JP6934153B2

JP6934153B2 - 基板ケース検査装置及び基板ケース検査方法

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Publication number: JP6934153B2
Application number: JP2016182592A
Authority: JP
Inventors: 俊也坂下
Original assignee: Hugle Development Co Ltd
Current assignee: Hugle Development Co Ltd
Priority date: 2016-09-20
Filing date: 2016-09-20
Publication date: 2021-09-15
Anticipated expiration: 2036-09-20
Also published as: JP2018049860A

Description

本発明は、基板収容可能な基板ケース内に基板が残留しているか否かを、当該基板ケースの空の状態での処理に先立って、検査する基板ケース検査装置及び基板ケース検査方法に関する。

従来、半導体ウェハ（基板：以下、単にウェハという）を収容するキャリア（基板ケース）の洗浄装置では、キャリアがウェハの無い空の状態で洗浄処理される。このため、洗浄処理前に、セットされるキャリア内にウェハが残留しているか否かが検査され、ウェハが残留していないこと、即ち、空の状態であること、が確認されたキャリアが洗浄槽に投入され、その洗浄槽内で当該キャリアの洗浄が行われる。このキャリア内にウェハが残留しているか否かの検査は、例えば、発光部と受光部とから構成される光センサ（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）を用いて行われる。

例えば、図８に示すように、キャリア１００（ＦＯＵＰ）は、キャリア本体１１０の前面全体が開口しており、その開口部１１１に蓋体１２０が嵌め込まれてロックされることにより、キャリア本体１１０が閉鎖状態になる構造となっている。このような構造のキャリア１００では、キャリア本体１１０の両側壁内面に対となる多段の棚１１２（後述する図９参照）が形成されており、その各棚１１２対にウェハＷｆの縁部分が支持される。そして、蓋体１２０の内面にも前記両側壁内面の各棚１１２対に対応するように多段の棚１２１（後述する図９参照）が形成され、蓋体１２０がキャリア本体１１０に嵌め込まれた状態で、各ウェハＷｆの開口部１１１側の縁部分が蓋体１２０の対応する棚１２１に支持される。このように、蓋体１２０のキャリア本体１１０への嵌め込みによって閉鎖状態となったキャリア１００内に複数のウェハＷｆが収納される。

上述したような構造のキャリア１００を洗浄する洗浄装置では、例えば、図９に示すように、発光部１３０ａと受光部１３０ｂとから構成される光センサを用いて、キャリア１００内にウェハＷｆが残留しているか否かを検査することが考えられる。この場合、発光部１３０ａと受光部１３０ｂとが、それぞれの光軸を一致させた状態で、キャリア本体１１０の前方部分（開口部１１が形成された側の部分）を挟むように配置される。そして、発光部１３０ａと受光部１３０ｂとの光軸がキャリア本体１２０によって遮られないように、キャリア本体１１０を持ち上げて蓋体１２０とキャリア本体１１０とを分離させた状態で発光部１０ａから光を出射させる。キャリア１００内にウェハＷｆが残留していなければ、発光部１３０ａからの光線は遮られることなく受光部１３０ｂに入射する。一方、キャリア１００内にウェハＷｆが１枚でも残留していると（図９の状態）、キャリア本体１１０を持ち上げた際に、蓋体１２０側にウェハＷｆが残り、発光部１３０ａからの光線はそのウェハＷｆに遮られて受光部１０ｂには発光部１３０ａからの光が入射しない。光の入射の有無に応じて変化する受光部１０ｂの出力信号に基づいて、キャリア１００内にウェハＷｆが残留しているか否かを検査することができる。

特開２００１−０６８５３３号公報特開２００１−０６８５３４号公報

上述したように光センサ（発光部１３０ａ、受光部１３０ｂ）を用いてキャリア１００内にウェハＷｆが残留しているか否かの検査を行う検査装置（基板ケース検査装置）では、キャリア本体１１０と蓋体１２０とを分離させる機構が必要となる等、検査装置の構造が複雑になる。

また、キャリア本体１１０と蓋体１２０とを分離する際に、例えば、図１０に示すように、残留するウェハＷｆがキャリア本体１１０内の棚１１２に引っ掛かってしまうおそれがある。このような場合、キャリア本体１１０を持ち上げた際にそのウェハＷｆがキャリア本体１１０とともに持ち上がってしまい、発光部１３０ａからの光線が前記ウェハＷｆによって遮られなくなってしまう。その結果、キャリア本体１１０内にウェハＷｆが残っているにもかかわらず、受光部１３０ｂには発光部１３０ａからの光線が入射して、受光部１３０ｂからの出力信号は、ウェハＷｆがキャリア１００内に残留していない場合と同じになってしまい、検査結果に誤りが生じてしまう。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、基板ケース内に基板が残留しているか否かを容易に精度良く検査することのできる基板ケース検査装置及び基板ケース検査方法を提供するものである。

本発明に係る基板ケース検査装置は、基板収容可能な基板ケースに基板が残留しているか否かを、当該基板ケースの洗浄処理に先立って、検査する基板検査装置であって、前記基板ケースの重さを検出し、該重さを表す情報を生成する重さ検出部と、該重さ検出部にて得られた情報によって表される重さが予め定めた基準の重さより大きいか否かに基づいて前記基板ケース内に基板が残留しているか否かを判定する基板残留判定手段とを有し、前記基準の重さは、前記基板ケースの基準品の重さに前記基板ケースに収容すべき基板１枚分より小さい所定の重さを加えた重さに設定される、構成となる。

このような構成により、基板ケースの重さが検出されてその重さを表す情報が生成されると、基板ケース内に基板が残っているか否かでその基板ケースの重さが異なることを根拠に、その得られた情報に基づいて当該基板ケース内に基板が残留しているか否かが判定される。特に、基準の重さが前記基板ケースの基準品の重さに前記基板ケースに収容すべき基板１枚分より小さい所定の重さを加えた重さに設定されることにより、検出された重さが基準の重さより大きいと判定されたときに、基板ケース内に基板が残留していると、前記検出された重さが基準の重さより大きくないと判定されたときに、基板ケース内に基板が残留していないと、それぞれ判定することができる。

本発明に係る基板ケース検査装置において、前記重さ検出部は、所定の間隔をもって対向し、前記基板ケースが載置可能に配置された第１ケース支持部及び第２ケース支持部と、前記第１ケース支持部に設けられ、該第１ケース支持部に作用する重さに応じた検出信号を出力する第１重量センサと、前記第２ケース支持部に設けられ、該第２ケース支持部に作用する重さに応じた検出信号を出力する第２重量センサと、前記基板ケースが前記第１ケース支持部及び前記第２ケース支持部に載せられた状態での、前記第１重量センサからの検出信号と前記第２重量センサからの検出信号とに基づいて前記基板ケースの重さを表す情報を生成する重さ情報生成部とを有する構成となる。

このような構成によれば、検査対象となる基板ケースが第１ケース支持部及び第２ケース支持部に載せられると、第１重量センサから出力される検査信号及び第２重量センサから出力される検査信号に基づいて前記基板ケースの重さを表す情報が生成される。そして、その生成された情報に基づいて前記基板ケース内に基板が残留しているか否かが判定される。

本発明に係る基板ケース検査方法は、基板収容可能な基板ケースに基板が残留しているか否かを、当該基板ケースの洗浄処理に先立って、検査する基板ケース検査方法であって、前記基板ケースの重さを検出し、該重さを表す情報を生成する重さ検出ステップと、該重さ検出ステップにより得られた情報によって表される重さが予め定めた基準の重さより大きいか否かに基づいて前記基板ケース内に基板が残留しているか否かを判定する基板残留判定ステップとを有し、前記基準の重さは、前記基板ケースの基準品の重さに前記基板ケースに収容すべき基板１枚分より小さい所定の重さを加えた重さに設定される、構成となる。

本発明に係る基板ケース検査装置及び基板ケース検査方法によれば、基板ケースを分解することなく、基板ケースの重さを検出することにより基板ケース内に基板が残留しているか否かを判定することができるので、基板ケース内に基板が残留しているか否かを容易に検査することができる。また、基板が残留しているか否かによって基板ケースの重さは確実に異なるので、前記検出された基板ケースの重さに基づいて、基板ケース内に基板が残留しているか否かを精度良く検査することができる。

本発明の実施の一形態に係る基板検査装置の機構系の構成を示す斜視図である。本発明の実施の一形態に係る基板検査装置の処理系の基本的な構成を示すブロック図である。図２に示す制御系における制御ユニットにて実行される検査処理の手順の一例を示すフローチャートである。本発明の実施の一形態に係る基板検査装置の機構系の状態例（その１）を示す図である。本発明の実施の一形態に係る基板検査装置の機構系の状態例（その２）を示す図である。本発明の実施の一形態に係る基板検査装置の機構系の状態例（その３）を示す図である。本発明の実施の一形態に係る基板検査装置の機構系の状態例（その４）を示す図である。ウェハを収容するキャリア（ＦＯＵＰ）の一例を示す斜視図である。図８に示すキャリア内にウェハが残留しているか否かを検査する際に用いられる光センサ（発光部、受光部）の配置例を示す図である。図９に示す光センサにより誤った検査結果が得られる例を示す図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。

本発明の実施の一形態に係る基板検査装置の機構系は、図１に示すように構成される。

図１において、キャリアロード部１０と重量検出部２０とが所定の間隔をもって対向配置されている。キャリアロード部１０では、板状のセットテーブル１１が４つの支柱１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄによって水平状態に支持されている。セットテーブル１１は、重量検出部２０に向けて開放する略Ｕ字状の形状となっており、セットテーブル１１のＵ字状の内側線で区画される開口部１１ａが形成されている。

重量検出部２０では、板状の支持プレート２１が４つの支柱２２ａ、２２ｂ、２２ｃ、２２ｄによって水平状態に支持されている。支持プレート２１は、キャリアロード部１０に向けて開放する略コ字状に形成されている。支持プレート２１のキャリアロード部１０に向けて延びる一方の部分に直方体状の第１ケース支持部材２４ａ（第１ケース支持部）が設けられており、支持プレート２１のキャリアロード部１０に向けて延びる他方の部分に直方体状の第２ケース支持部材２４ｂ（第２ケース支持部）が設けられている。第１ケース支持部材２４ａには、当該第１ケース支持部材２４ａの上面（載置面）に作用する重さに応じた検出信号を出力する第１重量センサ５５ａ（図１において図示されておらず）が内蔵されており、第２ケース支持部材２４ｂには、当該第２ケース支持部材２４ｂの上面（載置面）に作用する重さに応じた検出信号を出力する第２重量センサ５５ｂ（図１において図示されておらず）が内蔵されている。

また、支持プレート２１には、第１ケース支持部材２４ａと第２ケース支持部材２４ｂとによって挟まれるように、キャリアロード部１０に向けて開放する略コ字状のカバープレート２３が設けられている。このカバープレート２３は、複数のスペーサによって支持プレート２１上に支持されている。前記複数のスペーサの高さは、カバープレート２３の上面が第１ケース支持部材２４ａ及び第２ケース支持部材２４ｂそれぞれの上面（載置面）より僅かに低くなるように設定されている。支持プレート２１のコ字状の内側線とカバープレート２３のコ字状の内側線とは、上方から見て略合致しており、重量検出部２０において、支持プレート２１及びカバープレート２３のそれぞれのコ字状の内側線で区画された開口部２３ａが形成されている。

なお、キャリアロード部１０のセットテーブル１１の上面（載置面）の高さ位置と、重量検出部２０における第１ケース支持部材２４ａ及び第２ケース支持部材２４ｂそれぞれの上面（載置面）の高さ位置とが略等しくなるように、セットテーブル１１を支持する４つの支柱１２ａ〜１２ｄ及び支持プレート２１を支持する４つの支柱２２ａ〜２２ｄの長さが調整されている。

キャリアロード部１０と重量検出部２０との間において、セットテーブル１１の上面（載置面）及び支持プレート２１の上面（載置面）のそれぞれより下方にレール３３が設置されている。レール３３上には往復動可能に自走式のスライダ３２が設けられている。スライダ３２には、ステージプレート３１ａを上下動させるリフタ３１が設けられており、スライダ３２のレール３３上の往復動により、リフタ３１がキャリアロード部１０と重量検出部２０との間で往復動できるようになっている。

キャリアロード部１０において、略Ｕ字状のセットテーブル１１の重量検出部２０に向けて延びる一方の部分の所定部位に、セットテーブル１１にセットされたキャリア１００を検出するための第１キャリアセンサ５７ａが設けられている。重量検出部２０において、略コ字状のカバープレート２３のキャリアロード部１０に向けて延びる一方の部分の所定部位に、第１ケース支持部材２４ａ及び第２ケース支持部材２４ｂに載せられたキャリア１００を検出するための第２キャリアセンサ５７ｂが設けられている。また、セットテーブル１１、ステージプレート３１ａ、第１ケース支持部材２４ａ及び第２ケース支持部材２４ｂのそれぞれの上面（載置面）には、一又は複数の係合ピンが設けられている。これにより、各係合ピンがキャリア１００の底面に形成された凹部に係合して、セットテーブル１１、ステージプレート３１ａ、第１ケース支持部材２４ａ及び第２ケース支持部材２４ｂのそれぞれでのキャリア１００の載置状態が確実に維持される。

基板検査装置の処理系は、図２に示すように構成される。

図２において、この基板ケース検査装置の処理系では、ＣＰＵ等で構成された制御ユニット５０が、操作部５１での操作に従った各種の処理を実行する。表示部５２は、制御ユニット５０の制御のもと、制御ユニット５０での処理の結果や各種の情報を表示する。記憶部５４は、制御ユニット５０が実行すべきプログラムのほか、制御ユニット５０での処理に必要な情報、制御ユニット５０での処理によって生成された情報等を記憶する。

重量演算回路５６は、第１重量センサ５５ａからの検出信号及び第２重量センサ５５ｂからの検出信号を用いて、所定の処理アルゴリズムに従って、第１ケース支持部材２４ａ及び第２ケース支持部材２４ｂ（図１参照）に載せられたキャリア１００の重さを演算し、その重さを表す情報を出力する（重さ情報生成部：重さ検出部）。制御ユニット５０は、第１キャリアセンサ５７ａからの検出信号に基づいて得られるセットテーブル１１にキャリア１００がセットされたか否かを表す情報、第２キャリアセンサ５７ｂからの検出信号に基づいて得られる第１ケース支持部材２４ａ及び第２ケース支持部材２４ｂにキャリア１００が載せられたか否かを表す情報を用い、所定のシーケンスに従って、リフタ３１及びスライダ３２のそれぞれの駆動系（例えば、モータを含む）の制御処理を行なう。また、重量演算回路５６からのキャリア１００の重さを表す情報に基づいて当該キャリア１００にウェハが残留しているか否かの判定処理を行なう（基板残留判定手段）。

例えば、キャリア１００の洗浄処理に先立って、制御ユニット５０は、図３に示す手順に従って、その洗浄処理の対象となるキャリア１００にウェハ（基板）が残っているか否かの検査を行う。なお、検査対象となるキャリア１００の構造は、図８に示すもの（ＦＯＵＰ）と同じであり、キャリア本体１１０に蓋体１２０が嵌め込まれた状態で当該検査に供される。

図３において、操作部５１でのスタート操作がなされると、制御ユニット５０は、所定の終了条件が満たされていないことを確認しつつ（Ｓ１２でＮＯ）、第１キャリアセンサ５７ａからの検出信号に基づいて、キャリア１００がキャリアロード部１０のセットテーブル１１上にセットされたか否か（Ｓ１１）を繰返し判定する。なお、例えば、所定時間セットテーブル１１上にキャリア１００がセットされない、及び操作部５１において終了操作がなされた等の条件を、前記終了条件として定めることができる。

このような処理の過程で、図４に示すように、キャリア１００がセットテーブル１１にセットされると、制御ユニット５０は、第１キャリアセンサ５７ａからの検出信号に基づいて、キャリア１００がセットテーブル１１にセットされたと判定し（Ｓ１１でＹＥＳ）、リフタ３１を駆動させてステージプレート３１ａを上昇させる（Ｓ１３）。これにより、ステージプレート３１ａが、上昇してセットテーブル１１の開口部１１ａから突出し、キャリア１００の底面に当たって、図５に示すように、キャリア１００を載せたまま上昇する。キャリア１００が所定の高さに至ると、制御ユニット５０は、リフタ３１の駆動を停止させてステージプレート３１ａの上昇を停止させる。

この状態で、制御ユニット５０は、スライダ３２が重量検出部２０の判定位置に達していないことを確認しつつ（Ｓ１５でＮＯ）、スライダ３２をキャリアロード部１０から重量検出部２０に向けて移動させる（Ｓ１４）。これにより、レール３３上を移動するスライダ３２とともに、リフタ３１によって上昇されたステージプレート３１ａ上に載ったキャリア１００がキャリアロード部１０から重量検出部２０に向けて移動する。そして、図６に示すように、スライダ３２が重量検出部２０における判定位置に達すると（Ｓ１５でＹＥＳ）、制御ユニット５０は、スライダ３２の移動を停止させる（Ｓ１６）。

その後、制御ユニット５０は、リフタ３１を駆動させてステージプレート３１ａを下降させる（Ｓ１７）。リフタ３１によって下降するステージプレート３１ａが、支持プレート２１及びカバーレート２３の開口部２３ａを通して、第１ケース支持部材２４ａ及び第２ケース支持部材２４ｂの上面（載置面）より更に下降すると、図７に示すように、ステージプレート３１ａに載ったキャリア１００の底面が第１ケース支持部材２４ａ及び第２ケース支持部材２４ｂの上面に当接して、キャリア１００が第１ケース支持部材２４ａ及び第２ケース支持部材２４ｂの上面（載置面）に載る。そして、更に下降するステージプレート３１ａがキャリア１００から分離する。制御ユニット５０は、第２キャリアセンサ５７ｂからの検出信号に基づいてキャリア１００が第１ケース支持部材２４ａ及び第２ケース支持部材２４ｂの上面に載ったと判定すると、リフタ３１の駆動を停止させ、ステージプレート３１ａの下降が停止する。

この状態で、制御ユニット５０の制御のもと、重量演算回路５６（重さ情報生成部）は、第１ケース支持部材２４ａに内蔵された第１重量センサ５５ａからの検出信号と第２ケース支持部材２４ｂに内蔵された第２重量背センサ５５ｂからの検出信号に基づいてキャリア１００の重さを表す重量検出値ｗs（重さを表す情報）を算出する。そして、制御ユニット５０は、この重量検出値ｗsを取得する（Ｓ１８：重さ検出ステップ）。制御ユニット５０は、キャリア１００の重さを表す情報である重量検出値ｗsを取得すると、この重量検出値ｗsが基準値ｗoより大きいか否かを判定する（Ｓ１９：基板残留判定手段（重さ判定手段）・基板残留判定ステップ）。なお、前記基準値ｗoは、例えば、基準品として決められたキャリアの重さにウェハ１枚分の重量より僅かに小さい重さを加えた重さに決められる。

ここで、前記重量検出値ｗsが基準値ｗoより大きくなければ（Ｓ１９でＮＯ）、キャリア１００内に１枚のウェハも残留していないとして、正常判定の結果を表示部５２に表示させるとともに、当該キャリア１００を特定する識別情報に対応させて正常判定の結果を記憶部５４に記憶させる（Ｓ２０）。そして、制御ユニット５０は、その正常判定されたキャリア１００を次工程、例えば、洗浄装置における初期工程に移送させるように移送ロボット（図示されず）を制御する。

一方、前記重量検出値ｗsが基準値ｗoより大きければ（Ｓ１９でＹＥＳ）、キャリア１００内に１枚以上のウェハが残留しているとして、異常判定の結果を表示部５２に表示させるとともに、当該キャリア１００を特定する識別情報に対応させて異常判定の結果を記憶部５４に記憶させる（Ｓ２２）。そして、制御ユニット５０は、その異常判定されたキャリア１００を洗浄装置の初期工程に移送させることなく、重量検出部２０から排出経路に排出させるように排出ロボット（図示されず）を制御する。

制御ユニット５０は、キャリア１００がキャリアロード部１０のセットテーブル１１にセットされることを確認する毎（Ｓ１２でＮＯ，Ｓ１１でＹＥＳ）に、上述した手順（Ｓ１３〜Ｓ２３）に従って処理を実行する。その過程で、終了条件が満たされると（Ｓ１２でＹＥＳ）、例えば、検査済みのキャリア１００を洗浄装置の初期工程に移送させてから、または、検査済みのキャリア１００を重量検出部２０から排出経路に排出させてから、所定時間が経過してもキャリアロード部１０のセットテーブル１１にキャリア１００がセットされないとき、あるいは、操作部５１にて終了操作がなされたときに、制御ユニット５０は、前述した検査処理を終了する。

上述したような基板ケース検査装置によれば、キャリア１００のキャリア本体１１０と蓋体１２０とを分離することなく、キャリア１００の重さを検出することによりキャリア１００内にウェハ（基板）が残留しているか否かを判定することができるので、キャリア１００内にウェハが残留しているか否かを容易に検査することができる。また、ウェハが残留しているか否かによってキャリア１００の重さは確実に異なるので、前記検出されたキャリア１００の重さに基づいて、キャリア１００内にウェハが残留しているか否かを精度良く検査することができる。

また、前述したようにキャリア１００のキャリア本体１１０と蓋体１２０とを分離することなく、キャリア１００内にウェハ（基板）が残留しているか否かを判定することができるので、キャリア１００内にウェハが残留していると判定されたキャリア１００において、蓋体１２０とキャリア本体１１０とを再度結合させる必要がない。このため、例えば、蓋体１２０とキャリア本体１１０との分離、再結合を自動化した場合、蓋体１２０とキャリア本体１１０を分離した際にどのような状態になっているか不明なウェハ（例えば、図１０参照）を、蓋体１２０とキャリア本体１１０との再度の結合によって、破損してしまうことがない。

なお、前述した実施の形態では、第１重量センサ５５ａ及び第２重量センサ５５ｂの２つの重量センサを用いてキャリア１００（基板ケース）の重さを検出したが、キャリア１００の重さ検出の仕組みはこれに限られず、単一の重量センサ、あるいは、３個以上の重量センサを用いる等、他の仕組みによって検出するようにしてもよい。

また、前述した実施の形態では、その検査対象のキャリア（基板ケース）は、洗浄処理されるべきキャリア１００であったが、これに限られず、空の状態で処理されるべきキャリア１００であればよい。

更に、前述した実施の形態では、検査対象のキャリア（基板ケース）は、例えば、図８に示すようなＦＯＵＰタイプのケースであったが、これに限定されず、１枚以上の基板を収容できるものであればよい。

以上、本発明のいくつかの実施形態及び各部の変形例を説明したが、この実施形態や各部の変形例は、一例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。上述したこれら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明に含まれる。

本発明に係る基板検査装置及び基板検査方法は、基板ケース内に基板が残留しているか否かを容易に精度良く検査することができるという効果を有し、空の状態にして処理すべき基板収容可能な基板ケース内に基板が残留しているか否かを検査する基板ケース検査装置及び基板ケース検査方法として有用である。

１０キャリアロード部
１１セットテーブル
１１ａ開口部
１２ａ〜１２ｄ支柱
２０重量検出部
２１支持プレート
２２ａ〜２２ｄ支柱
２３カバープレート
２３ａ開口部
２４ａ第１ケース支持部材
２４ｂ第２ケース支持部材
３１リフタ
３１ａステージプレート
３２スライダ
３３レール
５０制御ユニット
５１操作部
５２表示部
５３駆動系
５４記憶部
５５ａ第１重量センサ
５５ｂ第２重量センサ
５６重量演算回路
５７ａ第１キャリアセンサ
５７ｂ第２キャリアセンサ
１００キャリア

Claims

基板収容可能な基板ケースに基板が残留しているか否かを、当該基板ケースの洗浄処理に先立って、検査する基板検査装置であって、
前記基板ケースの重さを検出し、該重さを表す情報を生成する重さ検出部と、
該重さ検出部にて得られた情報によって表される重さが予め定めた基準の重さより大きいか否かに基づいて前記基板ケース内に基板が残留しているか否かを判定する基板残留判定手段とを有し、
前記基準の重さは、前記基板ケースの基準品の重さに前記基板ケースに収容すべき基板１枚分より小さい所定の重さを加えた重さに設定される、基板ケース検査装置。
前記重さ検出部は、所定の間隔をもって対向し、前記基板ケースが支持可能に配置された第１ケース支持部及び第２ケース支持部と、
前記第１ケース支持部に設けられ、該第１ケース支持部に作用する重さに応じた検出信号を出力する第１重量センサと、
前記第２ケース支持部に設けられ、該第２ケース支持部に作用する重さに応じた検出信号を出力する第２重量センサと、
前記基板ケースが前記第１ケース支持部及び前記第２ケース支持部に載せられた状態での、前記第１重量センサからの検出信号と前記第２重量センサからの検出信号とに基づいて前記基板ケースの重さを表す情報を生成する重さ情報生成部と、
前記基板ケースが前記第１ケース支持部及び前記第２ケース支持部に載せられたことを検出するキャリアセンサとを有する請求項１記載の基板ケース検査装置。
基板収容可能な基板ケースに基板が残留しているか否かを、当該基板ケース洗浄処理に先立って、検査する基板ケース検査方法であって、
前記基板ケースの重さを検出し、該重さを表す情報を生成する重さ検出ステップと、
該重さ検出ステップにより得られた情報によって表される重さが予め定めた基準の重さより大きいか否かに基づいて前記基板ケース内に基板が残留しているか否かを判定する基板残留判定ステップとを有し、
前記基準の重さは、前記基板ケースの基準品の重さに前記基板ケースに収容すべき基板１枚分より小さい所定の重さを加えた重さに設定される、基板ケース検査方法。