JP6834626B2 - 発光ダイオード - Google Patents
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Description
図1を参照しながら、発光ダイオード11a(11)を説明する。発光ダイオード11aでは、半導体メサMSが、基板13の主面13aから第1軸Ax1の方向に延在する。コレクタ19は、第1導電型の第2半導体領域25を備え、第2半導体領域25は、発光領域15の第1側面15b、第2側面15c、第3側面15f及び第4側面15g上に設けられる。発光領域15の第1側面15b、第2側面15c、第3側面15f及び第4側面15gを覆うコレクタ19の第2半導体領域25は、第2エリア13c上において第1軸Ax1の方向に延在する。第2半導体領域25の導電型は、第1半導体領域23の導電型と同じである。本実施例では、第2半導体領域25は、第2エリア13c上に設けられて、発光領域15の第1側面15b、第2側面15c、第3側面15f及び第4側面15gに接触を成す。第2半導体領域25は、一又は複数の半導体層を含むことができる。
図2を参照しながら、発光ダイオード11b(11)を説明する。発光ダイオード11bでは、半導体メサMSが、基板13の主面13aから第1軸Ax1の方向に延在する。コレクタ19は、金属電極33を備え、金属電極33は、第1半導体領域23からのキャリアを発光領域15を介して受ける。金属電極33は、第2エリア13c上において発光領域15の側面上を第1軸Ax1の方向に延在する。本実施例では、金属電極33は、発光領域15の第1側面15b、第2側面15c、第3側面15f及び第4側面15g上において第1軸Ax1の方向に延在して、発光領域15の上面15d上において終端する。この延在により、単位セル15aの並列接続が可能になる。金属電極33の端部は、発光領域15の上面15d上において、エミッタ領域17の第1半導体領域23及びコンタクト層28aから離れている。具体的には、コレクタ19の金属電極33は、第2エリア13c上に設けられて、発光領域15の第1側面15b、第2側面15c、第3側面15f及び第4側面15gに接触を成す。
基板13:InP。
発光領域15:アンドープAllnAs/アンドープInGaAs/アンドープAllnAs/アンドープInGaAsの4層を単位ユニットとした50周期の超格子構造。
第1半導体領域23:SiドープInP/アンドープAlInAs、あるいは、SiドープInP/SiドープAlGaInAs/アンドープAlInAs、あるいは、SiドープInP/アンドープAlGaPSbの積層構造。
半導体メサMSのサイズ:15マイクロメートル。
半導体メサMSの厚さ:1.0マイクロメートル。
発光領域15の厚さ:0.8マイクロメートル。
第1半導体領域23のサイズ:10マイクロメートル。
第1半導体領域23の厚さ:0.2マイクロメートル。
第2半導体領域25:SiドープInP/SiドープGaInAs、あるいは、SiドープInP/SiドープGaInAsP/SiドープGaInAsの積層構造。
第2半導体領域25の厚さ:1.0マイクロメートル。
コンタクト層28a:SiドープInGaAs、0.1マイクロメートル。
金属電極33:Ti/Pt/Au。
図4を参照しながら、量子井戸構造の構造を説明する。引き続く説明では、電子がキャリアとして利用されるが、同様に、正孔をキャリアとして利用されることができる。上位エネルギー準位E3から下位エネルギー準位E2への遷移確率を高めるために、キャリアの引き抜きにより下位エネルギー準位E2上のキャリア密度を下げることが好適である。量子井戸構造21の一例は、複数(例えば2つ)の井戸層(21a、21b)と、これらの井戸層を隔てる一又は複数の障壁層とを備えることが良い。障壁層(21c)は、障壁層(21d)に比べて薄くして、井戸層(21a、21b)内の電子の波動関数がそれぞれ障壁層(21c)を介して井戸層(21b、21a)に浸みだして互いに結合する。この構造を「結合量子井戸」として参照する。結合量子井戸は、障壁層(21c)の中心線(厚み方向の中心)を基準にして左右に対称な井戸構造を有する。このような構造では、下位エネルギー準位E2よりLOフォノンエネルギーと同程度に低い緩和エネルギー準位E1を形成することができ、上位エネルギー準位E3から下位エネルギー準位E2に発光遷移した電子を速やかにフォノン散乱(共鳴)によって緩和エネルギー準位E1に遷移させることができる。また、結合量子井戸は、上位エネルギー準位E3の波動関数と下位エネルギー準位E2の波動関数との重なりを大きくして、発光遷移確率を増加させ、これにより光学利得を増大できる。
結合量子井戸の具体例。
井戸層/障壁層:アンドープInGaAs/アンドープAllnAs。
井戸層(21a)厚:4nm。
内側の障壁層(21d)厚:2nm。
井戸層(21b)厚:4nm。
外側の障壁層(21c)厚:10nm。
発振に係るエネルギー差(上位エネルギー準位E3と下位エネルギー準位E2との差):270meV(発振波長:4.6マイクロメートル)。
光学利得:96cm−1/period。
Epop(下位エネルギー準位E2と緩和エネルギー準位E1との差):35.6meV。
基板13:InP基板。
また、発光領域が、量子カスケード半導体レーザにおける注入層を必須である構造を必要としない。これ故に、量子井戸構造の設計の自由度が大きい。また、例えば外側の障壁層のAlInAsの厚さも含めた4層の設計において、障壁層には引っ張りの応力を導入しまた井戸層には圧縮の応力を導入する格子の不整合を利用すると共に、引っ張りと圧縮の応力を量子井戸構造の全体として実質的に相殺することによって、良好な結晶性を保ちながら、大きな導電帯バンドギャップ差(深い量子井戸の形成)を形成することができる。これによって、キャリヤの漏洩を抑制することによる温度特性の改善、及び発振波長範囲の拡大を提供できる。
図5に示されるように、量子井戸構造の障壁層の少なくとも一部に、キャリアの極性と同じ極性のドーパントを添加することができる。この添加により、両井戸層への注入効率を改善できる。例えば、10nm厚のAlInAs障壁層において、井戸層に接する薄層領域21ca、21ccをアンドープにすると共に、これらの間にドーパント添加の薄層領域21cbを設けることができる。ドーピング濃度は自由キャリア吸収による損失を低減するために1017cm−3程度又はそれ以下であることが良い。このドーパント添加の薄層領域は、発光領域の半導体積層における面内方向の導電性を高めることができ、エミッタ領域から面内の方向に離れた位置において井戸層にキャリアを提供できる。
本実施形態に係る発光ダイオード11a、11bは、発光領域15内の複数の量子井戸構造21にエミッタ領域17から第1軸Ax1の方向にキャリアを注入して、各量子井戸構造21内にキャリアを提供する。量子井戸構造21内のキャリアが量子井戸層の面内方向と平行な方向に輸送される。
このような構造のデバイスに電子を注入した場合、発光領域内の電子分布をシミュレーションにより見積もる。
面内方向のキャリア輸送を見積もるために、シミュレーションによる数値実験を行うデバイスモデルを以下に示す。
メサ構造内の発光領域上のエミッタ領域の開口の中心からメサ上面の上縁の一方までのメサ片幅:10マイクロメートル。
メサ構造内の発光領域上のエミッタ領域の開口の中心からメサ上面の上縁の他方までのメサ片幅が10、20、50及び100マイクロメートル。
電子は、エミッタ領域の開口から電界によりドリフトし発光領域に注入される。
発光領域:AlInAs/GaInAs多重量子井戸構造。
モデル名、 縦方向の電気伝導率、 横方向の電気伝導率、 縦/横電気伝導率比。
第1モデル、 4.3E−5、 1.7E−2、 2.53E−3。
第2モデル、 1.5E−5、 1.7E−2、 8.74E−4。
第3モデル、 1.7E−6、 1.7E−2、 9.84E−5。
記法「2.53E−3」は、2.53×10−3を示す。
縦/横電気伝導率比は、縦方向の電気伝導率を横方向の電気伝導率で割った値である。
横方向の電流密度について。
100マイクロメートルのメサ幅を有するモデルの計算結果によれば、横方向の電子流密度分布は、量子井戸の縦方向と横方向の電気伝導率比が大きいほど大きくなる。また、20マイクロメートルのメサ幅を有するモデルの計算結果によれば、3桁程度の電気伝導率比では、コレクタ電極での電子流密度は、深さ方向に大きな違いはない。
縦方向の電流密度について。
100マイクロメートルのメサ幅を有するモデルの計算結果によれば、縦方向の電子流密度分布は、エミッタ電極直下辺りに分布している。また、20マイクロメートルのメサ幅を有するモデルの計算結果によれば、量子井戸の縦方向と横方向の電気伝導率比が大きいほど下方への分布が少なくなるが、3ケタ程度の電気伝導率比でも十分に下方まで電子は分布する。
エミッタ領域の構造。
第1半導体層33a:アンドープAlGaPSb、厚さ20nm。
第2半導体層33b:SiドープInP、厚さ200nm。
エミッタ領域18の構造。
第1半導体層32a:アンドープAlGaPSb/GaInAs。
第2半導体層32b:SiドープInP、厚さ200nm。
トンネリング構造32は、例えば以下の構造を有する。
AlGaPSb(厚さ5nm)/GaInAs(厚さ2nm)/AlGaPSb(厚さ5nm)。
AlInAs障壁層:2nm、4層。
GaInAs井戸層:4.25nm、3層。
図10に示される量子フィルタ透過特性は、緩和エネルギー準位E1、(例えば0.14エレクトロンボルト)に相当するエネルギーを有するキャリアを容易に通過させることができ、上位エネルギー準位E3、(例えば0.45エレクトロンボルト)に相当するエネルギーを有するキャリアを通過し難くすることができる。
AlInAs/GaInAs系において、第1例に比べて、井戸及び障壁の層数が少なく、及び/又は膜厚が異なるように構成してもよい。具体的には、AlInAs/GaInAs系は、井戸及び障壁の総数が3つからなる半導体積層を含むことができ、或いは井戸及び障壁の総数が5つからなる半導体積層を含むことができる。
障壁層がAlInAsを備える。井戸層が、III族構成元素としてガリウムを含む。井戸層は、井戸層のバンドギャップがGaInAsとほぼ同じになるような組成を備えることが好ましい。
AlInAs/GaAsSb (障壁層/井戸層)
障壁層がAlInAsを備える。井戸層が、III族構成元素としてガリウム及びインジウムを含む。
AlInAs/InGaSb (障壁層/井戸層)
AlInAs/AlGaInAs (障壁層/井戸層)
障壁層がAlInAsを備える。井戸層が、III族構成元素としてガリウムを含むと共にV族構成元素としてアンチモンを含む。
AlInAs/GaAsSb (障壁層/井戸層)
AlInAs/InGaSb (障壁層/井戸層)
障壁層がAlInAsを備える。井戸層が、III族構成元素としてガリウム及びインジウムを含むと共にV族構成元素としてヒ素を含む。
AlInAs/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlInAs/AlGaInAs (障壁層/井戸層)
井戸層がGaInAsを備える。障壁層が、III族構成元素としてアルミニウム及びガリウムを含む。障壁層は、障壁層のバンドギャップがAlInAsより大きくなる組成を備えることが好ましい。
AlGaPSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlGaAsSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
井戸層がGaInAsを備える。障壁層が、III族構成元素としてアルミニウム及びインジウムを含む。
AlInPSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlInAsSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
井戸層がGaInAsを備える。障壁層が、III族構成元素としてアルミニウムを含むと共にV族構成元素としてアンチモンを含む。
AlGaPSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlGaAsSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlInPSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlInAsSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
井戸層がGaInAsを備える。障壁層が、III族構成元素としてアルミニウムを含むと共にV族構成元素としてアンチモン及びヒ素を含む。
AlGaAsSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlInAsSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
井戸層がGaInAsを備える。障壁層が、III族構成元素としてアルミニウムを含むと共にV族構成元素としてアンチモン及びリンを含む。
AlGaPSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
AlInPSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
井戸層がGaInAsを備える。障壁層が、III族構成元素としてアルミニウムを含むと共にV族構成元素としてアンチモン、ヒ素及びリンを含む。
AlPAsSb/GaInAs (障壁層/井戸層)
超格子構造は、第1例から第4例におけるいずれかの材料の井戸層と第1例から第4例におけるいずれかの材料の障壁層とを含む。第1例から第5例において、材料の組み合わせにおける井戸と障壁との格子定数は、格子不整合に起因する結晶欠陥を引き起こさない程度の格子定数差に収める。
Claims (4)
- 発光ダイオードであって、
第1軸の方向に配列された複数の量子井戸構造を含み、側面、上面及び下面を有する発光領域と、
前記発光領域の前記側面、前記上面及び前記下面の少なくともいずれか一面上に設けられた第1導電型半導体を含むエミッタ領域と、
前記発光領域の前記側面に接続されたコレクタと、
を備え、
前記発光領域及び前記コレクタは、前記第1軸に交差する基準面に沿って配列されており、
前記量子井戸構造は、第1導電型キャリアのためのサブバンド構造を有し、
前記コレクタは、前記発光領域の前記側面に接触を成す金属電極を備える、発光ダイオード。 - 前記量子井戸構造は、第1井戸層、第2井戸層、第1障壁層、及び第2障壁層を含み、前記第1障壁層は前記第1井戸層を前記第2井戸層から隔てており、前記第1井戸層は前記第1障壁層を前記第2障壁層から隔てている、請求項1に記載された発光ダイオード。
- 前記発光領域は、前記第1軸の方向に配列された複数の第1単位セルを含み、前記第1単位セルは、前記第1井戸層、前記第2井戸層、前記第1障壁層、及び前記第2障壁層を含み、前記第1障壁層の厚さは前記第2障壁層の厚さより小さい、請求項2に記載された発光ダイオード。
- 前記量子井戸構造は、前記第1軸の方向に交差する平面に沿って延在する障壁層を含み、前記障壁層の一部又は全部に、ドーパントが添加されている、請求項2又は請求項3に記載された発光ダイオード。
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