JP6912891B2 - 放射線撮像装置、その製造方法および撮像システム - Google Patents
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 114
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims description 52
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 56
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 56
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 48
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 17
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 15
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 claims description 12
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 8
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 5
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052745 lead Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 4
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 10
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 239000013013 elastic material Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 125000002066 L-histidyl group Chemical group [H]N1C([H])=NC(C([H])([H])[C@](C(=O)[*])([H])N([H])[H])=C1[H] 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 210000000988 bone and bone Anatomy 0.000 description 1
- XQPRBTXUXXVTKB-UHFFFAOYSA-M caesium iodide Chemical compound [I-].[Cs+] XQPRBTXUXXVTKB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000002601 radiography Methods 0.000 description 1
- 230000006335 response to radiation Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000012798 spherical particle Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/20—Measuring radiation intensity with scintillation detectors
- G01T1/2006—Measuring radiation intensity with scintillation detectors using a combination of a scintillator and photodetector which measures the means radiation intensity
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T7/00—Details of radiation-measuring instruments
-
- A—HUMAN NECESSITIES
- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus for radiation diagnosis, e.g. combined with radiation therapy equipment
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/29—Measurement performed on radiation beams, e.g. position or section of the beam; Measurement of spatial distribution of radiation
- G01T1/2914—Measurement of spatial distribution of radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N25/00—Circuitry of solid-state image sensors [SSIS]; Control thereof
- H04N25/50—Control of the SSIS exposure
- H04N25/57—Control of the dynamic range
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N5/00—Details of television systems
- H04N5/30—Transforming light or analogous information into electric information
- H04N5/32—Transforming X-rays
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Medical Informatics (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Heart & Thoracic Surgery (AREA)
- Surgery (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Pathology (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Animal Behavior & Ethology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Public Health (AREA)
- Veterinary Medicine (AREA)
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
Description
本発明は、放射線撮像装置、その製造方法および撮像システムに関する。
放射線撮像装置のなかには、同一の被写体について２つの画像データを取得し、それらの差分に基づいて１つの放射線画像を形成する処理を可能にするものがある。具体的には、２つの画像データは互いに異なる放射線量の下で取得され、所定の係数を用いてそれらの差分をとることにより所望の対象部位を観察し、又は、係数を変えることにより観察対象を（例えば臓器から骨に）変更することができる。このような画像処理は、エネルギーサブトラクション処理等と称される。
特許文献１には、互いに平行に配置された２つのセンサパネルを備える放射線撮像装置の構造が記載されており、特許文献１によれば、この構造により、２つの画像データを一度に取得することが可能となる。
ところで、上述の２つのセンサパネルの間にこれらを互いに連結する部材を配置する場合、放射線撮像装置を取り扱う際の振動、衝撃等によって、一方または双方のセンサパネルが損傷を受ける可能性がある。具体的には、例えば上記振動、衝撃等によって、２つのセンサパネルの間では平面方向での位置ずれが発生する可能性がある。そのため、一方または双方のセンサパネルと連結部との間ではそれらの剥離が発生する場合があり、また、その結果、センサパネルの表面に擦り傷が発生する場合もある。これらのことは、放射線撮像装置の信頼性の低下および放射線画像の品質の低下の原因となりうる。
なお、特許文献１には、２つのセンサパネルの間に、放射線の一部を吸収するフィルタを配置することが記載されているが、上述の振動、衝撃等に起因する２つのセンサパネルの間での位置ずれについては考慮されていない。
本発明は、２つのセンサパネルを備える放射線撮像装置の信頼性の向上および放射線画像の品質の向上に有利な技術を提供する。
本発明の一つの側面は放射線撮像装置にかかり、前記放射線撮像装置は、第１基板上に複数の放射線検出素子が配列された第１パネルと、第２基板上に複数の放射線検出素子が配列された第２パネルと、前記第１基板の上面に対する平面視において前記第１パネル及び前記第２パネルが互いに重なるように、前記第１パネルの前記第２パネル側の面と前記第２パネルの前記第１パネル側の面とを接着するシート状の接着部と、を備え、前記接着部は、前記第１基板の前記上面と平行な平面方向における前記第１パネルと前記第２パネルとの相対位置の変化を許容しつつそれらの接着を維持するように構成されていることを特徴とする。
本発明によれば、放射線撮像装置の信頼性を向上し、放射線画像の品質を向上することができる。
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明する。なお、各図は、構造ないし構成を説明する目的で記載された模式図であり、図示された各部材の寸法は必ずしも現実のものを反映するものではない。また、各図において、同一の部材または同一の構成要素には同一の参照番号を付しており、以下、重複する内容については説明を省略する。
図１は、放射線検査装置等に代表される撮像システム１の構成を示す。撮像システム１は、放射線撮像装置１０、プロセッサ２０および放射線源３０を具備する。放射線撮像装置１０は、詳細については後述とするが、放射線源３０から照射され且つ患者等の被検者４０を通過した放射線を検出し、画像データを生成する。なお、放射線には、本実施形態ではエックス線が用いられるが、アルファ線やベータ線等が用いられてもよい。
プロセッサ２０は、放射線撮像装置１０から得られた画像データを構成する信号の群に対して所定の演算処理を行う。プロセッサ２０は、ディスプレイ２１および入力端末２２に接続される。医師等のユーザは、ディスプレイ２１および入力端末２２を用いて、例えば、検査対象の部位、放射線の照射時間や照射強度等、撮影に必要な情報をプロセッサ２０に入力することができる。また、プロセッサ２０は、放射線撮像装置１０からの画像データに基づいて放射線画像をディスプレイ２１に表示する。ユーザは、この放射線画像に基づいて診断を行うことができる。
プロセッサ２０は、本実施形態では、所定のプログラムを展開するメモリと、それを実行するＣＰＵ（中央演算装置）とを備えるパーソナルコンピュータであるが、他の実施形態では、専用の集積回路（例えばＡＳＩＣ）を備える演算装置でもよい。換言すると、プロセッサ２０の機能は、ハードウェア及び／又はソフトウェアによって実現されればよい。ディプレイ２１は、本実施形態では液晶ディプレイであるが、これに代替して又は付随的に、他の公知の画像表示装置が用いられてもよい。入力端末２２は、本実施形態ではパーソナルコンピュータ用のキーボードであるが、これに代替して又は付随的に、他の公知の入力装置が用いられてもよい。
図２は、放射線撮像装置１０の構成を示す。放射線撮像装置１０は、２つのセンサパネル１１０及び１２０、並びに、それらの間に配された接着部１３０を備える。図中において、上側が放射線源３０側（放射線の照射側）とする。本実施形態では、センサパネル１１０はセンサパネル１２０の上方に配されるものとするが、これらの位置は逆でもよい。
センサパネル１１０は、基板１１１、及び、基板１１１上に形成されたセンサアレイ１１２を有する。本実施形態では、センサパネル１１０は間接変換方式（放射線を光に変換し、その光を電気信号に変換することにより放射線を検出する方式）で放射線撮像を行うパネルである。よって、詳細は後述とするが、センサパネル１１０は、基板１１１上にセンサアレイ１１２を覆うように配されたシンチレータを更に有する。なお、以下では、間接変換方式の構成を参照しながら実施形態を説明するが、その内容は、直接変換方式（放射線を直接的に電気信号に変換する方式）の構成にも適用可能である。
基板１１１には、本実施形態ではガラス基板が用いられるが、他の実施形態として、他の公知の絶縁材料で構成された基板が用いられてもよい。センサアレイ１１２は、複数の行および複数の列を形成するように基板１１１上に配列された複数の放射線検出素子を含む。本実施形態では、各放射線検出素子には、アモルファスシリコンで構成されたＰＩＮセンサが用いられるが、ＭＩＳセンサ等、放射線を検出するための他のセンサ（光電変換素子）が用いられてもよい。
なお、ここでは説明を省略するが、各放射線検出素子は、放射線に応じた信号を読み出すためのスイッチ素子である薄膜トランジスタに接続され、これらは単一の画素を形成する。この観点で、センサアレイは、画素アレイと表現されてもよい。
センサパネル１２０は、センサパネル１１０同様の構成を有しており、基板１１１に対応する基板１２１、及び、センサアレイ１１２に対応するセンサアレイ１２２を有する。
接着部１３０は、センサパネル１１０とセンサパネル１２０との間においてそれらを相互に接着する。詳細は後述とするが、接着部１３０は、放射線吸収性と共に弾性を有する。或いは、接着部１３０は放射線吸収性と共に粘弾性を有していてもよい。また、接着部１３０は、センサパネル１１０のセンサパネル１２０側の面とセンサパネル１２０のセンサパネル１１０側の面とを接着（面接着）するシート状の部材である。
放射線撮像装置１０は、更に、駆動部１４１、読出部１４２、配線部１４３及び１４４、駆動部１５１、読出部１５２、並びに、配線部１５３及び１５４を備える。駆動部１４１は、配線部１４３を介してセンサパネル１１０に接続され、センサアレイ１１２を駆動ないし制御することができる。本実施形態では、駆動部１４１は、垂直走査回路、デコーダ等で構成される。読出部１４２は、配線部１４４を介してセンサパネル１１０に接続され、センサアレイ１１２から画像データを読み出すことができる。本実施形態では、読出部１４２は、信号増幅器、サンプリング回路、水平走査回路、アナログデジタルコンバータ等で構成される。
センサパネル１２０に対応する駆動部１５１、読出部１５２、並びに、配線部１５３及び１５４についても、それぞれ、駆動部１４１、読出部１４２、並びに、配線部１４３及び１４４同様である。即ち、駆動部１５１、読出部１５２、並びに、配線部１５３及び１５４の機能ないし作用は、駆動部１４１、読出部１４２、並びに、配線部１４３及び１４４の機能ないし作用にそれぞれ対応する。
なお、本実施形態では、配線部１４３及び１５３は、ＣＯＦ（Ｃｈｉｐ Ｏｎ Ｆｉｌｍ）であり、駆動部１４１及び１５１の機能の一部をそれぞれ有しうる。同様に、配線部１４４及び１５４は、ＣＯＦであり、読出部１４２及び１５２の機能の一部をそれぞれ有しうる。
図中に示されるように、放射線源３０から発生された後に被検者４０を通過した放射線Ｘ１は、センサパネル１１０に入射し、センサアレイ１１２により検出される。センサアレイ１１２により検出された放射線Ｘ１に基づいて、センサパネル１１０から、駆動部１４１及び読出部１４２により画像データが読み出される。その後、センサパネル１１０を通過した放射線Ｘ２は接着部１３０を通過し、その際、エネルギーの一部が接着部１３０により吸収される。更にその後、接着部１３０を通過した放射線Ｘ３は、センサパネル１２０に入射し、センサアレイ１２２により検出される。センサアレイ１２２により検出された放射線Ｘ３に基づいて、センサパネル１２０から、駆動部１５１及び読出部１５２により画像データが読み出される。
なお、本明細書では説明を省略するが、センサパネル１１０（又は１２０）から画像データを読み出すための駆動部１４１（又は１５１）による駆動シーケンス、及び、読出部１４２（又は１５２）による読出シーケンスは、公知のものに従えばよい。例えば、駆動部１４１は、センサアレイ１１２を行単位で駆動して信号を出力させ、読出部１４２は、センサアレイ１１２からの信号を列ごとに読み出して画像データを生成する。
上述の構成によれば、センサパネル１１０及び１２０から、１回の放射線撮影で一度に２つの画像データを取得することができる。このとき、センサパネル１２０に入射する放射線量（強度）は、フィルタ１３０で放射線のエネルギーの一部が吸収されるため、センサパネル１１０に入射する放射線量よりも小さくなる。よって、センサパネル１１０から得られる画像データと、センサパネル１２０から得られる画像データとは、いずれも同一の被写体についての画像情報を示すが、それらの間にはデータ値（信号値）に差が生じる。そして、これら２つの画像データを用いてエネルギーサブトラクション処理を行うことが可能となる。具体的には、これら２つの画像データに対して所定の係数を用いて演算処理を行うことによって検査対象の部位を観察することができ、また、この係数を変えることによって観察対象を他の部位に変更することもできる。
図３（ａ）は、センサパネル１１０についての平面視（基板１１１の上面に対する平面視。以下、単に「平面視」という。）におけるレイアウトを示す。図３（ｂ）は、切断線Ａ−Ａでの断面構造を示す。ここでは、センサパネル１１０について述べるが、センサパネル１２０についても同様である。
センサパネル１１０は、基板１１１上にセンサアレイ１１２を覆うように配されたシンチレータ１１３、及び、シンチレータ１１３の潮解を防ぐための保護膜１１４を更に有する。本実施形態では、シンチレータ１１３には、タリウム添加ヨウ化セシウムが用いられるが、放射線に応じて光を発生する他の公知の蛍光体が用いられてもよい。保護膜１１４には、防湿性の他、更に光反射性を有する材料が用いられ、例えばアルミニウム等が用いられる。
配線部１４３は、可撓性のフィルム１４３１、及び、その上に実装されたチップ１４３２を含み、前述のとおり、センサアレイ１１２を駆動する機能の一部を備える。なお、ここでは説明のため、配線部１４３をセンサパネル１１０と平行に伸ばした状態で図示したが、センサパネル１１０及び駆動部１４１と共に放射線撮像装置１０の筐体内に収納する際には配線部１４３は折り曲げられうる。他の配線部１４４、１５３及び１５４についても同様である。
図４（ａ）は、接着部１３０によるセンサパネル１１０及び１２０の接着の態様を示す。なお、図を見やすくするため、ここでは駆動部１４１等については不図示とする。本実施形態では、センサパネル１１０及び１２０は、いずれも表面照射型の構成となるように、接着部１３０により互いに接着される。具体的には、基板１１１及びシンチレータ１２３が、シンチレータ１１３と基板１２１との間に位置し、接着部１３０は、基板１１１の下面と保護膜１２４の上面とを互いに接着する。
ところで、ユーザは、一般に、放射線撮像装置１０を台車等に搭載して検査室に移動し、或いは、放射線撮像装置１０がポータブル型の場合にはそれを持ち運んで移動する。そのため、放射線撮像装置１０には、その際の振動や衝撃等が与えられ、センサパネル１１０及び／又は１２０と接着部１３０との剥離、センサパネル１１０及び１２０間での位置ずれ等が発生する可能性がある。
そこで、接着部１３０は、図４（ｂ）に示されるように、センサパネル１１０及び１２０の平面方向での相対位置の変化を許容しつつセンサパネル１１０及び１２０の接着を維持するように構成されている。センサパネル１１０（又は１２０）の平面方向は、ここでは、基板１１１（又は１２１）の上面と平行な方向である。図中には、センサパネル１１０及び１２０が、それぞれ矢印で示された方向にシフトし、平面方向において距離ＬＳＨＩＦＴだけ互いにずれた状態を示す。このような構成により、接着部１３０の剥離、センサパネル１１０及び１２０間で位置ずれ等を抑制しつつそれらの接着を維持ことが可能となり、よって、放射線撮像装置１０の信頼性を向上させ、放射線画像の品質を向上させることができる。
以下では、図５（ａ）〜５（ｄ）を参照しながら、接着部１３０のいくつかの構成例を述べる（区別のため、それぞれ、接着部１３０Ａ〜１３０Ｄとする。）。
図５（ａ）は、接着部１３０Ａの構成を示す。接着部１３０Ａは、センサパネル１１０側あるいはその境界近傍の部分１３１と、センサパネル１２０側あるいはその境界近傍の部分１３２と、部分１３１と部分１３２との間の部分１３３とを含む。部分１３１及び１３２は、それらの弾性率が部分１３３の弾性率よりも小さくなるように構成され、部分１３１及び１３２は力が加わった場合に部分１３３よりも変形しやすい。一方、部分１３３は、その放射線吸収率が部分１３１及び１３２の放射線吸収率よりも大きくなるように構成され、部分１３３では部分１３１及び１３２に比べて放射線が減衰しやすい。即ち、部分１３１は、センサパネル１１０の平面方向の位置ずれを許容しつつ部分１３１とセンサパネル１１０との接着を維持するように構成される。また、部分１３２は、センサパネル１２０の平面方向の位置ずれを許容しつつ部分１３２とセンサパネル１２０との接着を維持するように構成される。そして、部分１３３は、放射線Ｘ２の一部の吸収および平面方向の変形を優先して構成される。例えば、部分１３１及び１３２には、アクリル系、ウレタン系及び／又はシリコーン系の樹脂が用いられ得、また、部分１３３には、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｐｂ、Ｍｇ、Ｔｉ、Ｗ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ａｌ及び／又はＭｏの金属が用いられうる。
なお、部分１３１及び１３２は、それらが形成された後の常温において弾性を有していればよい。ここでいう常温とは、装置１０の通常使用時の温度であり、一般には検査室の室温（少なくとも０℃以上かつ４０℃以下の範囲内。典型的には２５℃程度。）をいう。部分１３１及び１３２は、センサパネル１１０及び１２０に対する固定をそれぞれ実現するための粘着力を更に有していてもよい。
図５（ｂ）は、接着部１３０Ｂの構成を示す。この例では、図５（ａ）の例の接着部１３０Ａの部分１３３の側面が更に部分１３４によって覆われている点で異なる。部分１３４には、部分１３１及び１３２同様の材料が用いられればよく、部分１３４は、部分１３３よりも弾性が大きくなるように構成されうる。
図５（ｃ）は、接着部１３０Ｃの構成を示す。接着部１３０Ｃは、弾性を有する部材１３５と、放射線吸収性を有する複数の金属粒子１３６とを有する。複数の金属粒子１３６が部材１３５内に内包されている。部材１３５には、アクリル系、ウレタン系及び／又はシリコーン系の樹脂が用いられ得、また、金属粒子１３６には、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｐｂ、Ｍｇ、Ｔｉ、Ｗ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ａｌ及び／又はＭｏの金属が用いられうる。金属粒子１３６は、粉末状でも球状でもよく、例えば球状の場合にはその径（粒径）は０．０１μｍ〜１μｍ程度とすればよい。
部材１３５における複数の金属粒子１３６の分布密度を小さくすると、放射線吸収率が小さくなり、かつ、弾性率が小さくなる（変形しやすくなる）。また、この分布密度を大きくすると、放射線吸収率が大きくなり、かつ、弾性率が大きくなる（変形しにくくなる）。よって、複数の金属粒子１３６は、例えば、この分布密度が３０％以上かつ７０％以下の範囲内になるように、部材１３５内に分布されるとよい。
他の例として、センサパネル１１０または１２０に近い部分では金属粒子１３６の分布密度が小さくなり、且つ、センサパネル１１０または１２０から遠い部分ではこの分布密度が大きくなるようにしてもよい。これと併せて、又は、これに代替して、センサパネル１１０または１２０に近い部分では金属粒子１３６の粒径が小さく、センサパネル１１０または１２０から遠い部分では金属粒子１３６の粒径が大きくなるようにしてもよい。
図５（ｄ）は、接着部１３０Ｄの構成を示す。接着部１３０Ｄは、センサパネル１１０側からセンサパネル１２０側に向かって、順に、領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４及びＲ５を含む。ここで、領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４及びＲ５の弾性率（elastic modulus）を、それぞれ、ＥＲ１、ＥＲ２、ＥＲ３、ＥＲ４及びＥＲ５とし、領域Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４及びＲ５の放射線吸収率（radiation absorption rate）を、それぞれ、ＡＲ１、ＡＲ２、ＡＲ３、ＡＲ４及びＡＲ５とする。このとき、ＥＲ１＜ＥＲ２＜ＥＲ３かつＥＲ５＜ＥＲ４＜ＥＲ３が成立し、また、ＡＲ１＜ＡＲ２＜ＡＲ３かつＡＲ５＜ＡＲ４＜ＡＲ３が成立する。なお、これらの領域Ｒ１〜Ｒ５は、図５（ｃ）を参照しながら例示された構成によっても実現可能である。
図５（ｄ）の例では５つの領域Ｒ１〜Ｒ５を例示したが、領域の数はこの例に限られないし、或いは、接着部１３０Ｄは弾性および放射線吸収性が徐々に（ステップ状ではなく緩やかに）変化するように構成されてもよい。
更に他の例として、接着部１３０の弾性は、センサパネル１１０の平面方向において変化してもよい。例えば、接着部１３０は、センサパネル１１０の平面方向において中央部およびその周辺部を有し、中央部の弾性率が周辺部の弾性率よりも小さくなるように構成されてもよい。この場合、周辺部は、平面視において、保護膜１１４の外縁よりも外側の部分と規定されてもよい。
接着部１３０は、図５（ａ）〜５（ｄ）に例示された構成により、センサパネル１１０及び１２０の平面方向での相対位置の変化を許容するが、その許容量を必要以上に大きく設定すると、次のような問題が発生する可能性がある。即ち、撮影時に被検者４０が姿勢を変えたこと等による僅かな振動によってセンサパネル１１０及び１２０間の相対位置が変わってしまう可能性がある。通常（振動が実質的にない状態では）、センサパネル１１０の複数の放射線検出素子は、それぞれ、センサパネル１２０の複数の放射線検出素子の略直上に位置する。そのため、センサパネル１１０からの画像データを構成する複数の信号は、センサパネル１２０からの画像データを構成する複数の信号に、それぞれ対応し、よって、これら２つの画像データに対してエネルギーサブトラクション処理を適切に行うことができる。しかし、上記僅かな振動によってセンサパネル１１０及び１２０間の相対位置が変わってしまうと、これらの対応は成立しなくなり、上記エネルギーサブトラクション処理を適切に行うことができなくなってしまう。
そこで、センサパネル１１０及び１２０の平面方向での相対位置の変化の許容量には、所定の上限値が設けられるとよい。この上限値は、例えば、センサアレイ１１２（又は１２２）における複数の放射線検出素子の配列のピッチよりも小さく設定されるとよい。例えば、放射線撮像装置１０を台車等に搭載して又は持ち運んで移動する際に生じうる振動を考慮して、この上限値が設定されてもよい。例えば、複数の放射線検出素子の配列のピッチをＰとしたとき、図４（ｂ）を参照しながら例示した距離ＬＳＨＩＦＴとの関係では、ＬＳＨＩＦＴ＜Ｐが成立するとよい。接着部１３０の厚さについても同様である。
これを実現するため、接着部１３０は、例えば、温度０℃以上かつ４０℃以下の温度条件において１ＭＰａ以上かつ４０ＭＰａ以下の弾性率を有するとよい（試験方法：ＩＳＯ ５２７−１（ＪＩＳ Ｋ７１６１））。
放射線撮像装置１０の製造工程において、接着部１３０は、弾性を有する材料と放射線吸収性を有する材料とを所定の割合で混合することにより得られる。例えば、この混合された材料をセンサパネル１１０に塗布した後に、センサパネル１１０に対してセンサパネル１２０を接着させればよい。この塗布は、スピンコート、ラミネート等、公知の方法で為されればよい。他の例では、弾性率および放射線吸収率がそれぞれ互いに異なる２以上の材料を準備し、これらのうち接着部１３０の部位に応じたものを順に塗布することによって形成されうる。これらの材料は、弾性を有する材料と放射線吸収性を有する材料との混合比を変えることにより、それぞれ得られうる。この場合、形成する接着部１３０の部位に応じて上記混合比を変えるため、この塗布は、２以上のスプレーを用いてそれらの噴霧量を変えながら為されてもよい。
図６（ａ）〜６（ｃ）は、接着部１３０によるセンサパネル１１０及び１２０の接着の他の態様を、図４（ａ）同様に示す。
図６（ａ）の例では、センサパネル１１０及び１２０は、センサパネル１１０が表面照射型の構成となり、センサパネル１２０が裏面照射型の構成となるように、接着部１３０により互いに接着される。具体的には、基板１１１及び基板１２１が、シンチレータ１１３とシンチレータ１２３との間に位置し、接着部１３０は、基板１１１の下面と基板１２１の下面とを互いに接着する。
図６（ｂ）の例では、センサパネル１１０及び１２０は、いずれも裏面照射型の構成となるように、接着部１３０により互いに接着される。具体的には、シンチレータ１１３及び基板１２１が、基板１１１とシンチレータ１２３との間に位置し、接着部１３０は、保護膜１１４の上面と基板１２１の下面とを互いに接着する。
図６（ｃ）の例では、センサパネル１１０及び１２０は、センサパネル１１０が裏面照射型の構成となり、センサパネル１２０が表面照射型の構成となるように、接着部１３０により互いに接着される。具体的には、シンチレータ１１３及びシンチレータ１２３が、基板１１１と基板１２１との間に位置し、接着部１３０は、保護膜１１４の上面と保護膜１２４の上面とを互いに接着する。
なお、ここでは不図示とするが、放射線撮像装置１０の筐体の上面部（被検者４０側の板材）とセンサパネル１１０との間には、被検者４０が配置され又は横臥したことによる衝撃を緩和するための緩衝材が配置されうる。この場合、接着部１３０は、緩衝材の弾性率より大きい弾性率を有し、かつ、緩衝材の放射線吸収率より大きい放射線吸収率を有するように構成されうる。
以上、いくつかの好適な態様を例示したが、本発明はこれらの例に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、その一部が変更されてもよい。また、本明細書に記載された個々の用語は、本発明を説明する目的で用いられたものに過ぎず、本発明は、その用語の厳密な意味に限定されるものでないことは言うまでもなく、その均等物をも含みうる。
１０：放射線撮像装置、１１０：センサパネル、１１１：基板、１１２：センサアレイ、１２０：センサパネル、１２１：基板、１２２：センサアレイ、１３０：接着部。
Claims (16)
- 第１基板上に複数の放射線検出素子が配列された第１パネルと、
第２基板上に複数の放射線検出素子が配列された第２パネルと、
前記第１基板の上面に対する平面視において前記第１パネル及び前記第２パネルが互いに重なるように、前記第１パネルの前記第２パネル側の面と前記第２パネルの前記第１パネル側の面とを接着するシート状の接着部と、を備え、
前記接着部は、前記第１基板の前記上面と平行な平面方向における前記第１パネルと前記第２パネルとの相対位置の変化を許容しつつそれらの接着を維持するように構成されている
ことを特徴とする放射線撮像装置。 - 前記接着部は、放射線吸収性および弾性を有する部分を含む
ことを特徴とする請求項１に記載の放射線撮像装置。 - 前記接着部は、
前記第１パネル側の第１部分と、
前記第２パネル側の第２部分と、
前記第１部分と前記第２部分との間の第３部分と、
を含み、
前記第１部分および前記第２部分の弾性率は、前記第３部分の弾性率よりも小さく
前記第３部分の放射線吸収率は、前記第１部分および前記第２部分の放射線吸収率よりも大きい
ことを特徴とする請求項２に記載の放射線撮像装置。 - 前記第１部分および前記第２部分は、粘着力を有する
ことを特徴とする請求項３に記載の放射線撮像装置。 - 前記接着部は、前記第３部分の側面を覆いながら前記第１部分と前記第２部分とを接続する第４部分を更に含み、前記第４部分には、前記第１部分および前記第２部分と同じ材料が用いられている
ことを特徴とする請求項３または請求項４に記載の放射線撮像装置。 - 前記第１部分および前記第２部分は、アクリル系、ウレタン系及び／又はシリコーン系の樹脂を含み、
前記第３部分は、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｐｂ、Ｍｇ、Ｔｉ、Ｗ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ａｌ及び／又はＭｏの金属を含む
ことを特徴とする請求項３から請求項５のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。 - 前記接着部は、
前記弾性を有する第１部材と、
前記第１部材に内包され、前記放射線吸収性を有する第２部材と、
を含む
ことを特徴とする請求項２に記載の放射線撮像装置。 - 前記第２部材は金属粒子を含み、複数の前記金属粒子が前記第１部材に内包されている
ことを特徴とする請求項７に記載の放射線撮像装置。 - 前記第１部材における前記複数の金属粒子の分布密度は、３０％以上かつ７０％以下の範囲内である
ことを特徴とする請求項８に記載の放射線撮像装置。 - 前記第１部材は、アクリル系、ウレタン系及び／又はシリコーン系の樹脂を含み、
前記第２部材は、Ａｕ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ｐｂ、Ｍｇ、Ｔｉ、Ｗ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ａｌ及び／又はＭｏの金属を含む
ことを特徴とする請求項７から請求項９のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。 - 前記接着部は、０℃以上かつ４０℃以下の温度条件において１ＭＰａ以上かつ４０ＭＰａ以下の弾性率を有する
ことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。 - 前記第１パネルは、前記第１基板上に前記複数の放射線検出素子を覆うように配された第１シンチレータを更に有し、
前記第２パネルは、前記第２基板上に前記複数の放射線検出素子を覆うように配された第２シンチレータを更に有し、
前記第１パネルは、前記第２パネルの上方に配され、
前記接着部は、
前記第１基板と前記第２シンチレータとが前記第１シンチレータと前記第２基板との間に位置すること、
前記第１基板と前記第２基板とが前記第１シンチレータと前記第２シンチレータとの間に位置すること、
前記第１シンチレータと前記第２基板とが前記第１基板と前記第２シンチレータとの間に位置すること、及び、
前記第１シンチレータと前記第２シンチレータとが前記第１基板と前記第２基板との間に位置すること、
のいずれかを満たすように前記第１パネルと前記第２パネルとを接着している
ことを特徴とする請求項１から請求項１１のいずれか１項に記載の放射線撮像装置。 - 請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の放射線撮像装置と、前記放射線撮像装置からの信号を処理するプロセッサとを具備する
ことを特徴とする撮像システム。 - 第１基板上に複数の放射線検出素子が配列された第１パネルと、第２基板上に複数の放射線検出素子が配列された第２パネルとをそれぞれ準備する工程と、
前記第１基板の上面に対する平面視において前記第１パネル及び前記第２パネルが互いに重なるように、前記第１パネルの前記第２パネル側の面と前記第２パネルの前記第１パネル側の面とをシート状の接着部により接着する工程と、を有し、
前記接着部は、前記第１基板の前記上面と平行な平面方向における前記第１パネルと前記第２パネルとの相対位置の変化を許容するように構成されている
ことを特徴とする放射線撮像装置の製造方法。 - 前記接着する工程では、前記第１パネル上に、弾性を有する第１材料と放射線吸収性を有する第２材料とを混合した部材を塗布した後、前記第２パネルを前記第１パネルに対して接着させる
ことを特徴とする請求項１４に記載の放射線撮像装置の製造方法。 - 前記接着する工程では、前記第１パネル上に、弾性を有する第１材料をスプレーにより塗布しながら放射線吸収性を有する第２材料をスプレーにより塗布した後、前記第２パネルを前記第１パネルに対して接着させる
ことを特徴とする請求項１４に記載の放射線撮像装置の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017005269A JP6912891B2 (ja) | 2017-01-16 | 2017-01-16 | 放射線撮像装置、その製造方法および撮像システム |
| CN201780083054.0A CN110178054B (zh) | 2017-01-16 | 2017-12-20 | 放射线成像装置、其制造方法以及成像系统 |
| PCT/JP2017/045808 WO2018131415A1 (ja) | 2017-01-16 | 2017-12-20 | 放射線撮像装置、その製造方法および撮像システム |
| US16/457,496 US11448779B2 (en) | 2017-01-16 | 2019-06-28 | Radiological imaging apparatus, manufacturing method of the same, and imaging system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2017005269A JP6912891B2 (ja) | 2017-01-16 | 2017-01-16 | 放射線撮像装置、その製造方法および撮像システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2018115879A JP2018115879A (ja) | 2018-07-26 |
| JP6912891B2 true JP6912891B2 (ja) | 2021-08-04 |
Family
ID=62839978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2017005269A Active JP6912891B2 (ja) | 2017-01-16 | 2017-01-16 | 放射線撮像装置、その製造方法および撮像システム |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11448779B2 (ja) |
| JP (1) | JP6912891B2 (ja) |
| CN (1) | CN110178054B (ja) |
| WO (1) | WO2018131415A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020529607A (ja) * | 2017-08-03 | 2020-10-08 | ザ・リサーチ・ファウンデーション・フォー・ザ・ステイト・ユニヴァーシティ・オブ・ニューヨーク | 非対称反射スクリーンによるデュアルスクリーンデジタル放射線撮像 |
| WO2019181568A1 (ja) * | 2018-03-19 | 2019-09-26 | 富士フイルム株式会社 | 放射線検出器及び放射線画像撮影装置 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3818359B2 (ja) * | 2000-07-18 | 2006-09-06 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置、回路基板及び電子機器 |
| JP4146071B2 (ja) * | 2000-11-08 | 2008-09-03 | 富士フイルム株式会社 | エネルギーサブトラクション方法および装置並びに記録媒体 |
| DE102005036811A1 (de) | 2005-08-04 | 2007-02-08 | Siemens Ag | Korrekturverfahren für Festkörperdetektoren und Festkörperdetektor |
| US7834321B2 (en) * | 2006-07-14 | 2010-11-16 | Carestream Health, Inc. | Apparatus for asymmetric dual-screen digital radiography |
| JP5376897B2 (ja) * | 2008-10-24 | 2013-12-25 | 富士フイルム株式会社 | 放射線画像撮影装置 |
| JP5557769B2 (ja) | 2011-02-14 | 2014-07-23 | 富士フイルム株式会社 | 放射線画像検出装置及びその製造方法 |
| JP2012233780A (ja) * | 2011-04-28 | 2012-11-29 | Fujifilm Corp | 放射線画像変換パネル、放射線画像検出装置及び放射線撮影装置 |
| JP2014195481A (ja) * | 2011-07-27 | 2014-10-16 | 富士フイルム株式会社 | 放射線撮影装置 |
| JP2014032124A (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-20 | Canon Inc | 放射線撮像装置及び放射線撮像システム |
| JP6052595B2 (ja) * | 2012-10-24 | 2016-12-27 | 日立金属株式会社 | シンチレータアレイの製造方法 |
| JP2016070890A (ja) * | 2014-10-01 | 2016-05-09 | キヤノン株式会社 | 放射線撮影装置および放射線撮影システム |
| WO2016143401A1 (ja) * | 2015-03-10 | 2016-09-15 | 株式会社島津製作所 | Ｘ線検出器 |
| JP2018524423A (ja) * | 2015-06-03 | 2018-08-30 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | フレキシブルディスプレイ用途用のシリコーン系アセンブリ層 |
-
2017
- 2017-01-16 JP JP2017005269A patent/JP6912891B2/ja active Active
- 2017-12-20 CN CN201780083054.0A patent/CN110178054B/zh active Active
- 2017-12-20 WO PCT/JP2017/045808 patent/WO2018131415A1/ja active Application Filing
-
2019
- 2019-06-28 US US16/457,496 patent/US11448779B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO2018131415A1 (ja) | 2018-07-19 |
| US11448779B2 (en) | 2022-09-20 |
| CN110178054B (zh) | 2023-07-21 |
| US20190324159A1 (en) | 2019-10-24 |
| CN110178054A (zh) | 2019-08-27 |
| JP2018115879A (ja) | 2018-07-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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|
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|
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|
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|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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