成された第2開口部を有し、前記スキージの前記第2開口部は、前記成膜トレイの前記第1開口部よりも大きく、前記成膜トレイの前記供給面上の導電性ペーストが前記第2開口部を介して収められるように構成された第2凹部と、
前記成膜トレイと前記スキージを相対的に動かす駆動部と、
前記駆動部を制御し、前記成膜トレイの前記第1開口部の全域が前記スキージの前記第2開口部と重なるように、前記成膜トレイ又は前記スキージを停止させる制御部と
を備える成膜装置。 - 前記スキージに形成され、前記第2凹部に連通する供給口部と、
前記供給口部に着脱自在な栓部とを備える請求項1に記載の成膜装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2018/038808 WO2020079797A1 (ja) | 2018-10-18 | 2018-10-18 | 成膜装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020079797A1 JPWO2020079797A1 (ja) | 2021-04-01 |
JP6950102B2 true JP6950102B2 (ja) | 2021-10-13 |
Family
ID=70282927
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020551666A Active JP6950102B2 (ja) | 2018-10-18 | 2018-10-18 | 成膜装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6950102B2 (ja) |
CN (1) | CN112739539B (ja) |
WO (1) | WO2020079797A1 (ja) |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1024551A (ja) * | 1996-07-12 | 1998-01-27 | Saitama Nippon Denki Kk | はんだペーストのスキージ |
JP3565028B2 (ja) * | 1998-07-16 | 2004-09-15 | 松下電器産業株式会社 | 転写用の金属ペーストおよびバンプ形成方法 |
JP2001171090A (ja) * | 1999-12-15 | 2001-06-26 | Kyocera Corp | スクリーン製版のクリーニング装置 |
JP2001257457A (ja) * | 2000-01-07 | 2001-09-21 | Seiko Instruments Inc | 電子部品、回路基板または半導体デバイスへの導電材料供給方法 |
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JP4080148B2 (ja) * | 2000-07-11 | 2008-04-23 | 松下電器産業株式会社 | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷装置用のペースト貯溜容器 |
JP2003072024A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-03-12 | Tenryu Seiki Kk | スキージユニット及びクリームはんだ印刷機 |
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JP5251699B2 (ja) * | 2009-04-23 | 2013-07-31 | 株式会社日立プラントテクノロジー | ハンダボール印刷装置およびハンダボール印刷方法 |
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JP6324772B2 (ja) * | 2014-03-14 | 2018-05-16 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | ダイボンダ用ディッピング機構及びフリップチップボンダ |
JP6340589B2 (ja) * | 2014-05-26 | 2018-06-13 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | スクリーン印刷装置 |
TWI558574B (zh) * | 2014-12-05 | 2016-11-21 | Metal Ind Res & Dev Ct | Slit Scraper Structure |
JP6895895B2 (ja) * | 2015-11-26 | 2021-06-30 | 株式会社Fuji | はんだ印刷機およびはんだ印刷機の制御方法 |
EP3415259B1 (en) * | 2016-02-08 | 2023-07-26 | Fuji Corporation | Viscous fluid supply device |
-
2018
- 2018-10-18 JP JP2020551666A patent/JP6950102B2/ja active Active
- 2018-10-18 WO PCT/JP2018/038808 patent/WO2020079797A1/ja active Application Filing
- 2018-10-18 CN CN201880097869.9A patent/CN112739539B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN112739539A (zh) | 2021-04-30 |
CN112739539B (zh) | 2022-05-13 |
JPWO2020079797A1 (ja) | 2021-04-01 |
WO2020079797A1 (ja) | 2020-04-23 |
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