JP6905604B2 - 材料性能検査装置の製造方法 - Google Patents
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Claims (9)
- 基板と、金属ゲート電極と、補助層と、機能層とを含み、材料の性能を検査するのに用いる材料性能検査装置の製造方法において、
前記金属ゲート電極は前記基板の一側に設けられており;
前記補助層は、前記金属ゲート電極の前記基板と反対側の一側に設けられており、第1本体と第2本体とを含み、前記第1本体は前記金属ゲート電極の前記基板と反対側の一側に設けられており、前記第2本体は前記基板の前記金属ゲート電極を有する一側に設けられており;
前記機能層はカラーフィルタ層を含み、前記基板の前記金属ゲート電極を有する一側に設けられており、
前記第2本体は前記機能層と前記基板との間に位置しており、
前記材料性能検査装置の中に検査の対象となる材料が形成されており、
基板を提供するステップと;
前記基板上に一層の金属材料を堆積させ、露光、現像及びエッチングによって、金属ゲート電極を得るステップと;
前記基板及び前記金属ゲート電極上に一層の補助材料を堆積させ、露光、現像及びエッチングによって、前記金属ゲート電極上に補助層を得るステップと;
前記基板及び前記金属ゲート電極上に一層の有機フォトレジスト材料を塗布し、露光及び現像によって、前記基板の前記金属ゲート電極を有する一側に機能層を形成するステップとを含み、
前記機能層の形成過程において、前記カラーフィルタ層は少なくとも一定時間、前記補助層上に接着し、前記機能層は発光部品から発せられる光を通して材料の性能を検査するのに用いるものであり、
前記材料性能検査装置は、アノード層と、検査対象材料層と、前記発光部品としての発光材料層と、カソード層とをさらに含み、
前記アノード層は前記金属ゲート電極と電気的に接続されており、
前記検査対象材料層は、前記アノード層と前記カソード層との間に位置し、且つ前記アノード層及び前記カソード層との間に空間を形成しており、
前記空間は前記発光材料層を配置するのに提供され、前記発光材料層は前記空間内に収容されると共に、前記検査対象材料層に当接することを特徴とする材料性能検査装置の製造方法。 - 前記カラーフィルタ層はアクリル樹脂からなることを特徴とする請求項1に記載の材料性能検査装置の製造方法。
- 前記機能層はさらに絶縁層を含み、前記カラーフィルタ層は前記基板と前記絶縁層との間に位置することを特徴とする請求項1に記載の材料性能検査装置の製造方法。
- 前記補助層及び前記機能層の前記基板と反対側の一側にアノード層を形成し、前記アノード層を前記金属ゲート電極に電気的に接続するステップと;
前記アノード層の前記基板と反対側の一側に順次、検査対象材料層と発光材料層とを形成し、前記検査対象材料層を前記発光材料層に当接させるステップと;
少なくとも前記発光材料層の前記アノード層と反対側の一側に、カソード層を形成するステップとをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の材料性能検査装置の製造方法。 - 基板と、金属ゲート電極と、補助層と、機能層とを含み、材料の性能を検査するのに用いる材料性能検査装置の製造方法において、
前記金属ゲート電極は前記基板の一側に設けられており;
前記補助層は、前記金属ゲート電極の前記基板と反対側の一側に設けられており;
前記機能層はカラーフィルタ層を含み、前記基板の前記金属ゲート電極を有する一側に設けられており、
前記材料性能検査装置の中に検査の対象となる材料が形成されており、
基板を提供するステップと;
前記基板上に一層の金属材料を堆積させ、露光、現像及びエッチングによって、金属ゲート電極を得るステップと;
前記基板及び前記金属ゲート電極上に一層の補助材料を堆積させ、露光、現像及びエッチングによって、前記金属ゲート電極上に補助層を得るステップと;
前記基板及び前記金属ゲート電極上に一層の有機フォトレジスト材料を塗布し、露光及び現像によって、前記基板の前記金属ゲート電極を有する一側に機能層を形成するステップとを含み、
前記機能層の形成過程において、前記カラーフィルタ層は少なくとも一定時間、前記補助層上に接着し、前記機能層は発光部品から発せられる光を通して材料の性能を検査するのに用いるものであり、
前記材料性能検査装置は、アノード層と、検査対象材料層と、前記発光部品としての発光材料層と、カソード層とをさらに含み、
前記アノード層は前記金属ゲート電極と電気的に接続されており、
前記検査対象材料層は、前記アノード層と前記カソード層との間に位置し、且つ前記アノード層及び前記カソード層との間に空間を形成しており、
前記空間は前記発光材料層を配置するのに提供され、前記発光材料層は前記空間内に収容されると共に、前記検査対象材料層に当接することを特徴とする材料性能検査装置の製造方法。 - 前記カラーフィルタ層はアクリル樹脂からなることを特徴とする請求項5に記載の材料性能検査装置の製造方法。
- 前記機能層はさらに絶縁層を含み、前記カラーフィルタ層は前記基板と前記絶縁層との間に位置することを特徴とする請求項5に記載の材料性能検査装置の製造方法。
- 前記補助層及び前記機能層の前記基板と反対側の一側にアノード層を形成し、前記アノード層を前記金属ゲート電極に電気的に接続するステップと;
前記アノード層の前記基板と反対側の一側に順次、検査対象材料層と発光材料層とを形成し、前記検査対象材料層を前記発光材料層に当接させるステップと;
少なくとも前記発光材料層の前記アノード層と反対側の一側に、カソード層を形成するステップとをさらに含むことを特徴とする請求項5に記載の材料性能検査装置の製造方法。 - 前記補助層上には、前記金属ゲート電極と連通する少なくとも1つの補助孔が設けられており、前記アノード層は前記補助孔を介して前記金属ゲート電極に電気的に接続されており、
前記補助層及び前記機能層の前記基板と反対側の一側にアノード層を形成するステップの前に、
さらに、前記補助層上に前記金属ゲート電極と連通する補助孔をエッチングし、前記補助孔を介して前記アノードを前記金属ゲート電極に電気的に接続するステップを含むことを特徴とする請求項8に記載の材料性能検査装置の製造方法。
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