JP6910921B2 - 塗工装置 - Google Patents
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Description
図1は、塗工装置10の構成図である。
塗工装置10の電気的構成について説明する。制御部56には、テーブル12の水平移動を行うテーブル走行モータ13、ノズル上下動部20、塗工タンク22を上下動させるタンク高さモータ30、液面センサ32、電磁弁39,補充ポンプ54が接続されている。
上記構成の塗工装置10を用いて、基板Wの下面に塗工液を塗工する塗工方法について図2及び図3を参照して順番に説明していく。
第1工程では、テーブル12が基板Wを吸引し、塗工ノズル14は基板Wの下方に待機させる(図2(1)参照)。図3においては、塗工ノズル14のノズル高さHNは、ノズル待機高さHN0であり、塗工タンク22のタンク高さHTは、タンク待機高さHT0となっている。
テーブル走行モータ13がテーブル12を移動させ、基板Wを塗工開始位置に停止させる。
塗工ノズル14を、基板Wの下面に対しノズル接液高さHN1まで上昇させる。これと同時に、塗工タンク22も上昇させ、タンク接液高さHT1に上昇させる。これによって、塗工タンク22内の毛管状隙間16から塗工液が吐出し、基板Wの下面に接液が行われる(図2(3)参照)。
上記のようにタンク高さHTがタンク退避高さHT2、ノズル高さHNがノズル塗工高さHN2にある状態で、テーブル走行モータ13が、テーブル12の移動を塗工速度VT0で開始する。このときに塗工開始時の塗工状態のムラを防止するため、タンク高さHTをタンク退避高さHT2からタンク塗工高さHT3まで、下記の(1)式で示す上昇速度v0で上昇させる。なお、
v0=VT0×c0/b0 ・・・(1)
但し、VT0は塗工速度、b0は基板Wの塗工開始時における塗工距離、c0は予め試験により求めた前記塗工速度VT0で基板Wの塗工開始時における塗工距離b0だけ塗工をした場合の塗工タンク22のタンク液面高さの変化した距離を表す。
基板Wの下面に塗工速度VT0で塗工液を塗工する(図2(4)参照)。この場合に、基板Wの下面と塗工ノズル14の吐出口18とのギャップが、塗工ギャップとなっている。また、タンク高さHTをタンク塗工高さHT3から、下記の(2)式で示す上昇速度v1で上昇させる。なお、
v1=VT0×c1/b1 ・・・(2)
但し、b1は基板Wの塗工距離であり、c1は予め試験により求めた塗工速度VT0で基板Wを塗工距離b1だけ塗工した場合の塗工タンク22のタンク液面高さが変化した距離を表す。
塗工終了時において、タンク高さHTの上昇速度v1から逆に、下記の(3)式で示す下降速度v2で下降させる。
v2=VT0×c2/b2 ・・・(3)
但し、b2は基板の塗工終了時における塗工距離であり、c2は予め試験により求めた塗工速度VT0で基板の塗工終了時における塗工距離b2だけ塗工した場合の塗工タンク22のタンク液面高さが変化した距離を表す。
塗工終了位置に基板Wが移動すると、タンク高さHT及びノズル高さHNをタンク待機高さHT0及びノズル待機高さHN0まで下げ、離液を行う。
上記のようにして、塗工装置10は、基板Wの下面に塗工液を塗工するが、塗工前の接液工程において、塗工ノズル14から吐出された塗工液が基板Wの下面に確実に接液していないと、基板Wの下面に塗工した塗工液の塗工厚さdが薄い部分や塗工が行われていない部分が発生する。
本実施形態によれば、基板Wに塗工液を塗工した後に、塗工タンク22内の液面高さの塗工前と塗工後の差分ΔSを求め、その差分ΔSが、基準差分ΔS0よりも小さいときは、接液が確実に行われていないとして、次回の接液時のタンク接液高さHT1を上昇させる。これにより、次回の基板Wの塗工のときに、接液が確実に行われ、塗工厚さdを一定にすることができる。
上記実施形態では、次回の接液時のタンク接液高さHT1を、今回の接液時よりも高くして接液が確実になるようにした。これに代えて、次回の塗工工程の接液時における塗工ノズル14のノズル接液高さHN1を、今回の接液時よりも上昇させ、基板Wの下面と塗工ノズル14の吐出口18の間隔を小さくする。これにより、接液をより確実に行うことができる。
まず、塗工装置10の構成について図6を参照して説明する。
塗工タンク22の上方には非接触式(例えば、光学式、レーザ式)の液面センサ32が配されている。この液面センサ32は、塗工タンク22に溜まっている塗工液のタンク液面高さを計測する。
塗工装置10の電気的構成について図4を参照して説明する。制御部56には、テーブル12の移動を行なうテーブル走行モータ13、ノズル上下動部20のノズル高さモータ46、塗工タンク22を上下動させるタンク高さモータ30、液面センサ32、補充ポンプ54及びテーブル12の吸引装置58が接続されている。
上記構成の塗工装置10を用いて、基板Wの上面に塗工液を塗工する方法について順番に説明する。
初期状態では、テーブル12の上面に基板Wが吸引され、塗工ノズル62はこの上方に待機している。
テーブル12をテーブル走行モータ13によって移動させ、基板Wを塗工開始位置に停止させる。
第2工程が終了すると、テーブル12を停止したままで、塗工タンク22を下降させてタンク高さHをタンク接液高さH1からタンク接待高さH2に下降させる。これによって、サイフォン現象により吐出口18の位置にある塗工液に対する圧力が小さくなる。そのため、接液工程で吐出口18と基板Wの間に滞留した余分な塗工液が、塗工タンク22側に吸引される。また、同時に塗工ノズル62のノズル高さLも、塗工時のノズル塗工高さL0に上昇させる。これによって、吐出口18と基板Wとのギャップが、塗工ギャップmとなって目的の塗工厚さdで塗工液が塗工できる状態となる。この接待ち工程を約5秒維持する。なお、図8に示すように、ウエット状態で塗工厚さdは、吐出口18と基板Wとの塗工ギャップm(mとしては50〜300μm)より小さい。
第3工程の状態が終了すると、塗工タンク22を上昇させてタンク接待高さH2からタンク塗工高さH0に上昇させる。塗工ノズル62は、ノズル塗工高さL0にあるため、テーブル12を塗工速度VT0で移動させると、毛細管現象とサイフォン現象により、塗工ノズル62は、塗工厚さdで塗工液を基板Wの上面に塗工する。この場合に、毛細管現象により、図7に示すように毛管状隙間16が基板Wよりも幅方向の大きさが大きくても、基板Wの幅Bにしか塗工されず、かつ、サイフォン現象による圧力が一定であるため塗工厚さもdで塗工できる。そして、テーブル12を塗工終了位置まで移動させる。
v1=VT0×c1/b1 ・・・(4)
但し、VT0(m/分)は塗工速度、b1(mm)は前記基板の塗工距離、c1(mm)は予め試験により求めた前記塗工速度で前記基板を前記塗工距離だけ塗工した場合の前記タンクのタンク液面高さが変化した距離を表す。
第4工程の状態が終了すると、テーブル12が停止し、タンク高さHをタンク塗工高さH0からタンク待機高さH3に下降させる。これはサイフォン現象に圧力を下げて離液を促進するためである。一方、塗工ノズル62のノズル高さLもノズル塗工高さL0からノズル離液高さL2に上昇させ、離液を行なう。
本実施形態においても、接液工程において、塗工ノズル62と基板Wの上面との間に確実に接液が行われていない場合には、塗工厚さdを一定にすることができない。このため、下記の検査工程を本実施形態においても行う。
本実施形態によれば、次回の塗工工程では、今回の塗工工程よりも確実に接液が行われ、基板Wの上面における塗工液の塗工厚さdが一定となる。
12 テーブル
13 テーブル走行モータ
14 塗工ノズル
16 毛管状隙間
18 吐出口
20 上下動部
22 塗工タンク
24 支持部
26 ネジ棒
28 ラック
30 タンク高さモータ
32 液面センサ
34 供給パイプ
36 補充タンク
38 補充パイプ
39 電磁弁
40 液溜め部
42 連結空間
44 連結口
46 ノズル高さモータ
48 ネジ棒
50 支持部
52 ラック
54 補充ポンプ
56 制御部
58 吸引部
60 サイフォン管
62 塗工ノズル
Claims (6)
- 一枚の基板を下面で支持するテーブルと、
前記テーブルの下方に配された塗工ノズルと、
前記テーブル、又は、前記塗工ノズルを前後方向に相対的に移動させる移動部と、
前記塗工ノズルの内部に設けられた上下方向の毛管状隙間と、前記毛管状隙間の上端部に左右方向に開口した塗工液の吐出口と、
大気開放された状態で塗工液を貯留する塗工タンクと、
前記塗工ノズルを上下動させるノズル上下動部と、
前記塗工タンクを前記塗工ノズルに対して相対的に上下動させるタンク上下動部と、
前記塗工タンク内の前記塗工液の液面までのタンク液面高さを計測する液面センサと、
制御部と、
を有する塗工装置において、
前記制御部は、
(1)塗工工程を開始する前に、前記塗工タンク内の塗工液のタンク液面高さS1を前記液面センサで計測し、
(2)前記基板に対し前記塗工ノズルが停止した状態で、前記ノズル上下動部によって前記塗工ノズルの高さを制御し、前記タンク上下動部によって前記塗工タンクの高さを制御して、前記塗工ノズルから前記塗工液を前記基板の下面に接液を行い、その後に前記移動部により前記基板と前記塗工ノズルとを相対的に移動させながら、前記下面と前記塗工ノズルとの間が塗工ギャップになる塗工高さから、毛細管現象を利用して前記塗工液を前記下面に塗工する前記塗工工程を行い、
(3)前記塗工工程を終了した後に、前記塗工タンク内の塗工液のタンク液面高さS2を前記液面センサで計測し、
(4)塗工前の前記タンク液面高さS1と塗工後の前記タンク液面高さS2の差分ΔSを計算し、
(5)前記差分ΔSが、基準差分ΔS0より小さいとき、前記接液時の前記塗工ノズルに対する前記塗工タンクの高さを高くするか、又は、前記塗工ノズルと前記下面との間隔を狭くする、
塗工装置。 - 前記制御部は、前記差分ΔSが、前記基準差分ΔS0より大きいとき、前記塗工工程における前記塗工ノズルに対する前記塗工タンクの高さ、及び、前記塗工ギャップを維持したまま次回の塗工工程を実施する、
請求項1に記載の塗工装置。 - 前記制御部は、
(1)前記移動部による前記基板と前記塗工ノズルとの移動を停止させた状態で、前記タンク上下動部により前記塗工タンクを待機高さから接液高さに上昇させ、前記ノズル上下動部により前記塗工ノズルを待機高さから接液高さまで高くして、前記塗工ノズルから前記塗工液を前記下面に接液を行う接液工程と、
(2)前記接液工程の後に、前記移動部による前記基板と前記塗工ノズルとの移動を停止させた状態で、前記タンク上下動部により前記塗工タンクを前記接液高さから退避高さに下降させ、その後に前記ノズル上下動部により前記塗工ノズルを前記接液高さから前記塗工ギャップになる塗工高さに下降させる退避工程と、
(3)前記退避工程の後に、前記移動部により前記基板と前記塗工ノズルとを相対的に移動させ、かつ、前記タンク上下動部により前記塗工タンクを前記退避高さから塗工高さに上昇させ、前記塗工高さにある前記塗工ノズルから前記下面に塗工を行う前記塗工工程と、
を実施する請求項1に記載の塗工装置。 - 基板が載置されるテーブルと、
前記基板の上方に配された塗工ノズルと、
前記テーブル、又は、前記塗工ノズルを前後方向に相対的に移動させる移動部と、
前記塗工ノズルを上下動させるノズル上下動部と、
前記塗工ノズルの内部に設けられ、その上端部が大気に開放され、その下端部が塗工液の吐出口となった毛管状隙間と、
前記塗工ノズルに設けられた前記塗工液の液入口と、
前記塗工ノズルの内部に設けられ、前記液入口と前記毛管状隙間とを連結する連結空間と、
大気開放された状態で塗工液を貯留する塗工タンクと、
前記塗工タンクを前記塗工ノズルに対して相対的に上下動させるタンク上下動部と、
前記液入口と前記塗工タンクとを連結するサイフォン管と、
前記塗工タンク内の前記塗工液の液面までのタンク液面高さを計測する液面センサと、
制御部と、
を有した塗工装置において、
前記制御部は、
(1)前記塗工工程を開始する前に、前記塗工タンク内の塗工液のタンク液面高さS1を前記液面センサで計測し、
(2)前記基板に対し前記塗工ノズルが停止した状態で、前記塗工タンク内の前記塗工液のタンク液面高さが前記連結空間の前記毛管状隙間側の出口より高く配置した状態で、前記塗工タンクから前記サイフォン管と前記連結空間を経て前記毛管状隙間に供給されている塗工液を、前記塗工ノズルから前記塗工液を前記基板の上面に接液を行い、その後に前記移動部により前記基板と前記塗工ノズルとを相対的に移動させながら、一定の塗工ギャップを開けて前記吐出口から前記基板の上面へ毛細管現象を利用して塗工する塗工工程を行い、
(3)前記塗工工程を終了した後に、前記塗工タンク内の塗工液のタンク液面高さS2を前記液面センサで計測し、
(4)塗工前の前記タンク液面高さS1と塗工後の前記タンク液面高さS2の差分ΔSを計算し、
(5)前記差分ΔSが、基準差分ΔS0より小さいとき、前記接液時の前記塗工ノズルに対する前記塗工タンクの高さを高くするか、又は、前記塗工ノズルと前記上面との間隔を狭くする、
塗工装置。 - 前記制御部は、前記差分ΔSが、前記基準差分ΔS0より大きいとき、前記塗工工程における前記塗工ノズルに対する前記塗工タンクの高さ、及び、前記塗工ギャップを維持したまま次回の塗工工程を実施する、
請求項4に記載の塗工装置。 - 前記制御部は、
(1)前記移動部による前記基板と前記塗工ノズルとの移動を停止させ、前記塗工タンク内の前記塗工液のタンク液面高さが前記連結空間の前記毛管状隙間側の出口より高く配置した状態で、前記タンク上下動部により前記塗工タンクを接液高さに上昇させ、前記ノズル上下動部により前記塗工ノズルを接液高さまで下降させて、前記塗工ノズルから前記塗工液を前記上面に接液する接液工程と、
(2)前記接液工程の後に、前記移動部による前記基板と前記塗工ノズルとの移動を停止させた状態で、前記タンク上下動部により前記塗工タンクを前記接液高さから接待高さに下降させ、かつ、前記ノズル上下動部により前記塗工ノズルを前記接液高さから前記塗工ギャップになる塗工高さに上昇させる接待工程と、
(3)前記接待工程の後に、前記移動部により前記基板と前記塗工ノズルとを相対的に移動させ、前記タンク上下動部により前記塗工タンクを前記退避高さから塗工高さに上昇させ、前記塗工高さにある前記塗工ノズルから前記上面に塗工する前記塗工工程と、
を実施する請求項4に記載の塗工装置。
Priority Applications (1)
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JP2017206476A JP6910921B2 (ja) | 2017-10-25 | 2017-10-25 | 塗工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2017206476A JP6910921B2 (ja) | 2017-10-25 | 2017-10-25 | 塗工装置 |
Publications (2)
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JP2019076848A JP2019076848A (ja) | 2019-05-23 |
JP6910921B2 true JP6910921B2 (ja) | 2021-07-28 |
Family
ID=66627052
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017206476A Active JP6910921B2 (ja) | 2017-10-25 | 2017-10-25 | 塗工装置 |
Country Status (1)
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2017
- 2017-10-25 JP JP2017206476A patent/JP6910921B2/ja active Active
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