JP6733203B2 - 電気光学装置、電子機器 - Google Patents
電気光学装置、電子機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6733203B2 JP6733203B2 JP2016026212A JP2016026212A JP6733203B2 JP 6733203 B2 JP6733203 B2 JP 6733203B2 JP 2016026212 A JP2016026212 A JP 2016026212A JP 2016026212 A JP2016026212 A JP 2016026212A JP 6733203 B2 JP6733203 B2 JP 6733203B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sealing
- substrate
- film
- organic
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 227
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 218
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 6
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 196
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 120
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 55
- 238000000034 method Methods 0.000 description 54
- 239000000463 material Substances 0.000 description 31
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 28
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 20
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 17
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 17
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 16
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 16
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 14
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 9
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 8
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 7
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 7
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 6
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 6
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 5
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 3
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 3
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XPDWGBQVDMORPB-UHFFFAOYSA-N Fluoroform Chemical compound FC(F)F XPDWGBQVDMORPB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N tetrafluoromethane Chemical compound FC(F)(F)F TXEYQDLBPFQVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018503 SF6 Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N n-[4-[4-(dinaphthalen-2-ylamino)phenyl]phenyl]-n-naphthalen-2-ylnaphthalen-2-amine Chemical compound C1=CC=CC2=CC(N(C=3C=CC(=CC=3)C=3C=CC(=CC=3)N(C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C=3C=C4C=CC=CC4=CC=3)C3=CC4=CC=CC=C4C=C3)=CC=C21 QKCGXXHCELUCKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N sulfur hexafluoride Chemical compound FS(F)(F)(F)(F)F SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960000909 sulfur hexafluoride Drugs 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/841—Self-supporting sealing arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/844—Encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/131—Interconnections, e.g. wiring lines or terminals
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/38—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising colour filters or colour changing media [CCM]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K59/871—Self-supporting sealing arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K59/873—Encapsulations
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K2102/00—Constructional details relating to the organic devices covered by this subclass
- H10K2102/301—Details of OLEDs
- H10K2102/351—Thickness
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/842—Containers
- H10K50/8426—Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/80—Constructional details
- H10K59/87—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K59/871—Self-supporting sealing arrangements
- H10K59/8722—Peripheral sealing arrangements, e.g. adhesives, sealants
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/851—Division of substrate
Description
具体的に、特許文献1における有機EL素子は、駆動用基板の側から順に積層された、反射層としての機能も兼ねた陽極、絶縁膜、有機層及び陰極を有して構成され、表示領域に設けられた保護膜によって封止されている。
しかしながら、封止用基板は一般的なフォトリソマスクと違ってマスクの厚さが1mm程度もあり、マスクとなる封止用基板近傍の数十μmの膜厚を有する保護膜を十分にエッチングすることができないという問題があった。
<有機EL装置>
本実施形態における有機EL装置について説明する。
図1は、第1実施形態に係る有機EL装置の電気的な構成を示す等価回路図である。
図2(a)は、第1実施形態に係る有機EL装置の構成を示す概略平面図である。図2(b)は、図2(a)の一部を拡大して示す図である。なお、図2(a)及び図2(b)においては発明の理解を容易にするため、製図法上、実線であらわすべきところを破線で、もしくは破線で表すべきところを実線で表記している場合がある。
次に、有機EL装置100の構造について、図3及び図4を参照して説明する。
図3は、図2(a)のA−A線に沿った有機EL装置100の構造を示す概略断面図である。図4は、図2(a)のB−B線に沿った有機EL装置100の構造を示す概略断面図である。
実装端子101は、図4に示すように、素子基板10の端子領域11tにおいて、画素電極31と同様に、第2層間絶縁膜26上に形成されている。また、第2層間絶縁膜26に形成されたコンタクトホール26a内の導電膜を介して、第1層間絶縁膜24上に形成された配線層103と接続されている。
次に、本実施形態の有機EL装置の製造方法について図5〜図7を参照して、本発明の特徴部分である、高い接続信頼性を有する実装端子101の形成方法を詳しく説明する。
図5は有機EL装置100の製造方法を示すフローチャート、図6(a)〜(c)および図7(d)〜(e)は有機EL装置100の製造方法を示す概略断面図である。なお、図6および図7は、図4に対応した領域の概略断面図である。
図6(a)に示すように、まず、共通電極33と端子領域11t(実装端子101)とを覆う第1封止膜34aを形成する。第1封止膜34aを形成する方法としては、例えばシリコン酸化膜(SiO)、シリコン窒化膜(SiXNY)やシリコン酸窒化物(SiOXNY)を真空蒸着法、スパッタ法、CVD法、イオンプレーティング法などで成膜する方法が挙げられる。第1封止膜34aの膜厚はおよそ200nm〜1000nmの範囲であることが望ましく、この場合、400nmとした。
図6(a)に示すように、まず、色材を含まない感光性樹脂材料をスピンコート法などを用いて基材11の全面に亘って塗布して感光性樹脂層を形成し、この感光性樹脂層を露光・現像することで、画素の間でY方向に延在するストライプ状の絶縁層35を形成する。この際、基材11上に形成された実装端子101と平面視で重なる領域に開口部37をパターン形成する。
続いて、ステップS3へ進む。
図6(b)に示すように、着色層36G(36)を覆うように充填剤42を塗布する。充填剤42には、有機EL素子30から発せられる光の透過性およびカラーフィルター36と封止用基板41との接着性を考慮して熱硬化型のエポキシ系樹脂が使用されている。その他、たとえばウレタン系、アクリル系、ポリオレフィン系などの樹脂材料でも同様の効果が得られる。充填剤42は、緩衝膜34bの効果により例えば有機EL素子30などの構造物の凹凸が低減されているため、カラーフィルター36や第2封止膜34cの表面上を流動性よく塗布することができる。なお、最終的な充填剤42の厚みはおよそ10〜100μmである。続いて、ステップS4に進む。
図6(b)にて充填剤42が塗布された基材11に対して、封止用基板41を所定の位置に例えば真空吸引等で対向して配置する(図6(c))。封止用基板41には光透過性やハンドリング性、後の封止膜エッチング工程による反応生成物の影響を考慮して、石英ガラスが使用されている。封止用基板41の厚みは0.5mm〜1.2mmが好適である。本実施形態においては1.2mmの基板を用いている。
次に、図7(d)に示すように、絶縁層35をエッチングマスクとして開口部37内の第1封止膜34a及び第2封止膜34cをエッチングにより除去し、実装端子101を露出させる。エッチング方法は、ドライエッチングでもウェットエッチングでもよい。この際、封止用基板41によって、エッチングによるダメージから有機EL素子30及びカラーフィルター36を保護することができる。
図8は、封止用基板と実装端子との距離を示す断面図であって、封止用基板、素子基板、実装端子を中心に記載し、その他の構成要素の記載を省略している。
図9は、封止用基板からの実装端子の距離[mm]と、エッチングレート[Å/sec]との関係を示す図である。表1に、封止用基板41と実装端子101の距離ごとのエッチングレートを示す。また、表2に、エッチング処理の条件を示す。
・処理ガス:CF4(四フッ化炭素)
・ガス流量:80sccm
・RF_POWER:200W
・チャンバーの内部圧力:25Pa
次に、封止膜エッチング工程の後、実装端子101の表面を含む素子基板10上に残留した有機物等を除去する。アッシング工程を行うことで、有機樹脂である絶縁層35の残差を除去し、FPC105との接続に良好な実装端子101の表面状態を実現できる。アッシング条件を表2に示す。
・処理ガス:O2(酸素)、Ar(アルゴン)
・ガス流量:20sccm
・RF_POWER:200W
・チャンバーの内部圧力:30Pa
実装端子101を覆う第1封止膜34aと第2封止膜34cとをエッチングする際に、封止用基板41をエッチングマスクとして用いている。本実施形態では、素子基板10上における実装端子101の位置を封止用基板41から所定距離(封止用基板41の厚さ寸法)以上ほど離すことによって、封止膜エッチング工程において、端子領域11tに存在する第1封止膜34a及び第2封止膜34cのエッチングを安定して行うことができ、実装端子101の表面を確実に露出させることができる。このように、エッチングマスクとして用いる封止用基板41が1mmを超える厚さを有していても、封止膜エッチング工程を安定して行うことができる。
上述したように、垂直方向(Y方向)で隣り合う素子基板形成領域11Rの間のスクライブラインSL1と、スクライブラインSL1よりもY方向+側(図中上位側)に存在する素子基板形成領域11Rの実装端子101との距離L2が封止用基板41の厚さ寸法の1/2以上離れているため、各素子基板形成領域11Rの実装端子101上に存在する封止膜(34a,34c)を、エッチングによって十分に取り除くことができる。
次に、本発明の第2実施形態の有機EL装置について説明する。
以下に示す本実施形態の電気光学装置の基本構成は、上記第1実施形態と略同様であるが、陰極の形成範囲において異なる。よって、以下の説明では、第1実施形態と異なる点について詳しく説明し、共通な箇所の説明は省略する。また、説明に用いる各図面において、図1〜図4と共通の構成要素には同一の符号を付すものとする。
図11に示すように、本実施形態の有機EL装置(電気光学装置)200では、有機EL素子30の陰極として機能する共通電極33がデータ線駆動回路16の上方を覆うようにして形成されている。共通電極33は、素子基板10の面法線方向から見てデータ線駆動回路16の全体を覆う範囲に形成されていてもよいし、データ線駆動回路16の一部を覆うように形成されていてもよい。そして、この共通電極33は封止層34により覆われている。すなわち、本実施形態においては、封止用基板41によって共通電極33の一部が覆われておらず、共通電極33の端部33Aが封止層34を介して外気に露出した状態となっている。このような構成によれば、封止用基板41と実装端子101との間の領域に、データ線駆動回路16等の駆動回路の配置のため有効に活用できる。
次に、本発明に係る電子機器の実施形態について説明する。
図12は、電子機器としてのヘッドマウントディスプレイ(HMD)を示す概略図である。
図12に示すように、本実施形態の電子機器としてのヘッドマウントディスプレイ(電子機器)1000は、左右の目に対応して設けられた2つの表示部1001を有している。観察者Mはヘッドマウントディスプレイ1000を眼鏡のように頭部に装着することにより、表示部1001に表示された文字や画像などを見ることができる。例えば、左右の表示部1001に視差を考慮した画像を表示すれば、立体的な映像を見て楽しむこともできる。
例えば、上記第1〜第2実施形態においては、赤(R)、緑(G)、青(B)の色表現をするためカラーフィルター36を用いた有機EL装置100,200について記載したが、これに拘るものでは無い。例えば、3原色(R,G,B)の発光をする有機EL素子30を用いたRGB塗り分け方式、青(B)発光から蛍光体の色変換層を通して赤(R)、緑(G)の発光を得る色変換方式など、その他の多様な色表現方法を有する有機EL装置に本発明を適用することが可能である。
Claims (4)
- 複数の発光素子がマトリックス状に配列された表示領域と、前記表示領域の外側に配置された実装端子と、を含む素子基板と、
前記複数の発光素子を封止し、前記素子基板の面法線方向から見て、前記実装端子と重なる領域に開口部を有する封止膜と、
前記素子基板に前記封止膜を介して配置され、厚さが1mm以上である封止用基板と、を備え、
前記素子基板の面法線方向から見て、前記封止用基板と前記実装端子との間の距離が、前記封止用基板の厚さ寸法以上である、電気光学装置。 - 前記素子基板の前記実装端子が配置された側の一辺と、前記実装端子との間の距離が、前記封止用基板の厚さ寸法の1/2以上である、請求項1に記載の電気光学装置。
- 前記発光素子は、陽極と、陰極と、前記陽極および前記陰極の間に挟持される発光層と、を有し、
前記陰極は、前記素子基板の面法線方向から見て、前記実装端子と前記封止用基板との間に設けられたデータ線駆動回路を覆い、
前記封止用基板は前記陰極の一部を覆っている、請求項1に記載の電気光学装置。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の電気光学装置を備えた、電子機器。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016026212A JP6733203B2 (ja) | 2016-02-15 | 2016-02-15 | 電気光学装置、電子機器 |
US15/427,634 US9985241B2 (en) | 2016-02-15 | 2017-02-08 | Electro-optical apparatus and electronic device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016026212A JP6733203B2 (ja) | 2016-02-15 | 2016-02-15 | 電気光学装置、電子機器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017147051A JP2017147051A (ja) | 2017-08-24 |
JP6733203B2 true JP6733203B2 (ja) | 2020-07-29 |
Family
ID=59561714
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016026212A Active JP6733203B2 (ja) | 2016-02-15 | 2016-02-15 | 電気光学装置、電子機器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9985241B2 (ja) |
JP (1) | JP6733203B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018211376A1 (ja) * | 2017-05-18 | 2018-11-22 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置の作製方法、表示装置、表示モジュール、及び、電子機器 |
JP6983006B2 (ja) | 2017-08-23 | 2021-12-17 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 表示装置 |
CN107680993B (zh) * | 2017-10-23 | 2019-12-24 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Oled面板及其制作方法 |
JP6935915B2 (ja) * | 2017-10-27 | 2021-09-15 | 株式会社Joled | 電子デバイス |
KR102560948B1 (ko) * | 2018-01-04 | 2023-08-01 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 장치 |
CN110010659A (zh) * | 2018-01-04 | 2019-07-12 | 三星显示有限公司 | 显示设备 |
CN108649133A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-10-12 | 上海天马微电子有限公司 | 有机发光显示面板、其制备方法和有机发光显示装置 |
CN113851600B (zh) * | 2019-01-08 | 2023-06-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示基板及其制作方法、显示装置 |
JP6881476B2 (ja) * | 2019-01-15 | 2021-06-02 | セイコーエプソン株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法および電子機器 |
KR20200100238A (ko) * | 2019-02-15 | 2020-08-26 | 삼성디스플레이 주식회사 | 표시 패널 |
CN112714969B (zh) * | 2019-08-27 | 2022-05-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 发光装置、制备发光装置的方法以及电子设备 |
JP7370806B2 (ja) * | 2019-10-17 | 2023-10-30 | キヤノン株式会社 | 発光デバイス、表示装置、光電変換装置、電子機器、照明装置および移動体 |
WO2021090658A1 (ja) | 2019-11-05 | 2021-05-14 | ソニー株式会社 | 表示装置 |
JP6930571B2 (ja) * | 2019-11-18 | 2021-09-01 | セイコーエプソン株式会社 | 表示装置および電子機器 |
JP7427969B2 (ja) * | 2020-01-22 | 2024-02-06 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置および電子機器 |
EP4131245A4 (en) * | 2020-03-27 | 2023-05-24 | BOE Technology Group Co., Ltd. | DISPLAY PANEL AND DISPLAY DEVICE |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002032037A (ja) * | 2000-05-12 | 2002-01-31 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 表示装置 |
JP4032909B2 (ja) | 2002-10-01 | 2008-01-16 | ソニー株式会社 | 有機発光表示装置の製造方法 |
JP3921482B2 (ja) | 2004-07-28 | 2007-05-30 | トッキ株式会社 | 有機el素子の製造装置並びに有機el素子 |
JP4674848B2 (ja) | 2004-11-09 | 2011-04-20 | トッキ株式会社 | 有機el素子の製造装置 |
JP4641417B2 (ja) | 2004-11-30 | 2011-03-02 | トッキ株式会社 | 有機el素子の製造装置並びに有機el素子 |
JP2007073353A (ja) | 2005-09-07 | 2007-03-22 | Toyota Industries Corp | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
JP4543336B2 (ja) * | 2007-05-01 | 2010-09-15 | ソニー株式会社 | 表示装置の製造方法 |
JP6186697B2 (ja) | 2012-10-29 | 2017-08-30 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el装置の製造方法、有機el装置、電子機器 |
JP6182985B2 (ja) | 2013-06-05 | 2017-08-23 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、電子機器 |
JP6191260B2 (ja) * | 2013-06-12 | 2017-09-06 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置、及び電子機器 |
JP6515537B2 (ja) | 2014-04-08 | 2019-05-22 | セイコーエプソン株式会社 | 有機el装置の製造方法、有機el装置、電子機器 |
JP6358078B2 (ja) | 2014-12-25 | 2018-07-18 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及び電子機器 |
JP6500433B2 (ja) | 2014-12-25 | 2019-04-17 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及びその製造方法、電子機器 |
JP6332019B2 (ja) | 2014-12-25 | 2018-05-30 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及びその製造方法、電子機器 |
-
2016
- 2016-02-15 JP JP2016026212A patent/JP6733203B2/ja active Active
-
2017
- 2017-02-08 US US15/427,634 patent/US9985241B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9985241B2 (en) | 2018-05-29 |
JP2017147051A (ja) | 2017-08-24 |
US20170237033A1 (en) | 2017-08-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6733203B2 (ja) | 電気光学装置、電子機器 | |
JP6515537B2 (ja) | 有機el装置の製造方法、有機el装置、電子機器 | |
TWI623093B (zh) | 有機電激發光裝置之製造方法、有機電激發光裝置、電子機器 | |
JP6135062B2 (ja) | 発光装置、発光装置の製造方法、電子機器 | |
TWI396464B (zh) | 有機電致發光顯示裝置及其製作方法 | |
JP6331276B2 (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器 | |
CN110581159A (zh) | 有机发光装置的制造方法、有机发光装置以及电子设备 | |
JP6701777B2 (ja) | 電気光学装置、電子機器 | |
CN104241538A (zh) | 电光学装置、电光学装置的制造方法以及电子设备 | |
JP2014241241A (ja) | 電気光学装置、電気光学装置の製造方法、及び電子機器 | |
JP2015056335A (ja) | 電気光学装置、電子機器及び電気光学装置の製造方法 | |
JP2016143606A (ja) | 有機el装置、及び電子機器 | |
US20230284513A1 (en) | Display device, method of manufacturing display device, and electronic apparatus using display device | |
JP6507545B2 (ja) | 有機エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、電子機器 | |
JP2016143605A (ja) | 発光装置の製造方法、発光装置、及び電子機器 | |
WO2021035549A1 (zh) | 显示基板及其制备方法,电子设备 | |
US11289665B2 (en) | Organic light-emitting display screen and manufacturing method thereof | |
JP2015005386A (ja) | 電気光学装置及び電子機器 | |
KR102094143B1 (ko) | 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법 | |
JP2016170935A (ja) | 電気光学装置の製造方法 | |
JP2015222664A (ja) | 有機elパネルの製造方法、有機elパネル、電子機器 | |
CN220402275U (zh) | 显示装置 | |
KR102094807B1 (ko) | 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법 | |
JP2014199743A (ja) | 表示装置の製造方法およびこの方法により製造された表示装置 | |
JP2017147037A (ja) | 電気光学装置、電子機器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20181026 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200107 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20200324 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20200521 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200609 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200622 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6733203 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |