JP6927964B2 - 脱酸素剤 - Google Patents
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Description
酸素含有化合物としては、例えばアセトアルデヒド、プロピオンアルデヒド、n−ブチルアルデヒド及びi−ブチルアルデヒド等のアルデヒド類、i−ブタノール等のアルコール類、酢酸エチル等のエステル類、メチルイソブチルケトン及びジアセチル等のケトン類、プロピオン酸、n−酪酸、n−吉草酸及びi−吉草酸等の有機カルボン酸類などが挙げられる。
窒素含有化合物としては、例えばアンモニア及びトリメチルアミンなどのアミン類が挙げられる。
硫黄含有化合物としては、例えばメチルメルカプタン、硫化水素、硫化メチル及び二硫化メチルなどが挙げられる。
炭化水素としては、例えばトルエン、スチレン及びキシレンなどの芳香族類が挙げられる。
(1)酸素欠損を有しない酸化セリウムの合成
炭酸セリウム100gを加熱炉内に静置し、空気を流通させながら加熱して焼成を行った。加熱は、室温から開始し、10℃/分の昇温速度で加熱を行い、500℃に到達したのち、この温度を20時間保持した。その後、自然放冷した。空気の流通量は1000SCCMとした。このようにして酸素欠損を有しない酸化セリウムの多孔質体を得た。XRDによる測定で、この酸化セリウムはCeO2で表され、蛍石型の結晶構造であることが確認された。この酸化セリウムをボールミルで粉砕処理した。この酸化セリウムの粒径D50は20μmであった。
無機酸化物として公称粒径10〜15nmのコロイダルシリカを用いた。酸化セリウム粉末100部に対して、日産化学工業株式会社製コロイダルシリカゾル「スノーテックス」型式ST−O)をSiO2換算で7.5部となるよう計量し、また、酸化セリウム粉末とスノーテックス中のSiO2成分の合計、即ち、固形分の質量が、混合溶液100部に対して40部となるよう、純水を調整し、酸化セリウム粉末、スノーテックス、純水を混合した後、1時間以上撹拌した。この分散液の固形分が沈殿を起こさないように撹拌させながら、ヤマト科学株式会社製スプレードライヤー(型式GB210)にて噴霧乾燥処理を実施した。この際、熱風の制御は入口温度170℃に制御し、風量は0.75m3/min程度とした。スプレードライヤーの噴霧方法は2流体ノズル方式を採用し、1つ目の流体として、分散液を10mL/minの処理量でノズルに送り、2つ目の流体として圧縮空気を0.2MPaの圧力でノズルへ送った。噴霧乾燥後の粉末を回収し、1000℃で2時間焼成を施して、SiO2表面処理した酸化セリウム粉末を得た。
前項(2)で得られた酸化セリウム(50g)を加熱炉内に静置し、100%の水素ガスを流通させながら加熱して還元を行った。加熱は、室温から開始し、10℃/分の昇温速度で加熱を行い、1000℃に到達したのち、この温度を1時間保持した。その後、自然放冷した。水素ガスの流通量は1000SCCMとした。このようにして、可逆的な酸素欠損を有する酸化セリウムを得た。XRDによる測定の結果、この酸化セリウムは蛍石型の結晶構造であることが確認された。この酸化セリウムにおける粒径D50は20μmであった。元素分析の結果、この酸化セリウムはCeO1.75で表されるものであった。得られた無機酸化物被覆酸化セリウムの元素マッピングの結果を図4に示す。同図の観察倍率は6000倍であり、同図中「Grey」は粒子のSEM像を示し、「SiK」はSi元素の存在マッピング結果を示し、「CeL」はCe元素の存在マッピング結果を示す。元素マッピングは、日本電子株式会社(JEOL)製FE−SEM「JSM−7001F」に、EDX検出器としてオックスフォード・インストゥルメンツ株式会社EDX「INCA PentaFETx3」が搭載されているものを使用した。同図に示す結果から明らかなとおり、SiO2は酸化セリウムの粒子の表面を巨視的に見れば満遍なく被覆していることが判る。
樹脂組成物の製造には、混練機システムを用いた。この混練機システムは、上流から下流に向かって順に、定量フィーダー2種(酸化セリウム用及び樹脂用)、混練機「浅田鉄工株式会社製一軸混練押出機(ミラクルKCK型式L)」、槽、巻取機、カッター、回収容器が配置されているものである。すべての装置は、窒素ガスをはじめとする不活性ガスを流通・パージ可能な構造となっている。
混練機は、投入原料を混練機内へ送り込むフィード部、せん断応力を掛け原料を練る混練部、脱泡を行うベント部、スクリューで吐出させるメータリング部、吐出口を持つダイス部から構成される。
すなわち、先ずすべての装置へ酸素濃度が0%となるまで窒素ガスを流通させた。前項(3)で得られた無機酸化物被覆酸化セリウムと住友化学株式会社製低密度ポリエチレン(エクセレンFX402、MFR8.0g/10min)とをそれぞれ別のフィーダーへ充填し、無機酸化物被覆酸化セリウム60部に対し、低密度ポリエチレン樹脂が40部の比率にてそれぞれ3.0kg/h、2.0kg/hとなるように混練機へ定量的に投入した。次に、混練機のフィード部を50℃、混練部を125℃、ベント部を130℃、メータリング部を135℃、ダイス部を140℃に加熱し、主軸の回転数を50rpmに設定し混練した。ダイス部の穴径は5mmφを使用した。ダイス部から吐出する樹脂組成物をチラーによって10℃に冷却された冷却水槽内を通過させ、その後、巻取機及びカッターへと通した。巻取機の巻取速度及びカッターの刃の回転数を調節し、樹脂組成物を直径約6mm、長さ約6mmの円柱状に加工してなるマスターバッチを得、これを回収容器に回収した。
得られたマスターバッチについて水素ガスの発生量及び酸素吸収量を測定した。結果を以下の表1に示す。測定は以下の方法で行った。
不活性ガス雰囲気としたグローブボックス内で、アズワン株式会社製「テドラーバッグ」のサンプリングコックを取付けたA4サイズのアルミニウムラミネートバッグへ、50gのマスターバッチを投入し、開口部を熱シーラーで密封した。次いでサンプリングコックを介して、1000mLの窒素ガスをバッグ内に封入した。バッグをグローブボックスから取り出し、エスペック社製高温恒湿槽「SH−222」内で静置し、85℃で24時間保管した。この後、バッグ内へ1000mLの乾燥空気を追加し、すぐさま、光明理化学工業株式会社製北川式水素検知管「137U」を用いて水素ガスの濃度を計測した。参考のため一部の試験では、96時間経過後に再度水素ガスの濃度を計測した。なお、乾燥空気を追加した理由は、前記検知管がH2+O2→H2Oの反応で呈色させる原理のためである。
不活性ガス雰囲気としたグローブボックス内で、無機酸化物被覆酸化セリウム又は可逆的な酸素欠損を有する酸化セリウム2gを分取し、透気抵抗度10万秒である包装体へ内包した。これとは別に、無機酸化物被覆酸化セリウム又は可逆的な酸素欠損を有する酸化セリウムを内包しない同一材質・同一サイズで同一の透気抵抗度を有する包装体を用意した。無機酸化物被覆酸化セリウム又は可逆的な酸素欠損を有する酸化セリウムを内包した包装体を大気(25℃、1気圧)に曝露させ、24時間後に精密電子天秤(小数点以下4桁以上)にて質量を測定した。なお、包装体自身に吸着される水分に起因する質量増加を補正するため、無機酸化物被覆酸化セリウム又は可逆的な酸素欠損を有する酸化セリウムを内包していない包装体の質量も同時に測定し、その質量を、無機酸化物被覆酸化セリウム又は可逆的な酸素欠損を有する酸化セリウムを内包した包装体の質量から減じた。酸素の吸収量は、測定重量の増加を酸素重量として、気体の状態方程式を用いて算出した。
実施例1の工程(2)におけるコロイダルシリカの使用量を変更して、酸化セリウム100部に対するSiO2の量を表1に示すとおりとした。これ以外は実施例1と同様にして、マスターバッチを得た。得られたマスターバッチについて実施例1と同様の測定を行った。その結果を表1に示す。
本実施例は、実施例1の工程(2)において採用した噴霧乾燥処理に代えて、別の方法で酸化セリウムの粒子の表面にコロイダルシリカを付着させた例である。詳細には、以下のとおりである。
実施例1の工程(1)で得られた酸化セリウム粉末100部に対して、日産化学工業株式会社製コロイダルシリカゾル「スノーテックス」(型式ST−O)をSiO2換算で7.5部となるよう計量した。次に、酸化セリウム粉末の吸液量となるまでコロイダルシリカゾルを純水で希釈した。吸液量とは、コロイダルシリカゾルの純水希釈液を酸化セリウム粉末に吸水させていき、上澄みが出始めるまでの量である。
容器内へ移した酸化セリウム粉末へ吸液量まで希釈されたコロイダルシリカゾルを薬匙で撹拌しながら投入していき、投入後、120℃のボックス型乾燥機で12時間乾燥させて固体を得た。この固体を、グローエンジニアリング株式会社製「マルチミル(RD1−15 グラインダータイプ)」で解砕した。解砕条件は、グラインダー間ギャップ50μm、回転数1700rpmとした。
その後は実施例1と同様にして、マスターバッチを得た。得られたマスターバッチについて実施例1と同様の測定を行った。その結果を表2に示す。表2には、比較のため、実施例1及び比較例1の測定結果も併せて記載されている。
また、得られた無機酸化物被覆酸化セリウムの元素マッピングの結果を図5に示す。元素マッピングは実施例1と同様に行った。観察倍率は6000倍であり、図中「Grey」は粒子のSEM像を示し、「SiK」はSi元素の存在マッピング結果を示し、「CeL」はCe元素の存在マッピング結果を示す。
また、図5に示す結果から明らかなとおり、SiO2は酸化セリウムの粒子の表面を巨視的に見れば満遍なく被覆していることが判る。
本実施例は、実施例1で用いたコロイダルシリカに代えて、無機酸化物として公称粒径7〜15nmのアルミナを用いた例である。
酸化セリウム粉末100部に対して、日産化学工業株式会社製コロイダルアルミナゾル(型式AS−200)をAl2O3換算で7.5部となるよう計量した。次に、酸化セリウム粉末の吸液量となるまでコロイダルアルミナゾルを純水で希釈した。
容器内へ移した酸化セリウム粉末へ吸液量まで希釈されたコロイダルアルミナゾルを薬匙で撹拌しながら投入していき、投入後、120℃のボックス型乾燥機で12時間乾燥させて固体を得た。この固体を、グローエンジニアリング株式会社製「マルチミル(RD1−15 グラインダータイプ)」で解砕した。解砕条件は、グラインダー間ギャップ50μm、回転数1700rpmとした。
その後は実施例1と同様にして、マスターバッチを得た。得られたマスターバッチについて実施例1と同様の測定を行った。その結果を表3に示す。
本実施例は、実施例6において、酸化セリウムの粒子の表面にアルミナを直接付着させたことに代えて、アルミナの前駆体であるベーマイトを付着させ、それをアルミナに変換した例である。
酸化セリウム粉末100部に対して、日産化学工業株式会社製ベーマイトゾル(型式AS−520)をAl2O3換算で7.5部となるよう計量した。これ以外は実施例6と同様にして、マスターバッチを得た。得られたマスターバッチについて実施例1と同様の測定を行った。その結果を表3に示す。
実施例6におけるコロイダルアルミナの使用量を変更して、酸化セリウム100部に対するAl2O3の量を表4に示すとおりとした。これ以外は実施例6と同様にして、マスターバッチを得た。得られたマスターバッチについて実施例1と同様の測定を行った。その結果を表4に示す。表4には、比較のため、実施例6及び比較例1の測定結果も併せて記載されている。
本実施例は、実施例5において用いた酸化セリウムの粒子の粒径を変更したものである。
実施例12においては、実施例5において用いた酸化セリウムの粒子を、ホソカワミクロン株式会社製ピンミル(コロプレックス160Z)を用い、回転周波数30Hzで2パス通して粉砕した。粉砕後の粒径D50は表5に示すとおりとした。
実施例13においては、実施例5において用いた酸化セリウムの粒子を、ホソカワミクロン株式会社製ピンミル(コロプレックス160Z)を用い、回転周波数20Hzで1パス通して粉砕した。粉砕後の粒径D50は表5に示すとおりとした。
これ以外は実施例5と同様にして、マスターバッチを得た。得られたマスターバッチについて実施例1と同様の測定を行った。その結果を表5に示す。表5には、比較のため、実施例5及び比較例1の測定結果も併せて記載されている。
本比較例は、実施例1において用いた酸化セリウムの粒子の粒径を変更したものである。
比較例2においては、比較例1において用いた酸化セリウムの粒子を、ホソカワミクロン株式会社製ピンミル(コロプレックス160Z)を用い、回転周波数30Hzで2パス通して粉砕した。粉砕後の粒径D50は表5に示すとおりとした。
比較例3においては、比較例1において用いた酸化セリウムの粒子を、ホソカワミクロン株式会社製ピンミル(コロプレックス160Z)を用い、回転周波数20Hzで1パス通して粉砕した。粉砕後の粒径D50は表5に示すとおりとした。
これ以外は比較例1と同様にして、マスターバッチを得た。得られたマスターバッチについて実施例1と同様の測定を行った。その結果を表5に示す。
本実施例は、実施例5において、無機酸化物被覆酸化セリウムと低密度ポリエチレンとの配合比を変更して、表6に示す値としたものである。これ以外は実施例5と同様にして、マスターバッチを得た。得られたマスターバッチについて実施例1と同様の測定を行った。その結果を表6に示す。表6には、比較のため、実施例5及び比較例1の測定結果も併せて記載されている。
本比較例は、比較例1において、無機酸化物被覆酸化セリウムと低密度ポリエチレンとの配合比を変更して、表6に示す値としたものである。これ以外は比較例1と同様にして、マスターバッチを得た。得られたマスターバッチについて実施例1と同様の測定を行った。その結果を表6に示す。
本実施例は、実施例5において用いた樹脂である低密度ポリエチレンに代えて、表7に示す樹脂を用いた例である。これ以外は実施例5と同様にして、マスターバッチを得た。得られたマスターバッチについて実施例1と同様の測定を行った。その結果を表7に示す。表7には、比較のため、実施例5及び比較例1の測定結果も併せて記載されている。
本比較例は、比較例1において用いた樹脂である低密度ポリエチレンに代えて、表7に示す樹脂を用いた例である。これ以外は比較例1と同様にして、マスターバッチを得た。得られたマスターバッチについて実施例1と同様の測定を行った。その結果を表7に示す。
本実施例は、実施例5において用いた樹脂である低密度ポリエチレンに代えて、表8に示す樹脂を用いた例である。同表に示す樹脂は、酸素欠損を有する酸化セリウムと併用することがこれまでできなかった樹脂である含酸素樹脂である。グローブボックス内の窒素雰囲気下において、この樹脂と実施例1の(3)で得られた、SiO2を7.5%被覆した酸素欠損を有する酸化セリウム(CeO1.75)とをそれぞれ50部で計量し、ホットプレート(設定温度250℃)上で手作業にて混練し、煙発生の有無及びガス発生の有無を目視で観察した。その結果を表8に示す。なお、酸素欠損を有する酸化セリウムと樹脂との混練に際して、本試験では、安全上の観点から、実施例1(4)のように混練押出機を用いずに、グローブボックス内の窒素雰囲気下にて小スケールで混練し、目視で優劣を確認する方法を採用した。
本比較例は、実施例19及び20において用いたSiO2表面被覆酸化セリウムに代えて、何の表面被覆も施していない酸素欠損を有する酸化セリウム(CeO1.75)を用いた例である。得られた混練物について実施例19及び20と同様の観察を行った。その結果を表8に示す。
本実施例は、実施例1において用いた低密度ポリエチレンに代えて、熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂を用いた例である。エポキシ樹脂は、表9に示す成分を用いて硬化させた。無機酸化物被覆酸化セリウムとエポキシ樹脂との混合は以下の操作に従い行った。グローブボックス内の窒素雰囲気下において、このエポキシ樹脂と実施例1の(3)で得られたSiO2を7.5%被覆した酸素欠損を有する酸化セリウム(CeO1.75)とをそれぞれ50質で計量し、手作業にて混練し、ホットプレート(設定温度250℃)上で硬化を試みた。この硬化中におけるガス発生の有無を目視で観察した。その結果を表9に示す。
本比較例は、比較例1において用いた低密度ポリエチレンに代えて、熱硬化性樹脂であるエポキシ樹脂を用いた例である。エポキシ樹脂は、表9に示す成分を用いて硬化させた。無機酸化物被覆酸化セリウムとエポキシ樹脂との混合は実施例21と同様に行った。このようにして得られた樹脂組成物について、混合中におけるガス発生の有無を目視で観察した。その結果を表9に示す。
Claims (10)
- CeOx(xは2未満の正数を表す。)で表される可逆的な酸素欠損を有する蛍石型の酸化セリウムの粒子を含み、該粒子の表面が無機酸化物で覆われている脱酸素剤であって、
前記蛍石型の酸化セリウムの粒子は、−50℃から130℃の温度で酸素吸収能を有し、
前記無機酸化物がSiO 2 、Al 2 O 3 、SiとCeとの複合酸化物及びAlとCeとの複合酸化物から選択される少なくとも一種であり、
前記蛍石型の酸化セリウムの粒子100質量部に対して、前記無機酸化物を3質量部以上50質量部以下含む、脱酸素剤。 - 請求項1に記載の脱酸素剤と、熱可塑性樹脂又は熱硬化性樹脂とを含み、
前記熱可塑性樹脂がポリエチレン、ポリプロピレン、エチレンビニルアルコール共重合体又はナイロン6であり、
前記熱硬化性樹脂がエポキシ樹脂であり、
前記脱酸素剤と、前記熱可塑性樹脂又は前記熱硬化性樹脂との配合比が質量比で表して前者:後者=10:90〜80:20である、脱酸素樹脂組成物。 - 前記脱酸素樹脂組成物が前記熱可塑性樹脂を含み、
ペレット、ストランド、フィルム、又はカップの形状を有する請求項2に記載の脱酸素樹脂組成物。 - 前記脱酸素樹脂組成物が前記熱硬化性樹脂を含み、
半導体素子の封止材の形態を有する請求項2に記載の脱酸素樹脂組成物。 - 請求項1に記載の脱酸素剤、又は請求項2ないし4のいずれか一項に記載の脱酸素樹脂組成物が、JIS P8117に従い測定され、空気100mLが0.000642m 2 の面積を気圧差1.23kPaで透過し終えるまでの時間が10万秒以下である包装体に内包されてなる脱酸素包装体。
- 前記包装体が、乾燥剤又は脱臭剤を更に内包している請求項5に記載の脱酸素包装体。
- 請求項1に記載の脱酸素剤を含有する脱酸素層を有する脱酸素フィルム。
- 請求項2ないし4のいずれか一項に記載の脱酸素樹脂組成物からなるフィルムを備えた半導体素子。
- 請求項2ないし4のいずれか一項に記載の脱酸素樹脂組成物を有する半導体素子。
- 前記脱酸素樹脂組成物がフィルムの形態であるか、又は封止材の形態である請求項9に記載の半導体素子。
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