JP6926542B2 - 半導体レーザ - Google Patents
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Description
AlInAs障壁層:2nm、4層。
GaInAs井戸層:4.25nm、3層。
図2に示される量子フィルタ透過特性は、緩和エネルギー準位E1、(例えば0.14エレクトロンボルト)に相当するエネルギーを有するキャリアを容易に通過させることができ、上位エネルギー準位E3、(例えば0.45エレクトロンボルト)に相当するエネルギーを有するキャリアを通過し難くすることができる。
AlInAs/GaInAs系において、第1例に比べて、井戸及び障壁の層数が少なく、及び/又は膜厚が異なるように構成してもよい。具体的には、AlInAs/GaInAs系は、井戸及び障壁の総数が3つからなる半導体積層を含むことができ、或いは井戸及び障壁の総数が5つからなる半導体積層を含むことができる。
障壁層がAlInAsを備える。井戸層が、III族構成元素としてガリウムを含む。井戸層は、井戸層のバンドギャップがGaInAsとほぼ同じになるような組成を備えることが好ましい。
AlInAs/GaAsSb (障壁層/井戸層)
障壁層がAlInAsを備える。井戸層が、III族構成元素としてガリウム及びインジウムを含む。
AlInAs/InGaSb (障壁層/井戸層)
AlInAs/AlGaInAs (障壁層/井戸層)
障壁層がAlInAsを備える。井戸層が、III族構成元素としてガリウムを含むと共にV族構成元素としてアンチモンを含む。
AlInAs/GaAsSb (障壁層/井戸層)
AlInAs/InGaSb (障壁層/井戸層)
障壁層がAlInAsを備える。井戸層が、III族構成元素としてガリウム及びインジウムを含むと共にV族構成元素としてヒ素を含む。
AlInAs/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlInAs/AlGaInAs (障壁層/井戸層)
井戸層がGaInAsを備える。障壁層が、III族構成元素としてアルミニウム及びガリウムを含む。障壁層は、障壁層のバンドギャップがAlInAsより大きくなる組成を備えることが好ましい。
AlGaPSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlGaAsSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
井戸層がGaInAsを備える。障壁層が、III族構成元素としてアルミニウム及びインジウムを含む。
AlInPSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlInAsSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
井戸層がGaInAsを備える。障壁層が、III族構成元素としてアルミニウムを含むと共にV族構成元素としてアンチモンを含む。
AlGaPSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlGaAsSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlInPSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlInAsSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
井戸層がGaInAsを備える。障壁層が、III族構成元素としてアルミニウムを含むと共にV族構成元素としてアンチモン及びヒ素を含む。
AlGaAsSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlInAsSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
井戸層がGaInAsを備える。障壁層が、III族構成元素としてアルミニウムを含むと共にV族構成元素としてアンチモン及びリンを含む。
AlGaPSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlInPSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
井戸層がGaInAsを備える。障壁層が、III族構成元素としてアルミニウムを含むと共にV族構成元素としてアンチモン、ヒ素及びリンを含む。
AlPAsSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
超格子構造は、第1例から第4例におけるいずれかの材料の井戸層と第1例から第4例におけるいずれかの材料の障壁層とを含む。第1例から第5例において、材料の組み合わせにおける井戸と障壁との格子不整合は、格子不整合に起因する結晶欠陥を引き起こさない程度の格子定数差に収める。
図4を参照しながら、量子井戸構造の構造を説明する。引き続く説明では、電子がキャリアとして利用されるが、同様に、正孔をキャリアとして利用されることができる。上位エネルギー準位E3から下位エネルギー準位E2への遷移確率を高めるために、キャリアの引き抜きにより下位エネルギー準位E2上のキャリア密度を下げることが好適である。量子井戸構造21の一例は、複数(例えば2つ)の井戸層(21a、21b)と、これらの井戸層を隔てる一又は複数の障壁層とを備えることが良い。障壁層(21c)は、障壁層(21d)に比べて薄くして、井戸層(21a、21b)内の電子の波動関数がそれぞれ障壁層(21c)を介して井戸層(21b、21a)に浸みだして互いに結合する。この構造を「結合量子井戸」として参照する。結合量子井戸は、障壁層(21c)の中心線(厚み方向の中心)を基準にして左右に対称な井戸構造を有する。このような構造では、下位エネルギー準位E2よりLOフォノンエネルギーと同程度に低い緩和エネルギー準位E1を形成することができ、上位エネルギー準位E3から下位エネルギー準位E2に発光遷移した電子を速やかにフォノン散乱(共鳴)によって緩和エネルギー準位E1に遷移させることができる。また、結合量子井戸は、上位エネルギー準位E3の波動関数と下位エネルギー準位E2の波動関数との重なりを大きくして、発光遷移確率を増加させ、これによりレーザ利得を増大できる。
結合量子井戸の具体例。
井戸層/障壁層:アンドープInGaAs/アンドープAllnAs。
井戸層(21a)厚:4nm。
内側の障壁層(21d)厚:2nm。
井戸層(21b)厚:4nm。
外側の障壁層(21c)厚:10nm。
発振に係るエネルギー差(上位エネルギー準位E3と下位エネルギー準位E2との差):270meV(発振波長:4.6マイクロメートル)。
光学利得:96cm−1/period。
Epop(下位エネルギー準位E2と緩和エネルギー準位E1との差):35.6meV。
基板13:InP基板。
また、発光領域が、量子カスケード半導体レーザにおける注入層を必須である構造を必要としない。これ故に、量子井戸構造の設計の自由度が大きい。また、例えば外側の障壁層のAlInAsの厚さも含めた4層の設計において、障壁層には引っ張りの応力を導入しまた井戸層には圧縮の応力を導入する格子の不整合を利用すると共に、引っ張りと圧縮の応力を量子井戸構造の全体として実質的に相殺することによって、良好な結晶性を保ちながら、大きな伝導帯バンドギャップ差(深い量子井戸の形成)を形成することができる。これによって、キャリヤの漏洩を抑制することによる温度特性の改善、及び発振波長範囲の拡大を提供できる。
図5に示されるように、量子井戸構造の障壁層の少なくとも一部に、キャリアの極性と同じ極性のドーパントを添加することができる。この添加により、両井戸層への注入効率を改善できる。例えば、10nm厚のAlInAs障壁層において、井戸層に接する薄層領域21ca、21ccをアンドープにすると共に、これらの間にドーパント添加の薄層領域21cbを設けることができる。ドーピング濃度は自由キャリア吸収による損失を低減するために1017cm−3程度又はそれ以下であることが良い。このドーパント添加の薄層領域は、発光領域の半導体積層における面内方向の導電性を高めることができ、エミッタ領域から面内の方向に離れた位置において井戸層にキャリアを提供できる。
第1半導体層33aの伝導帯のレベルは、第2半導体層33bの伝導帯のレベルより高い。
エミッタ領域の構造。
第1半導体層33a:アンドープAlGaPSb、厚さ20nm。
第2半導体層33b:SiドープInP、厚さ200nm。
必要な場合には、エミッタ領域のInPとAlGaPSbとの間にInPの材料とAlGaPSbの材料の間のバンドギャップの中間的なバンドギャップを有する半導体を成長して、例えばInP/AlGaInAs/AlGaPSbの積層を形成することができる。これら追加の半導体層は、ヘテロ障壁を低減でき、より低電圧での駆動を実現する。
エミッタ領域22の構造。
第1半導体層32a:アンドープAlGaPSb/GaInAs。
第2半導体層32b:SiドープInP、厚さ200nm。
第1半導体層32aの伝導帯のレベルは、第2半導体層32bの伝導帯のレベルより高い。
トンネリング構造32は、例えば以下の構造を有する。
AlGaPSb(厚さ5nm)/GaInAs(厚さ2nm)/AlGaPSb(厚さ5nm)。
図9を参照すると、半導体レーザ11aでは、半導体メサMSは、発光領域15及び第1光学クラッド層27を含み、発光領域15及び第1光学クラッド層27は、導波路軸の方向に延在する。第1光学クラッド層27は、発光領域15の上面15d上に設けられる。発光領域15の下面15eは、基板13の主面13aに接触を成す。エミッタ領域17は、第2エリア13c上に設けられた第1導電型の第1半導体領域23を備える。コレクタ領域19は、第3エリア13d上に設けられた第1導電型の第2半導体領域25cを備える。発光領域15は、主面13aの第1エリア13b上に設けられた半導体メサMSに含まれる。発光領域15及びコレクタ領域19は、導波路軸に交差する第2軸Ax2の方向に配列される部分を有する。量子フィルタ構造25は、発光領域15及びコレクタ領域19が第2軸Ax2の方向に配列される構造に適用される。基板13の主面13aは、第1エリア13b、第2エリア13c及び第3エリア13dを含み、第1エリア13b、第2エリア13c及び第3エリア13dは、第3軸Ax3(導波路軸)の方向に延在する。第1エリア13bが第2エリア13cと第3エリア13dとの間に位置して、第1エリア13bが第2エリア13cを第3エリア13dから隔てている。エミッタ領域17、発光領域15及びコレクタ領域19は第2軸Ax2の方向に配列されると共に、エミッタ領域17、発光領域15及びコレクタ領域19は第3軸Ax3の方向に延在する。エミッタ領域17及びコレクタ領域19は、互いに電気的に分離されて、エミッタ領域17からのキャリアは発光領域15を介してコレクタ領域19に流れる。この配置において、発光領域15の単位セル15aは第1軸Ax1の方向に配列される。発光領域15において配列された単位セル15aは、エミッタ領域17に並列に接続されると共に、コレクタ領域19に並列に接続される。具体的には、エミッタ領域17は、発光領域15の第1側面15bに接触を成して、第1導電型のキャリア(電子又は正孔のいずれか一方)を発光領域15に提供する。また、コレクタ領域19は、発光領域15の側面(例えば第2側面15c)に接触を成して、量子フィルタ構造25を介して第1導電型のキャリア(電子又は正孔のいずれか一方)を発光領域15から受ける。コレクタ領域19の量子フィルタ構造25は、発光領域15の第2側面15cに接触を成すと共に、遷移した低いエネルギーレベルにおける透過確率が高いエネルギーレベルにおける透過確率より大きいフィルタ特性を有する。遷移した低いエネルギーレベルにおけるキャリアは、量子フィルタ構造25を透過しやすい。エミッタ領域17は、第1電極31aを搭載し、第1電極31aは、エミッタ領域17上のコンタクト層28aに接触を成す。コレクタ領域19は、第2電極31bを搭載する。第3側面15fは、第2軸Ax2の方向に延在すると共に導波路軸の方向に交差する。レーザ光は、第3側面15fから出射する。
図10を参照すると、半導体レーザ11bでは、主面13aは、第1エリア13b、第2エリア13c及び第3エリア13dを含み、第2エリア13c、第1エリア13b及び第3エリア13dは、第1軸Ax1に交差する第2軸Ax2の方向に配列される。発光領域15は、主面13aの第1エリア13b上に設けられた半導体メサMSに含まれる。発光領域15及びエミッタ領域17は、基板13の主面13a上において第3軸Ax3の方向に延在し、コレクタ領域19は、第2エリア13c及び第3エリア13d上において発光領域15に沿って第3軸Ax3の方向に延在する。発光領域15及びコレクタ領域19は、導波路軸に交差する第2軸Ax2の方向に配列される部分を有する。量子フィルタ構造25は、発光領域15及びコレクタ領域19が第2軸Ax2の方向に配列される構造に適用される。
図11を参照すると、半導体レーザ11cでは、基板13、発光領域15及びエミッタ領域17は、主面13aに交差する第1軸Ax1に配列される。発光領域15及びコレクタ領域19は、導波路軸(第3軸Ax3)の方向に配列される。発光領域15及びコレクタ領域19は、主面13aの第1エリア13b上に設けられる。発光領域15は、第1エリア13b上において、第3軸Ax3の方向に延在する。発光領域15及びコレクタ領域19は、第3軸Ax3(導波路軸)の方向に配列される部分を有する。量子フィルタ構造25は、発光領域15及びコレクタ領域19が第3軸Ax3の方向に配列される構造に適用される。また、コレクタ領域19は、導波路軸の方向にエミッタ領域17から隔置される。量子フィルタ構造25は、コレクタ領域19が第3軸Ax3の方向にエミッタ領域17から隔置される構造に適用される。
図12を参照すると、半導体レーザ11dでは、基板13、発光領域15及びエミッタ領域17は、主面13aに交差する第1軸Ax1に配列される。発光領域15は、第1側面15b、第2側面15c、上面15d、下面15e、及び第3側面15fを有する。第3側面15fは、第2軸Ax2の方向に延在する。第1側面15b、第2側面15c、上面15d及び下面15eは、第3軸Ax3の方向に延在する。基板13の主面13aは、第1エリア13b、第2エリア13c及び第3エリア13dを含み、第1エリア13b、第2エリア13c及び第3エリア13dは、第3軸Ax3の方向に延在する。第1エリア13bは、第2エリア13cと第3エリア13dとの間に設けられる。半導体メサMSは、第1エリア13b上に設けられ、半導体メサMSは、発光領域15を含む。コレクタ領域19は、導波路軸の方向にエミッタ領域17から隔置される。量子フィルタ構造25は、コレクタ領域19が第3軸Ax3の方向にエミッタ領域17から隔置される構造に適用される。
発光領域15:アンドープAllnAs/アンドープInGaAs/アンドープAllnAs/アンドープInGaAsの4層を単位ユニットとした50周期の超格子構造。
エミッタ領域17:SiドープInP/アンドープAlInAs、あるいは、SiドープInP/SiドープAlGaInAs/アンドープAlInAs、あるいは、SiドープInP/アンドープAlGaPSbの積層構造。
エミッタ領域17の幅(リッジ構造RDGの幅):8マイクロメートル。
エミッタ領域17の厚さ:2マイクロメートル。
コレクタ領域19の第2半導体領域25c:SiドープInGaAs、SiドープInP。
第1光学クラッド層27(上側の電流ブロック層)の開口27aの幅:5マイクロメートル、FeドープInP。
第1光学クラッド層27(電流ブロック層):0.2マイクロメートル。
第2光学クラッド層29(下側の電流ブロック層)の開口29aの幅:5マイクロメートル、FeドープInP。
第2光学クラッド層29(電流ブロック層):1マイクロメートル。
半導体メサMSの幅:10マイクロメートル。
半導体メサMSの高さ:1マイクロメートル。
発光領域15のコア層の厚さ:0.8マイクロメートル。
コンタクト層28a:0.1マイクロメートル、SiドープGaInAs。
第1電極31a:Ti/Pt/Au。
第2電極31b:Ti/Pt/Au。
共振器の長さ:500マイクロメートル。
Claims (5)
- 単極性のキャリアの光学遷移を用いる半導体レーザであって、
導波路軸の方向に延在する半導体メサ内に設けられた複数の量子井戸構造を含み、上面、下面、第1側面、第2側面及び第3側面を有する発光領域と、
前記発光領域の前記第1側面、前記第2側面、前記上面、及び前記下面の少なくともいずれか一面上に設けられた第1導電型半導体を含むエミッタ領域と、
前記発光領域の前記第1側面、前記第2側面及び前記第3側面の少なくともいずれか一面上に設けられた量子フィルタ構造を含むコレクタ領域と、
を備え、
各前記量子井戸構造は、高エネルギー準位及び低エネルギー準位を提供するサブバンド構造を有し、
前記複数の量子井戸構造は、前記導波路軸に交差する第1軸の方向に配列され、
各前記量子井戸構造は、前記第1軸の方向に積層された井戸層及び障壁層を含み、
前記コレクタ領域は、前記半導体メサ上において前記エミッタ領域から隔置されており、
前記第1側面及び前記第2側面は、前記導波路軸の方向に延在し、
前記第3側面は、前記導波路軸及び前記第1軸に交差する第2軸の方向に延在し、
前記エミッタ領域は、前記発光領域にキャリアを供給し、前記エミッタ領域からのキャリアは、前記高エネルギー準位から前記低エネルギー準位への光学遷移により発光に寄与し、前記低エネルギー準位のキャリアは、前記コレクタ領域に流れ込み、
前記量子フィルタ構造は、前記低エネルギー準位のキャリアを選択的に透過可能であり、
前記量子フィルタ構造は、個々の前記量子井戸構造におけるキャリアが、前記第1軸に交差する方向に前記コレクタ領域に向けてドリフトするように、前記複数の量子井戸構造に並列に接続される、半導体レーザ。 - 各前記量子井戸構造は、前記井戸層である第1井戸層、第2井戸層、前記障壁層である第1障壁層、及び第2障壁層を含み、
前記第1障壁層は前記第1井戸層を前記第2井戸層から隔てており、
前記第1井戸層は前記第1障壁層を前記第2障壁層から隔てている、請求項1に記載された半導体レーザ。 - 前記第1障壁層の厚さは前記第2障壁層の厚さより小さい、請求項2に記載された半導体レーザ。
- 前記障壁層の一部又は全部に、ドーパントが添加されている、請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載された半導体レーザ。
- 前記量子フィルタ構造は、III族構成元素としてアルミニウムを含む三元以上の第1III−V化合物半導体層と、III族構成元素としてガリウムを含む三元以上の第2III−V化合物半導体層とを含む、請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載された半導体レーザ。
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